JP2006283718A - アンブレラバルブ、エアポンプ用逆止弁装置およびエアポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】傘状部分を隔壁部分に当接させた閉弁状態で一定時間保持した後であっても、傘状部分が隔壁部分に粘着することなく、正流によって、傘状部分を隔壁部分から確実に離間させることができるアンブレラバルブを提供する。
【解決手段】逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブであって、特定のフッ素含有化合物と、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ４は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシラン等と、これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤により処理されている。
【選択図】 図２
【解決手段】逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブであって、特定のフッ素含有化合物と、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ４は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシラン等と、これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤により処理されている。
【選択図】 図２
Description
本発明は、アンブレラバルブ、エアポンプ用逆止弁装置およびエアポンプに関し、更に詳しくは、特定の処理剤により表面処理されたアンブレラバルブ、当該アンブレラバルブを備えたエアポンプ用逆止弁装置およびエアポンプに関する。
従来、ハウジングの内部が、吸気室、ポンプ室、排気室に区画されてなるエアポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。
図１は、そのようなエアポンプであるダイヤフラムポンプの構成を示す説明図である。 同図に示すダイヤフラムポンプは、樹脂製のハウジング１の内部が、樹脂製の隔壁２によって、吸気室４と、ポンプ室５と、排気室６とに区画されている。
吸気室４には、１次側に連通する流路孔を形成する吸気管４ｐが設けられている。また、排気室６には、２次側に連通する流路孔を形成する排気管６ｐが設けられている。また、ポンプ室５にはダイヤフラム７が設けられ、これにより、ポンプ室５は、ポンプ空間５Ａと、ダイヤフラムの駆動室５Ｂとに分割されている。
ダイヤフラム７は、その外周部がポンプ室５の内壁に固定され、その中心部がピストン８の一端面（図１において上端面）に固定されている。適宜の手段によってピストン８を往復運動（図１において昇降運動）させることにより、ダイヤフラム７と隔壁２とにより囲まれるポンプ空間５Ａの体積を増減させることができる。
吸気室４とポンプ室５とを区切る隔壁２（２ａ）には、複数の流路孔９ａが形成されているとともに、これらを塞ぐことができるように、ゴム製のアンブレラバルブ３ａが設けられている。アンブレラバルブ３ａの傘状部分はポンプ室５内に位置しており、このアンブレラバルブ３ａによっては、吸気室４からポンプ空間５Ａへのガスの流れのみが許容され、これにより、第１の逆止弁装置が構成される。
一方、ポンプ室５と排気室６とを区切る隔壁２（２ｂ）には、複数の流路孔９ｂが形成されているとともに、これを塞ぐことができるように、ゴム製のアンブレラバルブ３ｂが設けられている。アンブレラバルブ３ｂの傘状部分は排気室６内に位置しており、このアンブレラバルブ３ｂによっては、ポンプ空間５Ａから排気室６へのガスの流れのみが許容され、これにより、第２の逆止弁装置が構成される。
図１に示したダイヤフラムポンプにおいて、ピストン８を下降させることによりダイヤフラム７を変形させると、ポンプ空間５Ａの体積が増加して圧力が低下し、１次側に連通する吸気室４内の圧力よりも低くなることにより、アンブレラバルブ３ａの傘状部分が流路孔９ａの開口から離間して第１の逆止弁装置が開弁状態となり（このときの吸気室４とポンプ空間５Ａとの圧力差が第１の逆止弁装置の作動圧力に相当する。）、１次側のガスは、吸気管４ｐおよび吸気室４内を通って、ポンプ室５（ポンプ空間５Ａ）内に流動する（吸引される）。このとき、第２の逆止弁装置は閉弁状態を維持している。
次に、ピストン８を上昇させることによりダイヤフラム７を再度変形させると、ポンプ空間５Ａの体積が減少して圧力が上昇し、２次側に連通する排気室６内の圧力よりも高くなることにより、アンブレラバルブ３ｂの傘状部分が流路孔９ｂの開口から離間して第２の逆止弁装置が開弁状態となり（このときのポンプ空間５Ａと排気室６との圧力差が第２の逆止弁装置の作動圧力に相当する。）、ポンプ室５（ポンプ空間５Ａ）内に吸引されたガスは、排気室６および排気管６ｐを通って、２次側に流動する（排出される）。このとき、第１の逆止弁装置は閉弁状態を維持している。
ここに、ピストン８の往復運動はきわめて高速（例えば、１秒間に５０〜６０回の往復運動）で行われる。
特開２００３−２７８６５８
上記のような構成のエアポンプにおいて、一旦運転を停止した後に再度稼働させると、第１の逆止弁装置および／または第２の逆止弁装置が作動しなくなることがある。
すなわち、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置が共に閉弁状態となるエアポンプの運転停止中において、逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブ（傘状部分）が、流路孔の周囲の隔壁部分に粘着してしまい、この結果、逆止弁装置に設定される作動圧力（以下、「設定圧力」という。）に達する圧力の正流（１次側から２次側への流れ）によっても、アンブレラバルブが流路孔の開口から離間（開弁）できなくなる。
すなわち、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置が共に閉弁状態となるエアポンプの運転停止中において、逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブ（傘状部分）が、流路孔の周囲の隔壁部分に粘着してしまい、この結果、逆止弁装置に設定される作動圧力（以下、「設定圧力」という。）に達する圧力の正流（１次側から２次側への流れ）によっても、アンブレラバルブが流路孔の開口から離間（開弁）できなくなる。
上記の問題は、新品のエアポンプ（逆止弁装置）においては発生しにくく、ある程度の期間エアポンプを使用した後、例えば、ポンプの稼働（このとき逆止弁装置は開閉動作を繰り返す）と、ポンプの停止（このとき逆止弁装置は閉弁状態を維持する）とを、数百回程度繰り返して実施した後において頻繁に発生する。
また、この問題は、設定圧力の低い（例えば５０ＫＰａ以下）応答性の良好な精密小型の逆止弁装置において頻繁に発生する。
また、この問題は、設定圧力の低い（例えば５０ＫＰａ以下）応答性の良好な精密小型の逆止弁装置において頻繁に発生する。
上記のような問題に対して、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置を構成するアンブレラバルブを、アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理し、その表面にＳｉＯ2 系の被膜（表面処理層）を形成することによって非粘着性（粘着防止効果）を発現させることも考えられる。
しかしながら、そのような表面処理剤によって処理されたアンブレラバルブを使用してなる逆止弁装置によっても上記の問題を解決することはできない。
これは、形成される表面処理層（ＳｉＯ2 系の被膜）のゴムに対する密着性が低いために、エアポンプの稼働時（逆止弁装置の開閉動作の繰り返し時）の衝撃などにより、当該表面処理層が脱離・飛散してしまい、当該表面処理層による粘着防止効果が極めて短時間で減殺・消滅してしまうからである。
これは、形成される表面処理層（ＳｉＯ2 系の被膜）のゴムに対する密着性が低いために、エアポンプの稼働時（逆止弁装置の開閉動作の繰り返し時）の衝撃などにより、当該表面処理層が脱離・飛散してしまい、当該表面処理層による粘着防止効果が極めて短時間で減殺・消滅してしまうからである。
本発明者は、アンブレラバルブのようなゴムの表面を処理するための表面処理剤として、フルオロアルキル基を両末端に有し、トリアルコキシシリル基を中間鎖に有するフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランなどの多官能性アルコキシシランと、シランカップリング剤とを含有する組成物を開発し、これを提案している（特開２００４−３５２７４２号公報参照）。
この表面処理剤をゴムの表面に塗布して、塗膜を加熱すると、表面処理剤の構成成分であるフッ素含有化合物と多官能性アルコキシシランとシランカップリング剤とが反応し、シロキサン架橋構造を有する化合物（フッ素含有架橋ポリシロキサン）からなる表面処理層がゴムの表面に形成される。そして、この表面処理層を構成するフッ素含有架橋ポリシロキサン中には、シランカップリング剤に由来する反応性の有機官能基が導入されており、この有機官能基がゴムのポリマー主鎖と反応することにより、当該表面処理層は、ゴムの表面に対してある程度の密着性を有することになる。
しかしながら、このような表面処理剤によって処理されたアンブレラバルブを使用してなる逆止弁装置によっても、上記の問題を十分に解決することはできなかった。
これは、フッ素含有架橋ポリシロキサンからなる表面処理層であっても、エアポンプの稼働時の衝撃などによって脱離・飛散してしまい、当該表面処理層による粘着防止効果が比較的短い時間で減殺・消滅してしまうからであると考えられる。
これは、フッ素含有架橋ポリシロキサンからなる表面処理層であっても、エアポンプの稼働時の衝撃などによって脱離・飛散してしまい、当該表面処理層による粘着防止効果が比較的短い時間で減殺・消滅してしまうからであると考えられる。
本発明は、以上のような事情に基いてなされたものである。
本発明の第１の目的は、逆止弁装置を構成する非粘着性に優れたアンブレラバルブであって、その傘状部分を隔壁部分に当接させた状態（閉弁状態）で一定時間（５分間以上）保持した後であっても、当該傘状部分が隔壁部分に粘着することがなく、正流によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させることができるアンブレラバルブを提供することにある。
本発明の第２の目的は、エアポンプに用いられる逆止弁装置であって、閉弁状態で一定時間（５分間以上）保持した後であっても、正流によって、確実に開弁することができるエアポンプ用逆止弁装置を提供することにある。
本発明の第３の目的は、一旦運転を停止した後に再度稼働させても、これを構成する逆止弁（第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置）を確実に作動させることができるエアポンプを提供することにある。
本発明の第１の目的は、逆止弁装置を構成する非粘着性に優れたアンブレラバルブであって、その傘状部分を隔壁部分に当接させた状態（閉弁状態）で一定時間（５分間以上）保持した後であっても、当該傘状部分が隔壁部分に粘着することがなく、正流によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させることができるアンブレラバルブを提供することにある。
本発明の第２の目的は、エアポンプに用いられる逆止弁装置であって、閉弁状態で一定時間（５分間以上）保持した後であっても、正流によって、確実に開弁することができるエアポンプ用逆止弁装置を提供することにある。
本発明の第３の目的は、一旦運転を停止した後に再度稼働させても、これを構成する逆止弁（第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置）を確実に作動させることができるエアポンプを提供することにある。
本発明のアンブレラバルブは、逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブであって、下記式（Ｆ１）で示されるフッ素含有化合物（以下、「特定のフッ素含有化合物」という。）と、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ4 は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシランと、式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 （式中、Ｒ5 は、炭素数２〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシチタンと、式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 （式中、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数であり、ｎは０〜５の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。）で示されるシランカップリング剤と、これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤（以下、「特定の処理剤」という。）により処理されていることを特徴とする。
（式中、ＲF はフルオロアルキル基を含有する基を表し、Ｒ1 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ2 およびＲ3 は、同一または異なる、水素原子または１価の有機基を表す。ｘは１〜１００の整数であり、ｙは０〜１００の整数である。）
また、本発明のアンブレラバルブは、逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブであって、下記式（Ｆ２）で示される特定のフッ素含有化合物と、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ4 は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシランと、式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 （式中、Ｒ5 は、炭素数２〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシチタンと、式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 （式中、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数であり、ｎは０〜５の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。）で示されるシランカップリング剤と、これらを溶解する溶剤とを含有する特定の処理剤により処理されていることを特徴とする。
（式中、ＲF はフルオロアルキル基を含有する基を表し、Ｒ1 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、ｘは１〜１００の整数である。）
特定のフッ素含有化合物は、複数の加水分解性基（−ＯＲ1 ）を分子中に有し、テトラアルコキシシランは、４個のアルコキシ基（−ＯＲ4 ）を分子中に有し、テトラアルコキシチタンも、４個のアルコキシ基（−ＯＲ5 ）を分子中に有する。さらに、シランカップリング剤は、加水分解性基（−ＯＲ6 ）および反応性の有機官能基（−Ｒ8 ）を分子中に有する。
特定の処理剤によるアンブレラバルブの表面処理においては、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤とが反応（加水分解・縮合反応）することにより、フッ素原子を有するとともに、ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造を有する化合物（以下、「特定のハイブリッド化合物」という。）からなる表面処理層が形成され、これにより、アンブレラバルブの表面に優れた非粘着性（粘着防止効果）が発現される。
しかも、この表面処理層を構成する特定のハイブリッド化合物（またはその形成過程における構造）中には、シランカップリング剤に由来する反応性の有機官能基（−Ｒ8 ）が導入され、この有機官能基はアンブレラバルブを構成するゴムのポリマー主鎖と反応する。この結果、特定のハイブリッド化合物からなる表面処理層と、ゴムのポリマー主鎖との間には、シランカップリング剤を介して化学的な結合が形成されるため、当該表面処理層は、アンブレラバルブを構成するゴムに対して強固に密着することになる。
本発明のアンブレラバルブにおいては、下記の形態が好ましい。
〔１〕特定のフッ素含有化合物を示す上記式（Ｆ１）または上記式（Ｆ２）において、ＲF で表されるフルオロアルキル基を含有する基が、−ＣＦ3 、−Ｃ2 Ｆ5 、−Ｃ3 Ｆ7 、−Ｃ6 Ｆ13、−Ｃ7 Ｆ15または−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］p ＯＣ3 Ｆ7 （式中、ｐは０，１もしくは２である。）で表される基であること。
〔２〕特定の処理剤に含有されているテトラアルコキシシランが、テトラメトキシシランまたはテトラエトキシシランであること。
〔３〕特定の処理剤に含有されているテトラアルコキシチタンが、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタンおよびテトラ−ｎ−ブトキシチタンから選ばれた少なくとも１種であること。
〔４〕特定の処理剤が、酸または塩基を含有すること。
〔５〕特定の処理剤が、上記式（Ｆ２）で示される特定のフッ素含有化合物と、テトラエトキシシランと、テトラエトキシチタンまたはテトライソプロポキシチタンと、シランカップリング剤と、酸または塩基と、有機溶剤とを含有すること。
〔６〕特定の処理剤が、テトラアルコキシシランの含有量に対して０．０１〜０．１倍の質量のテトラアルコキシチタンを含有すること。
〔７〕特定の処理剤が、特定のフッ素含有化合物０．００１〜２０質量％と、特定のフッ素含有化合物の０．５〜１０００倍の質量のテトラアルコキシシランと、特定のフッ素含有化合物の０．００１〜２０倍（但し、テトラアルコキシシランの０．０１〜０．１倍）の質量のテトラアルコキシチタンと、特定のフッ素含有化合物の０．０１〜１０倍の質量のシランカップリング剤と、塩酸と、有機溶剤とを含有すること。
〔８〕特定のフッ素含有化合物０．００５〜１０質量％と、特定のフッ素含有化合物の１〜５００倍の質量のテトラアルコキシシランと、特定のフッ素含有化合物の０．１〜１０倍（但し、テトラアルコキシシランの０．０２〜０．１倍）の質量のテトラアルコキシチタンと、特定のフッ素含有化合物の０．０５〜５倍の質量のシランカップリング剤と、塩酸と、有機溶剤とを含有すること。
〔９〕特定のフッ素含有化合物０．０１〜５質量％と、特定のフッ素含有化合物の１〜１００倍の質量のテトラアルコキシシランと、特定のフッ素含有化合物の０．１〜５倍（但し、テトラアルコキシシランの０．０２〜０．１倍）の質量のテトラアルコキシチタンと、特定のフッ素含有化合物の０．１〜５倍の質量のシランカップリング剤と、塩酸と、有機溶剤とを含有すること。
〔１〕特定のフッ素含有化合物を示す上記式（Ｆ１）または上記式（Ｆ２）において、ＲF で表されるフルオロアルキル基を含有する基が、−ＣＦ3 、−Ｃ2 Ｆ5 、−Ｃ3 Ｆ7 、−Ｃ6 Ｆ13、−Ｃ7 Ｆ15または−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］p ＯＣ3 Ｆ7 （式中、ｐは０，１もしくは２である。）で表される基であること。
〔２〕特定の処理剤に含有されているテトラアルコキシシランが、テトラメトキシシランまたはテトラエトキシシランであること。
〔３〕特定の処理剤に含有されているテトラアルコキシチタンが、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタンおよびテトラ−ｎ−ブトキシチタンから選ばれた少なくとも１種であること。
〔４〕特定の処理剤が、酸または塩基を含有すること。
〔５〕特定の処理剤が、上記式（Ｆ２）で示される特定のフッ素含有化合物と、テトラエトキシシランと、テトラエトキシチタンまたはテトライソプロポキシチタンと、シランカップリング剤と、酸または塩基と、有機溶剤とを含有すること。
〔６〕特定の処理剤が、テトラアルコキシシランの含有量に対して０．０１〜０．１倍の質量のテトラアルコキシチタンを含有すること。
〔７〕特定の処理剤が、特定のフッ素含有化合物０．００１〜２０質量％と、特定のフッ素含有化合物の０．５〜１０００倍の質量のテトラアルコキシシランと、特定のフッ素含有化合物の０．００１〜２０倍（但し、テトラアルコキシシランの０．０１〜０．１倍）の質量のテトラアルコキシチタンと、特定のフッ素含有化合物の０．０１〜１０倍の質量のシランカップリング剤と、塩酸と、有機溶剤とを含有すること。
〔８〕特定のフッ素含有化合物０．００５〜１０質量％と、特定のフッ素含有化合物の１〜５００倍の質量のテトラアルコキシシランと、特定のフッ素含有化合物の０．１〜１０倍（但し、テトラアルコキシシランの０．０２〜０．１倍）の質量のテトラアルコキシチタンと、特定のフッ素含有化合物の０．０５〜５倍の質量のシランカップリング剤と、塩酸と、有機溶剤とを含有すること。
〔９〕特定のフッ素含有化合物０．０１〜５質量％と、特定のフッ素含有化合物の１〜１００倍の質量のテトラアルコキシシランと、特定のフッ素含有化合物の０．１〜５倍（但し、テトラアルコキシシランの０．０２〜０．１倍）の質量のテトラアルコキシチタンと、特定のフッ素含有化合物の０．１〜５倍の質量のシランカップリング剤と、塩酸と、有機溶剤とを含有すること。
本発明のエアポンプ用逆止弁装置は、ピストンまたはダイアフラムにより体積が増減するポンプ空間に連通する流路孔が形成された隔壁と、前記流路孔を塞ぐことができるよう前記隔壁に設けられたアンブレラバルブとを備え、前記ポンプ空間の圧力に応じて前記アンブレラバルブが変形することにより前記流路孔を開閉するエアポンプ用逆止弁装置であって、前記アンブレラバルブが、本発明のアンブレラバルブであることを特徴とする。
本発明のエアポンプ用逆止弁装置においては、５０ＫＰａ以下の圧力において作動するものであることが好ましい。
本発明のエアポンプは、ハウジングと；このハウジングの内部を、１次側に連通する吸気室、ピストンまたはダイアフラムにより体積が増減するポンプ空間を含むポンプ室、２次側に連通する排気室に区画する隔壁と；前記吸気室と前記ポンプ室とを区切る隔壁に設けられたアンブレラバルブを備え、当該吸気室から前記ポンプ空間へのガスの流れのみを許容する第１の逆止弁装置と；前記ポンプ室と前記排気室とを区切る隔壁に設けられたアンブレラバルブを備え、前記ポンプ空間から当該排気室へのガスの流れのみを許容する第２の逆止弁装置とを有してなり；第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置を構成するアンブレラバルブが、本発明のアンブレラバルブであることを特徴とする。
〔１〕特定の処理剤による表面処理層（特定のハイブリッド化合物からなる被膜）が形成されてなる本発明のアンブレラバルブによれば、優れた非粘着性（粘着防止効果）が発揮される。従って、本発明のアンブレラバルブにより構成される逆止弁装置において、当該アンブレラバルブの傘状部分を隔壁部分に当接させた状態（閉弁状態）で一定時間（５分間以上）保持した後であっても、当該傘状部分が隔壁部分に粘着するようなことはなく、正流によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させることができる。
〔２〕特定の処理剤による表面処理層は、アンブレラバルブを構成するゴムに対して強固に密着しているので、エアポンプの稼働時（逆止弁装置の開閉動作の繰り返し時）の衝撃などによっても当該表面処理層が脱離・飛散するようなことはなく、優れた粘着防止効果を長期にわたり安定的に発揮することができる。
従って、本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプを長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、再稼働時の正流（１次側から２次側への流れ）によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させることができる。
従って、本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプを長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、再稼働時の正流（１次側から２次側への流れ）によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させることができる。
〔３〕本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプ用逆止弁装置によれば、エアポンプの停止に伴う閉弁状態で一定時間（５分間以上）保持した後であっても、再稼働時の正流（１次側から２次側への流れ）によって、確実に開弁することができる。
しかも、本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプを長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、再稼働時の正流によって、確実に開弁させることができる。
しかも、本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプを長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、再稼働時の正流によって、確実に開弁させることができる。
〔４〕本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプによれば、一旦運転を停止した後に再度稼働させても、これを構成する逆止弁（第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置）を確実に作動させることができる。
しかも、長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、これを構成する逆止弁を確実に作動させることができる。
しかも、長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、これを構成する逆止弁を確実に作動させることができる。
以下、本発明について詳細に説明する。
＜アンブレラバルブ＞
図２は、本発明のアンブレラバルブの一部を破断して示す説明図である。
同図に示すアンブレラバルブ３０は、傘状部分３１と、抜け止め用の拡径部３２が形成された軸部分３３とからなるゴム製の成形品である。
アンブレラバルブ３０の高さ（Ｔ）としては、例えば７〜１５ｍｍとされ、好ましくは７〜１１ｍｍとされる。また、傘状部分３１の直径（Ｄ）としては、例えば５〜１５ｍｍとされ、好ましくは５．５〜１２ｍｍとされる。
＜アンブレラバルブ＞
図２は、本発明のアンブレラバルブの一部を破断して示す説明図である。
同図に示すアンブレラバルブ３０は、傘状部分３１と、抜け止め用の拡径部３２が形成された軸部分３３とからなるゴム製の成形品である。
アンブレラバルブ３０の高さ（Ｔ）としては、例えば７〜１５ｍｍとされ、好ましくは７〜１１ｍｍとされる。また、傘状部分３１の直径（Ｄ）としては、例えば５〜１５ｍｍとされ、好ましくは５．５〜１２ｍｍとされる。
＜逆止弁装置＞
図３および図４は、本発明のアンブレラバルブを備えたエアポンプ用逆止弁装置（本発明の逆止弁装置）を示す断面図である。
この逆止弁装置は、ポンプ空間Ｓ１と排気室Ｓ２との間に装着されて、ポンプ空間Ｓ１から排気室Ｓ２へのガスの流れのみを許容するものであり、図１における「第２の逆止弁装置」に相当する。
図３および図４は、本発明のアンブレラバルブを備えたエアポンプ用逆止弁装置（本発明の逆止弁装置）を示す断面図である。
この逆止弁装置は、ポンプ空間Ｓ１と排気室Ｓ２との間に装着されて、ポンプ空間Ｓ１から排気室Ｓ２へのガスの流れのみを許容するものであり、図１における「第２の逆止弁装置」に相当する。
この逆止弁装置は、ポンプ空間Ｓ１と排気室Ｓ２を仕切る隔壁２０と、この隔壁２０に設けられたアンブレラバルブ３０（図２に示した本発明のアンブレラバルブ）とを備えてなる。
隔壁２０には、ポンプ空間Ｓ１と排気室Ｓ２とを連通する流路孔２１が複数形成されている。流路孔２１の径（ｄ）としては、例えば０．５〜２ｍｍとされ、好ましく０．５〜１．５ｍｍとされる。流路孔２１の数としては、例えば３〜６個とされる。
アンブレラバルブ３０は、その傘状部分３１により、隔壁２０に形成された流路孔２１を塞ぐことができるように設けられている。
隔壁２０には、ポンプ空間Ｓ１と排気室Ｓ２とを連通する流路孔２１が複数形成されている。流路孔２１の径（ｄ）としては、例えば０．５〜２ｍｍとされ、好ましく０．５〜１．５ｍｍとされる。流路孔２１の数としては、例えば３〜６個とされる。
アンブレラバルブ３０は、その傘状部分３１により、隔壁２０に形成された流路孔２１を塞ぐことができるように設けられている。
ポンプ空間Ｓ１の圧力が、排気室Ｓ２内の圧力よりも高くなり、その圧力差が設定圧力に達すると、図４に示すように、アンブレラバルブ３０の傘状部分３１が、流路孔２１の開口から離間して開弁状態となり、ポンプ空間Ｓ１内のガスは排気室Ｓ２に流動して正流（１次側から２次側への流れ）が確保される。一方、ポンプ空間Ｓ１の圧力が、排気室Ｓ２内の圧力よりも低くなっても、傘状部分３１は、流路孔２１を塞いだ状態（図３に示す状態）を維持するため、排気室Ｓ２内のガスがポンプ空間Ｓ１内に流動（逆流）することはない。
図３および図４に示す逆止弁装置の設定圧力としては、５０ＫＰａ以下であることが好ましく、更に好ましくは３０ＫＰａ以下とされる。
このような低い圧力で作動する逆止弁装置は、応答性に優れているものの、アンブレラバルブ（傘状部分）と、隔壁との間の粘着力の影響を受けやすい。
従って、本発明により達成される非粘着性（粘着防止効果）は、このような設定圧力の低い精密小型の逆止弁装置において特に重要な意義を有する。
このような低い圧力で作動する逆止弁装置は、応答性に優れているものの、アンブレラバルブ（傘状部分）と、隔壁との間の粘着力の影響を受けやすい。
従って、本発明により達成される非粘着性（粘着防止効果）は、このような設定圧力の低い精密小型の逆止弁装置において特に重要な意義を有する。
なお、上記においては、ポンプ空間Ｓ１から排気室Ｓ２へのガスの流れのみを許容する逆止弁装置（第２の逆止弁装置）について説明したが、これと同一構造のものを、吸気室とポンプ空間との間に装着されて、吸気室からポンプ空間へのガスの流れのみを許容する逆止弁装置（第１の逆止弁装置）として使用することも勿論可能である。
本発明のアンブレラバルブは、特定の処理剤により表面処理されている点に特徴を有し、これにより、優れた非粘着性（粘着防止効果）およびその安定性（粘着防止効果の耐久性）を発揮することができる。
＜特定の処理剤＞
特定の処理剤は、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤と、これらを溶解する溶剤とを必須成分として含有する。以下、各構成成分について説明する。
特定の処理剤は、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤と、これらを溶解する溶剤とを必須成分として含有する。以下、各構成成分について説明する。
（１）特定のフッ素含有化合物：
特定のフッ素含有化合物は、フルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）を分子両末端に有するとともに、−Ｓｉ（ＯＲ1 ）3 で示される基（トリアルコキシシリル基もしくはトリアルコキシアルコキシシリル基）が結合されてなる中間鎖を有し、さらに（−ＣＨ2 −ＣＲ2 Ｒ3 −）で示される中間鎖を有していてもよいフッ素系のオリゴマーである。
特定のフッ素含有化合物は、フルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）を分子両末端に有するとともに、−Ｓｉ（ＯＲ1 ）3 で示される基（トリアルコキシシリル基もしくはトリアルコキシアルコキシシリル基）が結合されてなる中間鎖を有し、さらに（−ＣＨ2 −ＣＲ2 Ｒ3 −）で示される中間鎖を有していてもよいフッ素系のオリゴマーである。
特定のフッ素含有化合物を構成するフルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）の具体例としては、−ＣＦ3 、−Ｃ2 Ｆ5 、−Ｃ3 Ｆ7 、−Ｃ6 Ｆ13および−Ｃ7 Ｆ15など−Ｃq Ｆ2q+1（ｑ＝１〜１０）で表されるフルオロアルキル基；−ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣ3 Ｆ7 、−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］ＯＣ3 Ｆ7 、および−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］2 ＯＣ3 Ｆ7 で表される基（オキシフルオロアルキレン基およびフルオロアルキル基を含有する基）を例示することができ、これらのうち、−ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣ3 Ｆ7 で表される基が特に好ましい。
特定のフッ素含有化合物を構成する必須の中間鎖の有する−Ｓｉ（ＯＲ1 ）3 で示される基の具体例としては、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基などのトリアルコキシシリル基；トリ（メトキシメトキシ）シリル基、トリ（メトキシエトキシ）シリル基、トリ（エトキシメトキシ）シリル基、トリ（エトキシエトキシ）シリル基などのトリアルコキシアルコキシシリル基を挙げることができる。これらのうち、トリアルコキシシリル基が好ましく、トリメトキシシリル基が特に好ましい。
特定のフッ素含有化合物における任意の中間鎖（−ＣＨ2 −ＣＲ2 Ｒ3 −）を構成する基（Ｒ2 ，Ｒ3 ）は、同一または異なる基であって、水素原子または１価の有機基である。Ｒ2 またはＲ3 で示される有機基としては、下記の式（ｉ）〜（ｖ）で示される基などを例示することができる。
特定のフッ素含有化合物を示す上記式（Ｆ１）において、必須の中間鎖の数（ｘ）は１〜１００とされ、好ましくは１〜５０、更に好ましくは１〜１０、特に好ましくは２〜５とされる。
また、任意の中間鎖の数（ｙ）は０〜１００とされ、好ましくは０〜５０、更に好ましくは０〜１０とされる。
また、任意の中間鎖の数（ｙ）は０〜１００とされ、好ましくは０〜５０、更に好ましくは０〜１０とされる。
特定のフッ素含有化合物を構成する好適な化合物としては、下記式（４）乃至（８）で示される化合物を挙げることができる。特に、下記式（４）または式（５）で示される化合物（上記の式（Ｆ１）においてｙ＝０である化合物）は、１分子中に占めるフッ素原子（表面特性の向上に寄与する原子）の割合が大きいために、アンブレラバルブの表面近傍において高い効率でフッ素原子を存在させることができ、十分な処理効果（粘着防止効果）をアンブレラバルブの表面に付与することができるので好ましい。
（式中、ｘ’は２または３である。）
〔式（５）および式（６）において、ＲF ’は、式：−ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣ3 Ｆ7 で示される基である。
式（５）中、ｘａは１〜１００の整数である。
式（６）中、ｘｂは１〜１００の整数、ｙｂは１〜５００の整数である。〕
式（５）中、ｘａは１〜１００の整数である。
式（６）中、ｘｂは１〜１００の整数、ｙｂは１〜５００の整数である。〕
〔式（７）中、ｘｃは１〜１０の整数、ｙｃは０〜１００の整数である。式（８）中、ｘｄは１〜１０の整数、ｙｄは０〜１００の整数である。〕
上記式（Ｆ１）で示される特定のフッ素含有化合物は、下記式（Ｆ１Ａ）で示されるフッ素含有過酸化物の存在下に、下記式（Ｆ１Ｂ）で示される単量体と、下記式（Ｆ１Ｃ）で示される単量体とを重合させることにより得ることができる。
なお、この反応生成物（フッ素含有化合物）中には、フルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）が片末端のみに導入されているオリゴマーが任意の割合で含まれていてもよい。
なお、この反応生成物（フッ素含有化合物）中には、フルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）が片末端のみに導入されているオリゴマーが任意の割合で含まれていてもよい。
（式中、ＲF 、Ｒ1 、Ｒ2 およびＲ3 は、先に定義したとおりである。）
特定の処理剤における特定のフッ素含有化合物の含有割合としては、０．００１〜２０質量％であることが好ましく、更に好ましくは０．００５〜１０質量％、特に好ましくは０．０１〜５質量％とされる。特定のフッ素含有化合物の含有割合が過小である場合には、処理効果（粘着防止効果）をアンブレラバルブの表面に付与することが困難となる。他方、２０質量％を超える割合で特定のフッ素含有化合物を含有させても、含有量に見合う処理効果が得られない。
（２）テトラアルコキシシラン：
特定の処理剤を構成するテトラアルコキシシランは、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 で示される４官能性のアルコキシシランである。
テトラアルコキシシランを示す上記式（１）において、Ｒ4 は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などの炭素数１〜４のアルキル基を表す。ここに、テトラアルコキシシランの好適な具体例としては、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）およびテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を挙げることができ、ＴＥＯＳが特に好ましい。
特定の処理剤を構成するテトラアルコキシシランは、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 で示される４官能性のアルコキシシランである。
テトラアルコキシシランを示す上記式（１）において、Ｒ4 は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などの炭素数１〜４のアルキル基を表す。ここに、テトラアルコキシシランの好適な具体例としては、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）およびテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を挙げることができ、ＴＥＯＳが特に好ましい。
特定の処理剤におけるテトラアルコキシシランの含有量としては、特定のフッ素含有化合物の含有量の０．５〜１０００倍（質量）であることが好ましく、更に好ましくは１〜５００倍、特に好ましくは１〜１００倍とされる。
テトラアルコキシシランの含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過小である場合には、架橋構造の形成が不十分となり、アンブレラバルブの表面を完全に覆うことが困難となる。
一方、この割合が過大である場合には、所期の非粘着性（粘着防止効果）をアンブレラバルブの表面に付与することが困難となる傾向がある。
テトラアルコキシシランの含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過小である場合には、架橋構造の形成が不十分となり、アンブレラバルブの表面を完全に覆うことが困難となる。
一方、この割合が過大である場合には、所期の非粘着性（粘着防止効果）をアンブレラバルブの表面に付与することが困難となる傾向がある。
（３）テトラアルコキシチタン：
特定の処理剤を構成するテトラアルコキシチタンは、式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 で示される４官能性のアルコキシチタンである。
特定の処理剤の必須成分としてテトラアルコキシチタンが含有されることにより、非粘着性の付与効果（粘着力の低減効果）に特に優れた表面処理層（特定のハイブリッド化合物からなる被膜）を形成することができる。
特定の処理剤を構成するテトラアルコキシチタンは、式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 で示される４官能性のアルコキシチタンである。
特定の処理剤の必須成分としてテトラアルコキシチタンが含有されることにより、非粘着性の付与効果（粘着力の低減効果）に特に優れた表面処理層（特定のハイブリッド化合物からなる被膜）を形成することができる。
テトラアルコキシチタンを示す上記式（２）において、Ｒ5 は、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基などの炭素数２〜４のアルキル基を表す。ここに、テトラアルコキシチタンの好適な具体例としては、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタンおよびテトラ−ｎ−ブトキシチタンを挙げることができ、テトラエトキシチタンおよびテトライソプロポキシチタンが特に好ましい。
特定の処理剤におけるテトラアルコキシチタンの含有量としては、特定のフッ素含有化合物の含有量の０．００１〜２０倍（質量）であることが好ましく、更に好ましくは０．１〜１０倍、特に好ましくは０．１〜５倍とされる。
また、テトラアルコキシチタンの含有量は、テトラエトキシシランの０．０１〜０．１倍であることが好ましく、更に好ましくは０．０２〜０．１倍とされる。
テトラアルコキシチタンの含有割合（テトラアルコキシシランに対する相対的な割合）が過小である場合には、得られる処理剤により形成される表面処理層が、十分な粘着防止効果を発揮することができない。
一方、テトラアルコキシチタンの含有割合（テトラアルコキシシランに対する相対的な割合）が過大である場合には、得られる処理剤が短時間で硬化してしまい、塗布性などの作業性が低下する。
また、テトラアルコキシチタンの含有量は、テトラエトキシシランの０．０１〜０．１倍であることが好ましく、更に好ましくは０．０２〜０．１倍とされる。
テトラアルコキシチタンの含有割合（テトラアルコキシシランに対する相対的な割合）が過小である場合には、得られる処理剤により形成される表面処理層が、十分な粘着防止効果を発揮することができない。
一方、テトラアルコキシチタンの含有割合（テトラアルコキシシランに対する相対的な割合）が過大である場合には、得られる処理剤が短時間で硬化してしまい、塗布性などの作業性が低下する。
（４）シランカップリング剤：
特定の処理剤を構成するシランカップリング剤は、式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 で示される。
シランカップリング剤を示す上記式（３）において、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数、好ましくは３であり、ｎは０〜５の整数、好ましくは０〜３の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。
特定の処理剤を構成するシランカップリング剤は、式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 で示される。
シランカップリング剤を示す上記式（３）において、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数、好ましくは３であり、ｎは０〜５の整数、好ましくは０〜３の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。
上記式（３）において、Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −で表される基は、少なくとも１個、好ましくは３個の加水分解性基（−ＯＲ6 ）を有する。これにより、上記式（３）で示されるシランカップリング剤は、４個のアルコキシ基（−ＯＲ4 ）を有するテトラアルコキシシラン、４個のアルコキシ基（−ＯＲ5 ）を有するテトラアルコキシチタン、および複数の加水分解性基（−ＯＲ1 ）を有する特定のフッ素含有化合物の何れとも反応することができる。
ここに、Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −で表される基としては、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基などのトリアルコキシシリル基であることが好ましい。
また、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基（−Ｒ8 ）としては、アミノ基、メルカプト基、ビニル基、（メタ）アクリロイルオキシ基、エポキシ基、ウレイド基などを挙げることができる。これらのうち、不飽和結合を有するゴムのポリマー主鎖に対して反応性を有するメルカプト基、不飽和結合を有しないゴムのポリマー主鎖に対して反応性を有するビニル基を好適なものとして挙げることができる。
このように、ゴムの種類（ポリマー主鎖中の不飽和結合の有無など）に応じて、反応性有機官能基（−Ｒ8 ）を選択することによれば、特定のフッ素含有化合物として同一種類の化合物を種々のゴムに対して使用することが可能となる。
このように、ゴムの種類（ポリマー主鎖中の不飽和結合の有無など）に応じて、反応性有機官能基（−Ｒ8 ）を選択することによれば、特定のフッ素含有化合物として同一種類の化合物を種々のゴムに対して使用することが可能となる。
特定の処理剤において、シランカップリング剤の含有量としては、特定のフッ素含有化合物の含有量の０．０１〜１０倍（質量）であることが好ましく、更に好ましくは０．０５〜５倍、特に好ましくは０．１〜５倍とされる。
シランカップリング剤の含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過小である場合には、得られる処理剤によって形成される表面処理層がアンブレラバルブを構成するゴムに対して十分な密着性を有するものとならない。一方、シランカップリング剤の含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過大である場合には、得られる処理剤による架橋構造の形成が不十分となり、アンブレラバルブの表面を完全に覆うこと（表面処理層の形成）が困難となる。
シランカップリング剤の含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過小である場合には、得られる処理剤によって形成される表面処理層がアンブレラバルブを構成するゴムに対して十分な密着性を有するものとならない。一方、シランカップリング剤の含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過大である場合には、得られる処理剤による架橋構造の形成が不十分となり、アンブレラバルブの表面を完全に覆うこと（表面処理層の形成）が困難となる。
（５）溶剤：
特定の処理剤を構成する溶剤としては、特定のフッ素含有化合物、テトラアルコキシシラン、テトラアルコキシチタンおよびシランカップリング剤の何れも溶解することができるものの中から選択することができ、これらの種類によっても異なるが、ヘキサン、メタノール、エタノール、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、クロロホルム、ベンゼン、酢酸エチル、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、トルエン、アセトンなどの有機溶剤を例示することができ、これらのうち、ヘキサン、メタノール、エタノール、ジクロロメタンおよびアセトンが好ましい。
特定の処理剤を構成する溶剤としては、特定のフッ素含有化合物、テトラアルコキシシラン、テトラアルコキシチタンおよびシランカップリング剤の何れも溶解することができるものの中から選択することができ、これらの種類によっても異なるが、ヘキサン、メタノール、エタノール、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、クロロホルム、ベンゼン、酢酸エチル、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、トルエン、アセトンなどの有機溶剤を例示することができ、これらのうち、ヘキサン、メタノール、エタノール、ジクロロメタンおよびアセトンが好ましい。
（６）任意成分：
特定の処理剤には、その効果が損なわれない限度において、上記の必須成分以外に各種の任意成分が含有されていてもよい。
特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤との反応（加水分解・縮合反応）を効率的に行わせて、特定のハイブリッド化合物における架橋構造の形成を促進させる観点から、特定の処理剤は、酸性またはアルカリ性であることが好ましく、酸性（ｐＨが６以下、特に２〜５）であることが特に好ましい。
特定の処理剤には、その効果が損なわれない限度において、上記の必須成分以外に各種の任意成分が含有されていてもよい。
特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤との反応（加水分解・縮合反応）を効率的に行わせて、特定のハイブリッド化合物における架橋構造の形成を促進させる観点から、特定の処理剤は、酸性またはアルカリ性であることが好ましく、酸性（ｐＨが６以下、特に２〜５）であることが特に好ましい。
特定の処理剤を酸性とするために含有される酸としては、無機酸であっても有機酸であってもよい。ここに、無機酸としては、塩酸、硝酸、硫酸などを挙げることができ、塩酸が好ましい。また、有機酸としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ペンタン酸などを挙げることができ、酢酸が好ましい。
また、特定の処理剤をアルカリ性とするために含有される塩基としては、アンモニア水および各種アミン類などを挙げることができる。
また、特定の処理剤をアルカリ性とするために含有される塩基としては、アンモニア水および各種アミン類などを挙げることができる。
（７）特定の処理剤の調製方法：
特定の処理剤は、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤と、任意成分とを溶剤に溶解させることにより容易に調製することができる。
なお、得られた組成物を室温下に長時間静置すると、構成成分（特に、テトラアルコキシシランおよびテトラアルコキシチタン）の縮合物が形成されて沈澱物を生じるおそれがある。このため、特定の処理剤は、製造後２４時間以内に使用することが好ましく、また、使用前に十分に（例えば１〜６時間）攪拌して組成物の均質化を図ることが肝要である。また、必要に応じて、６０〜７０℃に加温してもよい。
特定の処理剤は、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤と、任意成分とを溶剤に溶解させることにより容易に調製することができる。
なお、得られた組成物を室温下に長時間静置すると、構成成分（特に、テトラアルコキシシランおよびテトラアルコキシチタン）の縮合物が形成されて沈澱物を生じるおそれがある。このため、特定の処理剤は、製造後２４時間以内に使用することが好ましく、また、使用前に十分に（例えば１〜６時間）攪拌して組成物の均質化を図ることが肝要である。また、必要に応じて、６０〜７０℃に加温してもよい。
（８）アンブレラバルブ（被処理物）：
アンブレラバルブを構成するゴム（原料ゴム）としては、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ，ＥＰＤＭ）、アクリルゴム（ＡＣＭ，ＡＮＭ）、エピクロロヒドリンゴム（ＣＯ，ＥＣＯ）、シリコーンゴム（ＶＭＱ，ＦＶＭＱ）、ウレタンゴム（ＡＵ，ＥＵ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ，ＦＥＰＭ）などを例示することができ、これらのうち、エチレンプロピレンゴムが好ましい。
アンブレラバルブを構成するゴム（原料ゴム）としては、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ，ＥＰＤＭ）、アクリルゴム（ＡＣＭ，ＡＮＭ）、エピクロロヒドリンゴム（ＣＯ，ＥＣＯ）、シリコーンゴム（ＶＭＱ，ＦＶＭＱ）、ウレタンゴム（ＡＵ，ＥＵ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ，ＦＥＰＭ）などを例示することができ、これらのうち、エチレンプロピレンゴムが好ましい。
（９）アンブレラバルブの表面処理：
アンブレラバルブ（ゴム基材）を表面処理する方法としては、当該アンブレラバルブに特定の処理剤を塗布し、当該処理剤による塗膜を加熱する方法を挙げることができる。
特定の処理剤の塗布方法としては、当該処理剤中に、アンブレラバルブを浸漬する浸漬法、刷毛やローラなどの塗布手段を使用する方法など特に制限されるものではない。
なお、処理剤の塗布後、アンブレラバルブの表面に形成された塗膜から溶剤を除去するために乾燥処理を行うことが好ましい。乾燥条件としては、処理剤を構成する溶剤の種類および含有割合などによっても異なるが、例えば室温で１分間〜２４時間とされ、好ましくは３分間〜１時間とされる。
塗膜の加熱方法は、特に制限されるものではなく、オーブンによる加熱などを例示することができる。加熱条件としては、例えば５０〜１５０℃で５分間〜２４時間とされ、好ましくは８０〜１２０℃で１０〜１２０分間とされる。
アンブレラバルブ（ゴム基材）を表面処理する方法としては、当該アンブレラバルブに特定の処理剤を塗布し、当該処理剤による塗膜を加熱する方法を挙げることができる。
特定の処理剤の塗布方法としては、当該処理剤中に、アンブレラバルブを浸漬する浸漬法、刷毛やローラなどの塗布手段を使用する方法など特に制限されるものではない。
なお、処理剤の塗布後、アンブレラバルブの表面に形成された塗膜から溶剤を除去するために乾燥処理を行うことが好ましい。乾燥条件としては、処理剤を構成する溶剤の種類および含有割合などによっても異なるが、例えば室温で１分間〜２４時間とされ、好ましくは３分間〜１時間とされる。
塗膜の加熱方法は、特に制限されるものではなく、オーブンによる加熱などを例示することができる。加熱条件としては、例えば５０〜１５０℃で５分間〜２４時間とされ、好ましくは８０〜１２０℃で１０〜１２０分間とされる。
アンブレラバルブの表面に形成された塗膜（特定の処理剤による塗膜）を加熱することにより、特定のフッ素含有化合物（−ＯＲ1 ）と、テトラアルコキシシラン（−ＯＲ4 ）と、テトラアルコキシチタン（−ＯＲ5 ）と、シランカップリング剤（−ＯＲ6 ）との反応（加水分解・縮合反応）が進行し、フッ素原子を有するとともに、ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造を有する特定のハイブリッド化合物からなる表面処理層が形成され、これにより、優れた非粘着性（粘着防止効果）を有するアンブレラバルブ（本発明のアンブレラバルブ）が得られる。
ここに、特定のハイブリッド化合物からなる表面処理層により発現される粘着防止効果は、ＳｉＯ2 系の被膜（架橋ポリシロキサン）からなる表面処理層により発現される粘着防止効果、フッ素含有架橋ポリシロキサンからなる表面処理層により発現される粘着防止効果と比較して格段に優れている。
従って、本発明のアンブレラバルブにより構成される逆止弁装置（本発明の逆止弁装置）において、当該アンブレラバルブの傘状部分を隔壁部分に当接させた状態（閉弁状態）で一定時間（５分間以上）保持しても、当該傘状部分が隔壁部分に粘着するようなことはなく、正流によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させ、本発明の逆止弁装置を開弁させることができる。
従って、本発明のアンブレラバルブにより構成される逆止弁装置（本発明の逆止弁装置）において、当該アンブレラバルブの傘状部分を隔壁部分に当接させた状態（閉弁状態）で一定時間（５分間以上）保持しても、当該傘状部分が隔壁部分に粘着するようなことはなく、正流によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させ、本発明の逆止弁装置を開弁させることができる。
しかして、表面処理層を構成する特定のハイブリッド化合物、または、その形成過程（加水分解・縮合反応過程）における構造中には、シランカップリング剤に由来する反応性の有機官能基（−Ｒ8 ）が導入されており、この有機官能基（−Ｒ8 ）は、アンブレラバルブを構成するゴムのポリマー主鎖と反応する。これにより、最終的に形成される表面処理層（特定のハイブリッド化合物）は、シランカップリング剤を介して、当該ゴムのポリマー主鎖と化学的に結合することになる。このように、特定のハイブリッド化合物からなる表面処理層と、ゴムのポリマー主鎖との間には、シランカップリング剤を介して化学的な結合が形成されるため、当該表面処理層は、アンブレラバルブを構成するゴムに対して強固に密着することができ、エアポンプの稼働時（逆止弁装置の開閉動作の繰り返し時）の衝撃などによって、当該表面処理層が脱離・飛散するようなことはなく、優れた粘着防止効果を長期にわたり安定的に発揮することができる。
従って、本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプを長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、再稼働時の正流（１次側から２次側への流れ）によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させ、本発明の逆止弁装置を開弁させることができる。
従って、本発明のアンブレラバルブを備えてなるエアポンプを長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、再稼働時の正流（１次側から２次側への流れ）によって、当該傘状部分を隔壁部分から確実に離間させ、本発明の逆止弁装置を開弁させることができる。
＜エアポンプ＞
図５は、本発明のエアポンプであるダイヤフラムポンプの構成を示す説明図である。
同図に示すダイヤフラムポンプは、樹脂製のハウジング１と；このハウジング１の内部を、１次側に連通する吸気室４、ダイアフラム７により体積が増減するポンプ空間５Ａを含むポンプ室５、２次側に連通する排気室６に区画する樹脂製の隔壁２０と；吸気室４とポンプ室５とを区切る隔壁２０（２０ａ）に形成された流路孔２１を塞ぐことができるよう設けられたアンブレラバルブ３０（本発明のアンブレラバルブ）を備え、吸気室４からポンプ空間５Ａへのガスの流れのみを許容する第１の逆止弁装置と；ポンプ室５と排気室６とを区切る隔壁２０（２０ｂ）に形成された流路孔２１を塞ぐことができるよう設けられたアンブレラバルブ３０（本発明のアンブレラバルブ）を備え、ポンプ空間５Ａから排気室６へのガスの流れのみを許容する第２の逆止弁装置とを有してなる。
図５は、本発明のエアポンプであるダイヤフラムポンプの構成を示す説明図である。
同図に示すダイヤフラムポンプは、樹脂製のハウジング１と；このハウジング１の内部を、１次側に連通する吸気室４、ダイアフラム７により体積が増減するポンプ空間５Ａを含むポンプ室５、２次側に連通する排気室６に区画する樹脂製の隔壁２０と；吸気室４とポンプ室５とを区切る隔壁２０（２０ａ）に形成された流路孔２１を塞ぐことができるよう設けられたアンブレラバルブ３０（本発明のアンブレラバルブ）を備え、吸気室４からポンプ空間５Ａへのガスの流れのみを許容する第１の逆止弁装置と；ポンプ室５と排気室６とを区切る隔壁２０（２０ｂ）に形成された流路孔２１を塞ぐことができるよう設けられたアンブレラバルブ３０（本発明のアンブレラバルブ）を備え、ポンプ空間５Ａから排気室６へのガスの流れのみを許容する第２の逆止弁装置とを有してなる。
図５に示すダイヤフラムポンプは、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置を構成するアンブレラバルブとして、特定の処理剤により表面処理された本発明のアンブレラバルブ３０を備えている点に特徴を有している。それ以外の構成は、図１に示したものと同様である。
ハウジング１を構成する樹脂としては特に限定されるものではなく、例えばポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアセタール、変性ポリフェニレンエーテルなどのエンジニアリングプラスチックを挙げることができる。
隔壁２０を構成する樹脂としても、特に限定されるものではなく、ハウジング１の構成材料と同一の樹脂を使用することが好ましい。
また、ハウジング１と隔壁２０とが一体的に成形されていてもよい。
また、ハウジング１と隔壁２０とが一体的に成形されていてもよい。
ダイヤフラム７を構成するゴムとしては、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、フッ素ゴム、シリコーンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、フロロシリコーンゴムなどを例示することができる。
ダイヤフラムの駆動室５Ｂの内径（シリンダー径）としては、例えば１５〜１００ｍｍとされ、好ましくは２０〜５０ｍｍとされる。
また、ダイヤフラム７の中心部が固定されるピストン８の径（ピストン径）としては、例えば５〜９０ｍｍとされ、好ましくは８〜４０ｍｍとされる。
そして、ダイヤフラムの有効受圧面積は、例えば０．９〜７０ｃｍ2 とされ、好ましくは１．０〜１５ｃｍ2 とされる。
また、ダイヤフラム７の高さは、１０ｍｍ以下であることが好ましい。
また、ダイヤフラム７のストロークとしては、例えば２〜２０ｍｍとされ、好ましくは２〜１０ｍｍとされる。
また、ダイヤフラム７の中心部が固定されるピストン８の径（ピストン径）としては、例えば５〜９０ｍｍとされ、好ましくは８〜４０ｍｍとされる。
そして、ダイヤフラムの有効受圧面積は、例えば０．９〜７０ｃｍ2 とされ、好ましくは１．０〜１５ｃｍ2 とされる。
また、ダイヤフラム７の高さは、１０ｍｍ以下であることが好ましい。
また、ダイヤフラム７のストロークとしては、例えば２〜２０ｍｍとされ、好ましくは２〜１０ｍｍとされる。
本発明のアンブレラバルブ３０を備えてなるダイヤフラムポンプによれば、一旦運転を停止した後に再度稼働させても、これを構成する第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置を確実に作動させることができる。
しかも、長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、これを構成する逆止弁を確実に作動させることができる。
しかも、長期にわたり使用（稼働および停止）した後においても、これを構成する逆止弁を確実に作動させることができる。
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明がこれらに限定されるものではない。
〔作製例（アンブレラバルブの作製）〕
エチレンプロピレンゴム「ＪＳＲ ＥＰ３３」（ジェイエスアール（株）製）７０．０質量部と、エチレンプロピレンゴム「ＪＳＲ ＥＰ９６」（ジェイエスアール（株）製）４５．０質量部と、酸化亜鉛５．０質量部と、ステアリン酸１．０質量部と、ＦＥＦブラック９０．０質量部と、パラフィン系プロセスオイル２５．０質量部と、老化防止剤（ＴＭＤＱ）１．０質量部と、老化防止剤（ＭＢＩ）０．５質量部と、硫黄０．３質量部と、過酸化物加硫剤３．０質量部とを８インチロールによって混練し、得られた未加硫ゴム組成物を熱プレスを用いて加熱処理（１６０℃×３０分間）することにより、図２に示したような形状のアンブレラバルブ〔高さ（Ｔ）＝７．６ｍｍ，傘状部分の直径（Ｄ）＝７．８ｍｍ〕を作製した。
エチレンプロピレンゴム「ＪＳＲ ＥＰ３３」（ジェイエスアール（株）製）７０．０質量部と、エチレンプロピレンゴム「ＪＳＲ ＥＰ９６」（ジェイエスアール（株）製）４５．０質量部と、酸化亜鉛５．０質量部と、ステアリン酸１．０質量部と、ＦＥＦブラック９０．０質量部と、パラフィン系プロセスオイル２５．０質量部と、老化防止剤（ＴＭＤＱ）１．０質量部と、老化防止剤（ＭＢＩ）０．５質量部と、硫黄０．３質量部と、過酸化物加硫剤３．０質量部とを８インチロールによって混練し、得られた未加硫ゴム組成物を熱プレスを用いて加熱処理（１６０℃×３０分間）することにより、図２に示したような形状のアンブレラバルブ〔高さ（Ｔ）＝７．６ｍｍ，傘状部分の直径（Ｄ）＝７．８ｍｍ〕を作製した。
＜実施例１＞
（１）特定の処理剤の調製：
下記表１に示す処方に従って、上記式（４）で示される特定のフッ素含有化合物（ｘ’が２である化合物８６質量％と、ｘ’が３である化合物１４質量％との混合物）０．００４ｇと、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）０．４０ｇと、テトライソプロポキシチタン〔Ｔｉ（ＯＣＨ（ＣＨ3 ）2 ）4 〕０．００４ｇと、式：Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 −（ＣＨ2 ）3 −ＳＨで示されるシランカップリング剤「Ａ−１８９」〔日本ユニカー（株）製〕０．０１ｇと、塩酸（０．１Ｎ）０．０５ｇとを、アセトン９．５ｇに添加し、この系を室温下に１時間攪拌することにより、特定の処理剤（特定のフッ素含有化合物濃度＝０．０４質量％，ＴＥＯＳ濃度＝４．０質量％，テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０４質量％，シランカップリング剤濃度＝０．１質量％）を調製した。
（１）特定の処理剤の調製：
下記表１に示す処方に従って、上記式（４）で示される特定のフッ素含有化合物（ｘ’が２である化合物８６質量％と、ｘ’が３である化合物１４質量％との混合物）０．００４ｇと、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）０．４０ｇと、テトライソプロポキシチタン〔Ｔｉ（ＯＣＨ（ＣＨ3 ）2 ）4 〕０．００４ｇと、式：Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 −（ＣＨ2 ）3 −ＳＨで示されるシランカップリング剤「Ａ−１８９」〔日本ユニカー（株）製〕０．０１ｇと、塩酸（０．１Ｎ）０．０５ｇとを、アセトン９．５ｇに添加し、この系を室温下に１時間攪拌することにより、特定の処理剤（特定のフッ素含有化合物濃度＝０．０４質量％，ＴＥＯＳ濃度＝４．０質量％，テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０４質量％，シランカップリング剤濃度＝０．１質量％）を調製した。
（２）アンブレラバルブの表面処理：
上記（１）により得られた特定の処理剤（１時間の攪拌操作の終了直後における処理剤）中に、作製例により得られたアンブレラバルブを室温下に３分間浸漬することにより、当該アンブレラバルブの表面に特定の処理剤を塗布した。次いで、当該アンブレラバルブを室温下に１０分間放置して塗膜を乾燥させた後、１００℃のオーブン内で６０分間加熱処理することにより、本発明のアンブレラバルブ（特定のハイブリッド化合物からなる表面処理層が形成されたアンブレラバルブ）を製造した。
上記（１）により得られた特定の処理剤（１時間の攪拌操作の終了直後における処理剤）中に、作製例により得られたアンブレラバルブを室温下に３分間浸漬することにより、当該アンブレラバルブの表面に特定の処理剤を塗布した。次いで、当該アンブレラバルブを室温下に１０分間放置して塗膜を乾燥させた後、１００℃のオーブン内で６０分間加熱処理することにより、本発明のアンブレラバルブ（特定のハイブリッド化合物からなる表面処理層が形成されたアンブレラバルブ）を製造した。
（３）リリーフ弁の製造：
上記（２）により表面処理されたアンブレラバルブを、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる、図５に示したような構造を有する本発明のエアポンプを製造した。得られたエアポンプについての主要な仕様・諸元は下記のとおりである。
上記（２）により表面処理されたアンブレラバルブを、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる、図５に示したような構造を有する本発明のエアポンプを製造した。得られたエアポンプについての主要な仕様・諸元は下記のとおりである。
（ａ）ハウジングの構成樹脂：ポリブチレンテレフタレート
（ｂ）隔壁の構成樹脂：ポリブチレンテレフタレート（ハウジングと一体成形）
（ｃ）シリンダー径（ダイヤフラムの駆動室の内径）：３０ｍｍ
（ｄ）ピストン径：１８ｍｍ
（ｅ）ダイヤフラムの有効受圧面積：４．５ｃｍ2
（ｆ）ダイヤフラムの高さ：８ｍｍ
（ｇ）ダイヤフラムのストローク：６ｍｍ
（ｈ）隔壁に形成された流路孔：直径１．０ｍｍ×６箇所
（ｉ）ピストンの駆動源：５０Ｈｚの交流電流に接続した電磁石
（ｊ）設定圧力：約２５ＫＰａ
（ｂ）隔壁の構成樹脂：ポリブチレンテレフタレート（ハウジングと一体成形）
（ｃ）シリンダー径（ダイヤフラムの駆動室の内径）：３０ｍｍ
（ｄ）ピストン径：１８ｍｍ
（ｅ）ダイヤフラムの有効受圧面積：４．５ｃｍ2
（ｆ）ダイヤフラムの高さ：８ｍｍ
（ｇ）ダイヤフラムのストローク：６ｍｍ
（ｈ）隔壁に形成された流路孔：直径１．０ｍｍ×６箇所
（ｉ）ピストンの駆動源：５０Ｈｚの交流電流に接続した電磁石
（ｊ）設定圧力：約２５ＫＰａ
＜実施例２＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０８質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０８質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例３＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０１２ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．１２質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０１２ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．１２質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例４＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０２０ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．２０質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０２０ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．２０質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例５＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０２８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．２８質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０２８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．２８質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例６＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０４０ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．４０質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．０４０ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．４０質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例７＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更し、シランカップリング剤の使用量を０．０２ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０８質量％，シランカップリング剤濃度＝０．２質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更し、シランカップリング剤の使用量を０．０２ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０８質量％，シランカップリング剤濃度＝０．２質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例８＞
下記表１に示す処方に従って、上記式（４）で示される特定のフッ素含有化合物に代えて、上記式（６）で示される特定のフッ素含有化合物（但し、ｘｂ＝１〜１０、ｙｂは１〜１０）０．００４ｇを使用し、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０８質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、上記式（４）で示される特定のフッ素含有化合物に代えて、上記式（６）で示される特定のフッ素含有化合物（但し、ｘｂ＝１〜１０、ｙｂは１〜１０）０．００４ｇを使用し、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤（テトライソプロポキシチタン濃度＝０．０８質量％）を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜実施例９＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更し、塩酸に代えてアンモニア水（ＮＨ3 ＝２８〜３０％）０．１ｇを添加したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更し、塩酸に代えてアンモニア水（ＮＨ3 ＝２８〜３０％）０．１ｇを添加したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の処理剤を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、本発明のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる本発明のエアポンプを製造した。
＜比較例１＞
作製例で得られたアンブレラバルブ（表面処理されていないアンブレラバルブ）を第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる比較用のエアポンプを製造した。
作製例で得られたアンブレラバルブ（表面処理されていないアンブレラバルブ）を第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなる比較用のエアポンプを製造した。
＜比較例２＞
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンを使用しなかったこと以外は実施例１（１）と同様にして処理剤を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、比較用のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなるエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、テトライソプロポキシチタンを使用しなかったこと以外は実施例１（１）と同様にして処理剤を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、比較用のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなるエアポンプを製造した。
＜比較例３＞
下記表１に示す処方に従って、シランカップリング剤を使用しなかったこと以外は実施例１（１）と同様にして処理剤を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、比較用のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなるエアポンプを製造した。
下記表１に示す処方に従って、シランカップリング剤を使用しなかったこと以外は実施例１（１）と同様にして処理剤を調製し、この処理剤を塗布したこと以外は実施例１（２）と同様にして、比較用のアンブレラバルブを製造し、得られたアンブレラバルブを第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置の構成部材として備えてなるエアポンプを製造した。
＜評価実験１（エアポンプの耐久試験）＞
実施例１〜９および比較例１〜３により製造したエアポンプの各々について、１０秒間の稼働（このとき逆止弁装置は開閉動作を繰り返す）と、１０分間の停止（このとき逆止弁装置は閉弁状態を維持する）とを１サイクルとして、２０００サイクル（最多）の耐久試験を行って、再稼働時に第１の逆止弁装置および／または第２の逆止弁装置が作動しないことによってポンプが停止したときのサイクル数を測定した。結果を（１００サイクル単位で）表１に示す。
実施例１〜９および比較例１〜３により製造したエアポンプの各々について、１０秒間の稼働（このとき逆止弁装置は開閉動作を繰り返す）と、１０分間の停止（このとき逆止弁装置は閉弁状態を維持する）とを１サイクルとして、２０００サイクル（最多）の耐久試験を行って、再稼働時に第１の逆止弁装置および／または第２の逆止弁装置が作動しないことによってポンプが停止したときのサイクル数を測定した。結果を（１００サイクル単位で）表１に示す。
ここに、エアポンプの稼働時（１０秒間）において、ダイヤフラムを変形させるためのピストンの往復回数は５０回／秒とした。従って、第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置を構成するアンブレラバルブの各々も１秒間で５０回の開閉動作をしたことになる。 また、エアポンプの１次側を大気圧とし、２次側は２５ＫＰａの加圧状態とした。
＜評価実験２（アンブレラバルブの非粘着性）＞
実施例１〜９および比較例２〜３により得られたアンブレラバルブ、並びに比較例１で使用するアンブレラバルブ（作製例で得られたアンブレラバルブ）の各々について、ステンレスに対する粘着力を測定した。
更に、これらのアンブレラバルブの各々を備えてなるエアポンプの耐久試験（評価実験１）を行った後（実施例１〜９に係るエアポンプにあっては２０００サイクルの終了後、比較例１〜３に係るエアポンプにあっては、表１に示したサイクルの終了後）、再度ステンレスに対する粘着力を測定した。
測定方法は下記のとおりである。結果を表１に併せて示す。
実施例１〜９および比較例２〜３により得られたアンブレラバルブ、並びに比較例１で使用するアンブレラバルブ（作製例で得られたアンブレラバルブ）の各々について、ステンレスに対する粘着力を測定した。
更に、これらのアンブレラバルブの各々を備えてなるエアポンプの耐久試験（評価実験１）を行った後（実施例１〜９に係るエアポンプにあっては２０００サイクルの終了後、比較例１〜３に係るエアポンプにあっては、表１に示したサイクルの終了後）、再度ステンレスに対する粘着力を測定した。
測定方法は下記のとおりである。結果を表１に併せて示す。
（粘着力の測定方法）
ステンレス板に形成された貫通孔にアンブレラバルブの軸部分を挿通し、その傘状部分をステンレス板の表面（貫通孔の周囲）に接触（接触面積≒０．４２ｃｍ2 ）させ、接触領域に１０Ｎの荷重をかけた。
次いで、貫通孔に挿通された軸部分の先端部を、ステンレス板の裏面側から押圧して、アンブレラバルブの傘状部分をステンレス板から離間させた。このときの押圧力を測定することにより、単位面積あたりの粘着力を測定した。
ステンレス板に形成された貫通孔にアンブレラバルブの軸部分を挿通し、その傘状部分をステンレス板の表面（貫通孔の周囲）に接触（接触面積≒０．４２ｃｍ2 ）させ、接触領域に１０Ｎの荷重をかけた。
次いで、貫通孔に挿通された軸部分の先端部を、ステンレス板の裏面側から押圧して、アンブレラバルブの傘状部分をステンレス板から離間させた。このときの押圧力を測定することにより、単位面積あたりの粘着力を測定した。
本発明のアンブレラバルブは、エアポンプの逆止弁装置の構成部材として好適に用いられる。
１ ハウジング
２０ 隔壁
２１ 流路孔
３０ アンブレラバルブ
３１ 傘状部分
３２ 拡径部
３３ 軸部分
４ 吸気室
４ｐ 吸気管
５ ポンプ室
５Ａ ポンプ空間
５Ｂ ダイヤフラムの駆動室
６ 排気室
６ｐ 排気管
７ ダイヤフラム
８ ピストン
２０ 隔壁
２１ 流路孔
３０ アンブレラバルブ
３１ 傘状部分
３２ 拡径部
３３ 軸部分
４ 吸気室
４ｐ 吸気管
５ ポンプ室
５Ａ ポンプ空間
５Ｂ ダイヤフラムの駆動室
６ 排気室
６ｐ 排気管
７ ダイヤフラム
８ ピストン
Claims (10)
- 逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブであって、
下記式（Ｆ１）で示されるフッ素含有化合物と、
式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ4 は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシランと、
式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 （式中、Ｒ5 は、炭素数２〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシチタンと、
式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 （式中、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数であり、ｎは０〜５の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。）で示されるシランカップリング剤と、
これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤により処理されているアンブレラバルブ。
- 逆止弁装置を構成するゴム製のアンブレラバルブであって、
下記式（Ｆ２）で示されるフッ素含有化合物と、
式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ4 は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシランと、
式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 （式中、Ｒ5 は、炭素数２〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシチタンと、
式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 （式中、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数であり、ｎは０〜５の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。）で示されるシランカップリング剤と、
これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤により処理されているアンブレラバルブ。
- 前記フッ素含有化合物を示す上記式（Ｆ１）または上記式（Ｆ２）において、ＲF で表されるフルオロアルキル基を含有する基が、−ＣＦ3 、−Ｃ2 Ｆ5 、−Ｃ3 Ｆ7 、−Ｃ6 Ｆ13、−Ｃ7 Ｆ15または−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］p ＯＣ3 Ｆ7 （式中、ｐは０，１もしくは２である。）で表される請求項１または請求項２に記載のアンブレラバルブ。
- 前記テトラアルコキシシランが、テトラメトキシシランまたはテトラエトキシシランである請求項１乃至請求項３の何れかに記載のアンブレラバルブ。
- 前記テトラアルコキシチタンが、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタンおよびテトラ−ｎ−ブトキシチタンから選ばれた少なくとも１種である請求項１乃至請求項４の何れかに記載のアンブレラバルブ。
- 前記表面処理剤が、酸または塩基を含有する請求項１乃至請求項５の何れかに記載のアンブレラバルブ。
- 前記表面処理剤が、上記式（Ｆ２）で示されるフッ素含有化合物と、テトラエトキシシランと、テトラエトキシチタンまたはテトライソプロポキシチタンと、シランカップリング剤と、酸または塩基と、有機溶剤とを含有する請求項２または請求項３に記載のアンブレラバルブ。
- ピストンまたはダイアフラムにより体積が増減するポンプ空間に連通する流路孔が形成された隔壁と、前記流路孔を塞ぐことができるよう前記隔壁に設けられたアンブレラバルブとを備え、前記ポンプ空間の圧力に応じて前記アンブレラバルブが変形することにより前記流路孔を開閉するエアポンプ用逆止弁装置であって、
前記アンブレラバルブが、請求項１乃至請求項７の何れかに記載のアンブレラバルブであるエアポンプ用逆止弁装置。 - ５０ＫＰａ以下の圧力において作動する請求項８に記載のエアポンプ用逆止弁装置。
- ハウジングと、
このハウジングの内部を、１次側に連通する吸気室、ピストンまたはダイアフラムにより体積が増減するポンプ空間を含むポンプ室、２次側に連通する排気室に区画する隔壁と、
前記吸気室と前記ポンプ室とを区切る隔壁に設けられたアンブレラバルブを備え、当該吸気室から前記ポンプ空間へのガスの流れのみを許容する第１の逆止弁装置と、
前記ポンプ室と前記排気室とを区切る隔壁に設けられたアンブレラバルブを備え、前記ポンプ空間から当該排気室へのガスの流れのみを許容する第２の逆止弁装置とを有してなり、
第１の逆止弁装置および第２の逆止弁装置を構成するアンブレラバルブが、請求項１乃至請求項７の何れかに記載のアンブレラバルブであるエアポンプ。
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