JP2006294713A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】p基板1の表面層にMOSFET部を形成する箇所にnウェル領域2を形成し、ゲート引き出し部分にはpウェル領域3を形成し、MOSFET部のnウェル領域2とゲート引き出し部分のpウェル領域3の表面からnウェル領域2およびpウェル領域3を貫通してp基板1に達するトレンチ4を形成し、トレンチ4の側壁と底部にゲート酸化膜5を形成し、トレンチ4の側壁にゲート酸化膜5を介してポリシリコンでゲート電極6を形成し、ゲート電極と接続するゲートポリシリコン配線15を形成し、トレンチ4の底部にnソース領域を形成し、nウェル領域2の表面層にnドレイン領域7を形成する。ゲート引き出し部分のゲートポリシリコン配線15下をpウェル領域3とすることで、ドレイン電極13に印加される電圧で、pウェル領域3に空乏層を広げ、ゲート引き出し部分のゲート酸化膜5に加わる電界強度を抑制し、ゲート絶縁膜の長期信頼性を確保する。
【選択図】 図1
Description
図12から図14は、nチャネル型TLPMの構成図であり、図12は要部平面図、図13は図12のA−A線で切断した要部断面図、図14は図12のB−B線で切断した要部断面図である。図13はMOSFET部の断面図であり、図14はゲート引き出し部分の断面図である。
図12から図14において、p基板51の表面層にnウェル領域52を形成し、nウェル領域52の表面からnウェル領域52を貫通するように、浅い第1のトレンチ54aを形成し、第1のトレンチ54aの側壁と底部にnドリフト領域70を形成する。表面および第1のトレンチ54aの側壁および底面に層間絶縁膜である厚い酸化膜55bを形成する。
第1、第2のトレンチ54a、54b内部を層間絶縁膜60で充填し、またトレンチが形成されない表面をこの層間絶縁膜60で被覆する。第1、第2のトレンチ54a、54b内部を充填した層間絶縁膜60を開口してnソース領域58を露出させ、このソースコンタクトホール62を形成し、このソースコンタクトホール62を介してプラグを含むソース電極64を形成する。nドレイン領域57上の層間絶縁膜60にドレインコンタクトホール62を形成し、このドレインコンタクトホール61を介してドレイン電極63を形成する。
このnチャネルTLPMのnウェル領域52は、図13のMOSFET部ばかりでなく図14のゲート引き出し部分にも形成されている。そのため、ドレイン電極63に印加された電圧は、図14のゲート引き出し部分のnウェル領域52に伝達される。
60Vの定格電圧のnチャネルTLPMにおいて、ゲート電極56を0V、ソース電極64を0Vとし、ドレイン電極63に60Vの電圧を印加するすると、図13のMOSFET部の第1のトレンチ54aの肩部分の酸化膜55に印加される電圧は60Vとなる。 また、このドレイン電極63の電圧は、図13のドレインコンタクトホール61を介してnドレイン領域57−nドレイン領域57を経由して図13のnウェル領域52に伝達され、さらに図14のゲート引き出し部分のnウェル領域52へ伝達されて、ゲート引き出し部分のnウェル領域52には50V程度の電圧が印加される。そのため、ゲート引き出し部分のnウェル領域52とゲート電極56の間の電位差は50Vとなり、この電位差はゲート引き出し部分の第1のトレンチ54aの肩部分の酸化膜55に印加される。
MOSFET部の第1のトレンチ54aの肩部分の酸化膜55に加わる電界強度は60V/600nm=1MV/cm程度で、絶縁破壊を起こす電界強度の10MV/cmと比べて小さく絶縁破壊を起こすことはない。また、第2のトレンチ54b内のゲート酸化膜55aに加わる電圧は、nドリフト領域70とゲート電極56の電位差となる。ゲート酸化膜55aと接するnドリフト領域70の電圧は20V程度であり、そのため、ゲート酸化間55aの電界強度は20V/100nm=2MV/cmとなり、絶縁破壊を起こす電界強度の10MV/cmと比べて小さく絶縁破壊を起こすことはない。
また、MOSFET部およびゲート引き出し部の第1のトレンチ55aの肩部分の酸化膜55に加わる電界強度は3MV/cm以下なのでゲート酸化膜55aと酸化膜55の長期信頼性も確保できる。
図15から図17において、双方向nチャネルTLPMは、p基板301の表面層にnウェル領域302を形成し、nウェル領域302の表面層からnウェル領域302内にトレンチ303を形成し、nウェル領域302の表面層にpオフセット領域305を形成し、トレンチ303の側壁にゲート酸化膜306を形成し、トレンチの側壁のゲート酸化膜306を介してトレンチを埋めるように第1、第2ゲート電極307a、307bを形成し、トレンチ303の底部のn拡張ドレイン領域304を形成し、pオフセット領域305の表面層に第1、第2nソース領域309、310を形成し、第1、第2ソース領域309、310上に第1、第2ソース電極311、312を形成し、第1、第2ソース電極311、312に第1、第2ソース配線313、314をそれぞれ接続し、第1、第2ゲート電極307a、307bに第1、第2ゲート配線319、320を接続する。
この双方向nチャネルTLPMの図17に示すゲート引き出し部分のゲート配線320下は、pオフセット領域305となっている。この構造では、第1ソース電極311を0V、第1、第2ゲート電極307a、307bを0Vとして、第2ソース電極312に30Vの電圧を印加したとき、図16で示すMOSFET部と図17で示すゲート引き出し部分では、pオフセット領域305に空乏層が伸びて電圧を分担するため、ゲート酸化膜306には5V程度の電圧より印加されなくなり、ゲート酸化膜306に加わる電界強度が5V/17nm=3MV/cm程度となり、ゲート酸化膜306の長期信頼性は確保される。
前記とは別に、ストライプ状のトレンチゲート構造で、ストライプ状のゲート電極の先端を細く丸め、さらにその箇所のゲート酸化膜を厚くすることで、ゲート絶縁耐圧を向上できることが開示されている(特許文献2)。
IEEE Transaction on ELECTRON DEVICES,Vol49,No8,pp1462−pp1468(2002) 第2図
前記の図12から図14の従来のnチャネルTLPMは、トレンチ(第1のトレンチ54aと第2のトレンチ54b)を2回形成する必要があり、またゲート電極56の形成前に厚い酸化膜55bとゲート酸化膜55aの形成が必要であり、製造コストが高くなる。そのため、1回のトレンチエッチングで、しかも厚い酸化膜55bを削除してゲート酸化膜55aのみとして製造コストの低減を図る動きがある。
図19から図21は、1回のトレンチで形成した低コストのnチャネルTLPMの構成図であり、図19は要部平面図、図20は、図19のA−A線で切断した要部断面図、図21は図19のB−B線で切断した要部断面図である。これは図12から図14に相当する図である。
この構造において、ドレイン電極に30V、ゲート電極に0Vが印加される場合について説明する。
MOSFET部の場合、ドレイン電極に30Vの電圧を印加したとき、nウェル領域2の不純物濃度を低くすることで、空乏層がnウェル領域2に広がり、ゲート電極6とnウェル領域2に挟まれた平坦部分のゲート酸化膜5に印加される電圧を5V程度に低減できる。また、図20のトレンチ肩部分(L部)のゲート酸化膜5はゲート電極6で取り囲まれていない(ゲート電極6はトレンチ4内に形成され、表面には形成されていない)ため、この箇所での電界集中は起こらない。そのため、図20のトレンチ肩部分(L部)のゲート酸化膜5に印加される電圧も5V程度であり、ゲート酸化膜5に加わる電界強度は5V/17nm=3MV/cm程度にできるので、ゲート酸化膜5の長期信頼性を確保できる。
つまり、図19から図21のnチャネルMOSFETにおいては、MOSFET部のトレンチ肩部分のゲート酸化膜5は長期信頼性を確保できるが、ゲート引き出し部分のトレンチ肩部分のゲート酸化膜5の長期信頼性を確保することはできない。
第2ソース電極312に30Vを印加し、ゲート電極を0Vとした場合、MOSFET部のpオフセット領域305に空乏層が広がり、pオフセット領域305の不純物濃度を低くすることで、トレンチ肩部分のゲート酸化膜306に加わる電界強度は3MV/cm程度とすることができて、ゲート酸化膜306の長期信頼性を確保することができる。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、ゲート引き出し部分のゲート絶縁膜の長期信頼性を確保できる半導体装置を提供することにある。
また、第1導電型の半導体層(例えば、pウェル領域)と、該半導体層の表面層に選択的に形成される第2導電型の第1領域(例えば、nウェル領域)と、前記半導体層と前記第1領域に形成され、該第1領域を貫通して前記半導体層に達する深さのトレンチと、該トレンチの側壁と前記第1領域上および前記半導体層上に形成される絶縁膜と、前記トレンチの側壁に前記絶縁膜を介して形成されるゲート電極と、前記第トレンチの底部に形成される第2導電型の第3領域(例えば、nドレイン領域)と、前記第1領域の表面層に形成される第2導電型の第4領域(例えば、nソース領域)と、前記ゲート電極と接続し前記第1領域が形成されない前記半導体層上に前記絶縁膜を介して形成されるゲート引き出し配線と、前記第4領域と電気的に接続する第1主電極(例えば、ソース電極)と、前記第3領域と電気的に接続する第2主電極(例えば、ドレイン電極)とを有する構成とする。
また、前記第3領域を包むように前記半導体基板に第1導電型の第5領域(例えば、pボディ領域)を形成するとよい。
また、前記ゲート電極と前記ゲート引き出し配線がポリシリコンで形成されるとよい。 また、第1導電型の半導体基板(例えば、p基板)と、該半導体基板の表面層に形成される第2導電型の第6領域(例えば、nウェル領域)と、該第6領域の表面層に選択的に形成される第1導電型の第7領域(例えば、pオフセット領域)と、該第7領域の表面層に選択的に形成される第2導電型の第8領域(例えば、nソース領域)と、該第8領域の表面から、前記第6領域に達し、前記第7領域および前記第8領域を第1、第2の島に分割する第1のトレンチと、前記第8領域の表面から前記第6領域に達し前記第1、第2の島からそれぞれ第3、第4の島を分割する第2のトレンチと、前記第1のトレンチの底部の前記第6領域に形成される第2導電型の第9領域(例えば、n拡張ドレイン領域)と、前記第1、第2のトレンチの側壁と前記第6領域上および第8領域上に形成される絶縁膜(例えば、ゲート酸化膜)と、前記第1、第2トレンチの側壁に形成され前記絶縁膜を介して前記第1、第3の島に形成される第1ゲート電極と、前記第1、第2のトレンチの側壁に形成され前記絶縁膜を介して前記第2、第4の島に形成される第2ゲート電極と、前記第1ゲート電極と接続し、前記第3の島の前記第7領域上と前記第8領域上に前記絶縁膜を介して形成される第1ゲート引き出し配線(例えば、第1ゲート配線と接続するポリシリコン配線)と、前記第2ゲート電極と接続し前記第4の島の前記第7領域上と前記第8領域上に前記絶縁膜を介して形成される第2ゲート引き出し配線(例えば、第2ゲート配線と接続するポリシリコン配線)と、前記第1の島の表面層に形成される前記第8領域と接続する第1主電極と、前記第2の島の表面層に形成される前記第8領域と接続する第2主電極とを有する半導体装置であって
前記第1ゲート引き出し配線下の前記第2のトレンチに隣接する前記第3の島の表面および前記第2ゲート引き出し配線下の前記第2のトレンチに隣接する前記第4の島の表面にそれぞれ前記第7領域が露出する構成とする。
前記第1ゲート引き出し配線の側端部下の前記第3の島の表面および前記第2ゲート引き出し配線の側端部下の前記第4の島の表面で、少なくとも前記トレンチ側の前記第3の島の表面および前記第4の島の表面にそれぞれ前記第7領域が露出するとよい。
また、前記第7領域の不純物濃度が1×1016cm-3以上で、1×1018cm-3 以下であるとよい。
また、前記トレンチの底部が前記第7領域内に存在するとよい。
また、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、前記第1ゲート引き出し配線および第2ゲート引き出し配線がそれぞれポリシリコンで形成されるとよい。
また、双方向nチャネルLTPMのゲート引き出し部分において、トレンチ肩部分にn領域が形成されないp半導体領域(pオフセット領域、pウェル領域、p基板)を配置することによって、ドレイン電極に印加される電圧で、p半導体領域に空乏層を広げ、ゲート酸化膜に加わる電界強度を3MV/cm程度に抑制して、ゲート絶縁膜の長期信頼性を確保することができる。
図1から図3において、p基板1の表面層にMOSFET部を形成する箇所にnウェル領域2を形成し、ゲート引き出し部分にはpウェル領域3を形成し、MOSFET部のnウェル領域2とゲート引き出し部分のpウェル領域3の表面からnウェル領域2およびpウェル領域3を貫通してp基板1に達するトレンチ4を形成し、トレンチ4の底部にゲートしきい値調整用にpボディ領域9を形成し(形成しない場合もある)、トレンチ4の側壁と底部にゲート酸化膜5を形成し、トレンチ4の側壁にゲート酸化膜5を介してポリシリコンでゲート電極6を形成する。トレンチ4の底部のゲート酸化膜5を除去し、トレンチ4の底部にnソース領域8を形成し、nウェル領域2の表面層にnドレイン領域7を形成する。このnドレイン領域7はゲート引き出し部分には形成しない。
定格電圧30V、ゲート駆動電圧5VのnチャネルTLPMの場合、前記のゲート酸化膜の膜厚が17nm程度である。
図2で示すMOSFET部の場合、ドレイン電極13に30Vの電圧を印加したとき、空乏層がnウェル領域2に伸びて、ゲート電極6とnウェル領域2に挟まれた平坦部分のゲート酸化膜5に印加される電圧を低減できる。nウェル領域2の不純物濃度を低くすることで、MOSFET部のトレンチ肩部分(D部)のゲート酸化膜5に印加される電圧を5V程度にできる。そのため、ゲート酸化膜5に加わる電界強度を5V/17nm=3MV/cm程度にできて、ゲート酸化膜5の長期信頼性を確保することができる。
また、図3で示すゲート引き出し部分(E部)にはnウェル領域2が形成されずpウェル領域3が形成されている。そのため、ドレイン電極13に印加される30Vの電圧はnウェル領域2とpウェル領域3のpn接合から延びる空乏層で分担するため、ゲート引き出し部分のpウェル領域3には電圧が伝達されず、また、p基板1は通常0Vに固定されているのでpウェル領域3も0Vに固定されている。そのため、ゲート引き出し部分のトレンチ肩部分であるE部のゲート酸化膜5には電圧が印加されず、ゲート絶縁膜5の長期信頼性は確保される。
また、ゲート電極6に5Vのゲート駆動電圧が印加されたとき、ゲート引き出し部分では、pウェル領域3側に空乏層が伸び電圧を分担するので、ゲート酸化膜5に加わる電界を3MV/cm以下にできる。また、pウェル領域3の不純物濃度を所定の低い値にすることで、pウェル領域3へ空乏層の伸びが大きくなり電圧を分担する割合が大きくなるので、トレンチ肩部分のゲート酸化膜5に加わる電界強度を3MV/cm程度以下にできて、ゲート酸化膜5の長期信頼性を確保することができる。このpウェル領域3の不純物濃度は1016cm-3〜1018cm-3程度にするとよい。不純物濃度が1018cm-3より高いと、空乏層の伸びが小さくなりゲート酸化膜5に加わる電界強度が3MV/cmより高くなり、ゲート酸化膜5の長期信頼性は確保できない。また、不純物濃度が1016cm-3より低いと、ドレイン電極13に30Vの電圧を印加したときに、この電圧がゲート引き出し部分のpウェル領域3まで伝達され、ゲート引き出し部分のトレンチ4の肩部分(E部)のゲート酸化膜5の電界強度が3MV/cmを超えるため、ゲート酸化膜5の長期信頼性を確保することができなくなる。
また、図示しないが、p基板1の表面層にnウェル領域(図1〜図3の符号2に相当する)を形成し、このnウェル領域の表面層にnドレイン領域7とゲート引き出し部分のnウェル領域の表面層にpウェル領域(図3の符号3に相当する)を形成しても構わない。 また、MOSFET部を形成する箇所のp基板1の表面層に図1、図2と同様にnウェル領域3を形成し、ゲート引き出し部分をp基板1(図1、図3の符号3に相当する)としても構わない。
図4から図6において、双方向nチャネルTLPMは、p基板301の表面層にnウェル領域302を形成し、nウェル領域302の表面層からnウェル領域302内にトレンチ303を形成し、島341および島342を形成する。この島341は、第1ソース配線313に接続する島(第1の島)と第2ソース配線314に接続する島(第2の島)で構成され、また島342は第1ゲート配線319と接続する島(第3の島)と第2ゲート配線320に接続する島(第4の島)で構成される。また、図4では島341は第1の島の3個と第2の島の3個で合計6個あり、島342は第3の島の1個と第4の島の1個で合計2個ある。
図7は図4のC−C線で切断した要部断面図である。以下の説明は第2nソース領域310が形成されている箇所について説明しているが、第1nソース領域309が形成されている箇所についても同様のことが言える。
また、図7で示すゲート引き出し部分の側端部(図のF部)には第2nソース領域310が形成されず、pオフセット領域305となっているため、このpオフセット領域305に空乏層が広がり電圧を分担し、ゲート電極307bとポリシリコン配線318に囲まれるF部のゲート酸化膜に加わる電界強度は3MV/cm以下になり、ゲート酸化膜306の長期信頼性は確保される。
尚、第1nソース電極311に30Vの電圧を印加した場合や、第2ゲート電極に5Vの駆動電圧を印加した場合も前記と同様にゲート酸化膜306の長期信頼性は確保される。
また、図7のトレンチ303の左側に張り出しているポリシリコン配線318の張り出し長さが短い場合は、第2nソース領域310がトレンチ側壁のゲート酸化膜306と接しても、電界強度が高くならないので、ゲート酸化膜306の長期信頼性が確保される場合もある。
第2実施例との違いは、MOSFET部の第2nソース領域310にポリシリコン配線318が乗り上げていない場合で、MOSFET部をレジストマスクで被覆してpオフセット領域305を表面に露出させることを行っていない点である。この場合も第2実施例と同様に、ゲート引き出し部分のトレンチ肩部分において、ポリシリコン配線318で被覆されたpオフセット領域305のトレンチ側壁のゲート酸化膜306面からの表面距離Rをpオフセット領域305の拡散深さT以上とするとよい。
図11のトレンチ303の左側がポリシリコン配線318で被覆されないので、この箇所がポリシリコン配線318と第2ゲート電極307bで囲まれない。そのため、第2nソース領域310がトレンチ側壁のゲート酸化膜306と接していても電界強度が高くならないので、ゲート酸化膜306の長期信頼性が確保される。しかしこの場合でも、図11の点線Pで示すように、トレンチ側壁のゲート酸化膜306と第2nソース領域310が接しない方が好ましい。
2、302 nウェル領域
3 pウェル領域
4、303 トレンチ
5、306 ゲート酸化膜
6 ゲート電極
7 nドレイン領域
8 nソース領域
9 pボディ領域
10、308、308a 層間絶縁膜
11 ドレインコンタクトホール
12 ソースコンタクトホール
13 ドレイン電極
14 ソース電極
15 ゲートポリシリコン配線
16 ドレイン配線
17 ソース配線
18 ゲートコンタクトホール
19 ゲート金属配線
304 n拡張ドレイン領域
305 pオフセット領域
307a 第1ゲート電極
307b 第2ゲート電極
309 第1nソース領域
310 第2nソース領域
311 第1ソース電極
312 第2ソース電極
313 第1ソース配線
314 第2ソース配線
315、316 pコンタクト領域
318 ポリシリコン配線
319 第1ゲート配線
320 第2ソース配線
341 島(第1の島と第2の島)
342 島(第3の島と第4の島)
Claims (12)
- 第1導電型の半導体基板と、該半導体基板の表面層に併設して形成される第2導電型の第1領域および第1導電型の第2領域と、前記第1領域および前記第2領域を共に貫通して前記半導体基板に達するトレンチと、該トレンチの側壁に形成された絶縁膜と、前記トレンチの側壁に前記絶縁膜を介して形成されるゲート電極と、前記第トレンチの底部に形成される第2導電型の第3領域と、前記第1領域の表面層に形成される第2導電型の第4領域と、前記ゲート電極と接続し前記第2領域上に前記絶縁膜を介して形成されるゲート引き出し配線と、前記第4領域と電気的に接続する第1主電極と、前記第3領域と電気的に接続する第2主電極とを有することを特徴とする半導体装置。
- 前記第2領域の不純物濃度が1×1016cm-3以上で、1×1018cm-3 以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 第1導電型の半導体層と、該半導体層の表面層に選択的に形成される第2導電型の第1領域と、前記半導体層と前記第1領域に形成され、該第1領域を貫通して前記半導体層に達する深さのトレンチと、該トレンチの側壁と前記第1領域上および前記半導体層上に形成される絶縁膜と、前記トレンチの側壁に前記絶縁膜を介して形成されるゲート電極と、前記第トレンチの底部に形成される第2導電型の第3領域と、前記第1領域の表面層に形成される第2導電型の第4領域と、前記ゲート電極と接続し前記第1領域が形成されない前記半導体層上に前記絶縁膜を介して形成されるゲート引き出し配線と、前記第4領域と電気的に接続する第1主電極と、前記第3領域と電気的に接続する第2主電極とを有することを特徴とする半導体装置。
- 前記半導体層の不純物濃度が1×1016cm-3以上で、1×1018cm-3 以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第3領域を包むように前記半導体基板に第1導電型の第5領域を形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極と前記ゲート引き出し配線がポリシリコンで形成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 第1導電型の半導体基板と、該半導体基板の表面層に形成される第2導電型の第6領域と、該第6領域の表面層に選択的に形成される第1導電型の第7領域と、該第7領域の表面層に選択的に形成される第2導電型の第8領域と、該第8領域の表面から、前記第6領域に達し、前記第7領域および前記第8領域を第1、第2の島に分割する第1のトレンチと、前記第8領域の表面から前記第6領域に達し前記第1、第2の島からそれぞれ第3、第4の島を分割する第2のトレンチと、前記第1のトレンチの底部の前記第6領域に形成される第2導電型の第9領域と、前記第1、第2のトレンチの側壁と前記第6領域上および第8領域上に形成される絶縁膜と、前記第1、第2トレンチの側壁に形成され前記絶縁膜を介して前記第1、第3の島に形成される第1ゲート電極と、前記第1、第2のトレンチの側壁に形成され前記絶縁膜を介して前記第2、第4の島に形成される第2ゲート電極と、前記第1ゲート電極と接続し、前記第3の島の前記第7領域上と前記第8領域上に前記絶縁膜を介して形成される第1ゲート引き出し配線と、前記第2ゲート電極と接続し前記第4の島の前記第7領域上と前記第8領域上に前記絶縁膜を介して形成される第2ゲート引き出し配線と、前記第1の島の表面層に形成される前記第8領域と接続する第1主電極と、前記第2の島の表面層に形成される前記第8領域と接続する第2主電極とを有する半導体装置であって
前記第1ゲート引き出し配線下の前記第2のトレンチに隣接する前記第3の島の表面および前記第2ゲート引き出し配線下の前記第2のトレンチに隣接する前記第4の島の表面にそれぞれ前記第7領域が露出することを特徴とする半導体装置。 - 前記第3の島および前記第4の島の表面に露出する前記第7領域の前記トレンチの側壁に形成される前記絶縁膜と接する側の前記第3の島の端部からの表面距離および前記第4の島の端部からの表面距離をそれぞれ前記第7領域の拡散深さ以上とすることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記第8領域と接して前記第7領域の表面層に第1導電型の第10領域を形成し、前記第1の島に形成される前記第10領域が前記第1主電極と接し、前記第2の島に形成される前記第10領域が前記第2主電極と接することを特徴とする請求項7または8に記載する半導体装置。
- 前記第7領域の不純物濃度が1×1016cm-3以上で、1×1018cm-3 以下であることを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置。
- 前記トレンチの底部が前記第7領域内に存在することを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、前記第1ゲート引き出し配線および第2ゲート引き出し配線がそれぞれポリシリコンで形成されることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項に記載の半導体装置。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2008172006A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0823096A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-01-23 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2001358338A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | トレンチゲート型半導体装置 |
JP2002280549A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2003188379A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003282870A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004140086A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | トレンチゲート型半導体装置 |
JP2004274039A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-30 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 双方向素子およびその製造方法、半導体装置 |
-
2005
- 2005-04-07 JP JP2005110430A patent/JP2006294713A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0823096A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-01-23 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2001358338A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | トレンチゲート型半導体装置 |
JP2002280549A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2003188379A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003282870A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004140086A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | トレンチゲート型半導体装置 |
JP2004274039A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-30 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 双方向素子およびその製造方法、半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008172006A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置 |
JP4561747B2 (ja) * | 2007-01-11 | 2010-10-13 | 富士電機システムズ株式会社 | 半導体装置 |
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