JP2006321007A

JP2006321007A - 放電加工機用電源装置及びワイヤ放電加工装置

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Publication number: JP2006321007A
Application number: JP2005146352A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Ukai; 佳和鵜飼; Serkan Cetin; チェティンセルカン; Takashi Hashimoto; 隆橋本; Kazuji Nakamura; 和司中村
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2005-05-19
Filing date: 2005-05-19
Publication date: 2006-11-30
Anticipated expiration: 2025-05-19
Also published as: JP5044898B2

Abstract

【課題】短パルスを出せるようにすることで面粗さを小さくし、平均電圧を零Ｖに維持することで電解作用を抑制し、高精度で良質な面を効率よく加工できる放電加工用電源を得る。
【解決手段】被加工物と放電加工用電極との間の極間に所定のパルス電圧を印加するための放電加工用電源装置において、電源と、予め定められた周期でオンオフ動作するスイッチ手段と、電源及びスイッチ手段と直列に接続されたインダクタンス素子と、を備え、インダクタンス素子の両端が、被加工物、放電加工用電極と電気的に接続され、スイッチ手段オン時には、電源と接続されることによりエネルギーがインダクタンス素子に蓄積され、スイッチ手段オフ時には、インダクタンス素子に蓄えられたエネルギーを逆誘導起電力に基づき、極間に供給する。
【選択図】図２

Description

この発明は、電極と被加工物との間に放電を発生させて被加工物の加工を行う放電加工装置に係り、特に放電加工間隙に加工電力を供給する放電加工用電源装置に関するものである。

放電加工は金型等の加工技術として確固たる地位を築いており、自動車産業及び半導体産業等の金型加工の分野で多用されている。
近年、高精度で面粗さが小さく、良質な面の加工性能が求められてきているが、特にワイヤ放電加工装置は加工液として水を使用するため、電解作用による欠落現象が発生するという問題がある。
このため、正負両極性のパルス電圧を印加し、極間の平均電圧を零にしながら加工を行い、電解電流による加工面の精度低下、電食防止を実現するための方法が提案されている。

正負両極性のパルス電圧を印加する従来の放電加工用電源装置では、各辺にスイッチング素子を用いてブリッジ回路を構成し、対向する辺の素子を同期してオンオフし、両対を交互にオンオフさせることにより正負両極性の電圧を印加している。
そして、正負両極性の印加電圧を同一にし、且つ印加時間を同一にする、または平均電圧を検出する回路を設けて印加時間を調整し平均電圧を制御することで平均電圧を零ボルトにし、電食を防止していた。（特許文献１参照）。

また、回路上正極性より負極性の方が大きな抵抗値を用い、逆極性による加工を行い面粗さを小さくする加工も提案されている。（特許文献２参照）
そして該技術では、極性の偏りを排除するため、極間に並列にＬを挿入することで給電線のキャパシタンスの影響を排除し、給電線の浮遊キャパシタンスとＬＣ並列共振させることにより、平均電圧を零ボルトにしている。

また、交流高周波による加工は、平均電圧を零ボルトにしながら一発の半波放電毎に極性が交替することにより放電面が小さくなることが知られている。

特許第３６２７０８４号公報（第１２頁、第９図）特開平１１−３４７８４２公報（第８頁、第４図）

上記のような従来の放電加工用電源装置では、平均電圧を零ボルトに制御することで電解作用は抑えることができたが、加工面の面粗さは、一般的に放電加工においては、印加パルスのエネルギーの大きさに比例して面が粗くなるため、面粗さを小さくするために極間とスイッチング素子の間に抵抗器を設けエネルギーを小さくする、または印加電源電圧の電圧を小さくすることにより面粗さを小さくしていた。
抵抗器を設けた電源装置においては、極間の電圧の立ち上がり時間が長くなるため、パルス印加時間を短くすることができずパルスエネルギーが大きくなったり、放電の周波数を上げられず加工速度が速くならないという問題点があった。
また、印加電源電圧の電圧を小さくするためには、電源自体を所望の電圧に合った専用の電源を設けなければならず、製造コストを低減することができない。

さらには、上述のように電解作用を抑えるために、２つの直流電源を用いたり、印加時間を制御するために平均電圧の検出回路を設けたりする必要があり、回路規模が大きくなるなどの問題点を有していた。

また、交流高周波の加工においては極間のキャパシタンスが加工間隙や加工状態等により変化しインピーダンスが変化するため、整合ずれにより出力が変動し加工が不安定なものになる。そのため、極間との間にＬやＣを並列または直列に接続することによりインピーダンス整合を行い安定化させていたが、回路規模が大きくなる、加工状態に合わせた調整などの問題点を有していた。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたもので、短パルスを出せるようにすることで面粗さを小さくし、平均電圧を零Ｖに維持することで電解作用を抑制し、高精度で良質な面を効率よく加工できる放電加工用電源を得ることを目的としている。

この発明に係る被加工物と放電加工用電極との間の極間に所定のパルス電圧を印加するための放電加工用電源装置において、電源と、予め定められた周期でオンオフ動作するスイッチ手段と、上記電源及びスイッチ手段と直列に接続されたインダクタンス素子と、を備え、上記インダクタンス素子の両端が、上記被加工物、放電加工用電極と電気的に接続され、上記スイッチ手段オン時には、上記電源と接続されることによりエネルギーがインダクタンス素子に蓄積され、上記スイッチ手段オフ時には、上記インダクタンス素子に蓄えられたエネルギーを逆誘導起電力に基づき、上記極間に供給するものである。

この発明によれば、放電加工間隙に短パルスを印加して加工することが可能であり、平均加工電圧を零Ｖとし電解作用による欠落現象が発生しないので、より良質な加工面を得ることができる。

実施の形態１．
図１は、本実施の形態１に係る放電加工装置の構成を示す図である。
ワイヤ放電加工装置は、テーブル３上に載置された被加工物２と、ワイヤ電極１との間で所定電圧を間歇的に印加することにより被加工物を溶融除去し、この溶融除去時にＸ軸及びＹ軸駆動モータ４ｘ、４ｙによりテーブル３を駆動することにより、所定形状に加工される。
また、加工に際しては、第２の加工用電源５によって荒加工等を行い、第１の加工用電源６によって仕上げ加工等が行われる。
数値制御装置７は、内部に格納されるＮＣプログラムに基づき、パルス制御回路８に指令を与え、加工時に使用される第２の加工用電源５、第１の加工用電源６の給電をスイッチ９により切り換えたり、印加電圧、パルス電圧印加のタイミングを指令すると共に、Ｘ軸及びＹ軸駆動モータ４ｘ、４ｙを制御する軸駆動制御装置１０に指令を与え、所定形状の加工を行わせる。
そして、パルス制御回路８は、第２の加工用電源５及び第１の加工用電源６内部のスイッチング素子をオンオフすることにより、ワイヤ電極１と被加工物２間に印加されるパルス電圧を制御する。

図２は、仕上げ加工等に用いられる第１の加工用電源６の構成を示す回路構成図である。
図において、１１は可変可能な直流電源、1２、１３はパルス制御回路８に基づきオンオフ動作するスイッチング素子、１４はインダクタンス素子、１５、１６は０Ωまたは可変可能な抵抗素子、１７、１８はケーブルを介してワイヤ電極１と被加工物２へ接続される出力端子である。
直流電源１１の正側出力は、スイッチング素子１２、抵抗素子１５を介してインダクタンス素子１４と接続され、インダクタンス素子１４のもう一方の側は、抵抗素子１６、スイッチング素子１３を介して直流電源１１の負側に接続される。
スイッチング素子１２、１３のゲートはパルス制御回路８と接続されており、スイッチング素子１２、１３はパルス制御回路８の発生するパルス信号にあわせてオン、オフする。

図３は、パルス信号と出力端子１７、１８に現れる電圧・電流波形を示す動作説明図である。
期間τ１はインダクタンス素子に蓄積するエネルギーをコントロールするための時間であり、スイッチング素子１２、１３がオンし、インダクタンス素子１４に電流Ｉが流れ、エネルギーＥが蓄えられる。

このときインダクタンス素子１４に蓄えられるエネルギーＥは、スイッチング素子１２、１３の印加時間（τ１期間）の積分となることから、印加時間を制御することによって可変にできる。
なお、Ｌはインダクタンス素子１４のインダクタンス、Ｉはインダクタンス素子１４を流れる電流である。

また印加中における出力端子１７、１８に現れる電圧Ｖは、
Ｖ＝ＩＲ＝ωＬＩ・・・（２）
で表され、インダクタンス素子１４の抵抗値Ｒ_Ｌに対し、出力端子（≒放電間隙）の抵抗値Ｒ_gは、０≒Ｒ_Ｌ≪Ｒ_ｇであるため、スイッチング素子オン時に出力端子１７、１８間にはほとんど電圧が現れない。

次に、期間τ２は、インダクタンスＬへの充電が継続的に行われないようするために設けられた休止時間である。
そして、スイッチング素子１２、１３がオフされると同時に電流が瞬時に遮断されることにより、今まで印加した方向と逆方向に逆誘導起電力（開閉サージ）が発生し、インダクタンス素子１４に蓄えられたエネルギーＥが一気に放出され、印加パルス幅（τ１）より短く、印加電圧よりも高い電圧のサージ電圧Ｖが現れる。
ここで、サージ電圧Ｖに基くエネルギーは、インダクタンス素子に蓄積されたエネルギーと同じであることから、インダクタンス素子に蓄積されるエネルギーＥを大きくする、すなわち、インダクタンス素子への印加時間（τ１期間）を長くすることで、逆誘導起電力の電圧（極間への印加電圧）を大きくすることができる。
なお、パルス幅については、出力端子間の負荷インピーダンスにより定まり、負荷により変化する。

例えば、印加電圧25Ｖにおいて、抵抗値０Ωを用いてインダクタンス値約700nHのインダクタンス素子に200nsのパルス（τ１期間）でエネルギーを蓄積すると、約80nsのパルス（τ２期間）で約100Ｖ/20Ａの逆誘導起電力のパルスが発生する。
そして、φ0.2真鍮ワイヤで板厚20mmの仕上げ加工を行った場合、約1μｍ以下の加工面粗さを得ることができた。

また、サージ電圧Ｖは、スイッチング素子のオフに要する時間ｄｔ（パルス電圧立下り時間：図４参照）、該ｄｔにおける電流の変化量ｄＩとすると、

で現される。
すなわち、電源電圧を同じとした場合において、式(3)に示すようにスイッチング素子のオフに要する時間ｄｔは短ければ短いほど、または、抵抗素子１５、１６の抵抗値Ｒが０Ωまたは０Ωに近ければ近いほど、電流値Ｉ（＝Ｖ／Ｒ）は大きくなる。
すると、電流の遮断時の変化量ｄＩが大きくなるため、いずれの場合も、ｄＩ／ｄｔを大きくすることができ、式(3)より高い電圧を得ることができる。

換言すれば、エネルギーＥは、印加時間τ１に応じて高くなり、スイッチング素子のオフに要する時間が短いほど、または、回路中の抵抗が低いほど電圧が高くなることから、所望のパルス電圧をスイッチング素子のオン時間、抵抗で可変とすることができ、また、スイッチング素子を選ぶことで、パルス電圧を選択することができる。

このことにより、小さな電源電圧においても放電発生可能な電圧のパルスを極間に印加することができ、従来の回路に比べ約１／４の電源電圧で従来と同電圧のパルスを供給することができる。
また、本回路を用いて加工を行った場合には、インダクタンス素子１４は磁束の増加分と減少分が等しくなるように働くため平均電圧は零ボルトとなり電解作用を抑えた加工が可能となる。
よって従来のようなスイッチング素子でフルブリッジ回路を構成し両極性に電圧を印加しなくてもよく、回路構成が簡略化できる。

また、スイッチング素子は１２、１３どちらか一方をオンしたままの状態またはスイッチング素子のない状態で、もう一方のスイッチング素子をオンオフさせた場合においても、インダクタンス素子へのエネルギー蓄積、電流の遮断は可能であるため、同様の高電圧パルスを得ることができる。
この場合、スイッチング素子をなくすことで、ハードウェア構成が簡略化し、製造コストが低減できる。
その他、スイッチング素子の片方が繋がっていると、完璧までの電流遮断が実施されないため放電時に微妙にエネルギー供給が行われ加工能力が上がる。

また、図５に示すようにスイッチング素子１２，１３それぞれを、並列に並べたスイッチ群で構成し、スイッチ群の各スイッチをＡ→Ｂ→Ｃ→Ａ→・・・のようにサイクリックにオンオフ動作させることにより、単位時間あたりのスイッチング１素子あたりの負荷を軽減することが可能である。
そのスイッチング素子の負荷を低減することで、スイッチング素子の発熱による休止時間を設定する必要がなくなり、より高速に、電源電圧が高い電圧の状態または回路に流れる電流が大きい状態においても動作させることができる。
そして、休止時間には、素子破壊保護のための時間を有しているが、素子をサイクリックに回すことで、Ａ、Ｂ、Ｃそれぞれの間の時間は素子破壊保護の時間を含めなくて良くなり、１素子あたりの素子破壊保護時間分の休止時間を短くでき、発生パルスの周波数が上がり、放電効率、加工効率があがる。

さらには、図６に示すようにインダクタンス値の異なるインダクタンス素子１４ｃ、１４ｄを並べ、インダクタンス値Ｌ１、Ｌ２をスイッチまたはスイッチング素子により切替可能にすることで、インダクタンス素子に蓄えられるエネルギーを可変にすることができる。
ここで、インダクタンス素子に蓄えるエネルギーが変わるということは、発生する電圧Ｖを可変とすることを示し、加工状態に応じて切り替え、例えば短絡気味の時には小さいＬ値、オープン気味の時には大きいＬ値とすることで、放電頻度やワイヤの断線を防止することが可能となる。

次に、期間τ３は休止時間であり、τ３を設けることによりワイヤ放電加工機においては極間へのパルス電圧印加による静電引力、放電発生に伴う放電反力によって引き起こされるワイヤ電極の振動が収束する時間待機する、または、単位時間当たりの静電引力と放電反力を釣り合わせることが可能になり、より形状精度、真直精度の高い高精度な加工が可能となる。
ここで、τ３の挿入は、１発のパルス毎に挿入する、もしくは、それぞれの力が釣り合うように何発かのパルスを繰り返した後にτ３を設けても良く、また０であっても構わない。
さらには、期間τ４を設けることによりパルス電圧の印加繰り返しによる放電発生時のアークの継続による面粗さの悪化を防ぐようにする。
なお、τ４もτ３同様、１発のパルス毎に挿入する、もしくは何発かのパルスを繰り返した後にτ４を設けても良く、また０であっても構わない。τ１からτ４のそれぞれの時間は任意に設定が可能であるものである。
なお、本実施の形態においては規定された周期でのみ動作させているが、τ１乃至τ４までの一連の時間幅は、加工状況に応じて任意に変更することも可能である。
例えば、放電周波数の観測や極間電圧（ピーク電圧、平均電圧など）の観測結果などから放電状態を把握し、τ３、τ４といった休止時間を調整してもよい。
これにより加工状態、加工環境が変化しても最適な加工をおこなうことができる。

本実施の形態によれば、電源電圧が小さくても、インダクタンス素子の逆誘導起電力を利用するため、従来と同様の極間電圧を得ることができる。
すなわち、電源容量を小さくすることができ、電源装置の低コストが可能となる。
また、１パルスのエネルギーは、式(1)より印加電圧と印加時間に比例するため、電源電圧が小さくて済むということはエネルギーを小さくすることでもあり、より面粗さの細かい加工を行うことができる。
さらに、発生電圧パルスは短いため、周波数を高くすることが可能となるため、放電頻度を高くすることができ、加工量が増え加工速度を上げることが可能である。
例えば、φ0.1mm以下の細線ワイヤを使用した荒加工では、投入エネルギーが大きくなるとワイヤが断線するため、エネルギーを小さく、放電頻度が上がることにより加工速度の向上がおこなえる。
また、平均電圧を零ボルトとすることができるため電解作用を抑えた加工も可能である。
さらには、休止時間を設けることによりワイヤ放電加工機に用いた場合の極間におけるワイヤ振動を抑制し、より形状精度の高い加工を行うことができる。

実施の形態２．
図７は、本実施の形態２に係る放電加工装置を示す構成図である。
本実施の形態では、実施の形態１に対しスイッチング素子１２、抵抗素子１５とインダクタンス素子１４の間から０Ωまたは可変可能な抵抗１９と整流素子２０を介して直流電源１１の負側に接続された第１の回生回路と、スイッチング素子１３と、抵抗素子１６とインダクタンス素子１４の間から０Ωまたは可変可能な抵抗２１と整流素子２２を介して直流電源１１の正側に接続される第２の回生回路を設けたものである。

本実施の形態において、スイッチング素子１２、１３がオンとなる場合の動作については、上述した実施の形態１と同様である。
しかしながら、スイッチング素子１２、１３がオフとなる場合（τ２期間）、インダクタンス素子１４に蓄積されたエネルギーが逆極性の電圧となり、インダクタンス素子１４、抵抗２１、整流素子２２、電源電圧１１、整流素子２０、抵抗１９といった向きで電流が流れ、パルス発生時の電流を電源側へ回生することが可能となる。
そのため、制御パルス信号の時間を短くすることなく出力端子側へ流れるエネルギーを小さくすることができる。
このとき抵抗素子の値は大きいほど電圧は高くなり、小さいほど電流が小さくなる。

また、回生回路は、抵抗２１、整流素子２２からなる第２の回生回路の一方の構成でも、スイッチング素子16はオフし12のみをオンしておくことによりエネルギーを２１、２２、１２、１５のループを用いてバイパスさせ抵抗消費、または抵抗１９、整流素子２０からなる第１の回生回路の一方の構成でも、スイッチング素子１２はオフし１６のみをオンしておくことによりエネルギーを１６、１３、２０、１９のループを用いてバイパスさせ抵抗消費させることで、同様の効果を得ることができる。
さらに、インダクタンス素子１４と抵抗１９、インダクタンス素子１４と抵抗２１のそれぞれの間にスイッチを設け、切り替えることにより、図２、図７に示す回路を切り替えて一つの回路内に形成することも可能である。
これは、加工にパワーがいるとき（板厚が厚い、加工量いる、加工速度がいる）にはスイッチオフして回生回路を切り離し、加工面を細かくしたい時には回生回路をオンすることで実現できる。
ここでのタイミング、１stカット、２ndカットの加工条件は、ＮＣによって指令される。

回生回路の存在により、回生分のエネルギーが低下し、図２の回路において電源電圧を下げることと等価となる。
図２では加工に必要なパワーの種類（範囲）を採ろうとすると、電源電圧の可変幅を大きく取る必要があるが、回生回路挿入でパワーの小さい部分＝電源電圧の低い部分をカバーできることになると、下の方（範囲）の電源電圧を出力する必要はなくなるので電源を小さいものにすることができる。
また、回路に入っている４箇所とも抵抗値を可変すれば、組合せで全範囲をカバーできるようになるので電源側の電圧は単一電源でも良くなり、コストダウンが図れる。
すなわち、本実施の形態によれば、回生分へエネルギーを分配することが可能であるため、実施の形態１と比べて同一電源電圧、制御パルス信号を用いた場合でもエネルギーを小さくすることが可能であり同様の効果を得ることができる。

実施の形態３．
図８は、本実施の形態３に係る放電加工装置を示す構成図である。
実施の形態１、２で示す図２の回路では、放電頻度を上げるため高電圧パルスを連続的に発生させようとすると、τ２、τ４とτ１を重なるように詰めていく必要がある。
すると、Ｌへのエネルギーの蓄積が連続的に行われることになり、スイッチング素子のオフ時の変化量ｄＩ／ｄｔが緩やか、または発生しなくなり、パルスに高いサージ電圧が発生しなくなる。
そのため、インダクタンス素子への電圧印加が連続的に行われないように休止期間τ２を設ける必要があった。

そこで、本実施の形態では、インダクタンス素子１４ａ、１４ｂの出力側にスイッチング素子２３、２４、２５、２６を設け、スイッチング素子１２ａ、１３ａと１２ｂ、１３ｂを交互にオンオフし、スイッチング素子１２ａ、１３ａオン時にはスイッチング素子２３、２５はオフ、スイッチング素子２４、２６はオンとすることでインダクタンス素子１４ａにエネルギーを蓄積し且つインダクタンス素子１４ｂからサージ電圧が供給されるようにしたものである。
また、スイッチング素子１２ｂ、１３ｂオン時にはスイッチング素子２３、２５はオン、スイッチング素子２４、２６はオフとすることでインダクタンス素子４ｂにエネルギーを蓄積し且つインダクタンス素子１４ａからサージ電圧が供給される。
その結果、１つのインダクタンス素子に連続的に印加されなくなり、それぞれにエネルギーの蓄積が可能となりより高速にパルスを繰り返し供給ができるようになる。
また、スイッチング素子２３、２４、２５、２６の代わりにコンデンサを用いてもよく、このコンデンサの値は発生したパルス幅の短い電圧パルス（高周波成分パルス）が通過可能でかつ電源電圧印加時の直流の成分がカット可能な約１μＦ以上の大きな値のものとすることでも同様の効果を得ることができる。

本実施の形態によれば、高電圧パルスを連続的に発生することが可能となり放電頻度をあげ、加工効率２倍以上に上げることが可能となり、加工時間を短縮できる。
また、細線においては荒から仕上げまで高速化が可能となる。

実施の形態４．
図９は、本実施の形態４に係る放電加工装置を示す構成図である。
本実施の形態では、実施の形態１、２、３のような回路構成において、出力端子１７、１８と第２の出力端子１７ａ、１８ａの間にスイッチ２７ａ、２７ｂを設けることによりスイッチ２７ａをオン、２７ｂをオフしたときは図２に示すようなパルスを得て、スイッチ２７ａをオフ、２７ｂをオンしたときは正負の極性が逆となるパルスを得ることができるようにしたものであり、加工条件によって切り替えられる。
一般論として、得られる加工面粗さは、ワークから電極を見たときに正極性（負電圧）の方が逆極性（正電圧）より粗くなることから、面を細かくしたい時は逆極性（正電圧）とすることが可能となる。
スイッチの代わりにスイッチング素子を用いた場合はさらに早く動作させることができるようになり、正負のパルスを交互に発生させることも可能となり、放電状態により切り替えたり、実施の形態３の回路と組み合わせることにより、高速にパルスを生成することが可能となる。

本実施の形態によれば、放電発生のための電圧印加方向を切り替えられ、放電状態により印加方向が切り替え可能となり、加工品質を上げることができる。

本発明は実施形彫放電加工用電源等についても広く適用できるものであり、同様の効果を得ることができる。

以上のようにこの発明に係る放電加工用電源装置は、特に高品質な加工物を得る装置として用いられるのに適している。

実施の形態を示す放電加工装置の構成図である。放電加工用電源装置の回路構成図である。回路構成図におけるパルス制御信号及び電圧・電流波形を示す図である。スイッチング素子の立下りを示す図である。スイッチ群の構成を示す図である。別の構成を示す放電加工用電源装置の回路図である。実施の形態２を示す放電加工用電源装置の回路図である。実施の形態３を示す放電加工用電源装置の回路図である。実施の形態４を示す放電加工用電源装置の回路図である。

符号の説明

１ワイヤ電極、２被加工物、５第２の加工用電源、６第１の加工用電源、７数値制御装置、８パルス絵制御回路、９スイッチ。

Claims

被加工物と放電加工用電極との間の極間に所定のパルス電圧を印加するための放電加工用電源装置において、
電源と、
オンオフ動作するスイッチ手段と、
上記電源及びスイッチ手段と直列に接続されたインダクタンス素子と、
を備え、
上記インダクタンス素子の両端が、上記被加工物、放電加工用電極と電気的に接続され、上記スイッチ手段オン時には、上記電源と接続されることによりエネルギーがインダクタンス素子に蓄積され、上記スイッチ手段オフ時には、上記インダクタンス素子に蓄えられたエネルギーを逆誘導起電力に基づき、上記極間に供給することを特徴とする放電加工用電源装置。
スイッチ手段によるオフ動作時間をオン動作時間より長くすることを特徴とする請求項１に記載の放電加工用電源装置。
スイッチ手段によるオフ動作時間後、所定時間τ３の休止時間を設けることを特徴とする請求項１に記載の放電加工用電源装置。
スイッチ手段のオンオフ１周期のスイッチングにより、極間電圧波形を１周期以上正負反転させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工用電源装置。
スイッチ手段は、複数のスイッチを並列に並べたスイッチ群で構成し、スイッチ群の各スイッチをサイクリックにオンオフ動作させることにより、単位時間あたりのスイッチング１素子あたりの負荷を軽減させることを特徴とする請求項１〜４何れかに記載の放電加工用電源装置。
インダクタンス素子は、インダクタンス値の異なるインダクタンス素子を複数並べて配置し、インダクタンス値を加工条件に応じて切り替えることを特徴とする請求項１〜５何れかに記載の放電加工用電源装置。
インダクタンス素子に並列に、スイッチング素子を含むエネルギー流出回路を設け、前記インダクタンス素子に蓄積されたエネルギーをエネルギー流出回路で一部消費することを特徴とする請求項１〜６何れかに記載の放電加工用電源装置。
エネルギー流出回路は、電源と接続されており、インダクタンス素子に蓄積されたエネルギーを上記電源に回生することを特徴とする請求項７に記載の放電加工用電源装置。
スイッチ手段、インダクタンス素子からなる電源部を、極間に対して複数並列接続し、所定のタイミングで、上記電源部の上記極間への接続を切り替えることを特徴とする請求項１〜８何れかに記載の放電加工用電源装置。
電源部のスイッチ手段は、スイッチ手段オン時に極間から切り離し、スイッチ手段オフ時に上記極間に接続するように上記電源部の極間への接続を切り替えることを特徴とする請求項９に記載の放電加工用電源装置。
インダクタンス素子両端から被加工物、放電加工用電極に電気的に接続するための出力端子と、上記被加工物、放電加工用電極との間に、第二のスイッチ手段を設け、該第二のスイッチ手段を切り替えることで、正負両極性のパルスを上記極間に供給することを特徴とする請求項１〜１０何れかに記載の放電加工用電源装置。
被加工物と、放電加工用ワイヤ電極との極間に所定のパルス電圧を印加して加工を行うワイヤ放電加工装置において、
電源手段と、予め定められた周期でオンオフ動作するスイッチ手段と、上記電源及びスイッチ手段と直列に接続されたインダクタンス素子と、を備え、上記インダクタンス素子の両端が、上記被加工物、放電加工用ワイヤ電極と電気的に接続され、上記スイッチ手段オン時には、上記電源と接続されることによりエネルギーがインダクタンス素子に蓄積され、上記スイッチ手段オフ時には、上記インダクタンス素子に蓄えられたエネルギーを逆誘導起電力に基づき、上記極間に供給する放電加工用電源を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。