JP4881443B2 - 放射システムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 光軸を画定するビームを形成する電磁放射を生成するための放射システムであって、
前記放射システムは、
第1の物質のプラズマおよび前記プラズマ内にピンチを生成するように構成された一対の電極と、
前記光軸に対して所定の球面角で提供される視線から前記電極を遮蔽し、前記視線における前記電極間の中央エリアにアパーチャを提供するように構成され、前記電極からデブリを捕獲するためのデブリ捕獲シールドと、を含み、
前記デブリ捕獲シールドは、
前記ピンチに近接するように、反対の位置に前記電極の長軸に略平行に構成され、複数のプラズマ粒子を中性化するように構成されている流体ジェット
を含み、
前記流体ジェットは、使用中に蒸発するように、水、窒素、アルゴン、ヘリウム、およびそれらのあらゆる組み合わせからなる群から選択される第2の物質を含む固体または流体によって画定されており、隣接する一連の水滴の位置が、前記流体ジェットの動く方向において互いに対してシフトされるように構成された2つ以上の一連の水滴を含む、
放射システム。 - 前記流体ジェットは、接地電位で保つように構成されている導電ジェットである、請求項1に記載の放射システム。
- 前記流体ジェットの動く方向は、前記デブリが動く方向に対して垂直である、請求項1または2に記載の放射システム。
- 前記デブリ捕獲シールドは、前記電極の長軸に略平行に動く可動要素によって提供される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の放射システム。
- 前記可動要素を案内して通過させるための冷媒を含む容器が提供される、請求項4に記載の放射システム。
- 前記デブリ捕獲シールドは小板を含み、小滴間の距離が前記小板における異なる流体ジェット間の距離と略同じになるように構成される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の放射システム。
- 前記小板は、毛管作用によって前記小板から前記デブリを除去する多孔質特性の材料として提供される、請求項6項に記載の放射システム。
- 前記小板の少なくとも一部は、ガスを案内するトラバースを有する、請求項6または7に記載の放射システム。
- リソグラフィ装置であって、
光軸を画定する放射ビームを提供するように構成された放射システムであって、前記放射システムは、
第1の物質のプラズマおよび前記プラズマ内にピンチを生成するように構成された一対の電極と、
前記光軸に対して所定の球面角で提供される視線から前記電極を遮蔽し、前記視線における前記電極間の中央エリアにアパーチャを提供するように構成され、前記電極からデブリを捕獲するためのデブリ捕獲シールドと
を含む、放射システムと、
前記放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構成されたサポートであって、前記パターニングデバイスは、前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付けされた放射ビームを形成することが可能である、サポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分に前記パターン付けされた放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
を含み、
前記デブリ捕獲シールドは、前記ピンチに近接するように反対の位置に前記電極の長軸に略平行に構成され、複数のプラズマ粒子を中性化するように構成されている流体ジェットを含み、
前記流体ジェットは、使用中に蒸発するように、水、窒素、アルゴン、ヘリウム、およびそれらのあらゆる組み合わせからなる群から選択される第2の物質を含む固体または流体によって画定されており、隣接する一連の水滴の位置が、前記流体ジェットの動く方向において互いに対してシフトされるように構成された2つ以上の一連の水滴を含む、
リソグラフィ装置。 - 電磁放射を生成する放射システムの繰り返し速度を改善するための方法であって、
アノードおよびカソードによって画定される放電空間を含む放射システムを提供することと、
第1の物質を前記放電空間に供給することと、
前記第1の物質のプラズマを生成するために前記アノードおよび前記カソードにわたって放電電圧を提供することと、
光軸を画定するビームを形成する電磁放射を生成するために前記プラズマ内にピンチ効果を形成することと、
前記アノードおよび前記カソードからデブリを捕獲するために、前記光軸に対して所定の球面角で提供される視線から前記アノードおよび前記カソードを遮蔽し、前記視線における前記電極間の中央エリアにアパーチャを有するデブリ捕獲シールドを提供することと、を含み、
前記デブリ捕獲シールドは、前記ピンチに近接するように反対の位置に前記電極の長軸に略平行に構成され、複数のプラズマ粒子を中性化するように構成されている流体ジェットを含み、
前記流体ジェットは、使用中に蒸発するように、水、窒素、アルゴン、ヘリウム、およびそれらのあらゆる組み合わせからなる群から選択される第2の物質を含む固体または流体によって画定されており、隣接する一連の水滴の位置が、前記流体ジェットの動く方向において互いに対してシフトされるように構成された2つ以上の一連の水滴を含む、
方法。
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