JP2006295102A - 波長可変レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 波長可変レーザを、利得を発生しうる利得導波路部1Aと、電流注入によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部1Bとを光軸方向に交互に有する光導波路1と、光導波路1の全長にわたって光導波路1に沿って設けられる回折格子2とを備えるものとし、光導波路を構成する一対の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの合計長さが、波長制御導波路部1Bに電流を注入した場合の発振波長可変幅よりも、一の共振縦モードで連続的に発振させることができる連続波長可変幅が大きくなるように構成する。
【選択図】 図1
Description
このような波長分割多重通信システムにおいて、柔軟かつ高度な通信システムを実現するために、広い波長範囲で高速に所望の波長を選択しうる波長可変レーザが強く求められている。
ここで、図11に示すように、3電極DBRレーザ100は、活性層部101と、位相制御部102と、光導波路に沿って回折格子103が形成されているDBR部104とを備え、これらの活性層部101,位相制御部102及びDBR部104は直列に配置されている。また、活性層部101,位相制御部102及びDBR部104には、独立して電流注入を行なうことができるように、それぞれ電極105,106,107が設けられている。さらに、これらの電極105,106,107が設けられている面の反対側の面には、接地電位に接続されている共通電極108が設けられている。そして、活性層部101には電極105を介して電流Iactが注入され、位相制御部102には電極106を介して電流IPSが注入され、DBR部104には電極107を介して電流(波長制御電流)IDBRが注入されるようになっている。
例えば、非特許文献1には、波長可変レーザとしてDBRレーザを集積したものが提案されている。また、特許文献1には、波長可変レーザとしてTTG−DFBレーザを集積したものが提案されている。
例えば、波長可変レーザとして、上述の3電極DBRレーザ100やTTG−DFBレーザ110を集積させる場合、3電極DBRレーザ100やTTG−DFBレーザ110は、位相制御部102や波長制御導波路112への電流注入により発振波長を変化させることができるため、高速(例えば10ナノ秒以下)で波長を変化させることができる。
そこで、位相制御を不要とするための技術として分布反射領域に電流を注入するための電極の構成や活性導波路や位相を調節するための非活性導波路の長さを工夫することが提案されている(例えば特許文献2参照)。また、活性領域と非活性領域とを光の伝搬方向に沿って交互に周期的に繰り返し配置し、同じ周期で、回折格子が形成された領域と回折格子が形成されていない領域とを配置する構造が提案されている(例えば特許文献4参照)。
3参照)。
また、上述の特許文献4に記載された技術では、回折格子が形成されていない領域の位相状態を素子の作りこみだけで調整するのは困難である。また、位相制御が必要であり、制御が複雑である。
特に、アレイ集積型波長可変レーザの作製が容易になる。また、レーザ切替時の制御が簡単になり、高速に波長制御を行なえるようになる。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態にかかる波長可変レーザについて、図1〜図9を参照しながら説明する。
。また、波長制御導波路部1Bに電流(波長制御電流)Ituneを注入することによって発振波長を制御しうるようになっている。
つまり、図1に示すように、光導波路1の利得導波路部1Aの上面にはコンタクト層8Aを介して利得電極(P側電極)3Aが形成されており、下方には共通電極(N側電極)3Cが形成されており、利得導波路部1Aの活性層(利得層,導波路コア層)6に電流Iactを注入しうるようになっている。また、光導波路1の波長制御導波路部1Bの上面にはコンタクト層8Bを介して波長制御電極(P側電極)3Bが形成されており、下方には共通電極(N側電極)3Cが形成されており、波長制御導波路部1Bの波長制御層(導波路コア層,位相制御層)9に電流Ituneを注入しうるようになっている。
なお、利得導波路部1A、利得用回折格子2A、利得電極3A、共通電極3Cからなる領域を利得領域11Aといい、波長制御導波路部1B、波長制御用回折格子2B、波長制御電極3B、共通電極3Cからなる領域を波長制御領域11Bという。
本波長可変レーザでは、利得領域11Aのブラッグ波長は一定にし、波長制御領域11Bの波長制御導波路部1Bのコア層の屈折率を変化させ、波長制御領域11Bのブラッグ波長を変えることによって波長可変動作を行なう。
このため、波長制御導波路部1Bのコア層の屈折率を変化させた場合の本波長可変レーザのブラッグ波長(発振波長)λBraggは、利得領域11Aのブラッグ波長をλaとし、波長制御領域11Bのブラッグ波長をλtとし、屈折率を変化させる前(電流注入前)の波長制御領域11Bのブラッグ波長をλt0とし、波長制御導波路部1Bの等価屈折率の変化量をΔntとし、屈折率を変化させる前(電流注入前)の波長制御導波路部1Bの等価屈折率をntとして、次式(1)により表すことができる。
したがって、本波長可変レーザのブラッグ波長(発振波長)の変化量ΔλBraggは、次式(2)により表すことができる。
ΔλBragg=λt0・(Δnt/nt)/2・・・(2)
一方、共振縦モード波長(共振縦モードの位置)の変化の割合は、全共振器長に対する全波長制御導波路部1Bの長さ(複数の波長制御導波路部1Bの合計長さ)の割合分だけ(ここでは1/2)、波長制御導波路部1Bの等価屈折率の変化の割合よりも小さくなる。
Δλl=λ0・(Δnt/nt)/2・・・(3)
したがって、上記式(2),(3)から、λt0とλ0がほぼ同一になるように設定すれば、ブラッグ波長の変化量ΔλBraggが共振縦モード波長の変化量Δλlに一致することが分かる。このため、λt0とλ0がほぼ同一になるように設定すれば、波長制御導波路部1Bの屈折率を変化させるだけで(即ち、位相制御を行なうことなく、波長可変制御を行なうだけで)、モード跳びが生じないようにしながら、連続的に発振波長を変化させることが可能になる。なお、λt0とλ0は、通常、ほぼ一致しているが、完全に一致させたい場合はλ/4位相シフト部2C(図5参照)を設ければ良い。
つまり、まず、利得導波路部1Aに電流を注入し、波長制御導波路部1Bに電流を注入していない状態では、波長制御領域11Bの回折格子2による反射スペクトルのピーク(中心波長;ブラッグ波長)が、図3(A)中、符号Aで示すように、利得領域11Aの回折格子2による反射スペクトルのピーク(中心波長;ブラッグ波長)と一致する。この場合、波長制御領域11Bの回折格子2による反射スペクトルと利得領域11Aの回折格子2による反射スペクトルとを足し合わせた合計反射スペクトルは、図3(B)中、符号A′で示すようになり、その中心波長(ピーク;ブラッグ波長)が本波長可変レーザの発振波長となる。
そこで、本発明者が鋭意検討した結果、図4中、実線Aで示すように、合計反射スペクトルの中心波長で発振が可能な波長領域の幅(連続波長可変幅;モード跳びが生じることなく、連続的に一の共振縦モードで発振させることが可能な波長領域の幅)は、1つの利得導波路部1Aと1つの波長制御導波路部1Bとを1周期とした場合の1周期の長さにほぼ反比例することがわかった。なお、図4では、利得導波路部1Aの長さと波長制御導波路部1Bの長さの比が1:1であって、発振波長帯が1.55μm帯の場合の特性を示している。
一般に、半導体導波路に電流を注入した場合に実際に起こりうる等価屈折率の変化の割合(最大屈折率変化割合)は、導波路の構造によっても変化するが、光導波路が半導体材料によって形成されている場合、例えば0.5%程度である。これは、DBRレーザ,TTG―DFBレーザにおいて発振波長が7nm程度変化させられる等価屈折率の変化量(屈折率変化量)に相当する。
これを実現するためには、連続波長可変幅が、図4中、実線Bよりも上側になるように、1周期の長さを170μm以下に設定すれば良い。このように1周期の長さを170μm以下に設定すれば、連続波長可変幅を3.8nm以上にすることができ、波長制御導波路部1Bに電流を注入することによって生じる屈折率の変化を最大限利用して、連続波長可変動作を行なうことができるようになる。
まず、利得領域(活性領域)11Aは、例えばn型InP基板(半導体基板)上に、n型InPバッファ層、n型InGaAsP回折格子層、n型InPバッファ層、バンドギャップ波長が1.55μm帯の1.55μm帯歪MQW層(Multiple Quantum Well;多重量子井戸層)+SCH(Separate Confinement Heterostructure;分離閉じ込めヘテロ構造)層(InGaAsP層)、p型InPクラッド層、p型InGaAsPコンタクト層、p型InGaAsコンタクト層を順に積層した層構造になっている。
一方、波長制御領域11Bは、例えばn型InP基板上に、n型InPバッファ層、n型InGaAsP回折格子層、n型InPバッファ層、1.38μm組成InGaAsP層(導波路コア層)、p型InPクラッド層、p型InGaAsPコンタクト層、p型InGaAsコンタクト層を順に積層した層構造になっている。
なお、回折格子層2は、n−InP層4上に回折格子層2を形成する材料からなる層を積層した後、この層を例えばドライエッチングなどの方法を用いて周期的に除去し、その上にn−InP層5を成長させることによって形成される。
ここでは、波長制御導波路1Bは、その等価屈折率が利得導波路部1Aの等価屈折率と等しくなるように、コア層の材料組成、厚さを調整している。
特に、利得導波路部1A及び波長制御導波路部1Bの長さは、いずれも30μmとし、1周期の長さを60μmとしている。これにより、波長可変レーザの原理的な連続波長可変幅は12nm程度となる(図4参照)。なお、素子長は例えば570μmとしている。ここでは、利得導波路部1Aが素子端面側に配置されるようにして、光出力が低下しないようにしている。但し、波長制御導波路部1Bを素子端面側に配置しても良い。
このように構成することで、波長可変レーザの原理的な連続波長可変幅を12nm程度にすることができるため、半導体導波路に電流を注入した場合の屈折率変化によって起こりうる波長可変幅(3.8nm程度)を最大限利用して、連続波長可変動作を行なうことが可能になる。
λ/4位相シフト部2Cを設けないと、図6(A)に示すように、回折格子2による反射スペクトル[波長可変レーザの利得スペクトル;図6(A)中、実線Aで示す]の中心波長(ピーク;ブラッグ波長)で発振せず、その近傍の2つのモード[共振縦モード波長;図6(A)中、実線Bで示す]で発振する可能性がある。この場合、2つのモードのうち、長波側のモードで発振するか、短波側のモードで発振するかが分からないため、不安定になる。
したがって、本実施形態にかかる波長可変レーザによれば、容易に作製でき、簡単な制御で、比較的広い波長可変範囲が得られるようになるという利点がある。また、制御が簡単なため、高速に波長制御を行なえるようになる。特に、電流制御型波長可変レーザであるため、高速応答性に優れている。
つまり、波長制御導波路部1Bの長さを長くした場合、比率1:1のときと同じ屈折率変化を生じさせたとき、発振波長の変化量は大きくなるが、これと同時に、連続波長可変幅も広くなる。一方、波長制御導波路部1Bの長さを短くした場合、比率1:1のときと同じ屈折率変化を生じさせたとき、発振波長の変化量は小さくなるが、これと同時に、連続波長可変幅も狭くなる。このため、利得導波路部1Aの長さと波長制御導波路部1Bの長さの比率によらず、比率を1:1にした場合と同様の作用・効果が得られることになる。
まず、一対の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの長さの比が1:X(X>0)である場合、Xの値が大きくなるにしたがって(即ち、波長制御導波路部1Bの長さが長くなるにしたがって)、波長制御導波路部1Bに電流を注入して同じ量の屈折率変化を生じさせた場合の発振波長の変化量は大きくなる。つまり、Xの値が大きくなるにしたがって、波長制御導波路部1Bに電流を注入した場合の発振波長の波長可変幅(発振波長可変幅)は大きくなる。
なお、ここでは、利得導波路部1Aの長さをactとし、波長制御導波路部1Bの長さをtuneとし、これらの比をtune/actの値として示している。但し、利得導波路部1Aの長さactを1とすると、波長制御導波路部1Bの長さtuneはXになるため、tune/actの値はXとなる。
ここで、図8は、利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの長さの比1:X(X>0)(ここではtune/actの値)を、0.50から2.50まで0.25刻みで変えた場合の一対の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの合計長さ(1周期の長さ)と、連続波長可変幅との関係を示す図である。
ところで、上述の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの長さの比が1:1の場合(図4参照)と同様に、連続波長可変幅が、波長制御導波路部1Bに電流を注入したときに波長制御導波路部1Bの等価屈折率の変化割合が0.5%得られるとした場合の発振波長可変幅よりも大きくなるような一対の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの合計長さ(1周期の長さ)を求めると、図9に示すように、一対の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの合計長さ(1周期の長さ)Yは、式Y=(140+30×X)(μm)で近似できることがわかる。
また、上述の実施形態では、複数の利得導波路部1Aのそれぞれの長さ、及び、複数の波長制御導波路部1Bのそれぞれの長さを全て同一にして、それぞれの周期の長さを全て同一にしているが、これに限られるものではなく、最も長い周期の長さ(最も周期が長くなる利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bとの合計長さ)が、上述の条件を満たすようにすれば良い。
つまり、発振波長帯が異なると、1周期の長さに対する連続波長可変幅の特性(図4参照)が変わるものの、波長制御導波路部1Bの等価屈折率の最大変化割合が0.5%の場合の発振波長の変化量も変わるため、上述の実施形態の場合と同様に、1周期の長さを(140+30×X)μm以下に設定すれば、波長制御導波路部1Bに電流を注入することによって生じる屈折率の変化を最大限利用して、連続波長可変動作を行なうことができることになる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態にかかる波長可変レーザについて、図10を参照しながら説明する。
つまり、本波長可変レーザは、図10に示すように、同一基板上に、異なる波長可変範囲を持つ複数(ここでは8つ)の波長可変レーザ20A〜20Hと、複数(ここでは8つ)の曲がり導波路21A〜21Hと、光合流器22と、光増幅器(半導体光増幅器)23とを備えるものとして構成される。
これらの波長可変レーザ20A〜20Hは、それぞれ、複数の曲がり導波路21A〜21H及び光合流器22を介して光増幅器23に接続されている。
なお、複数の曲がり導波路21A〜21H及び光合流器22は、波長可変レーザ20A〜20Hの波長制御領域と同様の層構造(上述の第1実施形態参照)を持つものとして構成される。また、光増幅器23は、波長可変レーザ20A〜20Hの利得領域と同様の層構造(上述の第1実施形態参照)を持つものとして構成される。
上述の各実施形態では、InGaAsP系材料を用いるものとして説明しているが、これに限られるものではなく、例えば、InGaAlAs系、GaInNAs系等の他の半導体材料を用いることもでき、この場合にも同様の効果が得られる。
(付記1)
利得を発生しうる利得導波路部と、電流注入によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部とを光軸方向に交互に有する光導波路と、
前記光導波路の全長にわたって前記光導波路に沿って設けられる回折格子とを備え、
前記光導波路を構成する一対の利得導波路部と波長制御導波路部の合計長さが、前記波長制御導波路部に電流を注入した場合の発振波長可変幅よりも、一の共振縦モードで連続的に発振させることができる連続波長可変幅が大きくなるように構成されることを特徴とする、波長可変レーザ。
利得を発生しうる利得導波路部と、電流注入によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部とを光軸方向に交互に有する光導波路と、
前記光導波路の全長にわたって前記光導波路に沿って設けられる回折格子とを備え、
前記波長制御導波路部が半導体材料で形成されており、
前記光導波路を構成する一対の利得導波路部と波長制御導波路部の長さの比が1:X(X>0)であり、一対の利得導波路部と波長制御導波路部の合計長さが、(140+30×X)μm以下であることを特徴とする、波長可変レーザ。
前記利得導波路部に電流注入を行なうための利得電極と、
前記波長制御導波路部に電流注入を行なうための波長制御電極と、
前記利得電極と前記波長制御電極とが、それぞれ独立に設けられていることを特徴とする、付記1又は2記載の波長可変レーザ。
前記利得電極と前記波長制御電極とが、いずれもくし型電極であることを特徴とする、付記3記載の波長可変レーザ。
(付記5)
前記回折格子が、長手方向中心位置にλ/4位相シフト部を備えることを特徴とする、付記1〜4のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
同一基板上に、異なる波長可変範囲を持つ複数の波長可変レーザを備えるアレイ集積型波長可変レーザであって、
前記複数の波長可変レーザが、いずれも、付記1〜5のいずれか1項に記載の波長可変レーザであることを特徴とする、アレイ集積型波長可変レーザ。
1A 利得導波路(活性導波路)
1B 波長制御導波路
2 回折格子(回折格子層)
2A 利得用回折格子
2B 波長制御用回折格子
2C λ/4位相シフト部
3A 利得電極(P側電極)
3B 波長制御電極(P側電極)
3C 共通電極(N側電極)
4 n−InP層
5 n−InP層
6 MQW活性層(利得層,活性層,導波路コア層)
7 p−InP層
8A,8B コンタクト層
9 波長制御層(位相制御層)
10 SiO2膜
11A 利得領域(活性領域)
11B 波長制御領域
11C 分離領域
20A〜20H 波長可変レーザ
21A〜21H 曲がり導波路
22 光合流器
23 光増幅器
Claims (6)
- 利得を発生しうる利得導波路部と、電流注入によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部とを光軸方向に交互に有する光導波路と、
前記光導波路の全長にわたって前記光導波路に沿って設けられる回折格子とを備え、
前記光導波路を構成する一対の利得導波路部と波長制御導波路部の合計長さが、前記波長制御導波路部に電流を注入した場合の発振波長可変幅よりも、一の共振縦モードで連続的に発振させることができる連続波長可変幅が大きくなるように構成されることを特徴とする、波長可変レーザ。 - 利得を発生しうる利得導波路部と、電流注入によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部とを光軸方向に交互に有する光導波路と、
前記光導波路の全長にわたって前記光導波路に沿って設けられる回折格子とを備え、
前記波長制御導波路部が半導体材料で形成されており、
前記光導波路を構成する一対の利得導波路部と波長制御導波路部の長さの比が1:X(X>0)であり、一対の利得導波路部と波長制御導波路部の合計長さが、(140+30×X)μm以下であることを特徴とする、波長可変レーザ。 - 前記利得導波路部に電流注入を行なうための利得電極と、
前記波長制御導波路部に電流注入を行なうための波長制御電極と、
前記利得電極と前記波長制御電極とが、それぞれ独立に設けられていることを特徴とする、請求項1又は2記載の波長可変レーザ。 - 前記利得電極と前記波長制御電極とが、いずれもくし型電極であることを特徴とする、請求項3記載の波長可変レーザ。
- 前記回折格子が、長手方向中心位置にλ/4位相シフト部を備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 同一基板上に、異なる波長可変範囲を持つ複数の波長可変レーザを備えるアレイ集積型波長可変レーザであって、
前記複数の波長可変レーザが、いずれも、請求項1〜5のいずれか1項に記載の波長可変レーザであることを特徴とする、アレイ集積型波長可変レーザ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005197818A JP4594816B2 (ja) | 2005-03-17 | 2005-07-06 | 波長可変レーザ |
EP05256001.8A EP1703603B1 (en) | 2005-03-17 | 2005-09-27 | Tunable laser |
US11/235,250 US7366220B2 (en) | 2005-03-17 | 2005-09-27 | Tunable laser |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005077892 | 2005-03-17 | ||
JP2005197818A JP4594816B2 (ja) | 2005-03-17 | 2005-07-06 | 波長可変レーザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006295102A true JP2006295102A (ja) | 2006-10-26 |
JP4594816B2 JP4594816B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=37415305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005197818A Active JP4594816B2 (ja) | 2005-03-17 | 2005-07-06 | 波長可変レーザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4594816B2 (ja) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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