JP2006319328A - プラズマに基づく短波長放射線の生成におけるデブリの抑制のための方法および装置 - Google Patents
プラズマに基づく短波長放射線の生成におけるデブリの抑制のための方法および装置 Download PDFInfo
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- G03F7/70033—Production of exposure light, i.e. light sources by plasma extreme ultraviolet [EUV] sources
Abstract
【解決手段】緩衝ガス5が、放射線を通過させるために設けられる開口部に対して横方向に、デブリフィルタのフィルタ構造の内側に注入されることで達成される。フィルタ構造はプラズマ1の方向および放射線の伝播方向において流れ抵抗を生成し、真空室における圧力に対して、緩衝ガス5の増大したガス圧力がデブリフィルタの所定の体積層に制限されたままであり、デブリフィルタのフィルタ構造から出る緩衝ガス5は真空ポンプによって真空室から吸引される。
【選択図】図3
Description
a)スパッタリングによって光学面に損傷を及ぼす高速の高エネルギの原子粒子/イオン(エネルギは通常1〜10keVである);
b)光学面に堆積することができる低速粒子(通常のエネルギは5000K未満の温度または1eV未満に対応する);
c)電極材料による大きな巨視的粒子。
緩衝ガス供給線を通るガスの質量流量、
真空ポンプ(図4にのみ示す)の吸引力および
ブレード構造のコンダクタンス(流れ抵抗の逆数)
によって与えられる。
2 中間焦点
3 集光光学系
31 光軸
32 集光ミラー
4 デブリフィルタ
41(任意の)フィルタ構造
42、42’ ブレード構造
43 ブレード
44 支持リング
45 中央隔膜
46 隔膜カップ
47 電気レンズ
48 円錐ポケット孔
49 摺動ガイド
5 緩衝ガス
51 緩衝ガスノズル
52 中間空間
53 フィルタプレート
54 フィルタプレート
55 ガスセル
56 六角形構造
57 チャネル
58 細長い孔
59(パルス)弁
6 真空室
61 真空ポンプ
62 (デブリフィルタの前の)副室
63 (放電室から流れ出る)緩衝ガス
64 出口開口部
65 吸引ポンプ
7 冷却回路
71 冷却構造
8 センサ
Claims (49)
- プラズマに基づく短波長放射線源におけるデブリを抑制するための方法であって、源位置としての前記プラズマから真空室内に放出された前記短波長放射線は、この放射線が中間焦点に放射線を集束するための集光光学系に達する前に、少なくとも1つの機械的なフィルタ構造を有するデブリフィルタによって案内される、方法において、
緩衝ガス(5)が、前記放射線を通過させるために設けられる開口部に対して横方向に、前記デブリフィルタの前記フィルタ構造の内側に注入され、そこで前記フィルタ構造(41)は前記プラズマ(1)の方向および放射線の伝播方向にて流れ抵抗を生成し、前記真空室(6)での圧力に対して、緩衝ガス(5)の増大したガス圧力が前記デブリフィルタ(4)の所定の体積層(52;55)に制限されたままであり、前記デブリフィルタ(4)の前記フィルタ構造(41)から出る前記緩衝ガス(5)は真空ポンプ(61)によって前記真空室(6)から吸引されることを特徴とする方法。 - 前記緩衝ガス(5)は、2つのフィルタ構造(42、42’)の間の中間空間(52)に注入されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記緩衝ガス(5)は、収縮チャネル(57)を有する2つのフィルタ構造(53、54)の間の中間空間(55)に注入され、前記収縮チャネル(57)は前記プラズマ(1)から放出される前記放射線のために適切に形成される開口部であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- さらなる緩衝ガス(63)が、前記デブリフィルタ(4)の前の副室(62)に向けられることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記副室(62)は、前記プラズマ(1)を生成するための前記放電室から流出する残留ガスで充填され、一定の割合の緩衝ガス(63)を含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記フィルタ構造(41;42、42’;53、54)に通って前記副室(62)から流れ出る前記緩衝ガス(63)を最小限に抑えるために、前記緩衝ガス(63)は前記副室(62)から前記真空室(6)に出口開口部(64)を通って吸引されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記副室(62)の所定のガス圧力を10Pa程度に調整するために、前記緩衝ガス(63)は、個別の吸引ポンプ(65)によって所定の態様で吸引されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記緩衝ガス(5)は前記デブリフィルタの中央隔膜(45)に導入され、前記隔膜(45)の腐食を防止することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのフィルタ構造(41;42、42’;53、54)を通って前記真空室に流れこむ前記緩衝ガス(5)の結果として、前記デブリフィルタ(4)にて連続低下する前記緩衝ガス(5)の前記圧力が、前記パルス放射線生成に同期して前記フィルタ構造(41;42、42’;53、54)への緩衝ガスのパルス流入のバーストによって増大されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- プラズマに基づく短波長放射線源におけるデブリの抑制のための装置であって、少なくとも1つの機械的なフィルタ構造を有するデブリフィルタが、真空室にて、中間焦点にて放射線を集束するための集光光学系の前で、前記放出される短波長放射線の源位置として前記プラズマの間に配置されている、装置において、
緩衝ガス(5)を前記フィルタ構造(41)に注入するための入口ノズル(51)が、前記放射線の通過用に設けられる開口部に対して横方向に、前記デブリフィルタ(4)の前記フィルタ構造(41)の内部に配置され、前記フィルタ構造(41)が前記プラズマ(1)の方向および前記放射線の伝播方向にて流れ抵抗を有し、前記デブリフィルタ(4)の所定の体積層が前記真空室(6)での圧力に比べて、前記緩衝ガス(5)の増大したガス圧力を有することと、
前記真空室(6)を真空にするための少なくとも1つの真空ポンプ(61)がまた、前記デブリフィルタ(4)の前記フィルタ構造(41)から出る前記緩衝ガス(5)を吸引するために設けられることを特徴とする装置。 - 前記デブリフィルタ(4)は、少なくとも1つのブレード構造(42;42’)を有することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)は、前記集光光学系(3)の光軸(31)に対して半径方向に向けられる近くに隣接するブレード(43)と、前記源位置に向かって円錐形状に向けられる前記ブレード(43)用の少なくとも2つの支持リング(44)と、を有することを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)は、支持リング(44)の異なる組の間に異なる量の半径方向に向けられたブレード(43)を有し、ブレード(43)の前記量は前記光軸(31)から外側に増大することを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)は、少なくとも2組の支持リング(44)を有し、外側に向かって遠い方に位置する1組の支持リング(44)の間のブレード(43)の前記量は内側に向かって最も近い組の支持リング(44)の間のブレード(43)の数より大きいことを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)は、中間空間(52)に緩衝ガスを注入するために、その間に位置する平行な体積層を備えた2つのフィルタ構造(42、42’)を有することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記フィルタ構造(42、42’;53、54)は、放射線の通過用の前記開口部の減少した直径のために、前記緩衝ガス(5)に関してより大きな流れ抵抗を有することを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 前記フィルタ構造(42、42’;53、54)は、前記プラズマ(1)から前記放射線の方向にてより小さな構造深さ(l)を有し、前記フィルタ構造(42、42’;53、54)の間に緩衝ガスの同程度の供給を維持しながら、より高い緩衝ガス圧力を調整することができ、その結果、減少した構造深さ(l)は、デブリ粒子経路および緩衝ガス密度の積の減少を生じることもフィルタ作用を減じることもないことを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 少なくとも1つのフィルタ構造(41)は、比較的近くに隣接する支持リング(43)を有する密接ブレード構造(42)として構成され、前記フィルタ構造(42、42’)は略四角形のチャネル(57)を有することを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 少なくとも1つのフィルタ構造(41)はフィルタプレート(53;54)として構成され、前記フィルタプレート(53;54)に適切に配置される孔(57;58)は、前記プラズマ(1)から放出される前記放射線の通過用の開口部として導入されることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 少なくとも1つのフィルタ構造(41)は、穿孔を有する六角形構造(56)として構成されることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 少なくとも1つのフィルタ構造(41)はフィルタプレート(53;54)として構成され、半径方向に向けられる複数の細長い孔(58)は前記フィルタプレート(53;54)に導入されることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記フィルタ構造(41)は、円形の中央隔膜(45)を有することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記中央隔膜(45)は、前記プラズマ(1)に向かって開き、緩衝ガス(5)を導入することができる隔膜カップ(46)として構成されることを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記中央隔膜(45)は前記プラズマに向かって開く隔膜カップ(46)として構成され、電気レンズ(47)が荷電粒子、特にエレクトロンを偏向するため前記開口部の周囲に配置されることを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記中央隔膜(45)は固体であり、前記光軸(31)に対して対称に導入される円錐形のポケット孔(48)を備えることを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記ブレード(43)は1つの支持リング(44)にのみ強固に固定され、別の支持リング(44)では摺動式に案内され、反ることなく前記ブレード(43)の熱膨張を可能にすることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記ブレード(43)が強固に固定される前記支持リング(44)に冷却構造(71)が配置されることを特徴とする請求項26に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)の前記フィルタ構造(41)は、冷却回路(7)によって能動的に冷却され、前記緩衝ガス(5)の密度をさらに増大することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)の前記フィルタ構造(41)は、通常の状態で固体であり且つ前記真空室(6)にて少なくとも部分的に気化された状態である材料の凝結温度を上回る最小値で温度が維持されるように、冷却回路(7)によって能動的に冷却されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記フィルタ構造(41)の表面温度が、通常の状態で固体である対象材料の凝結温度を上回るように、温度制御の最小値が調整されることを特徴とする請求項29に記載の装置。
- 前記デブリフィルタ(4)のフィルタ構造(41)は、良好な熱伝導率を有する耐熱材料から構成されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記フィルタ構造(41)は、タングステンおよびモリブデンまたはその合金からなる金属の少なくとも1つから構成されることを特徴とする請求項31に記載の装置。
- 少なくとも1つの弁(59)が、前記デブリフィルタ(4)のフィルタ構造(41)に前記緩衝ガス(5)を注入するために設けられ、当該弁(59)は、前記プラズマ(1)によるパルス放射線生成と同期するようにバーストによって動作されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- バーストによって前記緩衝ガス(5)を注入するための前記パルス弁(59)は、前記プラズマ(1)からの個別の放射線パルスごとに同期されることを特徴とする請求項33に記載の装置。
- バーストによって前記緩衝ガス(5)を注入するための前記パルス弁(59)は、前記プラズマ(1)からの放射線パルスのバーストに同期されるように連続的に作動されることを特徴とする請求項33に記載の装置。
- 高圧下で横方向に前記緩衝ガス(5)を注入するために、前記ブレード構造(42)のブレード(43)の間の間隙への前記緩衝ガス(5)の超音速ノズルジェット膨張に適した入口ノズル(51)が設けられることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 不活性ガス、好ましくは希ガスが緩衝ガス(5)として用いられることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- より高速の流入およびより良好な熱伝導率を達成するために、前記緩衝ガス(5)は、少なくとも重い希ガスおよび軽い希ガスからなる混合物であることを特徴とする請求項37に記載の装置。
- 前記ブレード構造(42)は、帯電したデブリ粒子のさらなる偏向が高電圧パルスを印加することによって行われるように、絶縁構成されることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 前記フィルタ構造(41)は、帯電したデブリ粒子を偏向するための前記フィルタ構造(42)の帯電が前記中央隔膜(45)に当たる自己集束電子ビームによってもたらされるように、絶縁構成されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記ブレード構造(42)は、隣接するブレード(43)を異なる電位によってパルス態様で帯電することができるように、絶縁構成されることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 前記真空室(6)での寄生放電を防止するために、所定の電位が前記フィルタ構造(41)に印加されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- デブリのさらなる削減のために、同様に構成されたデブリフィルタ(4)が前記中間焦点(2)の付近に配置されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 最適なデブリ抑制の監視または制御のための感知センサ(8)が、前記デブリフィルタ(4)の下流に配置されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記センサ(8)は、波長可変水晶共振器を備えたフィルムセンサであることを特徴とする請求項44に記載の装置。
- 前記センサ(8)は、小型質量分析計であることを特徴とする請求項44に記載の装置。
- 前記センサ(8)は、小型飛行時間型分析計であることを特徴とする請求項44に記載の装置。
- 前記センサ(8)は、プラズマ生成または上位のリソグラフィシステムの制御のためのエラーレポートを生成するために設けられることを特徴とする請求項44に記載の装置。
- 前記センサは、アクティブフィルタ変数、好ましくは緩衝ガス圧力、注入角、電圧またはパルス同期などを調整するために設けられることを特徴とする請求項44に記載の装置。
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