JP2006290691A - カーボン金属ナノツリーおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属内包カーボンナノチューブを幹部分とし、この幹部分となる金属内包カーボンナノチューブの複数箇所から他のカーボンナノチューブが枝部分として分岐し、前記幹部分と枝部分とを含む全体が高配向したツリー構造を備えたカーボン金属ナノツリー。
【選択図】無し
Description
Claims (2)
- 幹状に延びるカーボンナノチューブから多数のカーボンナノチューブが高配向に枝状に分岐し、かつ、前記カーボンナノチューブの内外表面のいずれかに金属が存在して全体がツリー構造をなすことを特徴とするカーボン金属ナノツリー。
- 請求項1に記載のカーボン金属ナノツリーの製造方法であって、
真空チャンバ内に触媒金属含有金属コイルをスパッタターゲット用およびプラズマ発生用として配置する工程と、
前記金属コイル内に高抵抗金属材を配置する工程と、
前記真空チャンバを減圧し、真空チャンバ内に水素ガスと炭素系ガスとの混合ガスを導入し、前記金属コイルに高周波信号を印加して前記導入した混合ガスをプラズマ化して金属コイルをスパッタすると共に前記高抵抗金属材を負電位に維持した状態で通電発熱する工程と、
を有することを特徴とするカーボン金属ナノツリーの製造方法。
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