JP2006314179A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006314179A5
JP2006314179A5 JP2005136371A JP2005136371A JP2006314179A5 JP 2006314179 A5 JP2006314179 A5 JP 2006314179A5 JP 2005136371 A JP2005136371 A JP 2005136371A JP 2005136371 A JP2005136371 A JP 2005136371A JP 2006314179 A5 JP2006314179 A5 JP 2006314179A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
vibration
electrode
signal
driving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005136371A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4794901B2 (ja
JP2006314179A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005136371A priority Critical patent/JP4794901B2/ja
Priority claimed from JP2005136371A external-priority patent/JP4794901B2/ja
Priority to US11/411,111 priority patent/US7365474B2/en
Publication of JP2006314179A publication Critical patent/JP2006314179A/ja
Publication of JP2006314179A5 publication Critical patent/JP2006314179A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4794901B2 publication Critical patent/JP4794901B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2005136371A 2005-05-09 2005-05-09 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法 Expired - Fee Related JP4794901B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005136371A JP4794901B2 (ja) 2005-05-09 2005-05-09 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法
US11/411,111 US7365474B2 (en) 2005-05-09 2006-04-26 Driving system for vibrating type actuator and method of driving vibrating type actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005136371A JP4794901B2 (ja) 2005-05-09 2005-05-09 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006314179A JP2006314179A (ja) 2006-11-16
JP2006314179A5 true JP2006314179A5 (enExample) 2008-06-19
JP4794901B2 JP4794901B2 (ja) 2011-10-19

Family

ID=37393435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005136371A Expired - Fee Related JP4794901B2 (ja) 2005-05-09 2005-05-09 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7365474B2 (enExample)
JP (1) JP4794901B2 (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4756916B2 (ja) * 2005-05-31 2011-08-24 キヤノン株式会社 振動波モータ
US7786648B2 (en) * 2008-08-18 2010-08-31 New Scale Technologies Semi-resonant driving systems and methods thereof
US8304960B2 (en) * 2009-10-29 2012-11-06 New Scale Technologies Methods for reducing power consumption of at least partially resonant actuator systems and systems thereof
JP5429140B2 (ja) * 2010-01-19 2014-02-26 Tdk株式会社 圧電アクチュエータ
JP5765993B2 (ja) * 2011-03-31 2015-08-19 キヤノン株式会社 振動型駆動装置
JP6501487B2 (ja) * 2014-10-27 2019-04-17 キヤノン株式会社 超音波モータ及び超音波モータを用いた駆動装置
JP6478665B2 (ja) 2015-01-30 2019-03-06 キヤノン株式会社 振動体の駆動制御回路、振動体の駆動方法、振動型駆動装置及び撮像装置
US10419653B2 (en) * 2015-06-19 2019-09-17 Canon Kabushiki Kaisha Vibration drive device capable of generating click feeling and image pickup apparatus
EP3435535A1 (en) * 2017-07-25 2019-01-30 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. Kg Method for closed-loop motion control of an ultrasonic motor

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4888514A (en) * 1987-10-16 1989-12-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Driving apparatus for ultrasonic motor
JPH033678A (ja) * 1989-05-31 1991-01-09 Nisca Corp 超音波モータ装置
US5136200A (en) * 1989-07-27 1992-08-04 Olympus Optical Co., Ltd. Ultransonic motor
JP3118251B2 (ja) * 1990-11-21 2000-12-18 ニスカ株式会社 超音波駆動装置及びその方法
JPH07170768A (ja) * 1993-12-14 1995-07-04 Nikon Corp 超音波モータ
JPH07274552A (ja) * 1994-04-01 1995-10-20 Nikon Corp リニアモータ
JPH099655A (ja) * 1995-04-19 1997-01-10 Nikon Corp 振動アクチュエータ及びこれを用いる駆動装置
JPH11178369A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Seiko Instruments Inc 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器
JP4054092B2 (ja) * 1997-09-30 2008-02-27 オリンパス株式会社 アクチュエータ
DE19938954A1 (de) * 1999-08-17 2001-03-08 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Piezoelektrischer Antrieb, insbesondere zur Erzeugung von Rotations- oder Translationsbewegungen, die stetig oder schrittweise erfolgen können
JP4261964B2 (ja) 2003-04-11 2009-05-13 キヤノン株式会社 振動型駆動装置および制御システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105048861B (zh) 压电驱动器以及机器臂
JPS60170474A (ja) 振動波モ−タ
JP5110833B2 (ja) 振動制御装置、及び振動制御方法
JP2006314179A5 (enExample)
JPS6013481A (ja) 振動波モ−タ
JP2005354787A5 (enExample)
JP2010233316A (ja) 超音波モータ
JP4814948B2 (ja) 振動型アクチュエータの制御装置
JP2009089517A (ja) 超音波モータの駆動装置
JP4794901B2 (ja) 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法
JP2006158144A (ja) 駆動装置および駆動方法
JP2000295876A5 (enExample)
CN100566117C (zh) 换能器耦合双向直线超声波电机及其激励方法
JP5893307B2 (ja) 振動型アクチュエータの駆動装置
JP2008236820A (ja) 駆動装置
JP4595453B2 (ja) 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ
JP2006081237A (ja) 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ
JP5153170B2 (ja) 超音波モータの駆動装置およびその方法
JP2001054290A (ja) 弾性表面波モータ
JP2011221308A (ja) 振動型駆動装置
JP2012104077A (ja) フォースフィードバック制御機器
CN100587991C (zh) 线性超声电动机
JP2001258277A (ja) 振動波駆動装置
JP2002218772A (ja) 圧電アクチュエータ
JP3068651B2 (ja) モータ制御装置