JP2006294998A - 半導体装置及びリードフレーム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体チップ11と、表面に半導体チップ11がダイボンディングされたアイランド12と、半導体チップ11の表面に形成された電極11aとアイランド12とを電気的に接続するワイヤ14とを備えた半導体装置であって、アイランド12は、半導体チップ11がダイボンディングされるダイボンディング領域12aと、ワイヤ14がワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域12bとを有し、アイランド12におけるダイボンディング領域12aとワイヤボンディング領域12bとの間には、アイランドの周縁12cに達する連続した溝17が形成されていることを特徴とする半導体装置10。
【選択図】 図1
Description
図5に示すように、半導体装置80は、表面に複数の電極81aが形成された半導体チップ81、表面に半導体チップ81がダイボンディングされたアイランド82、複数本のリード端子83、電極81aとアイランド82とを電気的に接続する第1ワイヤ84、電極81aとリード端子83とを電気的に接続する第2ワイヤ85、アイランド82と接続された吊りリード88、及び、これらを封止する樹脂パッケージ部89を備えている。図中、82aは、半導体チップ81がダイボンディングされるダイボンディング領域を示し、82bは、第1ワイヤ84がワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域を示す。なお、図5(a)においては、樹脂パッケージ部89を示していない。
図6(a)は、従来の半導体装置の他の一例を模式的に示す部分平面透視図であり、(b)は、その半導体装置を模式的に示す縦断面図である。
(1) 半導体チップと、
表面に上記半導体チップがダイボンディングされたアイランドと、
上記半導体チップの表面に形成された電極と上記アイランドとを電気的に接続するワイヤと
を備えた半導体装置であって、
上記アイランドは、上記半導体チップがダイボンディングされるダイボンディング領域と、上記ワイヤがワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域とを有し、
上記アイランドにおける上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域との間には、上記アイランドの周縁に達する連続した溝が形成されていることを特徴とする半導体装置。
このように、(1)の発明によれば、上記ワイヤボンディング領域に生じる熱膨張を小さくすることができるとともに、上記ダイボンディング領域の熱膨張に起因した上記ワイヤボンディング領域自体の変位を抑制することができ、さらに、上記ワイヤボンディング領域と上記樹脂との界面における滑りを生じ難くすることができるため、ワイヤの断線を確実に防止することができる。
(2) 上記(1)の半導体装置であって、
上記アイランドは、矩形状であり、
上記溝は、上記アイランドの隣り合う2辺の夫々に達する連続した溝であることを特徴とする。
上記半導体装置が加熱された際に上記アイランドに生じる熱膨張は、主に上記アイランドを平面的に広げる方向に作用する平面的な熱膨張であるが、この平面的な熱膨張は、2方向成分、すなわち、縦方向への熱膨張及び横方向への熱膨張からなるといえる。本発明においては、上記アイランドの上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域とが、上記溝によって隔絶されているので、上述した平面的な熱膨張は、上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域とにおいて、夫々独立して個別に生じることになる。上記(2)の発明によれば、上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域との間に、上記アイランドの隣り合う2辺の夫々に達する連続した溝が形成され、上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域とが上記溝によって縦方向及び横方向に隔絶されるため、上記ワイヤボンディング領域に生じる縦方向及び横方向への熱膨張を上記溝によって吸収することができ、上記ワイヤボンディング領域自体の熱膨張による上記ワイヤボンディング領域の変位を小さくすることができる。また、上記ダイボンディング領域に生じる縦方向及び横方向への熱膨張は、上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域とを縦方向及び横方向に隔絶する溝によって吸収され、上記ワイヤボンディング領域には伝わらないため、上記ダイボンディング領域の熱膨張に起因した上記ワイヤボンディング領域自体の変位を小さくすることができる。
(3) 半導体チップがダイボンディングされるダイボンディング領域と、ワイヤがワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域とを有するアイランドを備え、
上記アイランドにおける上記ダイボンディング領域と上記ワイヤボンディング領域との間には、上記アイランドの周縁に達する連続した溝が形成されていることを特徴とするリードフレーム。
従って、このリードフレームを用いて半導体装置を製造することにより、該半導体装置におけるワイヤの断線を確実に防止することができる。
(4) 上記(3)のリードフレームであって、
上記アイランドは、矩形状であり、
上記溝は、上記アイランドの隣り合う2辺の夫々に達する連続した溝であることを特徴とする。
図1(a)は、本発明に係る半導体装置の一例を模式的に示す平面透視図であり、(b)は、その半導体装置を模式的に示す縦断面図である。
半導体装置10は、半導体チップ11、アイランド12、リード端子13、第1ワイヤ14、第2ワイヤ15、吊りリード18、及び、樹脂パッケージ19を備えている。なお、図1(a)においては、樹脂パッケージ部19を示していない。
溝17は、エッチングにより形成されていて、断面視U字形状を有する。溝17の深さは、例えば、アイランド12の厚さの1/2〜2/3であり、溝17の幅は、溝17の深さと略同じである。なお、本発明において、溝の形成方法は、特に限定されるものではなく、例えば、コイニングにより形成してもよく、レーザにより形成してもよい。コイニングにより溝を形成することにより、断面視V字形状の溝を形成することができる。
図2(a)は、本発明に係る半導体装置の他の一例を模式的に示す平面透視図であり、(b)は、その半導体装置を模式的に示す縦断面図である。
半導体装置30は、表面に複数の電極31aが形成された半導体チップ31、表面にエポキシ系接着剤等によって半導体チップ31がダイボンディングされたアイランド32、複数本のリード端子33、電極31aとアイランド32とを電気的に接続する第1ワイヤ34、電極31aとリード端子33とを電気的に接続する第2ワイヤ35、アイランド32と接続された吊りリード38、及び、これらを封止する樹脂パッケージ部39とを備えている。図中、32aは、半導体チップ31がダイボンディングされるダイボンディング領域を示し、32bは、第1ワイヤ34がワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域を示す。図2(a)においては、樹脂パッケージ部39を示していない。
図中、37aは、溝37によってアイランド32の2つの辺32d、32eの側面に形成された開口を示す。
図3は、本発明に係るリードフレームの一例を模式的に示す平面図である。
リードフレーム50は、平行して配置された2本のサイド枠51と、2本のサイド枠51の中央に配置された矩形状のアイランド52と、アイランド52へ向けて延びる複数のリード端子53と、各リード端子53の長手方向に対して直交する方向に延びるように一体的に設けられたダム部材54と、サイド枠51とアイランド52とを接続するように一体的に設けられた吊りリード58とを備えている。
アイランド52には、アイランド52の周縁に達する平面視直線状の溝57が形成されていて、アイランド52は、溝57によって、半導体チップがダイボンディングされるダイボンディング領域52aと、ワイヤがボンディングされるワイヤボンディング領域52bとに区画されている。
図3に示したリードフレーム50を用いることにより、第1ワイヤ14の断線を防止し得る半導体装置10(図1参照)を製造することができる。
リードフレーム60は、平行して配置された2本のサイド枠61と、2本のサイド枠61の中央に配置された矩形状のアイランド62と、アイランド62へ向けて延びる複数のリード端子63と、各リード端子63の長手方向に対して直交する方向に延びるように一体的に設けられたダム部材64と、サイド枠61とアイランド62とを接続するように一体的に設けられた吊りリード68とを備えている。
アイランド62には、アイランド62の隣り合う2辺に達する連続した溝67が形成されていて、アイランド62は、溝67によって、半導体チップがダイボンディングされるダイボンディング領域62aと、ワイヤがワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域62bとに区画されている。
図4に示したリードフレーム60を用いることにより、第1ワイヤ34の断線をより確実に防止し得る半導体装置30(図2参照)を製造することができる。
まず、アイランド52に溝57が形成されたリードフレーム50を製造する。溝57の形成方法は、特に限定されるものではなく、例えば、エッチング、コイニング、レーザ加工等の方法により形成することが可能である。次に、アイランド52のダイボンディング領域52aに、例えばエポキシ系接着剤等を用いて、半導体チップ11をダイボンディングする。
本発明において、アイランドに形成される溝は、アイランドの周縁に達する連続した溝であれば、その平面視形状は、特に限定されるものではないが、上述したように、矩形状のアイランドの隣り合う2辺の夫々に達する連続した溝であることが望ましい(図2参照)。ワイヤボンディング領域の熱膨張による変位を小さくすることができるとともに、ダイボンディング領域の熱膨張に起因したワイヤボンディング領域自体の変位を小さくすることが可能であり、ワイヤの断線をより確実に防止することができるからである。
また、上記アイランドには、複数に分岐した溝が形成されていてもよい。複数に分岐した溝が形成される場合、少なくともワイヤボンディング領域とダイボンディング領域との間に、アイランドの周縁に達する連続した溝が形成されていればよく、その他の分岐した溝は、必ずしもアイランドの周縁に達している必要はない。
11、31 半導体チップ
12、32、52、62 アイランド
12a、32a、52a、62a ダイボンディング領域
12b、32b、52b、62b ワイヤボンディング領域
12c (アイランドの)周縁
13、33、53、63 リード端子
14、34 第1ワイヤ
15、35 第2ワイヤ
17、37、57、67 溝
18、38、58、68 吊りリード
19、39 樹脂パッケージ部
50、60 リードフレーム
Claims (4)
- 半導体チップと、
表面に前記半導体チップがダイボンディングされたアイランドと、
前記半導体チップの表面に形成された電極と前記アイランドとを電気的に接続するワイヤと
を備えた半導体装置であって、
前記アイランドは、前記半導体チップがダイボンディングされるダイボンディング領域と、前記ワイヤがワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域とを有し、
前記アイランドにおける前記ダイボンディング領域と前記ワイヤボンディング領域との間には、前記アイランドの周縁に達する連続した溝が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記アイランドは、矩形状であり、
前記溝は、前記アイランドの隣り合う2辺の夫々に達する連続した溝であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体チップがダイボンディングされるダイボンディング領域と、ワイヤがワイヤボンディングされるワイヤボンディング領域とを有するアイランドを備え、
前記アイランドにおける前記ダイボンディング領域と前記ワイヤボンディング領域との間には、前記アイランドの周縁に達する連続した溝が形成されていることを特徴とするリードフレーム。 - 前記アイランドは、矩形状であり、
前記溝は、前記アイランドの隣り合う2辺の夫々に達する連続した溝であることを特徴とする請求項3に記載のリードフレーム。
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