JP4054092B2 - アクチュエータ - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 description 43
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 24
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000005375 photometry Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ、より詳しくは、電気−機械エネルギー変換素子を用いたアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気−機械エネルギー変換素子として例えば圧電素子を１つ用いて、２方向の駆動を行うアクチュエータは、従来より種々のものが提案されていて、例えば本出願人による特願平９−１１４２４号に記載のものが挙げられる。
【０００３】
この特願平９−１１４２４号に記載の圧電アクチュエータは、１つの圧電素子にパルス電圧を印加することで振動部材を振動させて、この振動部材に圧接している可動部材を移動駆動可能な圧電アクチュエータにおいて、上記振動部材に第１の共振周波数の振動を発生させるように、上記圧電素子に第１のパルス電圧を印加し、また、上記振動部材に第２の共振周波数の振動を発生させるように、上記圧電素子に第２のパルス電圧を印加することが選択的に可能なパルス制御回路と、上記第１の共振周波数の場合には、上記可動部材を第１の方向へ駆動し、第２の共振周波数の場合には、上記可動部材を第１の方向と異なる第２の方向へ駆動するように、上記発生する振動を可動部材に伝達する駆動伝達手段とを備えたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特願平９−１１４２４号に記載のものでは、振動体と被駆動体とを保持する手段や加圧する手段が記載されていない実施形態もあり、具体的な設計が困難であった。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、振動体と被駆動体を保持することができる簡単な構成のアクチュエータを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、第1の発明によるアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子と、この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより、第１の振動モードによる第１の振動と第２の振動モードによる第２の振動とが選択的に励起される振動体と、この振動体上の、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第１の突起と、この振動体上の、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第２の突起と、上記振動体の第１および第２の突起に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、を具備することを特徴とする。
【０００７】
また、第２の発明によるアクチュエータは、上記第１の発明によるアクチュエータにおいて、上記固定部材が単一の部材からなるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第１の構成例を示すブロック図である。
【００１３】
このアクチュエータは、パルス電圧を出力するパルス発生手段であるパルス制御回路１と、このパルス制御回路１からの出力を印加することにより伸縮動作を行う電気−機械エネルギー変換素子たる圧電素子２と、この圧電素子２の伸縮により振動を発生する振動体たる振動部材３と、この振動部材３に圧接している移動可能な被駆動体たる可動部材４と、この可動部材４の可動方向以外の動きを規制するものであって、上記振動部材３と可動部材４を加圧することにより摩擦力を発生させて可動方向に滑動することのないように固定する固定部材５とを有して構成されている。
【００１４】
図２は、本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第２の構成例を示すブロック図である。
【００１５】
このアクチュエータは、パルス電圧を出力するパルス発生手段であるパルス制御回路１と、このパルス制御回路１からの出力を印加することにより伸縮動作を行う圧電素子２と、この圧電素子２の伸縮により振動を発生する振動部材３と、この振動部材３に対して固定されることにより筒状の形状７を構成する固定部材６と、この筒状の形状７の内部を貫通されることにより、貫通方向以外の動きが規制されて該貫通方向にのみ移動可能となっていて、上記振動部材３および固定部材６との摩擦により貫通方向に滑動することのないように固定されている可動部材４とを有して構成されている。
【００１６】
これら図１または図２に示したような構成の主な作用は、次のようになる。
【００１７】
振動部材３は、少なくとも２つ以上の共振周波数を有している。これらの内の第１の共振周波数を発生させるパルス電圧をパルス制御回路１から圧電素子２に印加すると、振動部材３には該第１の共振周波数の振動が発生する。この振動により、振動部材３と可動部材４が圧接する個所には、第１の方向の力が発生して、可動部材４は第１の方向に移動する。
【００１８】
一方、振動部材３に第２の共振周波数の振動を発生させた場合には、振動部材３と可動部材４が圧接する個所には、第２の方向の力が発生して、可動部材４は第２の方向に移動する。
【００１９】
こうして、パルス制御回路１から圧電素子２に印加するパルス電圧の共振周波数を変化させることにより、異なる振動を振動部材３に発生させて、可動部材４を２方向に駆動することが可能となる。
【００２０】
続いて、より具体的に構成した実施形態について説明する。
【００２１】
図３は本発明の第１の実施形態を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図である。
【００２２】
このアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子たる圧電素子１１を接着した振動体たる振動部材１２を、固定部材１４を用いて被駆動体たる回転部材１３に圧接して構成されている。
【００２３】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材１２の一面に、複数の位置決め突起１２ｅが突設されていて、これらの位置決め突起１２ｅにより挟み込むようにして分極処理を施した略板状をなす圧電素子１１が接着されている。
【００２４】
また、振動部材１２の圧電素子１１が接着されたのと反対側の面には、図３（Ａ）に示すように、上から下に向かって順に４つの突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが突設されていて、これらの内の突起１２ａ，１２ｄは手前側に、突起１２ｂ，１２ｃは向こう側に配列されている。
【００２５】
このような振動部材１２は、略コの字形状をなす固定部材１４により挟み込まれるように保持されていて、この固定部材１４にはさらに、一対のすり鉢状をなす凹部１４ａ，１４ｂが形成されて、これらの凹部１４ａ，１４ｂにより回転部材１３の両端に設けられた先鋭端１３ａ，１３ｂを点受けして挟み込むことにより、該回転部材１３を回動自在に保持している。
【００２６】
この回転部材１３の一端側には例えばはすば歯車１３ｃが回動一体に取り付けられていて、発生した駆動力を他の部材に伝達することができるようになっている。
【００２７】
上記固定部材１４には一対のねじ１５が貫通して螺合されていて、貫通された先端は圧電素子１１に当接している。このねじ１５の螺合量を調節することにより、振動部材１２の４つの突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが回転部材１３の周面に当接するときの押圧力を適切なものに調整することができるようになっている。このときの押圧力としては、振動部材１２に振動が発生していない場合には摩擦力により回転部材１３の不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には回転部材１３を最も効率良く回転させることができるような押圧力に調整される。
【００２８】
次にこのような第１の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００２９】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子１１に印加することにより、該圧電素子１１が伸縮を行って、振動部材１２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材１２に発生する振動が定常波となる。
【００３０】
上記突起１２ａ，１２ｄは、図３（Ａ）に示すように、振動部材１２に発生する定常波が３次の定常波であるときに節になり、５次の定常波であるときに腹となる位置に配設され、上記突起１２ｂ，１２ｃは、振動部材１２に発生する定常波が３次の定常波であるときに腹（節以外となる部分）になり、５次の定常波であるときに節となる位置に配設されている。
【００３１】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起１２ｂ，１２ｃは回転部材１３を押圧するが、突起１２ａ，１２ｄは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材１３は時計周りに回転する。
【００３２】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起１２ａ，１２ｄは回転部材１３を押圧するが、突起１２ｂ，１２ｃは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材１３は反時計周りに回転する。
【００３３】
こうしてこのような第１の実施形態によれば、圧電素子を１つしか用いていないにも関わらず、定常波を発生させる周波数を変えることにより、回転部材を正逆の何れの方向にも回転させることが可能となる。また、回転部材の回転軸を固定する部材と、振動部材を位置決めして保持し加圧する部材とを兼用しているために、アクチュエータの小型化を図ることができる。
【００３４】
なお、上述したような振動部材を、３次や５次の定常波で振動させるべく、圧電素子に高電圧の駆動パルスを印加するための回路は、例えば上記従来例において述べたような、本出願人による特願平９−１１４２４号等に記載された技術を適用することができる。
【００３５】
また、上述では電気−機械エネルギー変換素子として圧電素子を用いていたが、この圧電素子としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）やチタン酸バリウム等を適宜用いることが可能である。
【００３６】
さらに、電気−機械エネルギー変換素子は圧電素子に限るものではなく、例えば電歪素子や磁歪素子を用いることも可能である。例えば、磁歪素子（特に超磁歪素子）を用いて磁力をパルス的に印加して、振動部材を３次や５次に定常振動させても良い。
【００３７】
そして、上述した実施形態においては、分極処理を施した板状の圧電素子を用いたが、これを積層型の圧電素子や、積層型の電歪素子、積層型の磁歪素子を用いても良いことは勿論であり、バイモルフやモノモルフであっても構わない。
【００３８】
加えて、上述では、圧電素子に印加する駆動信号の周波数を選択的に変更することによって、振動部材に励起する振動のモードを（３次と５次との間で）変更していたが、例えば分極方向が異なる複数枚の圧電素子を振動部材に固着して、これら複数枚の圧電素子の内の何れに駆動信号を印加するかを選択することにより、振動部材に励起する振動モードを変更するようにしても良い。
【００３９】
また、上述では、３次と５次との間で振動モードを変更する場合について説明したが、例えば３次と７次との間、５次と７次との間等で振動モードを変更しても良く、変更する振動モードは限定されるものではない。ある周波数で節になり他の周波数で節以外になる位置に突起を配設するとともに、上記ある周波数で節以外になり上記他の周波数で節になる位置に突起を配設して、この突起に移動部材を加圧して固定することができればよい。
【００４０】
突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄにおける回転部材１３との接触部の形状は、回転軸と並行に構成しても良く、また、傾斜した形状やほぼ点接触する形状に構成しても良い。
【００４１】
一方、振動部材や可動部材の材質は、表面を酸化膜処理したアルミニウムや各種の金属、または各種の複合樹脂等のさまざまな材質を、必要な強度や摩擦力を考慮して選択すると良い。
【００４２】
図４は上述した第１の実施形態の変形例を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図である。この変形例において、上述の第１の実施形態と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００４３】
この変形例は、電気−機械エネルギー変換素子として積層型の圧電素子を用いたものである。
【００４４】
振動部材１２Ａには矩形の切欠１２ｆが形成されていて、この切欠１２ｆに積層型の圧電素子１１Ａが嵌入されて、接着剤１７によって固定されている。
【００４５】
なお、この接着剤１７としては、エポキシ樹脂系の接着剤や２液反応型アクリル接着剤等の、接着強度や耐久性が高く、そしてより重要な点として、硬度が高いものを用いている。これは、圧電素子１１Ａで発生した振動が吸収されることなく、つまりエネルギーのロスを可能な限り生じさせることなく、ほぼそのまま振動部材に伝播されることが望ましいためである。
【００４６】
その他の部分については、上記図３に示した構成とほぼ同様である。
【００４７】
次に、このような変形例の作用について説明する。
【００４８】
積層型圧電素子１１Ａに駆動信号を印加することにより、上述した第１の実施形態と同様に、振動部材１２Ａに３次（もしくは５次）の振動モードによる定常波の振動が励起され、これが突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを介して伝達されて、回転部材１３が回転する。そして、振動モードを変更することにより、回転方向を選択することができる。
【００４９】
このような変形例によれば、積層型の圧電素子を用いて、上述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を奏することができる。
【００５０】
図５は本発明の第２の実施形態を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）平面図，（Ｂ）回転部材を取り外した状態の左側面図，（Ｃ）正面図，（Ｄ）右側面図，（Ｅ）底面図である。
【００５１】
この第２の実施形態において、上述の第１の実施形態等と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００５２】
このアクチュエータは、圧電素子１１を接着した振動部材２２を、固定部材１４を用いて回転部材１３に圧接して構成されている。
【００５３】
振動部材２２の圧電素子１１が接着されたのと反対側の面には、図５（Ｂ），図５（Ｃ）に示すように、上から下に向かって順に４つの略三角柱形状をなす突起２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが、回転部材１３の回転軸に対して略４５度の角度をなすように突設されている。
【００５４】
さらに、これらの内の突起２２ａ，２２ｄは互いに略直行する角度をなすような「ハ」の字型、突起２２ｂ，２２ｃも互いに略直行する角度をなすような「ハ」の字型をそれぞれなし、突起２２ａと突起２２ｃの傾斜方向は略並行であって、突起２２ｂと突起２２ｄの傾斜方向も略並行となるように配列されている。
【００５５】
また、上記振動部材２２は、回転部材１３の一端側に固着されたはすば歯車１３ｄに対する逃げ部２２ｆが形成されている。
【００５６】
次にこのような第２の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００５７】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子１１に印加することにより、該圧電素子１１が伸縮を行って、振動部材２２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材２２に発生する振動が定常波となる。
【００５８】
上記突起２２ａ，２２ｂは、図５（Ｃ）に示すように、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設され、上記突起２２ｃ，２２ｄも同様に、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設されている。
【００５９】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を狭める方向の力を回転部材１３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を狭める方向の力を回転部材１３に加える。これにより、回転部材１３は、図５（Ａ）に示すような上側から見た場合に、時計周りに回転する。
【００６０】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を広げる方向の力を回転部材１３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を広げる方向の力を回転部材１３に加える。これにより、回転部材１３は、図５（Ａ）に示すような上側から見た場合に、反時計周りに回転する。
【００６１】
このような第２の実施形態によれば、「ハ」の字型に配置した突起を用いて、上述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を奏することができる。
【００６２】
なお、３次と５次との間で振動モードを変更するに限るものではなく、ある周波数と他の周波数で振幅の仕方が異なる個所に振幅に対して傾くように突起を配設して、この突起に移動部材を加圧して固定することができればよいこと等も、上述の実施形態と同様である。
【００６３】
図６，図７は本発明の第３の実施形態を示したものであり、図６はアクチュエータの構成を示す正面図、図７はアクチュエータの構成を示す左側面図である。この第３の実施形態において、上述の第１，第２の実施形態と同様である部分については説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００６４】
このアクチュエータは、圧電素子３１を接着した振動部材３２を、固定部材３４を用いて回転部材３３に圧接して構成されている。
【００６５】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材３２の一面に分極処理を施した略板状をなす圧電素子３１が接着されている。
【００６６】
このような振動部材３２は、略コの字形状をなす固定部材３４に対して図７に示すように略４５度傾斜して保持されている。すなわち、上記固定部材３４には傾斜凹部３４ｃと波状突起３４ｄが設けられていて、傾斜凹部３４ｃにより振動部材３２の傾斜角度を規定するとともに、波状突起３４ｄは圧電素子３１に当接している。
【００６７】
上記固定部材３４にはさらに、一対のすり鉢状をなす凹部３４ａ，３４ｂが形成されて、これらの凹部３４ａ，３４ｂにより回転部材３３の両端に設けられた先鋭端３３ａ，３３ｂを点受けして挟み込むことにより、該回転部材３３を回動自在に保持している。
【００６８】
この回転部材３３には大径部３３ｃが回動一体に設けられていて、上記振動部材３２の圧電素子３１が接着されたのと反対側の面に押圧力をもって当接するようになっている。このときの押圧力は、振動部材３２に振動が発生していない場合には摩擦力により回転部材３３の不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には回転部材３３を最も効率良く回転させることができるような押圧力である。
【００６９】
次にこのような第３の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００７０】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子３１に印加することにより、該圧電素子３１が伸縮を行って、振動部材３２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材３２に発生する振動が定常波となる。
【００７１】
上記回転部材３３の大径部３３ｃは、図７に示すように、３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ具合の異なる振動部材３２の場所に接している。
【００７２】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材３２が回転部材３３の大径部３３ｃを押圧して、回転部材３３を上側から見て時計周りに回転させる。
【００７３】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材３２が回転部材３３の大径部３３ｃを押圧して、回転部材３３を上側から見て反時計周りに回転させる。
【００７４】
このような第３の実施形態によれば、振動部材を回転部材の回転軸に対して傾斜して配置することにより、上述の各実施形態とほぼ同様の効果を奏することができる。
【００７５】
なお、３次と５次との間で振動モードを変更するに限るものではなく、ある周波数と他の周波数で振幅の仕方が異なる個所に振幅に対して傾けて回転部材を配設し、この回転部材の大径部に振動部材を加圧して固定することができればよいこと等も、上述の実施形態と同様である。
【００７６】
図８，図９は本発明の第４の実施形態を示したものであり、図８はアクチュエータを構成する振動部材および圧電素子を示す斜視図、図９はアクチュエータの構成を示す斜視図である。この第４の実施形態において、上述の第１から第３の実施形態と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００７７】
この第４の実施形態は、上述した第２の実施形態の構成を応用したものであるが、可動部材を直線方向に駆動するようにした点が異なっている。
【００７８】
アクチュエータを構成する振動部材２２および圧電素子１１は、図８に示すように、上述した第２の実施形態とほぼ同様である。
【００７９】
このような振動部材２２と略コの字形状をなす固定部材４４を組み合わせて接着することにより、略矩形筒の形状を構成している。
【００８０】
このような矩形筒の内部に、細長の板状をなす可動部材４３が挿通されていて、これにより可動部材４３は、一平面方向の移動を規制されて、図中の上下方向にのみ可動可能となっている。
【００８１】
この可動部材４３は、一側面が、振動部材２２に設けられた４つの突起２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに押圧力をもって接触するように構成されている。このときの押圧力は、振動部材２２に振動が発生していない場合には摩擦力により可動部材４３の不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には可動部材４３を最も効率良く移動させることができるような押圧力である。
【００８２】
次にこのような第４の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００８３】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子１１に印加することにより、該圧電素子１１が伸縮を行って、振動部材２２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材２２に発生する振動が定常波となる。
【００８４】
上記突起２２ａ，２２ｂは、図８に示すように、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設され、上記突起２２ｃ，２２ｄも同様に、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設されている。
【００８５】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を狭める方向の力を可動部材４３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を狭める方向の力を可動部材４３に加える。これにより、可動部材４３は、図９において、下方向に駆動される。
【００８６】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を広げる方向の力を可動部材４３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を広げる方向の力を可動部材４３に加える。これにより、可動部材４３は、図９において、上方向に駆動される。
【００８７】
このような第４の実施形態によれば、上述の各実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、可動部材を直線方向に移動することが可能となる。
【００８８】
図１０から図３７は本発明の第５の実施形態を示したものであり、この第５の実施形態において、上述の第１から第４の実施形態と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００８９】
この第５の実施形態は、上述の各実施形態において述べたようなアクチュエータをカメラに適用した実施形態であり、ここでは、ＴＴＬ方式（撮影レンズを通った光で測距をする方式）のオートフォーカス（ＡＦ）機構と、ポップアップ式のストロボとが設けられたズーム式のレンズシャッタカメラを例にとって説明する。
【００９０】
図１０はカメラの主として電気的な構成を示すブロック図である。
【００９１】
このカメラには、被写体までの距離を測定する測距回路５１と、被写体の輝度を測定する測光回路５２と、撮影を指示入力するための２段スイッチでなる第１レリーズスイッチ５３および第２レリーズスイッチ５４と、撮影時にバリアの開閉を行うことによりオン／オフされるメインスイッチを兼ねたバリアスイッチ５５と、フィルムを強制的に巻き戻すための強制リワインドスイッチ５６と、セルフタイマ撮影を行うためのセルフスイッチ５７と、通常の撮影フォーマットとパノラマ撮影フォーマットとを切り換えるためのパノラマスイッチ５８とを有しており、これらの出力はＣＰＵ５９に入力されるようになっている。
【００９２】
さらに、このカメラの可動ユニットを駆動する駆動系は、ＵＳＭ制御回路６０を介してＣＰＵ５９により制御される７つの超音波モータ（ＵＳＭ）、つまり、フィルムマスクモータ６２、ＡＦミラーモータ６５、レンズ駆動（ＬＤ）モータ６８、ポップアップモータ７１、ファインダモータ７４、シャッタモータ７７、ファインダマスクモータ８０と、ＤＣモータ制御回路６１を介してＣＰＵ５９により制御される２つのＤＣモータ、つまり、給送モータ８３、ズームモータ８６とを有している。
【００９３】
上記フィルムマスクモータ６２は、フィルムへの露光範囲を規制することにより撮影フォーマットを変更するためのフィルムマスク６３を駆動するものであり、このフィルムマスク６３の状態は、フィルムマスクフォトインタラプタ（フィルムマスクＰＩ）６４により透光状態と遮光状態の２値で検出されるようになっている。
【００９４】
上記ＡＦミラーモータ６５は、撮影レンズからの光を上記測距回路５１のＡＦセンサ部５１ａ（図１６参照）に導くためのＡＦミラー６６を駆動するものであり、このＡＦミラー６６の位置はＡＦミラーフォトリフレクタ（ＡＦミラーＰＲ）６７により検出されるようになっている。
【００９５】
上記ＬＤモータ６８は、撮影レンズのピント合わせ用のレンズ部であるＬＤユニット６９を駆動するものであり、このＬＤユニット６９の状態はＬＤフォトリフレクタ（ＬＤＰＲ）７０により検出されるようになっている。
【００９６】
上記ポップアップモータ７１は、ストロボの発光部を内蔵するポップアップユニット７２をカメラに収納される位置とカメラから突出する位置とに、例えば上下方向に駆動するものであり、このポップアップユニット７２の位置はポップアップフォトリフレクタ（ポップアップＰＲ）７３により検出されるようになっている。
【００９７】
上記ファインダモータ７４は、撮影レンズのズームに合わせてファインダユニット７５内のファインダレンズを駆動するものであり、このファインダユニット７５の状態はファインダフォトインタラプタ（ファインダＰＩ）７６により検出されるようになっている。
【００９８】
上記シャッタモータ７７は、撮影レンズからの光をフィルム側へ通過させる時間とその口径を規定するシャッタユニット７８を駆動するものであり、このシャッタユニット７８の位置はシャッタフォトインタラプタ（シャッタＰＩ）７９により検出されるようになっている。
【００９９】
上記ファインダマスクモータ８０は、上記パノラマスイッチ５８の状態に合わせて、ファインダ内をノーマル状態とパノラマ状態になるように、ファインダマスクユニット８１を駆動するものであり、このファインダマスクユニット８１の位置はファインダマスクフォトインタラプタ（ファインダマスクＰＩ）８２により検出されるようになっている。
【０１００】
上記給送モータ８３は、フィルムを給送するための給送ユニット８４を駆動するものであり、この給送ユニット８４によるフィルムの給送状態は、フィルムフォトリフレクタ（フィルムＰＲ）８５によりフィルムのパーフォレーションを検出することで行われるようになっている。
【０１０１】
上記ズームモータ８６は、撮影レンズのズーム用のレンズ部であるズームユニット８７を駆動するものであり、このズームユニット８７の位置はズームフォトインタラプタ（ズームＰＩ）８８により検出されるようになっている。
【０１０２】
上述したような各フォトインタラプタやフォトリフレクタの出力は、波形整形回路８９により波形整形された後に、上記ＣＰＵ５９に入力されて、上記各モータを制御するのに用いられるようになっている。
【０１０３】
次に、図１１はこのカメラのメイン動作を示すフローチャートである。
【０１０４】
バリアの開閉に伴って変化する上記バリアスイッチ５５による割込みによってこのメイン動作が始まると、バリアの開閉状態を判断して（ステップＳ１）、バリアが開いているときは、シャッタユニット７８を閉じるとともに（ステップＳ２）、フィルムマスク６３も閉じる（ステップＳ３）。なお、シャッタユニット７８やフィルムマスク６３がすでに閉じているときは、何も行わない。
【０１０５】
パノラマスイッチ５８の入力を確認して（ステップＳ４）、ファインダユニット７５をワイド位置に駆動し（ステップＳ５）、パノラマスイッチ５８の状態に応じてファインダマスクユニット８１を駆動した後に（ステップＳ６）、ズームユニット８７をワイドに繰出す（ステップＳ７）。
【０１０６】
続いて、ＡＦミラー６６を下げて、測距回路５１によるＡＦを可能な状態にし（ステップＳ８）、ストロボの発光部を含むポップアップユニット７２をポップアップした後に（ステップＳ９）、ピント合わせ用のＬＤユニット６９を繰込み方向に当て付ける（ステップＳ１０）。
【０１０７】
続くステップＳ１１からステップＳ２３までがループ処理になる。
【０１０８】
まず、ＬＣＤ等の外部表示装置、およびファインダ内の表示装置に必要な表示を行い（ステップＳ１１）、ストロボ用のコンデンサを充電する（ステップＳ１２）。
【０１０９】
そして、強制リワインドスイッチ５６が押された（オンになった）か否かを検出し（ステップＳ１３）、オンになったことを検出した場合には、フィルムの巻戻し（リワインド）を行ってから（ステップＳ１４）、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１０】
次に、強制リワインドスイッチ５６が押されていない場合には、図示しない後蓋スイッチが開→閉になったか否かを検出し（ステップＳ１５）、開→閉への変化を検出した場合には、フィルムのオートロードを行ってから（ステップＳ１６）、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１１】
さらに、後蓋スイッチが開→閉に変化したことが検出されない場合には、図示しないズームスイッチが操作されたか否かを検出し（ステップＳ１７）、ズームスイッチの操作を検出した場合には、撮影レンズのズームユニット８７を制御して駆動するとともに（ステップＳ１８）、このズームユニット８７のズーム位置に合わせてファインダユニット７５をズーム制御し（ステップＳ１９）、その後、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１２】
続いて、ズームスイッチが操作されていない場合には、セルフスイッチ５７がオンになったか否かを検出し（ステップＳ２０）、オンになったことを検出する度に、セルフモードのオン／オフを変更して（ステップＳ２１）、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１３】
さらに、セルフスイッチ５７がオンになっていない場合には、第１レリーズスイッチ５３がオンになったか否かを検出し（ステップＳ２２）、第１レリーズスイッチ５３がオンになったことを検出した場合には、シャッタユニット７８を駆動するレリーズ処理を行ってから（ステップＳ２３）、また、第１レリーズスイッチ５３がオフである場合にはそのまま、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１４】
また、上記ステップＳ１においてバリアが閉じている状態にあることを検出した場合には、シャッタユニット７８を閉じるとともに（ステップＳ２４）、フィルムマスク６３を閉じる（ステップＳ２５）。なお、これらがすでに閉じているときは、何も行わない。
【０１１５】
パノラマスイッチ５８の入力を確認して（ステップＳ２６）、ファインダユニット７５をワイド位置に駆動し（ステップＳ２７）、ストロボの発光部を含むポップアップユニット７２をポップダウンした後に（ステップＳ２８）、ＡＦミラー６６を上げて（ステップＳ２９）、ズームユニット８７を駆動することにより撮影レンズを沈胴状態となるまで繰込んで（ステップＳ３０）、その後、ＣＰＵ５９をストップ状態にする。
【０１１６】
次に、図１２は、上記図１１のステップＳ２３におけるレリーズ処理の詳細を示すフローチャートである。
【０１１７】
このレリーズ処理が始まると、まず、シャッタユニット７８を閉じる（ステップＳ３１）。なお、シャッタユニット７８がすでに閉じているときは、何も行わない。
【０１１８】
フィルムマスク６３の位置検出を行い（ステップＳ３２）、開いた位置にあることを検出した場合には、フィルムマスク６３を閉じ（ステップＳ３３）、閉じた位置にあることを検出した場合にはそのまま次のステップに進む。
【０１１９】
次に、ズームユニット８７の位置検出を行い（ステップＳ３４）、ズーム位置が非撮影域にあるのを検出した場合には、ズームユニット８７をワイド位置に移動し（ステップＳ３５）、撮影域にあるのを検出した場合にはそのまま次のステップに進む。
【０１２０】
ＡＦミラー６６の位置検出を行い（ステップＳ３６）、これがＡＦ可能なダウン位置にないのを検出した場合には、ＡＦミラー６６をダウンする（ステップＳ３７）。
【０１２１】
これにより、撮影レンズから入射した光は、シャッタユニット７８を通過した後に、フィルムマスク６３によりフィルムへの到達を禁止されるとともに、ＡＦミラー６６により反射されて、ＡＦセンサ部５１ａ（図１６参照）に到達するようになる。
【０１２２】
また、上記ステップＳ３６において上記ＡＦミラー３６がダウン位置にあることを検出した場合には、そのまま次のステップに進んで、測距回路５１により測距を行うとともに（ステップＳ３８）、測光回路５２により測光を行う（ステップＳ３９）。
【０１２３】
続いて、シャッタユニット７８を閉じるとともに（ステップＳ４０）、上記フィルムマスク６３を開けて（ステップＳ４１）、シャッタユニット７８を開閉することにより露光を行うことができる状態にする。
【０１２４】
そして、第１レリーズスイッチ５３の状態をチェックして（ステップＳ４２）、これがオフであるときにはこのレリーズ処理を終了し、オンであるときには次に第２レリーズスイッチ５４の状態をチェックする（ステップＳ４３）。
【０１２５】
この第２レリーズスイッチ５４がオフであるときには上記ステップＳ４２に戻り、オンとなったことを検出した場合には、続くステップＳ４４以降の撮影処理を行う。
【０１２６】
すなわち、セルフスイッチ５７の状態によりセルフモードに設定されているか否かを検出し（ステップＳ４４）、セルフモードとなっているときにはセルフＬＥＤを例えば１０秒間点灯させる（ステップＳ４５）。
【０１２７】
次に、ピント合わせ用のレンズであるＬＤユニット６９を測距回路５１から出力された測距データに基づいて繰出すとともに（ステップＳ４６）、測光回路５２から出力された測光値やその他のフィルム感度等のデータに基づいてシャッタユニット７８の開閉を行う（ステップＳ４７）。
【０１２８】
また、被写体の輝度が低いなどにより補助光が必要であると判断されるときには、このシャッタユニット７８を開いている期間中にポップアップユニット７２内のフラッシュを発光させる。
【０１２９】
上記露光動作が終了したら、ピント合わせ用のレンズであるＬＤユニット６９を繰込み側に当て付くまで駆動して（ステップＳ４８）、フィルムを１コマ巻上げる（ステップＳ４９）。その後、フィルムエンドであるか否かを検出して（ステップＳ５０）、フィルムエンドである場合にはリワインドを行ってから（ステップＳ５１）、フィルムエンドでない場合にはそのまま、このレリーズ処理を抜ける。
【０１３０】
図１３はカメラのフィルムマスクの構成を示す図、図１４はフィルマスクモータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）平面図である。
【０１３１】
上記フィルムマスク６３は、カメラ１０１に装填されたパトローネ１０２から引き出されるフィルム１０２ａの移動経路上に位置するアパーチャ１０３を一部覆う位置と退避する位置とに移動可能に設けられたものであり、図１３に示すように、上のフィルムマスク６３ａと下のフィルムマスク６３ｂとの２つの部材を有してなる。
【０１３２】
これら上下のフィルムマスク６３ａ，６３ｂは、その一端部にそれぞれ設けられた円筒部６３ｃ，６３ｄにより案内軸６３ｇに挿通されていて、上下方向に移動可能となっている。
【０１３３】
また、これら上下のフィルムマスク６３ａ，６３ｂの一端部には、さらに腕部６３ｅ，６３ｆが突出されていて、両端部に互いに逆方向のねじが刻設されたねじ軸６２ａに螺合している。これらの内の一方の腕部６３ｅは、カメラ本体に構成されたストッパ５８ａに係合可能となっていて、フィルムマスク６３ａ，６３ｂがそれ以上退避するのを規制するようになっている。
【０１３４】
上記ねじ軸６２ａの上端部には放射状にスリットが穿設された円板状の部材が固着されていて、フィルムマスクＰＩ６４により回転位置を検出されるようになっている。
【０１３５】
そして、このねじ軸６２ａのほぼ中央部には、超音波モータにより構成されたフィルムマスクモータ６２が取り付けられている。このフィルムマスクモータ６２は、図１４に示すように、圧電素子６２ｅを接着した振動部材６２ｄを、固定部材６２ｃを用いて上記ねじ軸６２ａに圧接して構成されていて、上記第１の実施形態の図３に示したものと類似した構成となっている。
【０１３６】
すなわち、略直方体形状をなす振動部材６２ｄの一面に圧電素子６２ｅが接着され、この圧電素子６２ｅが接着されたのと反対側の面には、図１４（Ａ）に示すように、４つの突起６２ｇが突設されていて、これらの内の内側の２つの突起６２ｇは手前側に、外側の２つの突起６２ｇは向こう側に配列されている。
【０１３７】
このような振動部材６２ｄは、略コの字形状をなす固定部材６２ｃにより挟み込まれるように保持されていて、この固定部材６２ｃの端部は上記ねじ軸６２ａの係合部６２ｂの周面に嵌入することにより、該ねじ軸６２ａを回動自在に保持している。なお、この係合部６２ｂは、固定部材６２ｃが嵌入する部分の上下が太径に形成されており、ねじ軸６２ａの回転を許容するとともに、上下方向の移動を規制するようになっている。
【０１３８】
上記固定部材６２ｃには一対のねじ６２ｆが貫通して螺合されていて、貫通された先端は圧電素子６２ｅに当接している。このねじ６２ｆの螺合量を調節することにより、振動部材６２ｄの４つの突起６２ｇがねじ軸６２ａの周面に当接するときの押圧力を適切なものに調整することができるようになっている。
【０１３９】
次に、これら図１３，図１４に示したような構成の主な動作は次のようになる。
【０１４０】
ねじ軸６２ａを上から見て時計周りに回転させると、上のフィルムマスク６３ａは下に移動し、下のフィルムマスク６３ｂは上に移動する。これにより、ＡＦ中やバリアが閉じたときのフィルムを遮光した状態にする。
【０１４１】
こうして上下のフィルムマスク６３ａ，６３ｂが互いに近接すると、所定位置まで移動したところで、これらの腕部６３ｅ，６３ｆが固定部材６２ｃに当接してストッパとして機能するような位置関係に構成されている。
【０１４２】
これにより、フィルムマスク６３ａ，６３ｂは、当接した位置以上には移動することができないために、ねじ軸６２ａも回転することができなくなって停止する。
【０１４３】
一方、ねじ軸６２ａを上から見て反時計周りに回転させると、フィルムマスク６３ａ，６３ｂ同士の間隔を広げることができる。
【０１４４】
こうしてねじ軸６２ａを回転させることにより、フィルムマスク６３ａ，６３ｂを、アパーチャ１０３の開口の上下を一部遮光するパノラマ状態の位置に移動したり、アパーチャ１０３の開口を妨げることのないノーマル状態に移動したりすることができる。
【０１４５】
フィルムマスク６３ａ，６３ｂが互いに離間して所定の位置に達すると、フィルムマスク６３ａの腕部６３ｅが上記ストッパ５８ａにより係止されてそれ以上の移動を規制され、ねじ軸６２ａも回転することができなくなって停止するために、フィルムマスク６３ｂも同位置で停止する。
【０１４６】
続いて、図１５は、上述したようなフィルムマスクの開閉動作を示すフローチャートである。
【０１４７】
フィルムマスク６３を閉じる動作が開始されると（ステップＳ６１）、振動部材６２ｄに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ６２）。
【０１４８】
フィルムマスクＰＩ６４のパルス数をカウントするカウンタＦＬＭＭＣＴを０にリセットして（ステップＳ６３）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ６４）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ６５）、経過していない場合には、さらにフィルムマスクＰＩ６４の出力が反転したかを判断して（ステップＳ６６）、反転していない場合には上記ステップＳ６５に戻る。
【０１４９】
一方、ステップＳ６６においてフィルムマスクＰＩ６４の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＦＬＭＭＣＴをカウントアップして（ステップＳ６７）、カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ６８）、達していない場合には上記ステップＳ６４に戻る。
【０１５０】
カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達した場合、またはフィルムマスクＰＩ６４の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、フィルムマスクモータ６２に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ６９）、メインルーチンに復帰する（ステップＳ７０）。
【０１５１】
つまり、回転が停止したときには、フィルムマスクＰＩ６４の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはフィルムマスクＰＩ６４からパルスが発生し続けてカウンタＦＬＭＭＣＴが所定値以上になっているために、腕部６３ｅ，６３ｆが固定部材６２ｃに確実に当て付いたのを検出することができる。
【０１５２】
一方、フィルムマスク６３を開ける動作が開始されると（ステップＳ７１）、振動部材６２ｄに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ７２）。
【０１５３】
そして、カメラがパノラマモードに設定されているか否かを判断し（ステップＳ７３）、パノラマモードに設定されていない場合には、上記ステップＳ６３に飛ぶ。
【０１５４】
また、パノラマモードに設定されている場合には、まず、カウンタＦＬＭＭＣＴを０にリセットし（ステップＳ７４）、フィルムマスクＰＩ６４の出力が反転するまで待機して（ステップＳ７５）、反転の度にカウンタＦＬＭＭＣＴをカウントアップし（ステップＳ７６）、カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達したか否かを判断して（ステップＳ７７）、達していない場合には上記ステップＳ７５に戻る。
【０１５５】
こうして、カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達した場合には、フィルムマスクモータ６２に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ７８）。このときには、腕部６３ｅがストッパ５８ａに係止された状態となっている。その後、メインルーチンに復帰する（ステップＳ７９）。
【０１５６】
図１６はカメラのＡＦミラーの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）平面図、図１７はＡＦミラーフォトリフレクタの構成を示す斜視図である。
【０１５７】
このカメラ１０１は、図１６に示すように、右手でカメラを保持する保持部の内側に電池等の部材１０６が収納され、その近傍にパトローネ１０２が装填されるようになっていて、このパトローネ１０２から引きされたフィルムは、撮影レンズ鏡筒１０５を挟んで反対側に設けられたスプール室１０４に収納されるようになっている。
【０１５８】
上記撮影レンズ鏡筒１０５内に保持されている撮影レンズの光軸後方には、上記ＡＦミラー６６が配設されている。
【０１５９】
このＡＦミラー６６は、支持ピン６６ｃにより回動自在に構成されたアーム６６ｂの端部に、カメラ正面に対して下向きに略４５度傾けられた略矩形の鏡面部６６ａを取り付けて構成されている。これにより撮影レンズから入射した光は、ＡＦミラー６６ａにより反射されて、カメラ１０１の内底部に取り付けられたＡＦセンサ部５１ａに入射されるようになっている。
【０１６０】
また、上記アーム６６ｂの上記支持ピン６６ｃを挟んだ他端側やや斜め方向には、細径の係合アーム６６ｄが突設されていて、その先端部が送りねじ軸６５ｄの溝に係合しており、該送りねじ軸６５ｄが回転することにより、アーム６６ｂが支持ピン６６ｃを支点にして回転し、上記鏡面部６６ａが略上下方向に移動するようになっている。
【０１６１】
さらに、上記係合アーム６６ｄの移動経路上にはストッパピン６６ｅ，６６ｆが設けられていて、ＡＦミラー６６ａが狙いの位置で停止するように構成されている。
【０１６２】
具体的には、送りねじ軸６５ｄを右側から見て時計周りに回転させると、鏡面部６６ａはねじ軸６５ｄとの係合により略右斜め上方向に移動されて、係合アーム６６ｄとストッパピン６６ｅとが当接したところで停止する。このときには鏡面部６６ａは、撮影レンズから入射した光束が通過する範囲からは退避した状態となっている。
【０１６３】
一方、送りねじ軸６５ｄを右側から見て反時計周りに回転させると、鏡面部６６ａはねじ軸６５ｄとの係合により略左斜め下方向に移動されて、係合アーム６６ｄとストッパピン６６ｆとが当接したところで停止する。このときには鏡面部６６ａは、上記ＡＦセンサ部５１ａへ光を反射する所定の位置となっている。
【０１６４】
上述したような送りねじ軸６５ｄは、超音波モータで構成されるＡＦミラーモータ６５により駆動されるようになっている。
【０１６５】
すなわち、このＡＦミラーモータ６５は、圧電素子を接着した振動部材６５ａを、略コの字形状の固定部材を用いて回転部材６５ｂに圧接してパルス電圧を印加することにより回転駆動するようになっていて、回転部材６５ｂの両端部には駆動力伝達用のギア６５ｃがそれぞれ固着されている。
【０１６６】
上記送りねじ軸６５ｄは、ＡＦミラーモータ６５の固定部材に回動自在に支持されていて、その両端部には上記回転部材６５ｂのギア６５ｃに噛合するためのギア６５ｅが各固着されている。さらに、この送りねじ軸６５ｄの一方の端部には、図１７に示すような、周方向に白黒のパターンが交互に形成された円柱形状の被検出部６５ｆが設けられていて、上記ＡＦミラーＰＲ６７によりその回転状態を検出されるようになっている。
【０１６７】
なお、上記ＡＦミラーモータ６５に用いる超音波モータとしては、上記第１から第４の実施形態の何れに示した形態のものを用いても構わない。
【０１６８】
次に図１８は、上述したようなＡＦミラーをアップ／ダウンさせる動作を示すフローチャートである。
【０１６９】
ＡＦミラー６６をアップする動作が開始されると（ステップＳ８１）、振動部材６５ａに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ８２）。
【０１７０】
ＡＦミラーＰＲ６７のパルス数をカウントするカウンタＡＦＭＣＴを０にリセットして（ステップＳ８５）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ８６）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ８７）、経過していない場合には、さらにＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転したかを判断して（ステップＳ８８）、反転していない場合には上記ステップＳ８７に戻る。
【０１７１】
一方、ステップＳ８８においてＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＡＦＭＣＴをカウントアップして（ステップＳ８９）、カウンタＡＦＭＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ９０）、達していない場合には上記ステップＳ８６に戻る。
【０１７２】
カウンタＡＦＭＣＴが所定値に達した場合、またはＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ＡＦミラーモータ６５に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ９１）。
【０１７３】
つまり、回転が停止したときには、ＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはＡＦミラーＰＲ６７からパルスが発生し続けてカウンタＡＦＭＣＴが所定値以上になっているために、係合アーム６６ｄがストッパピン６６ｅに確実に当て付いてＡＦミラー６６が停止したのを検出することができる。
【０１７４】
一方、ＡＦミラー６６をダウンする動作が開始されると（ステップＳ８３）、振動部材６５ａに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ８４）。その後、上記ステップＳ８５に行って、係合アーム６６ｄがストッパピン６６ｆに当て付いてＡＦミラー６６が停止するまで駆動を行う。
【０１７５】
図１９はカメラのＬＤユニットの構成を示す側面図、図２０はＬＤモータの構成を示す側面図である。
【０１７６】
このＬＤユニット６９は、ピント合わせ用のレンズ６９ａと、このレンズ６９ａを保持する保持部材６９ｂと、この保持部材６９ｂの一端側に摺動可能に挿通されている吊り軸６９ｃと、上記保持部材の６９ｂの他端側に螺合されている送りねじ軸６９ｅとを有して構成されている。また、上記保持部材６９ｂの送りねじ軸６９ｅが螺合されている部分の両側面には複数の突起６９ｄが突設されていて、送りねじ軸６９ｅを回転することにより保持部材６９ｂの繰出しや繰込みを行うと、送りねじ軸６９ｅの後述するギア６９ｆの側面に当て付くようになっている。
【０１７７】
そして、上記送りねじ軸６９ｅの両端部にはギア６９ｆが固着されるとともに、さらにその両側は先鋭端６９ｇとなっている。
【０１７８】
このような送りねじ軸６９ｅは、超音波モータでなるＬＤモータ６８に３次、５次の定常波を発生させて後述する回転部材６８ｆを正転、逆転させることにより、回転駆動されて、保持部材６９ｂを移動させるようになっている。
【０１７９】
このＬＤモータ６８は、図２０に示すように、圧電素子６８ａを接着した振動部材６８ｂを、固定部材６８ｄを用いて回転部材６８ｆに圧接して構成されている。
【０１８０】
すなわち、略直方体形状をなす振動部材６８ｂの一面に圧電素子６８ａが接着され、この圧電素子６８ａが接着されたのと反対側の面には、４つの突起６８ｃが突設されていて、これらの突起６８ｃは上記図５に示したものとほぼ同様に配置されている。なお、ここでは突起６８ｃを上記図５に示したような形状としたが、図３等に示したような形状のものとしてもかまわない。
【０１８１】
このような振動部材６８ｂは、略コの字形状をなす固定部材６８ｄにより挟み込まれるように保持されていて、この固定部材６８ｄの端部は上記回転部材６８ｆの両端に設けられた先鋭端６８ｈを点受けして回動自在に保持している。
【０１８２】
上記固定部材６８ｄには一対のねじ６８ｅが貫通して螺合されていて、貫通された先端は圧電素子６８ａに当接している。このねじ６８ｅの螺合量を調節することにより、振動部材６８ｂの４つの突起６８ｃが回転部材６８ｆの周面に当接するときの押圧力を適切なものに調整することができるようになっている。
【０１８３】
上記回転部材６８ｆは、両端部に駆動力伝達用のギア６８ｇが形成されていて、同様に固定部材６８ｄに先鋭端６９ｇを点受けされて回動自在に保持されている送りねじ軸６９ｅの上記ギア６９ｆに噛合している。
【０１８４】
このように、超音波モータを構成する固定部材６８ｄにより、送りねじ軸６９ｅの保持を兼用しているために、駆動ユニットの構成を簡単なものとすることができる。
【０１８５】
さらに、回転部材６８ｆの突起６８ｃに接しない部分、例えばほぼ中央部には、周方向に白黒のパターンが交互に塗布された被検出部６８ｉが設けられていて、上記ＬＤＰＲ７０（図１０参照）によりその回転状態を検出されるようになっている。
【０１８６】
次に、図２１は上述したようなＬＤユニットを繰り込んで当て付ける動作を示すフローチャート、図２２はＬＤユニットを繰り出す動作を示すフローチャートである。
【０１８７】
図２１に示すように、ＬＤユニット６９を繰込んで当て付ける動作が開始されると、振動部材６８ｂに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１０１）。
【０１８８】
ＬＤＰＲ７０のパルス数をカウントするカウンタＬＤＣＴを０にリセットして（ステップＳ１０２）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１０３）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１０４）、経過していない場合には、さらにＬＤＰＲ７０の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１０５）、反転していない場合には上記ステップＳ１０４に戻る。
【０１８９】
一方、ステップＳ１０５においてＬＤＰＲ７０の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＬＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１０６）、カウンタＬＤＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１０７）、達していない場合には上記ステップＳ１０３に戻る。
【０１９０】
カウンタＬＤＣＴが所定値に達した場合、またはＬＤＰＲ７０の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ＬＤモータ６８に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１０８）。
【０１９１】
つまり、回転が停止したときには、ＬＤＰＲ７０の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはＬＤＰＲ７０からパルスが発生し続けてカウンタＬＤＣＴが所定値以上になっているために、突起６９ｄがギア６９ｆの側面に確実に当て付いてレンズ６９ａが停止したのを検出することができる。
【０１９２】
一方、図２２に示すように、ＬＤユニット６９を繰出す動作が開始されると、振動部材６８ｂに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１１１）。
【０１９３】
その後、測距値から計算した繰出しパルスをＬＤＰＬＳにセットして（ステップＳ１１２）、ＬＤＰＲ７０のパルス数をカウントするカウンタＬＤＣＴを０にリセットし（ステップＳ１１３）、ＬＤＰＲ７０の出力が反転するのを待機する（ステップＳ１１４）。
【０１９４】
ＬＤＰＲ７０の出力が反転したところで、反転の度にカウンタＬＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１１５）、カウンタＬＤＣＴが上記ＬＤＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１１６）、達していない場合には上記ステップＳ１１４に戻る。
【０１９５】
カウンタＬＤＣＴがＬＤＰＬＳに達した場合は、ＬＤモータ６８に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１１７）、終了する。
【０１９６】
図２３はカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す正面図、図２４はカメラのポップアップユニットの発光可能状態における構成を示す正面図、図２５はカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す右側面図である。
【０１９７】
このポップアップユニット７２は、電圧を印加することにより発光を行うキセノン管７２ａと、このキセノン管７２ａにより発光された光を所定の方向に向けて照射するためのストロボ傘７２ｂと、セルフタイマ撮影時に点滅するセルフＬＥＤ７２ｃとを有して構成されている。
【０１９８】
上記ポップアップユニット７２は、ピン７２ｄを中心にしてカメラ本体に対して回転可能に構成されており、一端をカメラ本体から突設されたピン７２ｆに、他端を該ポップアップユニット７２から突設されたピン７２ｇに係止されたばね７２ｅの付勢力により、通常は下向きに、つまり収納状態となる方向に付勢されている。
【０１９９】
さらに、上記ピン７２ｇには糸７１ｄの一端が固定されていて、この糸７１ｄは、カメラ本体から突設されたピン７１ｅに掛けられた後に、ポップアップモータ７１の回転部材７１ｂに固着された糸巻き７１ｃに巻回されている。
【０２００】
このポップアップモータ７１は、振動部材７１ａに３次の定常波を発生させることにより糸７１ｄを糸巻き７１ｃから解く方向に回転部材７１ｂを回転させ、５次の定常波を発生させることにより糸７１ｄを糸巻き７１ｃに巻き付ける方向に回転部材７１ｂを回転させるようになっている。
【０２０１】
こうしてポップアップユニット７２は、回転部材７１ｂを回転させて、糸７１ｄを巻き付けあるいは解くことにより、発光可能状態にポップアップし、あるいは収納状態にポップダウンするようになっている。
【０２０２】
なお、このポップアップモータ７１に用いる超音波モータとしては、上述した第１の実施形態から第４の実施形態の何れのものでも構わない。
【０２０３】
さらに、上記回転部材７１ｂの一端部には、周方向に白黒のパターンが交互に塗布された被検出部７１ｆが設けられていて、上記ポップアップＰＲ７３によりその回転状態を検出されるようになっている。
【０２０４】
図２６は、ポップアップユニット７２をポップアップまたはポップダウンするときの動作を示すフローチャートである。
【０２０５】
ポップアップユニット７２をポップアップする動作が開始されると（ステップＳ１２１）、振動部材７１ａに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始して（ステップＳ１２２）、糸７１ｄを糸巻き７１ｃに巻き付けてポップアップユニット７２のポップアップを始める。
【０２０６】
ポップアップＰＲ７３のパルス数をカウントするカウンタＰＯＰＣＴを０にリセットして（ステップＳ１２５）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１２６）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１２７）、経過していない場合には、さらにポップアップＰＲ７３の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１２８）、反転していない場合には上記ステップＳ１２７に戻る。
【０２０７】
一方、ステップＳ１２８においてポップアップＰＲ７３の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＰＯＰＣＴをカウントアップして（ステップＳ１２９）、カウンタＰＯＰＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１３０）、達していない場合には上記ステップＳ１２６に戻る。
【０２０８】
カウンタＰＯＰＣＴが所定値に達した場合、またはポップアップＰＲ７３の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ポップアップモータ７１に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１３１）。
【０２０９】
つまり、回転が停止したときには、ポップアップＰＲ７３の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはポップアップＰＲ７３からパルスが発生し続けてカウンタＰＯＰＣＴが所定値以上になっているために、ポップアップユニット７２が確実にポップアップしたのを検出することができる。
【０２１０】
一方、ポップアップユニット７２をポップダウンする動作が開始されると（ステップＳ１２３）、振動部材７１ａに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１２４）。その後、上記ステップＳ１２５に行って、ポップアップユニット７２が収納状態となるまで駆動を行う。
【０２１１】
図２７はカメラのファインダユニットの構成を一方向から示す側面図、図２８はカメラのファインダユニットの構成を他方向から示す側面図である。
【０２１２】
このファインダユニット７５は、ファインダのズームを行うためのファインダレンズ７５ａと、このファインダレンズ７５ａの一端側を光軸方向に摺動自在に保持する吊り軸７５ｂとを有しており、ファインダレンズ７５ａの他端側はファインダモータ７４のねじが螺刻された部材である回転部材７４ｅに螺合されている。
【０２１３】
このファインダモータ７４は、圧電素子７４ａを接着した振動部材７４ｂを、ねじ７４ｄを螺合した固定部材７４ｃを用いて、回転部材７４ｅの大径部７４ｆに圧接して構成されている。
【０２１４】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材７４ｂの一面に分極処理を施した略板状をなす圧電素子７４ａが接着されている。
【０２１５】
このような振動部材７４ｂは、略コの字形状をなす固定部材７４ｃに対して図２８に示すように略４５度傾斜して保持され、弾性のある接着剤を用いて接着されている。これにより、振動は可能であるが、振動部材７４ｂと固定部材７４ｃの相対位置が大きくずれることはないように構成されている。
【０２１６】
上記固定部材７４ｃは、さらに、両端に設けられた先鋭端により、回転部材７４ｅの両端に設けられたすり鉢状をなす凹部を保持することにより、該回転部材７４ｅを回動自在に支持している。
【０２１７】
この回転部材７４ｅには大径部７４ｆが回動一体に設けられていて、上記振動部材７４ｂの圧電素子７４ａが接着されたのと反対側の面に押圧力をもって当接するようになっている。
【０２１８】
このときの押圧力は、上記固定部材７４ｃに貫通して螺合され、貫通された先端が上記圧電素子７４ａに当接しているねじ７４ｄの螺合量を調節することにより、適切なものに調整されるようになっている。
【０２１９】
こうして、振動部材７４ｂに振動が発生していない場合には摩擦力により回転部材７４ｅの不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には回転部材７４ｅを最も効率良く回転させることができるように調整されている。
【０２２０】
上記回転部材７４ｅの一端側には、放射状にスリットが穿設された円板状の部材７４ｇが固着されていて、ファインダＰＩ７６により回転位置を検出されるようになっている。
【０２２１】
次にこのような構成のファインダモータ７４の作用について説明する。
【０２２２】
上記ＵＳＭ制御回路６０（図１０参照）からのパルス電圧を圧電素子７４ａに印加することにより、該圧電素子７４ａが伸縮を行って、振動部材７４ｂに振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材７４ｂに発生する振動が定常波となる。
【０２２３】
上記回転部材７４ｅの大径部７４ｆは、図２８に示すように、３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ具合の異なる振動部材７４ｂの場所に接している。
【０２２４】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材７４ｂが回転部材７４ｅの大径部７４ｆを押圧して、回転部材７４ｅを上側から見て時計周りに回転させる。
【０２２５】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材７４ｂが回転部材７４ｅの大径部７４ｆを押圧して、回転部材７４ｅを上側から見て反時計周りに回転させる。
【０２２６】
次に、図２９は上述したようなファインダユニットをワイド側へ移動する動作を示すフローチャート、図３０はファインダユニットのズーム制御の動作を示すフローチャートである。
【０２２７】
図２９に示すように、ファインダユニット７５をワイド側へ移動する動作が開始されると、振動部材７４ｂに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１４１）。
【０２２８】
ファインダＰＩ７６のパルス数をカウントするカウンタＦＮＤＣＴを０にリセットして（ステップＳ１４２）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１４３）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１４４）、経過していない場合には、さらにファインダＰＩ７６の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１４５）、反転していない場合には上記ステップＳ１４４に戻る。
【０２２９】
一方、ステップＳ１４５においてファインダＰＩ７６の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＦＮＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１４６）、カウンタＦＮＤＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１４７）、達していない場合には上記ステップＳ１４３に戻る。
【０２３０】
カウンタＦＮＤＣＴが所定値に達した場合、またはファインダＰＩ７６の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ファインダモータ７４に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１４８）。
【０２３１】
また、図３０に示すように、ファインダユニット７５のズーム制御の動作が開始されると、撮影レンズのズーム位置から計算したカウンタＦＮＤＣＴの狙い値をＦＮＤＰＬＳにセットする（ステップＳ１５１）。
【０２３２】
そして、現在のカウンタＦＮＤＣＴと狙い値ＦＮＤＰＬＳとを比較して（ステップＳ１５２）、これらが等しければ、ファインダが狙いのズーム位置にあるために、リターンしてメインルーチンに復帰する（ステップＳ１６５）。
【０２３３】
また、現在のカウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳよりも大きいときは、３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始し（ステップＳ１５３）、ファインダＰＩ７６の出力が反転するのを待機して（ステップＳ１５４）、反転したところでカウンタＦＮＤＣＴをカウントダウンして（ステップＳ１５５）、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１５６）、達していない場合には上記ステップＳ１５４に戻る。
【０２３４】
そして、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したところで、ファインダモータ７４に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１５７）、メインルーチンに復帰する（ステップＳ１５８）。
【０２３５】
一方、現在のカウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳよりも小さいときは、５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始し（ステップＳ１５９）、ファインダＰＩ７６の出力が反転するのを待機して（ステップＳ１６０）、反転したところでカウンタＦＮＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１６１）、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１６２）、達していない場合には上記ステップＳ１６０に戻る。
【０２３６】
そして、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したところで、ファインダモータ７４に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１６３）、メインルーチンに復帰する（ステップＳ１６４）。
【０２３７】
図３１はカメラのシャッタユニットの構成を示す正面図、図３２はカメラのシャッタユニットの構成を示す（Ａ）分解側面図および（Ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【０２３８】
このシャッタユニット７８は、円形の開口７８ｋを有する保持部材７８ｊと、この保持部材７８ｊから突出された支持ピン７８ｄ，７８ｅ，７８ｆに回動可能に軸支された３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃとを有して構成されている。
【０２３９】
これら３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃには、略くの字形状をなす孔７８ｇ，７８ｈ，７８ｉがそれぞれ穿設されており、リング状をなす可動部材７７ｅの突出部７７ｆ，７７ｇ，７７ｈが係合している。
【０２４０】
これにより、可動部材７７ｅが回動すると、上記３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃが連動して開閉するようになっている。
【０２４１】
上記３枚の内の１枚のシャッタ羽根７８ｂには、周縁部の一部に沿って複数の孔７８ｌが穿設されており、上記シャッタＰＩ７９によりシャッタ羽根７８ｂの位置、つまり３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃにより構成される開口量を検出することができるようになっている。
【０２４２】
上記可動部材７７ｅは、超音波モータでなるシャッタモータ７７の一部として構成されている。
【０２４３】
すなわち、このシャッタモータ７７は、図３２（Ｂ）に示すように、圧電素子７７ａを接着した振動部材７７ｂと、断面略コの字形状の固定部材７７ｄとの間に可動部材７７ｅを挟み込むことにより、振動部材７７ｂから突設された４つの突起７７ｃを可動部材７７ｅに圧接して構成されている。なお、これら４つの突起７７ｃは、例えば上述した第４の実施形態と同様の形状のものである。
【０２４４】
そして、パルス電圧を圧電素子７７ａに印加して、振動部材７７ｂに３次の定常波または５次の定常波を発生させることにより、可動部材７７ｅを撮影レンズの光軸回りに回動させて、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃの開閉を行うようになっている。
【０２４５】
このように、可動部材７７ｅを振動部材７７ｂと固定部材７７ｄにより挟持して加圧固定しているために、駆動パルスを停止するだけで、容易に絞り制御を行うことができるようになっている。
【０２４６】
次に、図３３はカメラのシャッタユニットの開口波形を示す線図、図３４はカメラのシャッタユニットを閉じる動作および全開にする動作を示すフローチャート、図３５はカメラのシャッタユニットの開閉動作を示すフローチャートである。
【０２４７】
図３４に示すように、シャッタユニット７８を閉じる動作が開始されると（ステップＳ１７０）、振動部材７７ｂに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１７１）。
【０２４８】
シャッタＰＩ７９のパルス数をカウントするカウンタＳＨＴＣＴを０にリセットして（ステップＳ１７４）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１７５）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１７６）、経過していない場合には、さらにシャッタＰＩ７９の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１７７）、反転していない場合には上記ステップＳ１７６に戻る。
【０２４９】
一方、ステップＳ１７７においてシャッタＰＩ７９の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＳＨＴＣＴをカウントアップして（ステップＳ１７８）、カウンタＳＨＴＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１７９）、達していない場合には上記ステップＳ１７５に戻る。
【０２５０】
カウンタＳＨＴＣＴが所定値に達した場合、またはシャッタＰＩ７９の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１８０）。
【０２５１】
一方、シャッタユニット７８を全開にする動作が開始されると（ステップＳ１７２）、振動部材７７ｂに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１７３）。その後、上記ステップＳ１７４に行って、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃが全開となるまで駆動を行う。
【０２５２】
また、図３５に示すように、シャッタユニット７８を開閉して露光を行う動作が開始されると、図示しない絞り設定手段により設定されたＡＶ値に対応したシャッタＰＩ７９のパルス数をＡＶＰＬＳにセットする（ステップＳ１８１）。
【０２５３】
上記測光回路５２から出力される測光値やフィルム感度（ＩＳＯ値）等の情報から算出されるＥｖ値とＡｖ値に基づいて、制御時間を計算し、その結果をＳＨＴＴＩＭにセットする（ステップＳ１８２）。
【０２５４】
そして、上記測距回路５１から出力される被写体距離と上記ＩＳＯ値から計算した絞りに対応したシャッタＰＩ７９のパルス数をＦＭＰＬＳにセットする（ステップＳ１８３）。なお、このとき、計算した値が上記ＡＶＰＬＳよりも大きい場合には、該ＡＶＰＬＳを上限とする。
【０２５５】
その後、５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始し、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開き始める（ステップＳ１８４）。
【０２５６】
シャッタＰＩ７９のパルス数をカウントするカウンタＳＨＴＣＴを０にリセットして（ステップＳ１８５）、シャッタＰＩ７９の出力が反転するまで待機し（ステップＳ１８６）、シャッタＰＩ７９の出力が反転する度にカウンタＳＨＴＣＴをカウントアップする（ステップＳ１８７）。
【０２５７】
続いて、カウント値ＳＨＴＣＴが上記ＦＭＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１８８）、達した場合には、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１８９）、上記ポップアップユニット７２内のストロボを発光する（ステップＳ１９０）。なおこのとき、ストロボ発光が不要な場合には、もちろん発光は行わない。
【０２５８】
こうしてストロボの発光が終了したところで、再度、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを出力してシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開く（ステップＳ１９１）。
【０２５９】
このステップＳ１９１が終了するか、あるいは上記ステップＳ１８８においてカウント値ＳＨＴＣＴが上記ＦＭＰＬＳに達していない場合には、さらに該カウント値ＳＨＴＣＴがＳＨＴＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１９２）、達していない場合には上記ステップＳ１８６に戻る。
【０２６０】
一方、カウント値ＳＨＴＣＴがＳＨＴＰＬＳに達した場合には、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１９３）、ＳＨＴＴＩＭ時間待機して（ステップＳ１９４）、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを閉じる処理を行って露光を終了し（ステップＳ１９５）、メインルーチンに復帰する。
【０２６１】
また、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃの開閉動作を行うときの開口波形は図３３に示すようになっている。
【０２６２】
すなわちまず、５次の定常波に対応した周波数の駆動パルスによりシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開き、シャッタＰＩ７９のパルス数がＦＭＰＬＳに達したところで駆動パルスを停止してシャッタモータ７７を止め、ストロボの発光を行う。その後、駆動パルスを再起動し、シャッタＰＩ７９のパルス数がＳＨＴＰＬＳに達したところで、駆動パルスを停止してシャッタモータ７７を止める。
【０２６３】
そして、制御時間ＳＨＴＴＩＭの経過を待って、経過したところで３次の定常波に対応した周波数の駆動パルスによりシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを閉じる。
【０２６４】
超音波モータは時定数が短いために、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開閉する動作の途中で停止させることも容易である。そこで上述のような動作を行わせることにより、ストロボを発光させている期間中は、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃによる開口径が変化することのないようにしている。
【０２６５】
図３６はカメラのファインダマスクユニットの構成を示す正面図である。
【０２６６】
このファインダマスクユニット８１は、略Ｌ字形状をなす上下一対のファインダマスク部材８１ａ，８１ｂを有して構成されており、これらには上下方向の長孔８１ｃ，８１ｄが各穿設されて、カメラ本体等から突設されたピン８１ｅ，８１ｆがそれぞれ係合することにより、上下方向に移動可能となっている。
【０２６７】
また、これら一対のファインダマスク部材８１ａ，８１ｂ同士の間には規制部材８１ｋが配設されていて、上下方向のみの移動を許容し、その他の方向への移動を規制している。
【０２６８】
さらに、上側のファインダマスク部材８１ａの一端部には、完全遮光部８１ｉと半透過部８１ｊとでなる被検出部が形成されていて、この被検出部をファインダマスクＰＩ８２の間を通過させることにより、位置検出を行うことができるようになっている。この場合には、ファインダマスクＰＩ８２の光が完全に透過して検出されるとノーマル状態であり、完全遮光部８１ｉが検出されるとパノラマ状態であり、半透過部８１ｊが検出されるとこれらの中間の状態であることを示すように構成されている。
【０２６９】
このようなファインダマスク部材８１ａ，８１ｂの延出部８１ｇ，８１ｈの側面には、ファインダマスクモータ８０が圧接されている。
【０２７０】
このファインダマスクモータ８０は、上述した第４の実施形態とほぼ同様に構成された超音波モータでなり、「ハ」の字の形状を構成する一対の突起と、「ハ」の字を上下逆にした形状を構成する一対の突起とを有している。
【０２７１】
そして、３次の定常波で駆動したときに、ファインダマスク部材８１ａ，８１ｂ同士の間隔を広げ、５次の定常波で駆動したときに、これらの間隔を狭めるように制御するようになっている。
【０２７２】
図３７は、カメラのファインダマスクユニットを（Ａ）パノラマにするとき，（Ｂ）ノーマルにするときの制御信号を示す波形図である。
【０２７３】
ファインダマスクユニット８１をパノラマ状態にするときは、３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を行い、ファインダマスクＰＩ８２が遮光状態になったところでファインダマスクモータ８０に供給するパルス電圧を停止する。
【０２７４】
また、ファインダマスクユニット８１をノーマル状態にするときは、５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を行い、ファインダマスクＰＩ８２が透光状態になったところファインダマスクモータ８０に供給するパルス電圧を停止する。
【０２７５】
一方、上記給送ユニット８４やズームユニット８７は、ＤＣモータにより構成された給送モータ８３やズームモータ８６によって制御されているが、これらは通常の構成であって特段の説明は要しないので省略する。
【０２７６】
このような第５の実施形態によれば、１つの圧電素子を用いて複数の方向に駆動することができる簡単な構成の圧電アクチュエータを、カメラを構成する各種の駆動部に適用することにより、小型かつ軽量なカメラを提供することが可能となる。
【０２７７】
図３８は本発明の第６の実施形態を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図である。
【０２７８】
この実施形態は、上記図３に示したアクチュエータに対して、振動部材と回転部材を保持する構成を変化させたものである。
【０２７９】
このアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子たる積層型の圧電素子９１を接着した振動体たる振動部材９２を、固定部材９４を用いて被駆動体たる回転部材９３に圧接して構成されている。
【０２８０】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材９２の一面に、位置決め突起９２ｇが突設されていて、この位置決め突起９２ｇの面９２ｈに接着剤を用いて上記圧電素子９１が接着されている。さらに、この圧電素子９１の他端側から挟み込むようにして固定用部材９５が配置され、この固定用部材９５の２面９５ａ，９５ｂに接着剤を塗布して所定の圧力を加えることにより、振動部材９２に固定されるとともに該圧電素子９１を加圧固定している。
【０２８１】
なお、上記圧電素子９１に対向する振動部材９２の面９２ｉには、特に接着剤を塗布する必要はないために、これらは接着されていない。
【０２８２】
また、振動部材９２の圧電素子９１が接着されたのと反対側の面には、図３８（Ａ）に示すように、上から下に向かって順に４つの突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄが突設されていて、これらの内の突起９２ａ，９２ｄは手前側に、突起９２ｂ，９２ｃは向こう側に配列されている。
【０２８３】
さらに上記振動部材９２には、図３８（Ａ）の正面および背面に４つの突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄが突設されていて、これらの突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄは、３次の定常波および５次の定常波の何れにおいても、腹にも節にもならない部分に配設されている。
【０２８４】
より詳しくは、上記突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄは、図３８（Ａ）に示すように、突起９２ａと突起９２ｂの間、および突起９２ｃと突起９２ｄの間となる位置に設けられているが、これに限るものではなく、例えば符号９２ｅ，９２ｆに示すような位置に配設することも可能である。
【０２８５】
さらに上記突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄは、その先端部が図３８（Ｃ）に示すように傾斜して設けられていて、固定部材９４に嵌め込み易く、嵌めた後では抜け難いように構成されている。
【０２８６】
このような振動部材９２は、上記突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄを、略矩形枠状をなす固定部材９４に穿設された孔に挿通して、かしめまたは接着固定することにより保持されていて、その他の部分は、静止時は勿論のこと振動時においても、固定部材９４と接触することがないように構成されている。このような構成により振動部材９２は、上記図３に示したアクチュエータのように振動の腹となる上下の端部が接することはなく、エネルギーのロスが少なくなるように構成されている。
【０２８７】
上記固定部材９４は、上面部９４ａ、底面部９４ｂ、両側面部９４ｃ，９４ｄにより上記略矩形枠状に構成されており、上面部９４ａおよび底面部９４ｂには、切込９４ｅが設けられている。
【０２８８】
これら一対の切込９４ｅに対して、回転部材９３の両端に設けられた支持軸９３ａ，９３ｂが嵌入されており、これによって、該回転部材９３が回動自在に保持されている。
【０２８９】
この回転部材９３の中央部には例えばはすば歯車９３ｃが回動一体に取り付けられていて、発生した駆動力を他の部材に伝達することができるようになっている。この回転部材９３の周面には、上記突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄが押圧力をもって当接している。
【０２９０】
また、このようなアクチュエータを組み立てる際には、次のように行う。
【０２９１】
固定部材９４の切込９４ｅに、まず回転部材９３の支持軸９３ａ，９３ｂを挿入する。その後、振動部材９２を、上記突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄの先端部に設けられた傾斜部を利用しながら圧入する。そして、これらの突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄが固定部材９４の孔に嵌入された後には、上記傾斜部により抜けることがないようになっており、さらに上述したように、かしめまたは接着により固定する。
【０２９２】
次にこのような第６の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【０２９３】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子９１に印加することにより、該圧電素子９１が伸縮を行って、振動部材９２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材９２に発生する振動が定常波となる。
【０２９４】
上記突起９２ａ，９２ｄは、図３８（Ａ）に示すように、振動部材９２に発生する定常波が３次の定常波であるときに節になり、５次の定常波であるときに腹となる位置に配設され、上記突起９２ｂ，９２ｃは、振動部材９２に発生する定常波が３次の定常波であるときに腹（節以外となる部分）になり、５次の定常波であるときに節となる位置に配設されている。
【０２９５】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起９２ｂ，９２ｃは回転部材９３を押圧するが、突起９２ａ，９２ｄは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３８（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材９３は時計周りに回転する。
【０２９６】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起９２ａ，９２ｄは回転部材９３を押圧するが、突起９２ｂ，９２ｃは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３８（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材９３は反時計周りに回転する。
【０２９７】
なお、個々の部材の個々の形状は、製造のし易さ等に応じて、容易に応用することが可能である。
【０２９８】
このような第６の実施形態によれば、上述の各実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、振動部材の上下の端部が固定部材から完全に離れていて、振動時にも接触しないために、接触によるエネルギーのロスが少ないという利点を有している。
【０２９９】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用が可能であることは勿論である。
【０３００】
［付記］
以上詳述したような本発明の上記実施形態によれば、以下のような構成を有する発明を得ることができる。
【０３０１】
（１） 電気−機械エネルギー変換素子と、
この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより振動が励起される振動体と、
この振動体に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、
上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、
を具備することを特徴とするアクチュエータ。
【０３０２】
（２） 上記（１）において、
上記振動体は少なくとも２つの共振周波数を有し、一方の共振周波数による振動が励起されている際には該振動体と被駆動体との圧接部分に第１方向の駆動力が発生し、他方の共振周波数による振動が励起されている際には該振動体と被駆動体との圧接部分に第２方向の駆動力が発生する。
【０３０３】
（３） 電気−機械エネルギー変換素子と、
この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより、第１の振動モードによる第１の振動と第２の振動モードによる第２の振動とが選択的に励起される振動体と、
この振動体上の、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第１の突起と、
この振動体上の、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第２の突起と、
上記振動体の第１および第２の突起に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、
上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、
を具備することを特徴とするアクチュエータ。
【０３０４】
（４） 上記（３）において、
上記被駆動体は、上記第１の振動が励起されている際には上記振動体に対して第１の方向に移動され、上記第２の信号が励起されている際には上記振動体に対して第２の方向に移動される。
【０３０５】
（５） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は単一の圧電素子からなる。
【０３０６】
（６） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は積層型の圧電素子からなる。
【０３０７】
（７） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は単一の電歪素子からなる。
【０３０８】
（８） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は積層型の電歪素子からなる。
【０３０９】
（９） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は磁歪素子からなる。
【０３１０】
（１０） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は積層型の磁歪素子からなる。
【０３１１】
（１１） 上記（１），（３）において、上記固定部材は単一の部材からなる。
【０３１２】
（１２） 上記（１），（３）において、上記被駆動体はカメラの構成部材を駆動する。
【０３１３】
（１３） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はフィルムマスク部材である。
【０３１４】
（１４） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材は測距光学系のミラー部材である。
【０３１５】
（１５） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材は撮影光学系ユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３１６】
（１６） 上記（１５）において、上記撮影光学系ユニットの内の少なくとも一部の構成部材は、レンズを保持している鏡枠である。
【０３１７】
（１７） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はストロボのポップアップユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３１８】
（１８） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はファインダ光学系ユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３１９】
（１９） 上記（１８）において、上記ファインダ光学系ユニット内の少なくとも一部の構成部材は、レンズを保持している鏡枠である。
【０３２０】
（２０） 上記（１８）において、上記ファインダ光学系ユニット内の少なくとも一部の構成部材は、ファインダ視野を規定するマスク部材である。
【０３２１】
（２１） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はシャッタユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３２２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、振動体と被駆動体を保持することができる簡単な構成のアクチュエータとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第１の構成例を示すブロック図。
【図２】本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第２の構成例を示すブロック図。
【図３】本発明の第１の実施形態のアクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図。
【図４】上記第１の実施形態の変形例のアクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図。
【図５】本発明の第２の実施形態のアクチュエータの構成を示す（Ａ）平面図，（Ｂ）回転部材を取り外した状態の左側面図，（Ｃ）正面図，（Ｄ）右側面図，（Ｅ）底面図。
【図６】本発明の第３の実施形態のアクチュエータの構成を示す正面図。
【図７】上記第３の実施形態のアクチュエータの構成を示す左側面図。
【図８】本発明の第４の実施形態のアクチュエータを構成する振動部材および圧電素子を示す斜視図。
【図９】上記第４の実施形態のアクチュエータの構成を示す斜視図。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係るカメラの主として電気的な構成を示すブロック図。
【図１１】上記第５の実施形態のカメラのメイン動作を示すフローチャート。
【図１２】上記図１１におけるレリーズ処理の詳細を示すフローチャート。
【図１３】上記第５の実施形態のカメラのフィルムマスクの構成を示す図。
【図１４】上記第５の実施形態のフィルマスクモータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）平面図。
【図１５】上記第５の実施形態のフィルムマスクの開閉動作を示すフローチャート。
【図１６】上記第５の実施形態のカメラのＡＦミラーの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）平面図。
【図１７】上記第５の実施形態のカメラのＡＦミラーフォトリフレクタの構成を示す斜視図。
【図１８】上記第５の実施形態のカメラのＡＦミラーをアップ／ダウンさせる動作を示すフローチャート。
【図１９】上記第５の実施形態のカメラのＬＤユニットの構成を示す側面図。
【図２０】上記第５の実施形態のカメラのＬＤモータの構成を示す側面図。
【図２１】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ＬＤユニットを繰り込んで当て付ける動作を示すフローチャート。
【図２２】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ＬＤユニットを繰り出す動作を示すフローチャート。
【図２３】上記第５の実施形態のカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す正面図。
【図２４】上記第５の実施形態のカメラのポップアップユニットの発光可能状態における構成を示す正面図。
【図２５】上記第５の実施形態のカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す右側面図。
【図２６】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ポップアップユニットをポップアップまたはポップダウンするときの動作を示すフローチャート。
【図２７】上記第５の実施形態のカメラのファインダユニットの構成を一方向から示す側面図。
【図２８】上記第５の実施形態のカメラのファインダユニットの構成を他方向から示す側面図。
【図２９】上記第５の実施形態のカメラのファインダユニットをワイド側へ移動する動作を示すフローチャート。
【図３０】上記第５の実施形態のカメラにおける、ファインダユニットのズーム制御の動作を示すフローチャート。
【図３１】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの構成を示す正面図。
【図３２】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの構成を示す（Ａ）分解側面図および（Ｂ）Ａ−Ａ断面図。
【図３３】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの開口波形を示す線図。
【図３４】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットを閉じる動作および全開にする動作を示すフローチャート。
【図３５】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの開閉動作を示すフローチャート。
【図３６】上記第５の実施形態のカメラのファインダマスクユニットの構成を示す正面図。
【図３７】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ファインダマスクユニットを（Ａ）パノラマにするとき，（Ｂ）ノーマルにするときの制御信号を示す波形図。
【図３８】本発明の第６の実施形態のアクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図。
【符号の説明】
2,11,11A,31,62e,68a,74a,77a,91…圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）
3,12,12A,22,32,62d,65a,68b,71a,74b,77b,92…振動部材（振動体）
４，４３，７７ｅ…可動部材（被駆動体）
５…非接着の加圧固定部材
6,14,34,44,62c,68d,74c,77d,94…固定部材
12a,12b,12c,12d,22a,22b,22c,22d,62g,68c,77c,92a,92b,92c,92d…突起
13,33,65b,68f,71b,74e,93…回転部材（被駆動体）
６２…フィルムマスクモータ
６２ａ…ねじ軸（被駆動体）
６３…フィルムマスク
６５…ＡＦミラーモータ
６６…ＡＦミラー
６８…ＬＤモータ
６９…ＬＤユニット
７１…ポップアップモータ
７２…ポップアップユニット
７４…ファインダモータ
７５…ファインダユニット
７７…シャッタモータ
７８…シャッタユニット
８０…ファインダマスクモータ
８１…ファインダマスクユニット
１０１…カメラ
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ、より詳しくは、電気−機械エネルギー変換素子を用いたアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気−機械エネルギー変換素子として例えば圧電素子を１つ用いて、２方向の駆動を行うアクチュエータは、従来より種々のものが提案されていて、例えば本出願人による特願平９−１１４２４号に記載のものが挙げられる。
【０００３】
この特願平９−１１４２４号に記載の圧電アクチュエータは、１つの圧電素子にパルス電圧を印加することで振動部材を振動させて、この振動部材に圧接している可動部材を移動駆動可能な圧電アクチュエータにおいて、上記振動部材に第１の共振周波数の振動を発生させるように、上記圧電素子に第１のパルス電圧を印加し、また、上記振動部材に第２の共振周波数の振動を発生させるように、上記圧電素子に第２のパルス電圧を印加することが選択的に可能なパルス制御回路と、上記第１の共振周波数の場合には、上記可動部材を第１の方向へ駆動し、第２の共振周波数の場合には、上記可動部材を第１の方向と異なる第２の方向へ駆動するように、上記発生する振動を可動部材に伝達する駆動伝達手段とを備えたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特願平９−１１４２４号に記載のものでは、振動体と被駆動体とを保持する手段や加圧する手段が記載されていない実施形態もあり、具体的な設計が困難であった。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、振動体と被駆動体を保持することができる簡単な構成のアクチュエータを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、第1の発明によるアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子と、この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより、第１の振動モードによる第１の振動と第２の振動モードによる第２の振動とが選択的に励起される振動体と、この振動体上の、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第１の突起と、この振動体上の、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第２の突起と、上記振動体の第１および第２の突起に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、を具備することを特徴とする。
【０００７】
また、第２の発明によるアクチュエータは、上記第１の発明によるアクチュエータにおいて、上記固定部材が単一の部材からなるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第１の構成例を示すブロック図である。
【００１３】
このアクチュエータは、パルス電圧を出力するパルス発生手段であるパルス制御回路１と、このパルス制御回路１からの出力を印加することにより伸縮動作を行う電気−機械エネルギー変換素子たる圧電素子２と、この圧電素子２の伸縮により振動を発生する振動体たる振動部材３と、この振動部材３に圧接している移動可能な被駆動体たる可動部材４と、この可動部材４の可動方向以外の動きを規制するものであって、上記振動部材３と可動部材４を加圧することにより摩擦力を発生させて可動方向に滑動することのないように固定する固定部材５とを有して構成されている。
【００１４】
図２は、本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第２の構成例を示すブロック図である。
【００１５】
このアクチュエータは、パルス電圧を出力するパルス発生手段であるパルス制御回路１と、このパルス制御回路１からの出力を印加することにより伸縮動作を行う圧電素子２と、この圧電素子２の伸縮により振動を発生する振動部材３と、この振動部材３に対して固定されることにより筒状の形状７を構成する固定部材６と、この筒状の形状７の内部を貫通されることにより、貫通方向以外の動きが規制されて該貫通方向にのみ移動可能となっていて、上記振動部材３および固定部材６との摩擦により貫通方向に滑動することのないように固定されている可動部材４とを有して構成されている。
【００１６】
これら図１または図２に示したような構成の主な作用は、次のようになる。
【００１７】
振動部材３は、少なくとも２つ以上の共振周波数を有している。これらの内の第１の共振周波数を発生させるパルス電圧をパルス制御回路１から圧電素子２に印加すると、振動部材３には該第１の共振周波数の振動が発生する。この振動により、振動部材３と可動部材４が圧接する個所には、第１の方向の力が発生して、可動部材４は第１の方向に移動する。
【００１８】
一方、振動部材３に第２の共振周波数の振動を発生させた場合には、振動部材３と可動部材４が圧接する個所には、第２の方向の力が発生して、可動部材４は第２の方向に移動する。
【００１９】
こうして、パルス制御回路１から圧電素子２に印加するパルス電圧の共振周波数を変化させることにより、異なる振動を振動部材３に発生させて、可動部材４を２方向に駆動することが可能となる。
【００２０】
続いて、より具体的に構成した実施形態について説明する。
【００２１】
図３は本発明の第１の実施形態を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図である。
【００２２】
このアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子たる圧電素子１１を接着した振動体たる振動部材１２を、固定部材１４を用いて被駆動体たる回転部材１３に圧接して構成されている。
【００２３】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材１２の一面に、複数の位置決め突起１２ｅが突設されていて、これらの位置決め突起１２ｅにより挟み込むようにして分極処理を施した略板状をなす圧電素子１１が接着されている。
【００２４】
また、振動部材１２の圧電素子１１が接着されたのと反対側の面には、図３（Ａ）に示すように、上から下に向かって順に４つの突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが突設されていて、これらの内の突起１２ａ，１２ｄは手前側に、突起１２ｂ，１２ｃは向こう側に配列されている。
【００２５】
このような振動部材１２は、略コの字形状をなす固定部材１４により挟み込まれるように保持されていて、この固定部材１４にはさらに、一対のすり鉢状をなす凹部１４ａ，１４ｂが形成されて、これらの凹部１４ａ，１４ｂにより回転部材１３の両端に設けられた先鋭端１３ａ，１３ｂを点受けして挟み込むことにより、該回転部材１３を回動自在に保持している。
【００２６】
この回転部材１３の一端側には例えばはすば歯車１３ｃが回動一体に取り付けられていて、発生した駆動力を他の部材に伝達することができるようになっている。
【００２７】
上記固定部材１４には一対のねじ１５が貫通して螺合されていて、貫通された先端は圧電素子１１に当接している。このねじ１５の螺合量を調節することにより、振動部材１２の４つの突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが回転部材１３の周面に当接するときの押圧力を適切なものに調整することができるようになっている。このときの押圧力としては、振動部材１２に振動が発生していない場合には摩擦力により回転部材１３の不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には回転部材１３を最も効率良く回転させることができるような押圧力に調整される。
【００２８】
次にこのような第１の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００２９】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子１１に印加することにより、該圧電素子１１が伸縮を行って、振動部材１２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材１２に発生する振動が定常波となる。
【００３０】
上記突起１２ａ，１２ｄは、図３（Ａ）に示すように、振動部材１２に発生する定常波が３次の定常波であるときに節になり、５次の定常波であるときに腹となる位置に配設され、上記突起１２ｂ，１２ｃは、振動部材１２に発生する定常波が３次の定常波であるときに腹（節以外となる部分）になり、５次の定常波であるときに節となる位置に配設されている。
【００３１】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起１２ｂ，１２ｃは回転部材１３を押圧するが、突起１２ａ，１２ｄは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材１３は時計周りに回転する。
【００３２】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起１２ａ，１２ｄは回転部材１３を押圧するが、突起１２ｂ，１２ｃは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材１３は反時計周りに回転する。
【００３３】
こうしてこのような第１の実施形態によれば、圧電素子を１つしか用いていないにも関わらず、定常波を発生させる周波数を変えることにより、回転部材を正逆の何れの方向にも回転させることが可能となる。また、回転部材の回転軸を固定する部材と、振動部材を位置決めして保持し加圧する部材とを兼用しているために、アクチュエータの小型化を図ることができる。
【００３４】
なお、上述したような振動部材を、３次や５次の定常波で振動させるべく、圧電素子に高電圧の駆動パルスを印加するための回路は、例えば上記従来例において述べたような、本出願人による特願平９−１１４２４号等に記載された技術を適用することができる。
【００３５】
また、上述では電気−機械エネルギー変換素子として圧電素子を用いていたが、この圧電素子としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）やチタン酸バリウム等を適宜用いることが可能である。
【００３６】
さらに、電気−機械エネルギー変換素子は圧電素子に限るものではなく、例えば電歪素子や磁歪素子を用いることも可能である。例えば、磁歪素子（特に超磁歪素子）を用いて磁力をパルス的に印加して、振動部材を３次や５次に定常振動させても良い。
【００３７】
そして、上述した実施形態においては、分極処理を施した板状の圧電素子を用いたが、これを積層型の圧電素子や、積層型の電歪素子、積層型の磁歪素子を用いても良いことは勿論であり、バイモルフやモノモルフであっても構わない。
【００３８】
加えて、上述では、圧電素子に印加する駆動信号の周波数を選択的に変更することによって、振動部材に励起する振動のモードを（３次と５次との間で）変更していたが、例えば分極方向が異なる複数枚の圧電素子を振動部材に固着して、これら複数枚の圧電素子の内の何れに駆動信号を印加するかを選択することにより、振動部材に励起する振動モードを変更するようにしても良い。
【００３９】
また、上述では、３次と５次との間で振動モードを変更する場合について説明したが、例えば３次と７次との間、５次と７次との間等で振動モードを変更しても良く、変更する振動モードは限定されるものではない。ある周波数で節になり他の周波数で節以外になる位置に突起を配設するとともに、上記ある周波数で節以外になり上記他の周波数で節になる位置に突起を配設して、この突起に移動部材を加圧して固定することができればよい。
【００４０】
突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄにおける回転部材１３との接触部の形状は、回転軸と並行に構成しても良く、また、傾斜した形状やほぼ点接触する形状に構成しても良い。
【００４１】
一方、振動部材や可動部材の材質は、表面を酸化膜処理したアルミニウムや各種の金属、または各種の複合樹脂等のさまざまな材質を、必要な強度や摩擦力を考慮して選択すると良い。
【００４２】
図４は上述した第１の実施形態の変形例を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図である。この変形例において、上述の第１の実施形態と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００４３】
この変形例は、電気−機械エネルギー変換素子として積層型の圧電素子を用いたものである。
【００４４】
振動部材１２Ａには矩形の切欠１２ｆが形成されていて、この切欠１２ｆに積層型の圧電素子１１Ａが嵌入されて、接着剤１７によって固定されている。
【００４５】
なお、この接着剤１７としては、エポキシ樹脂系の接着剤や２液反応型アクリル接着剤等の、接着強度や耐久性が高く、そしてより重要な点として、硬度が高いものを用いている。これは、圧電素子１１Ａで発生した振動が吸収されることなく、つまりエネルギーのロスを可能な限り生じさせることなく、ほぼそのまま振動部材に伝播されることが望ましいためである。
【００４６】
その他の部分については、上記図３に示した構成とほぼ同様である。
【００４７】
次に、このような変形例の作用について説明する。
【００４８】
積層型圧電素子１１Ａに駆動信号を印加することにより、上述した第１の実施形態と同様に、振動部材１２Ａに３次（もしくは５次）の振動モードによる定常波の振動が励起され、これが突起１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを介して伝達されて、回転部材１３が回転する。そして、振動モードを変更することにより、回転方向を選択することができる。
【００４９】
このような変形例によれば、積層型の圧電素子を用いて、上述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を奏することができる。
【００５０】
図５は本発明の第２の実施形態を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）平面図，（Ｂ）回転部材を取り外した状態の左側面図，（Ｃ）正面図，（Ｄ）右側面図，（Ｅ）底面図である。
【００５１】
この第２の実施形態において、上述の第１の実施形態等と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００５２】
このアクチュエータは、圧電素子１１を接着した振動部材２２を、固定部材１４を用いて回転部材１３に圧接して構成されている。
【００５３】
振動部材２２の圧電素子１１が接着されたのと反対側の面には、図５（Ｂ），図５（Ｃ）に示すように、上から下に向かって順に４つの略三角柱形状をなす突起２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが、回転部材１３の回転軸に対して略４５度の角度をなすように突設されている。
【００５４】
さらに、これらの内の突起２２ａ，２２ｄは互いに略直行する角度をなすような「ハ」の字型、突起２２ｂ，２２ｃも互いに略直行する角度をなすような「ハ」の字型をそれぞれなし、突起２２ａと突起２２ｃの傾斜方向は略並行であって、突起２２ｂと突起２２ｄの傾斜方向も略並行となるように配列されている。
【００５５】
また、上記振動部材２２は、回転部材１３の一端側に固着されたはすば歯車１３ｄに対する逃げ部２２ｆが形成されている。
【００５６】
次にこのような第２の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００５７】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子１１に印加することにより、該圧電素子１１が伸縮を行って、振動部材２２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材２２に発生する振動が定常波となる。
【００５８】
上記突起２２ａ，２２ｂは、図５（Ｃ）に示すように、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設され、上記突起２２ｃ，２２ｄも同様に、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設されている。
【００５９】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を狭める方向の力を回転部材１３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を狭める方向の力を回転部材１３に加える。これにより、回転部材１３は、図５（Ａ）に示すような上側から見た場合に、時計周りに回転する。
【００６０】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を広げる方向の力を回転部材１３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を広げる方向の力を回転部材１３に加える。これにより、回転部材１３は、図５（Ａ）に示すような上側から見た場合に、反時計周りに回転する。
【００６１】
このような第２の実施形態によれば、「ハ」の字型に配置した突起を用いて、上述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を奏することができる。
【００６２】
なお、３次と５次との間で振動モードを変更するに限るものではなく、ある周波数と他の周波数で振幅の仕方が異なる個所に振幅に対して傾くように突起を配設して、この突起に移動部材を加圧して固定することができればよいこと等も、上述の実施形態と同様である。
【００６３】
図６，図７は本発明の第３の実施形態を示したものであり、図６はアクチュエータの構成を示す正面図、図７はアクチュエータの構成を示す左側面図である。この第３の実施形態において、上述の第１，第２の実施形態と同様である部分については説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００６４】
このアクチュエータは、圧電素子３１を接着した振動部材３２を、固定部材３４を用いて回転部材３３に圧接して構成されている。
【００６５】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材３２の一面に分極処理を施した略板状をなす圧電素子３１が接着されている。
【００６６】
このような振動部材３２は、略コの字形状をなす固定部材３４に対して図７に示すように略４５度傾斜して保持されている。すなわち、上記固定部材３４には傾斜凹部３４ｃと波状突起３４ｄが設けられていて、傾斜凹部３４ｃにより振動部材３２の傾斜角度を規定するとともに、波状突起３４ｄは圧電素子３１に当接している。
【００６７】
上記固定部材３４にはさらに、一対のすり鉢状をなす凹部３４ａ，３４ｂが形成されて、これらの凹部３４ａ，３４ｂにより回転部材３３の両端に設けられた先鋭端３３ａ，３３ｂを点受けして挟み込むことにより、該回転部材３３を回動自在に保持している。
【００６８】
この回転部材３３には大径部３３ｃが回動一体に設けられていて、上記振動部材３２の圧電素子３１が接着されたのと反対側の面に押圧力をもって当接するようになっている。このときの押圧力は、振動部材３２に振動が発生していない場合には摩擦力により回転部材３３の不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には回転部材３３を最も効率良く回転させることができるような押圧力である。
【００６９】
次にこのような第３の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００７０】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子３１に印加することにより、該圧電素子３１が伸縮を行って、振動部材３２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材３２に発生する振動が定常波となる。
【００７１】
上記回転部材３３の大径部３３ｃは、図７に示すように、３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ具合の異なる振動部材３２の場所に接している。
【００７２】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材３２が回転部材３３の大径部３３ｃを押圧して、回転部材３３を上側から見て時計周りに回転させる。
【００７３】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材３２が回転部材３３の大径部３３ｃを押圧して、回転部材３３を上側から見て反時計周りに回転させる。
【００７４】
このような第３の実施形態によれば、振動部材を回転部材の回転軸に対して傾斜して配置することにより、上述の各実施形態とほぼ同様の効果を奏することができる。
【００７５】
なお、３次と５次との間で振動モードを変更するに限るものではなく、ある周波数と他の周波数で振幅の仕方が異なる個所に振幅に対して傾けて回転部材を配設し、この回転部材の大径部に振動部材を加圧して固定することができればよいこと等も、上述の実施形態と同様である。
【００７６】
図８，図９は本発明の第４の実施形態を示したものであり、図８はアクチュエータを構成する振動部材および圧電素子を示す斜視図、図９はアクチュエータの構成を示す斜視図である。この第４の実施形態において、上述の第１から第３の実施形態と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００７７】
この第４の実施形態は、上述した第２の実施形態の構成を応用したものであるが、可動部材を直線方向に駆動するようにした点が異なっている。
【００７８】
アクチュエータを構成する振動部材２２および圧電素子１１は、図８に示すように、上述した第２の実施形態とほぼ同様である。
【００７９】
このような振動部材２２と略コの字形状をなす固定部材４４を組み合わせて接着することにより、略矩形筒の形状を構成している。
【００８０】
このような矩形筒の内部に、細長の板状をなす可動部材４３が挿通されていて、これにより可動部材４３は、一平面方向の移動を規制されて、図中の上下方向にのみ可動可能となっている。
【００８１】
この可動部材４３は、一側面が、振動部材２２に設けられた４つの突起２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに押圧力をもって接触するように構成されている。このときの押圧力は、振動部材２２に振動が発生していない場合には摩擦力により可動部材４３の不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には可動部材４３を最も効率良く移動させることができるような押圧力である。
【００８２】
次にこのような第４の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【００８３】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子１１に印加することにより、該圧電素子１１が伸縮を行って、振動部材２２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材２２に発生する振動が定常波となる。
【００８４】
上記突起２２ａ，２２ｂは、図８に示すように、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設され、上記突起２２ｃ，２２ｄも同様に、振動部材２２に発生する定常波が３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ方の異なる位置に互いに逆側に傾いて配設されている。
【００８５】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を狭める方向の力を可動部材４３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を狭める方向の力を可動部材４３に加える。これにより、可動部材４３は、図９において、下方向に駆動される。
【００８６】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起２２ａと突起２２ｂが「ハ」の字を広げる方向の力を可動部材４３に加え、同様に、突起２２ｃと突起２２ｄも「ハ」の字を広げる方向の力を可動部材４３に加える。これにより、可動部材４３は、図９において、上方向に駆動される。
【００８７】
このような第４の実施形態によれば、上述の各実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、可動部材を直線方向に移動することが可能となる。
【００８８】
図１０から図３７は本発明の第５の実施形態を示したものであり、この第５の実施形態において、上述の第１から第４の実施形態と同様である部分については同一の符号を付して説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。
【００８９】
この第５の実施形態は、上述の各実施形態において述べたようなアクチュエータをカメラに適用した実施形態であり、ここでは、ＴＴＬ方式（撮影レンズを通った光で測距をする方式）のオートフォーカス（ＡＦ）機構と、ポップアップ式のストロボとが設けられたズーム式のレンズシャッタカメラを例にとって説明する。
【００９０】
図１０はカメラの主として電気的な構成を示すブロック図である。
【００９１】
このカメラには、被写体までの距離を測定する測距回路５１と、被写体の輝度を測定する測光回路５２と、撮影を指示入力するための２段スイッチでなる第１レリーズスイッチ５３および第２レリーズスイッチ５４と、撮影時にバリアの開閉を行うことによりオン／オフされるメインスイッチを兼ねたバリアスイッチ５５と、フィルムを強制的に巻き戻すための強制リワインドスイッチ５６と、セルフタイマ撮影を行うためのセルフスイッチ５７と、通常の撮影フォーマットとパノラマ撮影フォーマットとを切り換えるためのパノラマスイッチ５８とを有しており、これらの出力はＣＰＵ５９に入力されるようになっている。
【００９２】
さらに、このカメラの可動ユニットを駆動する駆動系は、ＵＳＭ制御回路６０を介してＣＰＵ５９により制御される７つの超音波モータ（ＵＳＭ）、つまり、フィルムマスクモータ６２、ＡＦミラーモータ６５、レンズ駆動（ＬＤ）モータ６８、ポップアップモータ７１、ファインダモータ７４、シャッタモータ７７、ファインダマスクモータ８０と、ＤＣモータ制御回路６１を介してＣＰＵ５９により制御される２つのＤＣモータ、つまり、給送モータ８３、ズームモータ８６とを有している。
【００９３】
上記フィルムマスクモータ６２は、フィルムへの露光範囲を規制することにより撮影フォーマットを変更するためのフィルムマスク６３を駆動するものであり、このフィルムマスク６３の状態は、フィルムマスクフォトインタラプタ（フィルムマスクＰＩ）６４により透光状態と遮光状態の２値で検出されるようになっている。
【００９４】
上記ＡＦミラーモータ６５は、撮影レンズからの光を上記測距回路５１のＡＦセンサ部５１ａ（図１６参照）に導くためのＡＦミラー６６を駆動するものであり、このＡＦミラー６６の位置はＡＦミラーフォトリフレクタ（ＡＦミラーＰＲ）６７により検出されるようになっている。
【００９５】
上記ＬＤモータ６８は、撮影レンズのピント合わせ用のレンズ部であるＬＤユニット６９を駆動するものであり、このＬＤユニット６９の状態はＬＤフォトリフレクタ（ＬＤＰＲ）７０により検出されるようになっている。
【００９６】
上記ポップアップモータ７１は、ストロボの発光部を内蔵するポップアップユニット７２をカメラに収納される位置とカメラから突出する位置とに、例えば上下方向に駆動するものであり、このポップアップユニット７２の位置はポップアップフォトリフレクタ（ポップアップＰＲ）７３により検出されるようになっている。
【００９７】
上記ファインダモータ７４は、撮影レンズのズームに合わせてファインダユニット７５内のファインダレンズを駆動するものであり、このファインダユニット７５の状態はファインダフォトインタラプタ（ファインダＰＩ）７６により検出されるようになっている。
【００９８】
上記シャッタモータ７７は、撮影レンズからの光をフィルム側へ通過させる時間とその口径を規定するシャッタユニット７８を駆動するものであり、このシャッタユニット７８の位置はシャッタフォトインタラプタ（シャッタＰＩ）７９により検出されるようになっている。
【００９９】
上記ファインダマスクモータ８０は、上記パノラマスイッチ５８の状態に合わせて、ファインダ内をノーマル状態とパノラマ状態になるように、ファインダマスクユニット８１を駆動するものであり、このファインダマスクユニット８１の位置はファインダマスクフォトインタラプタ（ファインダマスクＰＩ）８２により検出されるようになっている。
【０１００】
上記給送モータ８３は、フィルムを給送するための給送ユニット８４を駆動するものであり、この給送ユニット８４によるフィルムの給送状態は、フィルムフォトリフレクタ（フィルムＰＲ）８５によりフィルムのパーフォレーションを検出することで行われるようになっている。
【０１０１】
上記ズームモータ８６は、撮影レンズのズーム用のレンズ部であるズームユニット８７を駆動するものであり、このズームユニット８７の位置はズームフォトインタラプタ（ズームＰＩ）８８により検出されるようになっている。
【０１０２】
上述したような各フォトインタラプタやフォトリフレクタの出力は、波形整形回路８９により波形整形された後に、上記ＣＰＵ５９に入力されて、上記各モータを制御するのに用いられるようになっている。
【０１０３】
次に、図１１はこのカメラのメイン動作を示すフローチャートである。
【０１０４】
バリアの開閉に伴って変化する上記バリアスイッチ５５による割込みによってこのメイン動作が始まると、バリアの開閉状態を判断して（ステップＳ１）、バリアが開いているときは、シャッタユニット７８を閉じるとともに（ステップＳ２）、フィルムマスク６３も閉じる（ステップＳ３）。なお、シャッタユニット７８やフィルムマスク６３がすでに閉じているときは、何も行わない。
【０１０５】
パノラマスイッチ５８の入力を確認して（ステップＳ４）、ファインダユニット７５をワイド位置に駆動し（ステップＳ５）、パノラマスイッチ５８の状態に応じてファインダマスクユニット８１を駆動した後に（ステップＳ６）、ズームユニット８７をワイドに繰出す（ステップＳ７）。
【０１０６】
続いて、ＡＦミラー６６を下げて、測距回路５１によるＡＦを可能な状態にし（ステップＳ８）、ストロボの発光部を含むポップアップユニット７２をポップアップした後に（ステップＳ９）、ピント合わせ用のＬＤユニット６９を繰込み方向に当て付ける（ステップＳ１０）。
【０１０７】
続くステップＳ１１からステップＳ２３までがループ処理になる。
【０１０８】
まず、ＬＣＤ等の外部表示装置、およびファインダ内の表示装置に必要な表示を行い（ステップＳ１１）、ストロボ用のコンデンサを充電する（ステップＳ１２）。
【０１０９】
そして、強制リワインドスイッチ５６が押された（オンになった）か否かを検出し（ステップＳ１３）、オンになったことを検出した場合には、フィルムの巻戻し（リワインド）を行ってから（ステップＳ１４）、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１０】
次に、強制リワインドスイッチ５６が押されていない場合には、図示しない後蓋スイッチが開→閉になったか否かを検出し（ステップＳ１５）、開→閉への変化を検出した場合には、フィルムのオートロードを行ってから（ステップＳ１６）、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１１】
さらに、後蓋スイッチが開→閉に変化したことが検出されない場合には、図示しないズームスイッチが操作されたか否かを検出し（ステップＳ１７）、ズームスイッチの操作を検出した場合には、撮影レンズのズームユニット８７を制御して駆動するとともに（ステップＳ１８）、このズームユニット８７のズーム位置に合わせてファインダユニット７５をズーム制御し（ステップＳ１９）、その後、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１２】
続いて、ズームスイッチが操作されていない場合には、セルフスイッチ５７がオンになったか否かを検出し（ステップＳ２０）、オンになったことを検出する度に、セルフモードのオン／オフを変更して（ステップＳ２１）、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１３】
さらに、セルフスイッチ５７がオンになっていない場合には、第１レリーズスイッチ５３がオンになったか否かを検出し（ステップＳ２２）、第１レリーズスイッチ５３がオンになったことを検出した場合には、シャッタユニット７８を駆動するレリーズ処理を行ってから（ステップＳ２３）、また、第１レリーズスイッチ５３がオフである場合にはそのまま、上記ステップＳ１１に戻る。
【０１１４】
また、上記ステップＳ１においてバリアが閉じている状態にあることを検出した場合には、シャッタユニット７８を閉じるとともに（ステップＳ２４）、フィルムマスク６３を閉じる（ステップＳ２５）。なお、これらがすでに閉じているときは、何も行わない。
【０１１５】
パノラマスイッチ５８の入力を確認して（ステップＳ２６）、ファインダユニット７５をワイド位置に駆動し（ステップＳ２７）、ストロボの発光部を含むポップアップユニット７２をポップダウンした後に（ステップＳ２８）、ＡＦミラー６６を上げて（ステップＳ２９）、ズームユニット８７を駆動することにより撮影レンズを沈胴状態となるまで繰込んで（ステップＳ３０）、その後、ＣＰＵ５９をストップ状態にする。
【０１１６】
次に、図１２は、上記図１１のステップＳ２３におけるレリーズ処理の詳細を示すフローチャートである。
【０１１７】
このレリーズ処理が始まると、まず、シャッタユニット７８を閉じる（ステップＳ３１）。なお、シャッタユニット７８がすでに閉じているときは、何も行わない。
【０１１８】
フィルムマスク６３の位置検出を行い（ステップＳ３２）、開いた位置にあることを検出した場合には、フィルムマスク６３を閉じ（ステップＳ３３）、閉じた位置にあることを検出した場合にはそのまま次のステップに進む。
【０１１９】
次に、ズームユニット８７の位置検出を行い（ステップＳ３４）、ズーム位置が非撮影域にあるのを検出した場合には、ズームユニット８７をワイド位置に移動し（ステップＳ３５）、撮影域にあるのを検出した場合にはそのまま次のステップに進む。
【０１２０】
ＡＦミラー６６の位置検出を行い（ステップＳ３６）、これがＡＦ可能なダウン位置にないのを検出した場合には、ＡＦミラー６６をダウンする（ステップＳ３７）。
【０１２１】
これにより、撮影レンズから入射した光は、シャッタユニット７８を通過した後に、フィルムマスク６３によりフィルムへの到達を禁止されるとともに、ＡＦミラー６６により反射されて、ＡＦセンサ部５１ａ（図１６参照）に到達するようになる。
【０１２２】
また、上記ステップＳ３６において上記ＡＦミラー３６がダウン位置にあることを検出した場合には、そのまま次のステップに進んで、測距回路５１により測距を行うとともに（ステップＳ３８）、測光回路５２により測光を行う（ステップＳ３９）。
【０１２３】
続いて、シャッタユニット７８を閉じるとともに（ステップＳ４０）、上記フィルムマスク６３を開けて（ステップＳ４１）、シャッタユニット７８を開閉することにより露光を行うことができる状態にする。
【０１２４】
そして、第１レリーズスイッチ５３の状態をチェックして（ステップＳ４２）、これがオフであるときにはこのレリーズ処理を終了し、オンであるときには次に第２レリーズスイッチ５４の状態をチェックする（ステップＳ４３）。
【０１２５】
この第２レリーズスイッチ５４がオフであるときには上記ステップＳ４２に戻り、オンとなったことを検出した場合には、続くステップＳ４４以降の撮影処理を行う。
【０１２６】
すなわち、セルフスイッチ５７の状態によりセルフモードに設定されているか否かを検出し（ステップＳ４４）、セルフモードとなっているときにはセルフＬＥＤを例えば１０秒間点灯させる（ステップＳ４５）。
【０１２７】
次に、ピント合わせ用のレンズであるＬＤユニット６９を測距回路５１から出力された測距データに基づいて繰出すとともに（ステップＳ４６）、測光回路５２から出力された測光値やその他のフィルム感度等のデータに基づいてシャッタユニット７８の開閉を行う（ステップＳ４７）。
【０１２８】
また、被写体の輝度が低いなどにより補助光が必要であると判断されるときには、このシャッタユニット７８を開いている期間中にポップアップユニット７２内のフラッシュを発光させる。
【０１２９】
上記露光動作が終了したら、ピント合わせ用のレンズであるＬＤユニット６９を繰込み側に当て付くまで駆動して（ステップＳ４８）、フィルムを１コマ巻上げる（ステップＳ４９）。その後、フィルムエンドであるか否かを検出して（ステップＳ５０）、フィルムエンドである場合にはリワインドを行ってから（ステップＳ５１）、フィルムエンドでない場合にはそのまま、このレリーズ処理を抜ける。
【０１３０】
図１３はカメラのフィルムマスクの構成を示す図、図１４はフィルマスクモータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）平面図である。
【０１３１】
上記フィルムマスク６３は、カメラ１０１に装填されたパトローネ１０２から引き出されるフィルム１０２ａの移動経路上に位置するアパーチャ１０３を一部覆う位置と退避する位置とに移動可能に設けられたものであり、図１３に示すように、上のフィルムマスク６３ａと下のフィルムマスク６３ｂとの２つの部材を有してなる。
【０１３２】
これら上下のフィルムマスク６３ａ，６３ｂは、その一端部にそれぞれ設けられた円筒部６３ｃ，６３ｄにより案内軸６３ｇに挿通されていて、上下方向に移動可能となっている。
【０１３３】
また、これら上下のフィルムマスク６３ａ，６３ｂの一端部には、さらに腕部６３ｅ，６３ｆが突出されていて、両端部に互いに逆方向のねじが刻設されたねじ軸６２ａに螺合している。これらの内の一方の腕部６３ｅは、カメラ本体に構成されたストッパ５８ａに係合可能となっていて、フィルムマスク６３ａ，６３ｂがそれ以上退避するのを規制するようになっている。
【０１３４】
上記ねじ軸６２ａの上端部には放射状にスリットが穿設された円板状の部材が固着されていて、フィルムマスクＰＩ６４により回転位置を検出されるようになっている。
【０１３５】
そして、このねじ軸６２ａのほぼ中央部には、超音波モータにより構成されたフィルムマスクモータ６２が取り付けられている。このフィルムマスクモータ６２は、図１４に示すように、圧電素子６２ｅを接着した振動部材６２ｄを、固定部材６２ｃを用いて上記ねじ軸６２ａに圧接して構成されていて、上記第１の実施形態の図３に示したものと類似した構成となっている。
【０１３６】
すなわち、略直方体形状をなす振動部材６２ｄの一面に圧電素子６２ｅが接着され、この圧電素子６２ｅが接着されたのと反対側の面には、図１４（Ａ）に示すように、４つの突起６２ｇが突設されていて、これらの内の内側の２つの突起６２ｇは手前側に、外側の２つの突起６２ｇは向こう側に配列されている。
【０１３７】
このような振動部材６２ｄは、略コの字形状をなす固定部材６２ｃにより挟み込まれるように保持されていて、この固定部材６２ｃの端部は上記ねじ軸６２ａの係合部６２ｂの周面に嵌入することにより、該ねじ軸６２ａを回動自在に保持している。なお、この係合部６２ｂは、固定部材６２ｃが嵌入する部分の上下が太径に形成されており、ねじ軸６２ａの回転を許容するとともに、上下方向の移動を規制するようになっている。
【０１３８】
上記固定部材６２ｃには一対のねじ６２ｆが貫通して螺合されていて、貫通された先端は圧電素子６２ｅに当接している。このねじ６２ｆの螺合量を調節することにより、振動部材６２ｄの４つの突起６２ｇがねじ軸６２ａの周面に当接するときの押圧力を適切なものに調整することができるようになっている。
【０１３９】
次に、これら図１３，図１４に示したような構成の主な動作は次のようになる。
【０１４０】
ねじ軸６２ａを上から見て時計周りに回転させると、上のフィルムマスク６３ａは下に移動し、下のフィルムマスク６３ｂは上に移動する。これにより、ＡＦ中やバリアが閉じたときのフィルムを遮光した状態にする。
【０１４１】
こうして上下のフィルムマスク６３ａ，６３ｂが互いに近接すると、所定位置まで移動したところで、これらの腕部６３ｅ，６３ｆが固定部材６２ｃに当接してストッパとして機能するような位置関係に構成されている。
【０１４２】
これにより、フィルムマスク６３ａ，６３ｂは、当接した位置以上には移動することができないために、ねじ軸６２ａも回転することができなくなって停止する。
【０１４３】
一方、ねじ軸６２ａを上から見て反時計周りに回転させると、フィルムマスク６３ａ，６３ｂ同士の間隔を広げることができる。
【０１４４】
こうしてねじ軸６２ａを回転させることにより、フィルムマスク６３ａ，６３ｂを、アパーチャ１０３の開口の上下を一部遮光するパノラマ状態の位置に移動したり、アパーチャ１０３の開口を妨げることのないノーマル状態に移動したりすることができる。
【０１４５】
フィルムマスク６３ａ，６３ｂが互いに離間して所定の位置に達すると、フィルムマスク６３ａの腕部６３ｅが上記ストッパ５８ａにより係止されてそれ以上の移動を規制され、ねじ軸６２ａも回転することができなくなって停止するために、フィルムマスク６３ｂも同位置で停止する。
【０１４６】
続いて、図１５は、上述したようなフィルムマスクの開閉動作を示すフローチャートである。
【０１４７】
フィルムマスク６３を閉じる動作が開始されると（ステップＳ６１）、振動部材６２ｄに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ６２）。
【０１４８】
フィルムマスクＰＩ６４のパルス数をカウントするカウンタＦＬＭＭＣＴを０にリセットして（ステップＳ６３）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ６４）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ６５）、経過していない場合には、さらにフィルムマスクＰＩ６４の出力が反転したかを判断して（ステップＳ６６）、反転していない場合には上記ステップＳ６５に戻る。
【０１４９】
一方、ステップＳ６６においてフィルムマスクＰＩ６４の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＦＬＭＭＣＴをカウントアップして（ステップＳ６７）、カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ６８）、達していない場合には上記ステップＳ６４に戻る。
【０１５０】
カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達した場合、またはフィルムマスクＰＩ６４の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、フィルムマスクモータ６２に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ６９）、メインルーチンに復帰する（ステップＳ７０）。
【０１５１】
つまり、回転が停止したときには、フィルムマスクＰＩ６４の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはフィルムマスクＰＩ６４からパルスが発生し続けてカウンタＦＬＭＭＣＴが所定値以上になっているために、腕部６３ｅ，６３ｆが固定部材６２ｃに確実に当て付いたのを検出することができる。
【０１５２】
一方、フィルムマスク６３を開ける動作が開始されると（ステップＳ７１）、振動部材６２ｄに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ７２）。
【０１５３】
そして、カメラがパノラマモードに設定されているか否かを判断し（ステップＳ７３）、パノラマモードに設定されていない場合には、上記ステップＳ６３に飛ぶ。
【０１５４】
また、パノラマモードに設定されている場合には、まず、カウンタＦＬＭＭＣＴを０にリセットし（ステップＳ７４）、フィルムマスクＰＩ６４の出力が反転するまで待機して（ステップＳ７５）、反転の度にカウンタＦＬＭＭＣＴをカウントアップし（ステップＳ７６）、カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達したか否かを判断して（ステップＳ７７）、達していない場合には上記ステップＳ７５に戻る。
【０１５５】
こうして、カウンタＦＬＭＭＣＴが所定値に達した場合には、フィルムマスクモータ６２に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ７８）。このときには、腕部６３ｅがストッパ５８ａに係止された状態となっている。その後、メインルーチンに復帰する（ステップＳ７９）。
【０１５６】
図１６はカメラのＡＦミラーの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）平面図、図１７はＡＦミラーフォトリフレクタの構成を示す斜視図である。
【０１５７】
このカメラ１０１は、図１６に示すように、右手でカメラを保持する保持部の内側に電池等の部材１０６が収納され、その近傍にパトローネ１０２が装填されるようになっていて、このパトローネ１０２から引きされたフィルムは、撮影レンズ鏡筒１０５を挟んで反対側に設けられたスプール室１０４に収納されるようになっている。
【０１５８】
上記撮影レンズ鏡筒１０５内に保持されている撮影レンズの光軸後方には、上記ＡＦミラー６６が配設されている。
【０１５９】
このＡＦミラー６６は、支持ピン６６ｃにより回動自在に構成されたアーム６６ｂの端部に、カメラ正面に対して下向きに略４５度傾けられた略矩形の鏡面部６６ａを取り付けて構成されている。これにより撮影レンズから入射した光は、ＡＦミラー６６ａにより反射されて、カメラ１０１の内底部に取り付けられたＡＦセンサ部５１ａに入射されるようになっている。
【０１６０】
また、上記アーム６６ｂの上記支持ピン６６ｃを挟んだ他端側やや斜め方向には、細径の係合アーム６６ｄが突設されていて、その先端部が送りねじ軸６５ｄの溝に係合しており、該送りねじ軸６５ｄが回転することにより、アーム６６ｂが支持ピン６６ｃを支点にして回転し、上記鏡面部６６ａが略上下方向に移動するようになっている。
【０１６１】
さらに、上記係合アーム６６ｄの移動経路上にはストッパピン６６ｅ，６６ｆが設けられていて、ＡＦミラー６６ａが狙いの位置で停止するように構成されている。
【０１６２】
具体的には、送りねじ軸６５ｄを右側から見て時計周りに回転させると、鏡面部６６ａはねじ軸６５ｄとの係合により略右斜め上方向に移動されて、係合アーム６６ｄとストッパピン６６ｅとが当接したところで停止する。このときには鏡面部６６ａは、撮影レンズから入射した光束が通過する範囲からは退避した状態となっている。
【０１６３】
一方、送りねじ軸６５ｄを右側から見て反時計周りに回転させると、鏡面部６６ａはねじ軸６５ｄとの係合により略左斜め下方向に移動されて、係合アーム６６ｄとストッパピン６６ｆとが当接したところで停止する。このときには鏡面部６６ａは、上記ＡＦセンサ部５１ａへ光を反射する所定の位置となっている。
【０１６４】
上述したような送りねじ軸６５ｄは、超音波モータで構成されるＡＦミラーモータ６５により駆動されるようになっている。
【０１６５】
すなわち、このＡＦミラーモータ６５は、圧電素子を接着した振動部材６５ａを、略コの字形状の固定部材を用いて回転部材６５ｂに圧接してパルス電圧を印加することにより回転駆動するようになっていて、回転部材６５ｂの両端部には駆動力伝達用のギア６５ｃがそれぞれ固着されている。
【０１６６】
上記送りねじ軸６５ｄは、ＡＦミラーモータ６５の固定部材に回動自在に支持されていて、その両端部には上記回転部材６５ｂのギア６５ｃに噛合するためのギア６５ｅが各固着されている。さらに、この送りねじ軸６５ｄの一方の端部には、図１７に示すような、周方向に白黒のパターンが交互に形成された円柱形状の被検出部６５ｆが設けられていて、上記ＡＦミラーＰＲ６７によりその回転状態を検出されるようになっている。
【０１６７】
なお、上記ＡＦミラーモータ６５に用いる超音波モータとしては、上記第１から第４の実施形態の何れに示した形態のものを用いても構わない。
【０１６８】
次に図１８は、上述したようなＡＦミラーをアップ／ダウンさせる動作を示すフローチャートである。
【０１６９】
ＡＦミラー６６をアップする動作が開始されると（ステップＳ８１）、振動部材６５ａに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ８２）。
【０１７０】
ＡＦミラーＰＲ６７のパルス数をカウントするカウンタＡＦＭＣＴを０にリセットして（ステップＳ８５）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ８６）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ８７）、経過していない場合には、さらにＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転したかを判断して（ステップＳ８８）、反転していない場合には上記ステップＳ８７に戻る。
【０１７１】
一方、ステップＳ８８においてＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＡＦＭＣＴをカウントアップして（ステップＳ８９）、カウンタＡＦＭＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ９０）、達していない場合には上記ステップＳ８６に戻る。
【０１７２】
カウンタＡＦＭＣＴが所定値に達した場合、またはＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ＡＦミラーモータ６５に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ９１）。
【０１７３】
つまり、回転が停止したときには、ＡＦミラーＰＲ６７の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはＡＦミラーＰＲ６７からパルスが発生し続けてカウンタＡＦＭＣＴが所定値以上になっているために、係合アーム６６ｄがストッパピン６６ｅに確実に当て付いてＡＦミラー６６が停止したのを検出することができる。
【０１７４】
一方、ＡＦミラー６６をダウンする動作が開始されると（ステップＳ８３）、振動部材６５ａに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ８４）。その後、上記ステップＳ８５に行って、係合アーム６６ｄがストッパピン６６ｆに当て付いてＡＦミラー６６が停止するまで駆動を行う。
【０１７５】
図１９はカメラのＬＤユニットの構成を示す側面図、図２０はＬＤモータの構成を示す側面図である。
【０１７６】
このＬＤユニット６９は、ピント合わせ用のレンズ６９ａと、このレンズ６９ａを保持する保持部材６９ｂと、この保持部材６９ｂの一端側に摺動可能に挿通されている吊り軸６９ｃと、上記保持部材の６９ｂの他端側に螺合されている送りねじ軸６９ｅとを有して構成されている。また、上記保持部材６９ｂの送りねじ軸６９ｅが螺合されている部分の両側面には複数の突起６９ｄが突設されていて、送りねじ軸６９ｅを回転することにより保持部材６９ｂの繰出しや繰込みを行うと、送りねじ軸６９ｅの後述するギア６９ｆの側面に当て付くようになっている。
【０１７７】
そして、上記送りねじ軸６９ｅの両端部にはギア６９ｆが固着されるとともに、さらにその両側は先鋭端６９ｇとなっている。
【０１７８】
このような送りねじ軸６９ｅは、超音波モータでなるＬＤモータ６８に３次、５次の定常波を発生させて後述する回転部材６８ｆを正転、逆転させることにより、回転駆動されて、保持部材６９ｂを移動させるようになっている。
【０１７９】
このＬＤモータ６８は、図２０に示すように、圧電素子６８ａを接着した振動部材６８ｂを、固定部材６８ｄを用いて回転部材６８ｆに圧接して構成されている。
【０１８０】
すなわち、略直方体形状をなす振動部材６８ｂの一面に圧電素子６８ａが接着され、この圧電素子６８ａが接着されたのと反対側の面には、４つの突起６８ｃが突設されていて、これらの突起６８ｃは上記図５に示したものとほぼ同様に配置されている。なお、ここでは突起６８ｃを上記図５に示したような形状としたが、図３等に示したような形状のものとしてもかまわない。
【０１８１】
このような振動部材６８ｂは、略コの字形状をなす固定部材６８ｄにより挟み込まれるように保持されていて、この固定部材６８ｄの端部は上記回転部材６８ｆの両端に設けられた先鋭端６８ｈを点受けして回動自在に保持している。
【０１８２】
上記固定部材６８ｄには一対のねじ６８ｅが貫通して螺合されていて、貫通された先端は圧電素子６８ａに当接している。このねじ６８ｅの螺合量を調節することにより、振動部材６８ｂの４つの突起６８ｃが回転部材６８ｆの周面に当接するときの押圧力を適切なものに調整することができるようになっている。
【０１８３】
上記回転部材６８ｆは、両端部に駆動力伝達用のギア６８ｇが形成されていて、同様に固定部材６８ｄに先鋭端６９ｇを点受けされて回動自在に保持されている送りねじ軸６９ｅの上記ギア６９ｆに噛合している。
【０１８４】
このように、超音波モータを構成する固定部材６８ｄにより、送りねじ軸６９ｅの保持を兼用しているために、駆動ユニットの構成を簡単なものとすることができる。
【０１８５】
さらに、回転部材６８ｆの突起６８ｃに接しない部分、例えばほぼ中央部には、周方向に白黒のパターンが交互に塗布された被検出部６８ｉが設けられていて、上記ＬＤＰＲ７０（図１０参照）によりその回転状態を検出されるようになっている。
【０１８６】
次に、図２１は上述したようなＬＤユニットを繰り込んで当て付ける動作を示すフローチャート、図２２はＬＤユニットを繰り出す動作を示すフローチャートである。
【０１８７】
図２１に示すように、ＬＤユニット６９を繰込んで当て付ける動作が開始されると、振動部材６８ｂに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１０１）。
【０１８８】
ＬＤＰＲ７０のパルス数をカウントするカウンタＬＤＣＴを０にリセットして（ステップＳ１０２）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１０３）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１０４）、経過していない場合には、さらにＬＤＰＲ７０の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１０５）、反転していない場合には上記ステップＳ１０４に戻る。
【０１８９】
一方、ステップＳ１０５においてＬＤＰＲ７０の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＬＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１０６）、カウンタＬＤＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１０７）、達していない場合には上記ステップＳ１０３に戻る。
【０１９０】
カウンタＬＤＣＴが所定値に達した場合、またはＬＤＰＲ７０の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ＬＤモータ６８に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１０８）。
【０１９１】
つまり、回転が停止したときには、ＬＤＰＲ７０の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはＬＤＰＲ７０からパルスが発生し続けてカウンタＬＤＣＴが所定値以上になっているために、突起６９ｄがギア６９ｆの側面に確実に当て付いてレンズ６９ａが停止したのを検出することができる。
【０１９２】
一方、図２２に示すように、ＬＤユニット６９を繰出す動作が開始されると、振動部材６８ｂに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１１１）。
【０１９３】
その後、測距値から計算した繰出しパルスをＬＤＰＬＳにセットして（ステップＳ１１２）、ＬＤＰＲ７０のパルス数をカウントするカウンタＬＤＣＴを０にリセットし（ステップＳ１１３）、ＬＤＰＲ７０の出力が反転するのを待機する（ステップＳ１１４）。
【０１９４】
ＬＤＰＲ７０の出力が反転したところで、反転の度にカウンタＬＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１１５）、カウンタＬＤＣＴが上記ＬＤＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１１６）、達していない場合には上記ステップＳ１１４に戻る。
【０１９５】
カウンタＬＤＣＴがＬＤＰＬＳに達した場合は、ＬＤモータ６８に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１１７）、終了する。
【０１９６】
図２３はカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す正面図、図２４はカメラのポップアップユニットの発光可能状態における構成を示す正面図、図２５はカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す右側面図である。
【０１９７】
このポップアップユニット７２は、電圧を印加することにより発光を行うキセノン管７２ａと、このキセノン管７２ａにより発光された光を所定の方向に向けて照射するためのストロボ傘７２ｂと、セルフタイマ撮影時に点滅するセルフＬＥＤ７２ｃとを有して構成されている。
【０１９８】
上記ポップアップユニット７２は、ピン７２ｄを中心にしてカメラ本体に対して回転可能に構成されており、一端をカメラ本体から突設されたピン７２ｆに、他端を該ポップアップユニット７２から突設されたピン７２ｇに係止されたばね７２ｅの付勢力により、通常は下向きに、つまり収納状態となる方向に付勢されている。
【０１９９】
さらに、上記ピン７２ｇには糸７１ｄの一端が固定されていて、この糸７１ｄは、カメラ本体から突設されたピン７１ｅに掛けられた後に、ポップアップモータ７１の回転部材７１ｂに固着された糸巻き７１ｃに巻回されている。
【０２００】
このポップアップモータ７１は、振動部材７１ａに３次の定常波を発生させることにより糸７１ｄを糸巻き７１ｃから解く方向に回転部材７１ｂを回転させ、５次の定常波を発生させることにより糸７１ｄを糸巻き７１ｃに巻き付ける方向に回転部材７１ｂを回転させるようになっている。
【０２０１】
こうしてポップアップユニット７２は、回転部材７１ｂを回転させて、糸７１ｄを巻き付けあるいは解くことにより、発光可能状態にポップアップし、あるいは収納状態にポップダウンするようになっている。
【０２０２】
なお、このポップアップモータ７１に用いる超音波モータとしては、上述した第１の実施形態から第４の実施形態の何れのものでも構わない。
【０２０３】
さらに、上記回転部材７１ｂの一端部には、周方向に白黒のパターンが交互に塗布された被検出部７１ｆが設けられていて、上記ポップアップＰＲ７３によりその回転状態を検出されるようになっている。
【０２０４】
図２６は、ポップアップユニット７２をポップアップまたはポップダウンするときの動作を示すフローチャートである。
【０２０５】
ポップアップユニット７２をポップアップする動作が開始されると（ステップＳ１２１）、振動部材７１ａに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始して（ステップＳ１２２）、糸７１ｄを糸巻き７１ｃに巻き付けてポップアップユニット７２のポップアップを始める。
【０２０６】
ポップアップＰＲ７３のパルス数をカウントするカウンタＰＯＰＣＴを０にリセットして（ステップＳ１２５）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１２６）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１２７）、経過していない場合には、さらにポップアップＰＲ７３の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１２８）、反転していない場合には上記ステップＳ１２７に戻る。
【０２０７】
一方、ステップＳ１２８においてポップアップＰＲ７３の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＰＯＰＣＴをカウントアップして（ステップＳ１２９）、カウンタＰＯＰＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１３０）、達していない場合には上記ステップＳ１２６に戻る。
【０２０８】
カウンタＰＯＰＣＴが所定値に達した場合、またはポップアップＰＲ７３の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ポップアップモータ７１に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１３１）。
【０２０９】
つまり、回転が停止したときには、ポップアップＰＲ７３の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上が経過しているか、またはポップアップＰＲ７３からパルスが発生し続けてカウンタＰＯＰＣＴが所定値以上になっているために、ポップアップユニット７２が確実にポップアップしたのを検出することができる。
【０２１０】
一方、ポップアップユニット７２をポップダウンする動作が開始されると（ステップＳ１２３）、振動部材７１ａに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１２４）。その後、上記ステップＳ１２５に行って、ポップアップユニット７２が収納状態となるまで駆動を行う。
【０２１１】
図２７はカメラのファインダユニットの構成を一方向から示す側面図、図２８はカメラのファインダユニットの構成を他方向から示す側面図である。
【０２１２】
このファインダユニット７５は、ファインダのズームを行うためのファインダレンズ７５ａと、このファインダレンズ７５ａの一端側を光軸方向に摺動自在に保持する吊り軸７５ｂとを有しており、ファインダレンズ７５ａの他端側はファインダモータ７４のねじが螺刻された部材である回転部材７４ｅに螺合されている。
【０２１３】
このファインダモータ７４は、圧電素子７４ａを接着した振動部材７４ｂを、ねじ７４ｄを螺合した固定部材７４ｃを用いて、回転部材７４ｅの大径部７４ｆに圧接して構成されている。
【０２１４】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材７４ｂの一面に分極処理を施した略板状をなす圧電素子７４ａが接着されている。
【０２１５】
このような振動部材７４ｂは、略コの字形状をなす固定部材７４ｃに対して図２８に示すように略４５度傾斜して保持され、弾性のある接着剤を用いて接着されている。これにより、振動は可能であるが、振動部材７４ｂと固定部材７４ｃの相対位置が大きくずれることはないように構成されている。
【０２１６】
上記固定部材７４ｃは、さらに、両端に設けられた先鋭端により、回転部材７４ｅの両端に設けられたすり鉢状をなす凹部を保持することにより、該回転部材７４ｅを回動自在に支持している。
【０２１７】
この回転部材７４ｅには大径部７４ｆが回動一体に設けられていて、上記振動部材７４ｂの圧電素子７４ａが接着されたのと反対側の面に押圧力をもって当接するようになっている。
【０２１８】
このときの押圧力は、上記固定部材７４ｃに貫通して螺合され、貫通された先端が上記圧電素子７４ａに当接しているねじ７４ｄの螺合量を調節することにより、適切なものに調整されるようになっている。
【０２１９】
こうして、振動部材７４ｂに振動が発生していない場合には摩擦力により回転部材７４ｅの不用意な滑動を規制することができ、振動を発生させた場合には回転部材７４ｅを最も効率良く回転させることができるように調整されている。
【０２２０】
上記回転部材７４ｅの一端側には、放射状にスリットが穿設された円板状の部材７４ｇが固着されていて、ファインダＰＩ７６により回転位置を検出されるようになっている。
【０２２１】
次にこのような構成のファインダモータ７４の作用について説明する。
【０２２２】
上記ＵＳＭ制御回路６０（図１０参照）からのパルス電圧を圧電素子７４ａに印加することにより、該圧電素子７４ａが伸縮を行って、振動部材７４ｂに振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材７４ｂに発生する振動が定常波となる。
【０２２３】
上記回転部材７４ｅの大径部７４ｆは、図２８に示すように、３次の定常波であるときと５次の定常波であるときとで振幅の膨らみ具合の異なる振動部材７４ｂの場所に接している。
【０２２４】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材７４ｂが回転部材７４ｅの大径部７４ｆを押圧して、回転部材７４ｅを上側から見て時計周りに回転させる。
【０２２５】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、振動部材７４ｂが回転部材７４ｅの大径部７４ｆを押圧して、回転部材７４ｅを上側から見て反時計周りに回転させる。
【０２２６】
次に、図２９は上述したようなファインダユニットをワイド側へ移動する動作を示すフローチャート、図３０はファインダユニットのズーム制御の動作を示すフローチャートである。
【０２２７】
図２９に示すように、ファインダユニット７５をワイド側へ移動する動作が開始されると、振動部材７４ｂに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１４１）。
【０２２８】
ファインダＰＩ７６のパルス数をカウントするカウンタＦＮＤＣＴを０にリセットして（ステップＳ１４２）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１４３）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１４４）、経過していない場合には、さらにファインダＰＩ７６の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１４５）、反転していない場合には上記ステップＳ１４４に戻る。
【０２２９】
一方、ステップＳ１４５においてファインダＰＩ７６の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＦＮＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１４６）、カウンタＦＮＤＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１４７）、達していない場合には上記ステップＳ１４３に戻る。
【０２３０】
カウンタＦＮＤＣＴが所定値に達した場合、またはファインダＰＩ７６の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、ファインダモータ７４に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１４８）。
【０２３１】
また、図３０に示すように、ファインダユニット７５のズーム制御の動作が開始されると、撮影レンズのズーム位置から計算したカウンタＦＮＤＣＴの狙い値をＦＮＤＰＬＳにセットする（ステップＳ１５１）。
【０２３２】
そして、現在のカウンタＦＮＤＣＴと狙い値ＦＮＤＰＬＳとを比較して（ステップＳ１５２）、これらが等しければ、ファインダが狙いのズーム位置にあるために、リターンしてメインルーチンに復帰する（ステップＳ１６５）。
【０２３３】
また、現在のカウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳよりも大きいときは、３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始し（ステップＳ１５３）、ファインダＰＩ７６の出力が反転するのを待機して（ステップＳ１５４）、反転したところでカウンタＦＮＤＣＴをカウントダウンして（ステップＳ１５５）、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１５６）、達していない場合には上記ステップＳ１５４に戻る。
【０２３４】
そして、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したところで、ファインダモータ７４に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１５７）、メインルーチンに復帰する（ステップＳ１５８）。
【０２３５】
一方、現在のカウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳよりも小さいときは、５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始し（ステップＳ１５９）、ファインダＰＩ７６の出力が反転するのを待機して（ステップＳ１６０）、反転したところでカウンタＦＮＤＣＴをカウントアップして（ステップＳ１６１）、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１６２）、達していない場合には上記ステップＳ１６０に戻る。
【０２３６】
そして、カウンタＦＮＤＣＴが狙い値ＦＮＤＰＬＳに達したところで、ファインダモータ７４に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１６３）、メインルーチンに復帰する（ステップＳ１６４）。
【０２３７】
図３１はカメラのシャッタユニットの構成を示す正面図、図３２はカメラのシャッタユニットの構成を示す（Ａ）分解側面図および（Ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【０２３８】
このシャッタユニット７８は、円形の開口７８ｋを有する保持部材７８ｊと、この保持部材７８ｊから突出された支持ピン７８ｄ，７８ｅ，７８ｆに回動可能に軸支された３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃとを有して構成されている。
【０２３９】
これら３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃには、略くの字形状をなす孔７８ｇ，７８ｈ，７８ｉがそれぞれ穿設されており、リング状をなす可動部材７７ｅの突出部７７ｆ，７７ｇ，７７ｈが係合している。
【０２４０】
これにより、可動部材７７ｅが回動すると、上記３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃが連動して開閉するようになっている。
【０２４１】
上記３枚の内の１枚のシャッタ羽根７８ｂには、周縁部の一部に沿って複数の孔７８ｌが穿設されており、上記シャッタＰＩ７９によりシャッタ羽根７８ｂの位置、つまり３枚のシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃにより構成される開口量を検出することができるようになっている。
【０２４２】
上記可動部材７７ｅは、超音波モータでなるシャッタモータ７７の一部として構成されている。
【０２４３】
すなわち、このシャッタモータ７７は、図３２（Ｂ）に示すように、圧電素子７７ａを接着した振動部材７７ｂと、断面略コの字形状の固定部材７７ｄとの間に可動部材７７ｅを挟み込むことにより、振動部材７７ｂから突設された４つの突起７７ｃを可動部材７７ｅに圧接して構成されている。なお、これら４つの突起７７ｃは、例えば上述した第４の実施形態と同様の形状のものである。
【０２４４】
そして、パルス電圧を圧電素子７７ａに印加して、振動部材７７ｂに３次の定常波または５次の定常波を発生させることにより、可動部材７７ｅを撮影レンズの光軸回りに回動させて、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃの開閉を行うようになっている。
【０２４５】
このように、可動部材７７ｅを振動部材７７ｂと固定部材７７ｄにより挟持して加圧固定しているために、駆動パルスを停止するだけで、容易に絞り制御を行うことができるようになっている。
【０２４６】
次に、図３３はカメラのシャッタユニットの開口波形を示す線図、図３４はカメラのシャッタユニットを閉じる動作および全開にする動作を示すフローチャート、図３５はカメラのシャッタユニットの開閉動作を示すフローチャートである。
【０２４７】
図３４に示すように、シャッタユニット７８を閉じる動作が開始されると（ステップＳ１７０）、振動部材７７ｂに３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１７１）。
【０２４８】
シャッタＰＩ７９のパルス数をカウントするカウンタＳＨＴＣＴを０にリセットして（ステップＳ１７４）、２０ｍｓタイマをスタートする（ステップＳ１７５）。そして、２０ｍｓが経過したか否かを判断し（ステップＳ１７６）、経過していない場合には、さらにシャッタＰＩ７９の出力が反転したかを判断して（ステップＳ１７７）、反転していない場合には上記ステップＳ１７６に戻る。
【０２４９】
一方、ステップＳ１７７においてシャッタＰＩ７９の出力が反転した場合には、反転の度にカウンタＳＨＴＣＴをカウントアップして（ステップＳ１７８）、カウンタＳＨＴＣＴが所定値に達したか否かを判断し（ステップＳ１７９）、達していない場合には上記ステップＳ１７５に戻る。
【０２５０】
カウンタＳＨＴＣＴが所定値に達した場合、またはシャッタＰＩ７９の出力が反転するまでに２０ｍｓ以上の時間を経過した場合には、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを停止する（ステップＳ１８０）。
【０２５１】
一方、シャッタユニット７８を全開にする動作が開始されると（ステップＳ１７２）、振動部材７７ｂに５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始する（ステップＳ１７３）。その後、上記ステップＳ１７４に行って、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃが全開となるまで駆動を行う。
【０２５２】
また、図３５に示すように、シャッタユニット７８を開閉して露光を行う動作が開始されると、図示しない絞り設定手段により設定されたＡＶ値に対応したシャッタＰＩ７９のパルス数をＡＶＰＬＳにセットする（ステップＳ１８１）。
【０２５３】
上記測光回路５２から出力される測光値やフィルム感度（ＩＳＯ値）等の情報から算出されるＥｖ値とＡｖ値に基づいて、制御時間を計算し、その結果をＳＨＴＴＩＭにセットする（ステップＳ１８２）。
【０２５４】
そして、上記測距回路５１から出力される被写体距離と上記ＩＳＯ値から計算した絞りに対応したシャッタＰＩ７９のパルス数をＦＭＰＬＳにセットする（ステップＳ１８３）。なお、このとき、計算した値が上記ＡＶＰＬＳよりも大きい場合には、該ＡＶＰＬＳを上限とする。
【０２５５】
その後、５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を開始し、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開き始める（ステップＳ１８４）。
【０２５６】
シャッタＰＩ７９のパルス数をカウントするカウンタＳＨＴＣＴを０にリセットして（ステップＳ１８５）、シャッタＰＩ７９の出力が反転するまで待機し（ステップＳ１８６）、シャッタＰＩ７９の出力が反転する度にカウンタＳＨＴＣＴをカウントアップする（ステップＳ１８７）。
【０２５７】
続いて、カウント値ＳＨＴＣＴが上記ＦＭＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１８８）、達した場合には、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１８９）、上記ポップアップユニット７２内のストロボを発光する（ステップＳ１９０）。なおこのとき、ストロボ発光が不要な場合には、もちろん発光は行わない。
【０２５８】
こうしてストロボの発光が終了したところで、再度、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを出力してシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開く（ステップＳ１９１）。
【０２５９】
このステップＳ１９１が終了するか、あるいは上記ステップＳ１８８においてカウント値ＳＨＴＣＴが上記ＦＭＰＬＳに達していない場合には、さらに該カウント値ＳＨＴＣＴがＳＨＴＰＬＳに達したか否かを判断し（ステップＳ１９２）、達していない場合には上記ステップＳ１８６に戻る。
【０２６０】
一方、カウント値ＳＨＴＣＴがＳＨＴＰＬＳに達した場合には、シャッタモータ７７に供給する駆動パルスを停止して（ステップＳ１９３）、ＳＨＴＴＩＭ時間待機して（ステップＳ１９４）、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを閉じる処理を行って露光を終了し（ステップＳ１９５）、メインルーチンに復帰する。
【０２６１】
また、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃの開閉動作を行うときの開口波形は図３３に示すようになっている。
【０２６２】
すなわちまず、５次の定常波に対応した周波数の駆動パルスによりシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開き、シャッタＰＩ７９のパルス数がＦＭＰＬＳに達したところで駆動パルスを停止してシャッタモータ７７を止め、ストロボの発光を行う。その後、駆動パルスを再起動し、シャッタＰＩ７９のパルス数がＳＨＴＰＬＳに達したところで、駆動パルスを停止してシャッタモータ７７を止める。
【０２６３】
そして、制御時間ＳＨＴＴＩＭの経過を待って、経過したところで３次の定常波に対応した周波数の駆動パルスによりシャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを閉じる。
【０２６４】
超音波モータは時定数が短いために、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃを開閉する動作の途中で停止させることも容易である。そこで上述のような動作を行わせることにより、ストロボを発光させている期間中は、シャッタ羽根７８ａ，７８ｂ，７８ｃによる開口径が変化することのないようにしている。
【０２６５】
図３６はカメラのファインダマスクユニットの構成を示す正面図である。
【０２６６】
このファインダマスクユニット８１は、略Ｌ字形状をなす上下一対のファインダマスク部材８１ａ，８１ｂを有して構成されており、これらには上下方向の長孔８１ｃ，８１ｄが各穿設されて、カメラ本体等から突設されたピン８１ｅ，８１ｆがそれぞれ係合することにより、上下方向に移動可能となっている。
【０２６７】
また、これら一対のファインダマスク部材８１ａ，８１ｂ同士の間には規制部材８１ｋが配設されていて、上下方向のみの移動を許容し、その他の方向への移動を規制している。
【０２６８】
さらに、上側のファインダマスク部材８１ａの一端部には、完全遮光部８１ｉと半透過部８１ｊとでなる被検出部が形成されていて、この被検出部をファインダマスクＰＩ８２の間を通過させることにより、位置検出を行うことができるようになっている。この場合には、ファインダマスクＰＩ８２の光が完全に透過して検出されるとノーマル状態であり、完全遮光部８１ｉが検出されるとパノラマ状態であり、半透過部８１ｊが検出されるとこれらの中間の状態であることを示すように構成されている。
【０２６９】
このようなファインダマスク部材８１ａ，８１ｂの延出部８１ｇ，８１ｈの側面には、ファインダマスクモータ８０が圧接されている。
【０２７０】
このファインダマスクモータ８０は、上述した第４の実施形態とほぼ同様に構成された超音波モータでなり、「ハ」の字の形状を構成する一対の突起と、「ハ」の字を上下逆にした形状を構成する一対の突起とを有している。
【０２７１】
そして、３次の定常波で駆動したときに、ファインダマスク部材８１ａ，８１ｂ同士の間隔を広げ、５次の定常波で駆動したときに、これらの間隔を狭めるように制御するようになっている。
【０２７２】
図３７は、カメラのファインダマスクユニットを（Ａ）パノラマにするとき，（Ｂ）ノーマルにするときの制御信号を示す波形図である。
【０２７３】
ファインダマスクユニット８１をパノラマ状態にするときは、３次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を行い、ファインダマスクＰＩ８２が遮光状態になったところでファインダマスクモータ８０に供給するパルス電圧を停止する。
【０２７４】
また、ファインダマスクユニット８１をノーマル状態にするときは、５次の定常波が発生する周波数のパルス電圧により駆動を行い、ファインダマスクＰＩ８２が透光状態になったところファインダマスクモータ８０に供給するパルス電圧を停止する。
【０２７５】
一方、上記給送ユニット８４やズームユニット８７は、ＤＣモータにより構成された給送モータ８３やズームモータ８６によって制御されているが、これらは通常の構成であって特段の説明は要しないので省略する。
【０２７６】
このような第５の実施形態によれば、１つの圧電素子を用いて複数の方向に駆動することができる簡単な構成の圧電アクチュエータを、カメラを構成する各種の駆動部に適用することにより、小型かつ軽量なカメラを提供することが可能となる。
【０２７７】
図３８は本発明の第６の実施形態を示したものであり、アクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図である。
【０２７８】
この実施形態は、上記図３に示したアクチュエータに対して、振動部材と回転部材を保持する構成を変化させたものである。
【０２７９】
このアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子たる積層型の圧電素子９１を接着した振動体たる振動部材９２を、固定部材９４を用いて被駆動体たる回転部材９３に圧接して構成されている。
【０２８０】
より詳しくは、略直方体形状をなす振動部材９２の一面に、位置決め突起９２ｇが突設されていて、この位置決め突起９２ｇの面９２ｈに接着剤を用いて上記圧電素子９１が接着されている。さらに、この圧電素子９１の他端側から挟み込むようにして固定用部材９５が配置され、この固定用部材９５の２面９５ａ，９５ｂに接着剤を塗布して所定の圧力を加えることにより、振動部材９２に固定されるとともに該圧電素子９１を加圧固定している。
【０２８１】
なお、上記圧電素子９１に対向する振動部材９２の面９２ｉには、特に接着剤を塗布する必要はないために、これらは接着されていない。
【０２８２】
また、振動部材９２の圧電素子９１が接着されたのと反対側の面には、図３８（Ａ）に示すように、上から下に向かって順に４つの突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄが突設されていて、これらの内の突起９２ａ，９２ｄは手前側に、突起９２ｂ，９２ｃは向こう側に配列されている。
【０２８３】
さらに上記振動部材９２には、図３８（Ａ）の正面および背面に４つの突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄが突設されていて、これらの突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄは、３次の定常波および５次の定常波の何れにおいても、腹にも節にもならない部分に配設されている。
【０２８４】
より詳しくは、上記突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄは、図３８（Ａ）に示すように、突起９２ａと突起９２ｂの間、および突起９２ｃと突起９２ｄの間となる位置に設けられているが、これに限るものではなく、例えば符号９２ｅ，９２ｆに示すような位置に配設することも可能である。
【０２８５】
さらに上記突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄは、その先端部が図３８（Ｃ）に示すように傾斜して設けられていて、固定部材９４に嵌め込み易く、嵌めた後では抜け難いように構成されている。
【０２８６】
このような振動部材９２は、上記突起９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄを、略矩形枠状をなす固定部材９４に穿設された孔に挿通して、かしめまたは接着固定することにより保持されていて、その他の部分は、静止時は勿論のこと振動時においても、固定部材９４と接触することがないように構成されている。このような構成により振動部材９２は、上記図３に示したアクチュエータのように振動の腹となる上下の端部が接することはなく、エネルギーのロスが少なくなるように構成されている。
【０２８７】
上記固定部材９４は、上面部９４ａ、底面部９４ｂ、両側面部９４ｃ，９４ｄにより上記略矩形枠状に構成されており、上面部９４ａおよび底面部９４ｂには、切込９４ｅが設けられている。
【０２８８】
これら一対の切込９４ｅに対して、回転部材９３の両端に設けられた支持軸９３ａ，９３ｂが嵌入されており、これによって、該回転部材９３が回動自在に保持されている。
【０２８９】
この回転部材９３の中央部には例えばはすば歯車９３ｃが回動一体に取り付けられていて、発生した駆動力を他の部材に伝達することができるようになっている。この回転部材９３の周面には、上記突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄが押圧力をもって当接している。
【０２９０】
また、このようなアクチュエータを組み立てる際には、次のように行う。
【０２９１】
固定部材９４の切込９４ｅに、まず回転部材９３の支持軸９３ａ，９３ｂを挿入する。その後、振動部材９２を、上記突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄの先端部に設けられた傾斜部を利用しながら圧入する。そして、これらの突起９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄが固定部材９４の孔に嵌入された後には、上記傾斜部により抜けることがないようになっており、さらに上述したように、かしめまたは接着により固定する。
【０２９２】
次にこのような第６の実施形態のアクチュエータの作用について説明する。
【０２９３】
上記パルス制御回路１（図１，図２参照）からのパルス電圧を圧電素子９１に印加することにより、該圧電素子９１が伸縮を行って、振動部材９２に振動が発生する。このとき、パルス電圧の周波数を適切に選ぶことにより、振動部材９２に発生する振動が定常波となる。
【０２９４】
上記突起９２ａ，９２ｄは、図３８（Ａ）に示すように、振動部材９２に発生する定常波が３次の定常波であるときに節になり、５次の定常波であるときに腹となる位置に配設され、上記突起９２ｂ，９２ｃは、振動部材９２に発生する定常波が３次の定常波であるときに腹（節以外となる部分）になり、５次の定常波であるときに節となる位置に配設されている。
【０２９５】
そこで、３次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起９２ｂ，９２ｃは回転部材９３を押圧するが、突起９２ａ，９２ｄは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３８（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材９３は時計周りに回転する。
【０２９６】
同様に、５次の定常波になる周波数によりパルス駆動を行うと、突起９２ａ，９２ｄは回転部材９３を押圧するが、突起９２ｂ，９２ｃは節になるために押圧力を発生しない。これにより、図３８（Ｃ）のような底面側から見た場合に、回転部材９３は反時計周りに回転する。
【０２９７】
なお、個々の部材の個々の形状は、製造のし易さ等に応じて、容易に応用することが可能である。
【０２９８】
このような第６の実施形態によれば、上述の各実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、振動部材の上下の端部が固定部材から完全に離れていて、振動時にも接触しないために、接触によるエネルギーのロスが少ないという利点を有している。
【０２９９】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用が可能であることは勿論である。
【０３００】
［付記］
以上詳述したような本発明の上記実施形態によれば、以下のような構成を有する発明を得ることができる。
【０３０１】
（１） 電気−機械エネルギー変換素子と、
この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより振動が励起される振動体と、
この振動体に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、
上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、
を具備することを特徴とするアクチュエータ。
【０３０２】
（２） 上記（１）において、
上記振動体は少なくとも２つの共振周波数を有し、一方の共振周波数による振動が励起されている際には該振動体と被駆動体との圧接部分に第１方向の駆動力が発生し、他方の共振周波数による振動が励起されている際には該振動体と被駆動体との圧接部分に第２方向の駆動力が発生する。
【０３０３】
（３） 電気−機械エネルギー変換素子と、
この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより、第１の振動モードによる第１の振動と第２の振動モードによる第２の振動とが選択的に励起される振動体と、
この振動体上の、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第１の突起と、
この振動体上の、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第２の突起と、
上記振動体の第１および第２の突起に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、
上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、
を具備することを特徴とするアクチュエータ。
【０３０４】
（４） 上記（３）において、
上記被駆動体は、上記第１の振動が励起されている際には上記振動体に対して第１の方向に移動され、上記第２の信号が励起されている際には上記振動体に対して第２の方向に移動される。
【０３０５】
（５） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は単一の圧電素子からなる。
【０３０６】
（６） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は積層型の圧電素子からなる。
【０３０７】
（７） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は単一の電歪素子からなる。
【０３０８】
（８） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は積層型の電歪素子からなる。
【０３０９】
（９） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は磁歪素子からなる。
【０３１０】
（１０） 上記（１），（３）において、上記電気−機械エネルギー変換素子は積層型の磁歪素子からなる。
【０３１１】
（１１） 上記（１），（３）において、上記固定部材は単一の部材からなる。
【０３１２】
（１２） 上記（１），（３）において、上記被駆動体はカメラの構成部材を駆動する。
【０３１３】
（１３） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はフィルムマスク部材である。
【０３１４】
（１４） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材は測距光学系のミラー部材である。
【０３１５】
（１５） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材は撮影光学系ユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３１６】
（１６） 上記（１５）において、上記撮影光学系ユニットの内の少なくとも一部の構成部材は、レンズを保持している鏡枠である。
【０３１７】
（１７） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はストロボのポップアップユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３１８】
（１８） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はファインダ光学系ユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３１９】
（１９） 上記（１８）において、上記ファインダ光学系ユニット内の少なくとも一部の構成部材は、レンズを保持している鏡枠である。
【０３２０】
（２０） 上記（１８）において、上記ファインダ光学系ユニット内の少なくとも一部の構成部材は、ファインダ視野を規定するマスク部材である。
【０３２１】
（２１） 上記（１２）において、上記カメラの構成部材はシャッタユニットの内の少なくとも一部の構成部材である。
【０３２２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、振動体と被駆動体を保持することができる簡単な構成のアクチュエータとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第１の構成例を示すブロック図。
【図２】本発明の実施形態のアクチュエータの基本的な第２の構成例を示すブロック図。
【図３】本発明の第１の実施形態のアクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図。
【図４】上記第１の実施形態の変形例のアクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図。
【図５】本発明の第２の実施形態のアクチュエータの構成を示す（Ａ）平面図，（Ｂ）回転部材を取り外した状態の左側面図，（Ｃ）正面図，（Ｄ）右側面図，（Ｅ）底面図。
【図６】本発明の第３の実施形態のアクチュエータの構成を示す正面図。
【図７】上記第３の実施形態のアクチュエータの構成を示す左側面図。
【図８】本発明の第４の実施形態のアクチュエータを構成する振動部材および圧電素子を示す斜視図。
【図９】上記第４の実施形態のアクチュエータの構成を示す斜視図。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係るカメラの主として電気的な構成を示すブロック図。
【図１１】上記第５の実施形態のカメラのメイン動作を示すフローチャート。
【図１２】上記図１１におけるレリーズ処理の詳細を示すフローチャート。
【図１３】上記第５の実施形態のカメラのフィルムマスクの構成を示す図。
【図１４】上記第５の実施形態のフィルマスクモータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）平面図。
【図１５】上記第５の実施形態のフィルムマスクの開閉動作を示すフローチャート。
【図１６】上記第５の実施形態のカメラのＡＦミラーの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）平面図。
【図１７】上記第５の実施形態のカメラのＡＦミラーフォトリフレクタの構成を示す斜視図。
【図１８】上記第５の実施形態のカメラのＡＦミラーをアップ／ダウンさせる動作を示すフローチャート。
【図１９】上記第５の実施形態のカメラのＬＤユニットの構成を示す側面図。
【図２０】上記第５の実施形態のカメラのＬＤモータの構成を示す側面図。
【図２１】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ＬＤユニットを繰り込んで当て付ける動作を示すフローチャート。
【図２２】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ＬＤユニットを繰り出す動作を示すフローチャート。
【図２３】上記第５の実施形態のカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す正面図。
【図２４】上記第５の実施形態のカメラのポップアップユニットの発光可能状態における構成を示す正面図。
【図２５】上記第５の実施形態のカメラのポップアップユニットの収納状態における構成を示す右側面図。
【図２６】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ポップアップユニットをポップアップまたはポップダウンするときの動作を示すフローチャート。
【図２７】上記第５の実施形態のカメラのファインダユニットの構成を一方向から示す側面図。
【図２８】上記第５の実施形態のカメラのファインダユニットの構成を他方向から示す側面図。
【図２９】上記第５の実施形態のカメラのファインダユニットをワイド側へ移動する動作を示すフローチャート。
【図３０】上記第５の実施形態のカメラにおける、ファインダユニットのズーム制御の動作を示すフローチャート。
【図３１】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの構成を示す正面図。
【図３２】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの構成を示す（Ａ）分解側面図および（Ｂ）Ａ−Ａ断面図。
【図３３】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの開口波形を示す線図。
【図３４】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットを閉じる動作および全開にする動作を示すフローチャート。
【図３５】上記第５の実施形態のカメラのシャッタユニットの開閉動作を示すフローチャート。
【図３６】上記第５の実施形態のカメラのファインダマスクユニットの構成を示す正面図。
【図３７】上記第５の実施形態のカメラにおいて、ファインダマスクユニットを（Ａ）パノラマにするとき，（Ｂ）ノーマルにするときの制御信号を示す波形図。
【図３８】本発明の第６の実施形態のアクチュエータの構成を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図，（Ｃ）底面図。
【符号の説明】
2,11,11A,31,62e,68a,74a,77a,91…圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）
3,12,12A,22,32,62d,65a,68b,71a,74b,77b,92…振動部材（振動体）
４，４３，７７ｅ…可動部材（被駆動体）
５…非接着の加圧固定部材
6,14,34,44,62c,68d,74c,77d,94…固定部材
12a,12b,12c,12d,22a,22b,22c,22d,62g,68c,77c,92a,92b,92c,92d…突起
13,33,65b,68f,71b,74e,93…回転部材（被駆動体）
６２…フィルムマスクモータ
６２ａ…ねじ軸（被駆動体）
６３…フィルムマスク
６５…ＡＦミラーモータ
６６…ＡＦミラー
６８…ＬＤモータ
６９…ＬＤユニット
７１…ポップアップモータ
７２…ポップアップユニット
７４…ファインダモータ
７５…ファインダユニット
７７…シャッタモータ
７８…シャッタユニット
８０…ファインダマスクモータ
８１…ファインダマスクユニット
１０１…カメラ
Claims (2)
- 電気−機械エネルギー変換素子と、
この電気−機械エネルギー変換素子が固着され、該電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより、第１の振動モードによる第１の振動と第２の振動モードによる第２の振動とが選択的に励起される振動体と、
この振動体上の、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第１の突起と、
この振動体上の、上記第２の振動が励起されている際には該振動の節となり、上記第１の振動が励起されている際には該振動の節以外となる部分に設けられた、第２の突起と、
上記振動体の第１および第２の突起に圧接され、該振動体に励起される振動により該振動体に対して移動される被駆動体と、
上記振動体と被駆動体とを保持するとともに、上記被駆動体の上記振動体に対する移動方向を規制する固定部材と、
を具備することを特徴とするアクチュエータ。 - 上記固定部材は単一の部材からなることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26699197A JP4054092B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | アクチュエータ |
| US09/164,235 US6104122A (en) | 1997-09-30 | 1998-09-30 | Actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26699197A JP4054092B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11113270A JPH11113270A (ja) | 1999-04-23 |
| JP4054092B2 true JP4054092B2 (ja) | 2008-02-27 |
Family
ID=17438552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26699197A Expired - Fee Related JP4054092B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | アクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6104122A (ja) |
| JP (1) | JP4054092B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3190634B2 (ja) * | 1999-01-05 | 2001-07-23 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 圧電アクチュエータおよび圧電アクチュエータの駆動方法並びに圧電アクチュエータの駆動方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納した、コンピュータが読取可能な記憶媒体 |
| US6489705B1 (en) * | 2001-06-26 | 2002-12-03 | National Science Council Of Republic Of China | Thin-disc piezoelectric actuating ultrasonic motor |
| US6747394B2 (en) * | 2002-06-19 | 2004-06-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Near-resonance electromechanical motor |
| TW589777B (en) * | 2002-12-30 | 2004-06-01 | Ind Tech Res Inst | Multi-layer thin-plate piezoelectric actuating ultrasound motor |
| JP4794901B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法 |
| JP4733457B2 (ja) * | 2005-07-28 | 2011-07-27 | パナソニック株式会社 | 駆動装置 |
| JP4901598B2 (ja) * | 2007-06-13 | 2012-03-21 | アルプス電気株式会社 | 振動型アクチュエータ |
| US7944119B2 (en) * | 2007-07-12 | 2011-05-17 | Panasonic Corporation | Vibratory actuator and drive unit including the same |
| JP5233275B2 (ja) * | 2007-12-20 | 2013-07-10 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 摩擦駆動アクチュエータおよびそれを用いるハードディスク装置ならびに摩擦駆動アクチュエータの製造方法 |
| KR20120007308A (ko) * | 2010-07-14 | 2012-01-20 | 삼성전자주식회사 | 액추에이터 조립체 및 이를 구비한 광학 시스템 |
| FR3042660B1 (fr) * | 2015-10-16 | 2018-04-06 | Airbus Helicopters | Actionneur electromecanique pour commandes de vol electriques d'un aeronef |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2525019B2 (ja) * | 1987-06-05 | 1996-08-14 | アルプス電気株式会社 | 超音波リニアモ―タ |
| EP0674350B1 (en) * | 1994-03-23 | 2000-05-31 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor |
| JPH07274552A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-20 | Nikon Corp | リニアモータ |
| EP0691692B1 (en) * | 1994-07-05 | 1999-02-17 | Nikon Corporation | Vibration driven motor |
| JPH099651A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Nikon Corp | 超音波アクチュエータ |
| TW344912B (en) * | 1996-06-05 | 1998-11-11 | Toshiba Co Ltd | Multifunctional ultrasonic motor and apparatus using the motor |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26699197A patent/JP4054092B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-09-30 US US09/164,235 patent/US6104122A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6104122A (en) | 2000-08-15 |
| JPH11113270A (ja) | 1999-04-23 |
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Legal Events
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| A977 | Report on retrieval |
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