JP2006321675A - シリコンの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 トリクロロシランの1部を太陽電池用シリコンに変換して太陽電池級シリコンを製造しつつ半導体級シリコンを製造する、シリコンの蒸着法。
【選択図】 なし
Description
分子中に水素および塩素を有するシリコン含有物質の不均化反応の化学は技術的に既に知られている。固体触媒又は固体支持体上の触媒の使用も技術的に既に知られている。特許文献1は、触媒として活性炭を使用してシランおよびテトラクロロシランのような反応混合体からジクロロシランを製造する方法を開示している。特許文献2は、トリクロロシランからジクロロシランを調製でき、かつジクロロシランからシランを調製できる方法を開示している。この方法は、第三アミノまたは第四アンモニウム基が結合しているイオン交換樹脂である触媒を利用している。特許文献3は、半導体級シリコン析出反応容器から流出するジクロロシランをテトラクロロシランと混合して不均化反応触媒に供することにより、トリクロロシランを増大させる方法を開示している。この発明の本質はトリクロロシランを増大させるがしかしながらこの方法を実施すると、製造される半導体級シリコンの純度が徐々に低下するという問題点があった。
トリクロロシランの蒸気を水素ガスと共に、加熱基体を含む析出反応器内に供給して該加熱基体上に半導体級シリコンを生成せしめる半導体級シリコン生成工程(A工程)、前記A工程からの流出ガスから、水素とクロロシランを分離するクロロシラン分離工程(B工程)、前記B工程より得られる低沸点シラン成分と、テトラクロロシランの混合物をクロロシランの不均化固体触媒層に流通してトリクロロシランの比率が増大した混合物を生成せしめる不均化工程(C工程)、前記C工程より得られるトリクロロシランの比率が増大した混合物を蒸留精製してトリクロロシランを得るトリクロロシラン分離工程(D工程)、及び、前記D工程で得られるトリクロロシランの一部を太陽電池用シリコンに変換して回収する回収工程(E工程)よりなることを特徴とする、シリコンの製造方法によって達成される。
しかしながら前記流出ガス中に含まれるジクロロシランを主成分とする低沸点シラン混合物を、STCなどと混合して不均化反応させ、TCSを増大させるプロセスを前記の循環系に挿入すると、それによって得られたTCSは蒸留精製によっても完全に分離できない不純物が混入し、操業を継続するうちに不純物が蓄積され、ついには製造されるシリコンが半導体級として適切でないレベルにまで品質が低下することを見出した。
このリン系不純物は、精密な化学分析によって定量可能なものの、極めて少量なために他のクロロシランから単離されたことがなく、よって正確な分子式や沸点は判明していない。
すなわち、不均化反応の化学反応式を考慮すると、以下の反応式のように、(1)式のようにDCSはTCSに変成され、これと同様に(2)式のようにDCSに沸点の近いシリルホスフィンはクロロシリルホスフィンに変成されるものと推測される。
(1) SiH2Cl2 + SiCl4 → 2SiHCl3
(2) SiH3PH2 + SiCl4 → SiH2ClPH2+ SiHCl3
不均化反応前後でのクロロシランの化学分析、および不均化反応における不純物の変成挙動を考慮するとその推測は妥当なものであると考えられる。
すなわち、短期間の操業では不均化反応によって生成するクロロシリルホスフィンの影響は出現しにくかったが、長期間の連続操業ではクロロシリルホスフィンは濃縮・蓄積され、ついには半導体級としての品質を満足しないシリコンを製造する結果となるメカニズムを理解した。
その結果、上述したクロロシリルホスフィンは、ガス温度を500℃以上に上昇させることによって分解が促進され、リン成分がシリコンに取り込まれる確率が向上し、あるいはTCSと蒸留分離しやすい他の物質に変成するという知見を得た。
B工程において、凝縮の効率を向上させるために凝縮装置の上流にガス圧縮機を設置することが特に好ましい。凝縮装置は圧縮機の下流のみに設置されてもよいが、A工程からの流出ガス中のクロロシラン濃度が高く、また圧縮機内での凝縮が好ましくない場合には、加圧機の上流側にさらに凝縮装置を前置することができる。いずれの凝縮装置も冷却エネルギーを有効利用するために複数の熱交換器で構成することができる。
塩素分に富むクロロシランとは、より具体的にはSTCを主成分とするクロロシランであるが、B工程で分離されたSTC、別に準備されたSTC、あるいは両者の混合物から選択できる。
C工程で低沸点シランを効率よくTCSに変換するためには、平衡反応を生成系側、すなわちTCS側に進めるために、C工程への供給物がより塩素リッチになるように組成を調整することがよい。
前記温度における気相系の場合にも同時に、約1秒以上の滞在時間が適当な速度の不均化を行うと考えられる。反応物組成を平衡状態にさらに近づけるために、接触時間は約1〜10秒が望ましい。10秒以上の接触時間は設備コストが大きい。
水素(2)は、メタン等の不純物の濃度を低減するために系外にパージされることがあるが、その場合には図示していないが別に準備された水素を水素(2)に加えることができる。
図示されていないが、E工程内でも上述したB工程と同様のプロセスを採用し、水素とクロロシランを分離し、水素はE工程に再循環することが好ましい。一方、分離されたクロロシラン中のクロロシリルホスフィン濃度は低下しているため、TCSを蒸留分離してE工程で再使用することもできるし、分離されたTCSはライン(10)を介してA工程に返送することもできる。またE工程で副生した低沸点シランは、図示されていないが、C工程の不均化反応に供することもできる。
添付図面の図1の工程説明図を用い、代表的な流れを記載する。
冶金級シリコンと塩化水素を反応させて得られた粗TCSは蒸留精製され、A工程の補給液(8)として貯蔵タンクに送付された。F工程で副生したSTCはライン(14)によって一部をシリカ製造工程に、他の部分をSTC還元工程に送付した。シリカ製造工程では、水素火炎中でSTCを燃焼分解する乾式シリカ製造法が採用された。
水素(1)と高純度トリクロロシラン(2)は、シーメンス法のシリコン析出反応器(A工程)に送られた。このシリコン析出反応器では、比抵抗が1000Ωcm以上の半導体級シリコンが製造された。
前記凝縮液は、蒸留塔で、低沸点シラン、TCS、およびSTCを主成分とする流れに分離され、TCSはA工程に返送された((9))。
不均化反応からの流出液(5)は、蒸留によってTCSとSTCに分離され、TCSの大部分はA工程に返送すべくライン(6)を通じてTCS貯蔵タンクへ送られた。他方STCライン(12)を通じて抜出され、一部は乾式シリカ製造工程へ、残りはSTC還元工程に送られた。
ライン(7)からのTCSの抜き出しを止め、半導体級シリコン析出系だけの循環運転を行ったところ、約12時間後から比抵抗が下がり始め、約48時間後には析出シリコンの比抵抗が500Ωcm以下になり、半導体グレードとしての品質が維持されなくなった。トリクロロシランの純度を精密な化学分析法で測定したところ、定性はできなかったが、リン濃度が約1ppbaにまで高くなっていることが判明した。
Claims (5)
- トリクロロシランの蒸気を水素ガスと共に、加熱基体を含む析出反応器内に供給して該加熱基体上に半導体級シリコンを生成せしめる半導体級シリコン生成工程(A工程)、前記A工程からの流出ガスから、水素とクロロシランを分離するクロロシラン分離工程(B工程)、前記B工程より得られる低沸点シラン成分と、テトラクロロシランの混合物をクロロシランの不均化固体触媒層に流通してトリクロロシランの比率が増大した混合物を生成せしめる不均化工程(C工程)、前記C工程より得られるトリクロロシランの比率が増大した混合物を蒸留精製してトリクロロシランを得るトリクロロシラン分離工程(D工程)、及び、前記D工程で得られるトリクロロシランの一部を太陽電池用シリコンに変換して回収する回収工程(E工程)よりなることを特徴とする、シリコンの製造方法。
- 回収工程(E工程)が、トリクロロシランを水素と混合して、反応ガスの平均温度を500℃以上に上昇させてシリコンを析出させる工程よりなる請求項1に記載の方法。
- トリクロロシランと水素とを600℃以上に加熱された粒子温度をもつシリコン流動層に供給することにより反応ガスの平均温度を500℃以上に上昇させる請求項2に記載の方法。
- トリクロロシランと水素とを1200℃以上に加熱されたカーボンチューブよりなる反応器に供給することにより反応ガスの平均温度を500℃以上に上昇させる請求項2に記載の方法。
- A工程〜E工程のいずれかに、別に準備されたクロロシランを補給する補給工程(F工程)をさらに含む請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
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