JP2006278236A - プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 - Google Patents

Abstract

【課題】エネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることが可能なプラズマ発生電極を提供する。
【解決手段】電圧を印加することによりプラズマを発生することのできる少なくとも一組の陽極としての単位電極２及び陰極としての単位電極３を備えたプラズマ発生電極であって、陽極としての単位電極２及び陰極としての単位電極３が互いに対向配置されており、少なくとも陽極としての単位電極２が、板状のセラミック誘電体５と、セラミック誘電体５の内部に配設された導電膜６とを有するとともに、陰極としての単位電極３が、プラズマ発生過程に生じた陽イオン（一次粒子）が衝突した際に、受け取る陽イオンの数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することが可能なプラズマ発生電極１。
【選択図】図１

Description

本発明は、プラズマ発生電極及びプラズマ反応器に関する。さらに詳しくは、エネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることが可能なプラズマ発生電極及びプラズマ反応器に関する。

二枚の両端を固定された電極間に誘電体を配置し高電圧の交流、あるいは周期パルス電圧をかけることにより、無声放電が発生し、これによりできるプラズマ場では活性種、ラジカル、イオンが生成され、気体の反応、分解を促進することが知られており、これをエンジン排気ガスや各種の焼却炉排気ガスに含まれる有害成分の除去に利用できることが知られている。

例えば、上述したようなプラズマを発生させるためのプラズマ発生電極を使用し、そのプラズマ場内に、エンジンや各種の焼却炉等から排出される排気ガスを通過させて、排気ガスに含まれる有害成分、例えば、ＮＯ_x、カーボン微粒子、ＨＣ、ＣＯ等を処理するプラズマ反応器等が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−１６４９２５号公報

しかしながら、例えば、このようプラズマ反応器を用いて、エンジン等から排出される排気ガスに含まれる一酸化窒素（ＮＯ）を処理する場合において、その処理に必要となるエネルギー状態のプラズマを発生させるためには、極めて多くの電力を供給しなければならず、従来のプラズマ反応器はエネルギー効率が悪いという問題があった。

本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、エネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることが可能なプラズマ発生電極及びプラズマ反応器を提供する。

即ち、本発明は、以下のプラズマ発生電極及びプラズマ反応器を提供するものである。

［１］ 電圧を印加することによりプラズマを発生することのできる少なくとも一組の陽極としての単位電極及び陰極としての単位電極を備えたプラズマ発生電極であって、前記陽極としての単位電極及び前記陰極としての単位電極が互いに対向配置されており、少なくとも前記陽極としての単位電極が、板状のセラミック誘電体と、前記セラミック誘電体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、前記陰極としての単位電極が、プラズマ発生過程に生じた陽イオン（一次粒子）が衝突した際に、受け取る前記陽イオンの数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することが可能なプラズマ発生電極（以下、「第一の発明」ということがある）。

［２］ 前記陰極としての単位電極が、ベリリウム銅合金、銀マグネシウム合金、アルミニウムマグネシウム合金、ニッケルベリリウム合金、酸化セシウム、バリウムとストロンチウムの二元酸化物、硫化亜鉛、及びタングステン酸カルシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の材料を含む前記［１］に記載のプラズマ発生電極。

［３］ 前記陽極としての単位電極を構成する前記セラミック誘電体が、アルミナ、ムライト、セラミックガラス、ジルコニア、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウム、及びガラスからなる群から選ばれる少なくとも一種のセラミックを含む前記［１］又は［２］に記載のプラズマ発生電極。

［４］ 前記陽極としての単位電極を構成する前記導電膜が、タングステン、モリブデン、マンガン、クロム、チタン、ジルコニウム、ニッケル、鉄、銀、銅、白金、及びパラジウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む前記［１］〜［３］のいずれかに記載のプラズマ発生電極。

［５］ 前記［１］〜［４］のいずれかに記載のプラズマ発生電極と、所定の成分を含むガスの流路（ガス流路）を内部に有するケース体とを備え、前記ガスが前記ケース体の前記ガス流路に導入されたときに、前記プラズマ発生電極で発生したプラズマにより前記ガスに含まれる前記所定の成分が反応することが可能なプラズマ反応器（以下、「第二の発明」ということがある）。

［６］ 前記プラズマ発生電極に電圧を印加するための一つ以上のパルス電源をさらに備えた前記［５］に記載のプラズマ反応器。

［７］ 前記パルス電源が、その内部に少なくとも一つのＳＩサイリスタを有する前記［６］に記載のプラズマ反応器。

このように、本発明のプラズマ発生電極及びプラズマ反応器は、陽極としての単位電極が、板状のセラミック誘電体と、セラミック誘電体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、陰極としての単位電極が、陽イオンを受け取る際に、受け取る陽イオンの数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することが可能なものであることから、エネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることができる。

以下、図面を参照して、本発明（第一及び第二の発明）のプラズマ発生電極及びプラズマ反応器の最良の形態について詳細に説明するが、本発明は、これに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。

図１は、本発明（第一の発明）のプラズマ発生電極の一の実施の形態を模式的に示す斜視図であり、図２は、図１に示すプラズマ発生電極を面Ａで切断した断面図である。また、図３は、本実施の形態のプラズマ発生電極における、陽極としての単位電極と陰極としての単位電極との相互間の粒子（陽イオンと二次電子）の動きを説明する説明図である。

図１及び図２に示すように、本実施の形態のプラズマ発生電極１は、電圧を印加することによりプラズマを発生することのできる少なくとも一組の陽極としての単位電極２及び陰極としての単位電極３を備えたプラズマ発生電極であって、陽極としての単位電極２及び陰極としての単位電極３が互いに対向配置されており、少なくとも陽極としての単位電極２が、板状のセラミック誘電体５と、セラミック誘電体５の内部に配設された導電膜６とを有するとともに、図３に示すように、陰極としての単位電極３が、プラズマ発生過程に生じた陽イオン７（一次粒子）が衝突した際に、受け取る陽イオン７の数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することが可能なものである。

通常、陽極としての単位電極２（以下、「陽極単位電極２」ということがある）と陰極としての単位電極３（以下、「陰極単位電極３」ということがある）とが互いに対向配置されたプラズマ発生電極１においては、プラズマが生成する過程において陽イオン７が発生し、発生した陽イオン７は、陽極単位電極２と陰極単位電極３との間に発生する電界により陰極単位電極３へと引き寄せられて陰極単位電極３に衝突する。この陽イオン７の衝突により、陰極単位電極３が陽イオン７を受け取るとともに、衝突によるエネルギーが陰極単位電極３内の電子に与えられて、陰極単位電極３が二次電子８を放出する。この二次電子８は、電界によりエネルギーを得て、電子雪崩を起こしストリーマー（放電）が進展する起点となる。

本実施の形態のプラズマ発生電極１においては、陰極単位電極３が、陽イオン７を受け取る際に、受け取る陽イオン７の数に対して５倍以上の数の二次電子８を放出するものであり、従来のプラズマ発生電極と比較して二次電子８を放出する数が多いため、上述したストリーマーが、より多くの箇所で、かつより大きく進展する。このため、従来のプラズマ発生電極と比較してエネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることができる。このようなことから、例えば、自動車の排気ガス等に含まれる一酸化窒素（ＮＯ）を二酸化窒素（ＮＯ₂）に変換して処理する場合の処理効率を大幅に上昇させることができる。

本実施の形態のプラズマ発生電極１に用いられる陰極単位電極３は、受け取る陽イオン７の数に対して５倍以上の数の二次電子８を放出することが可能なものであれば、その材料については特に制限はないが、例えば、陰極単位電極３が、ベリリウム銅合金、銀マグネシウム合金、アルミニウムマグネシウム合金、ニッケルベリリウム合金、酸化セシウム、バリウムとストロンチウムの二元酸化物、硫化亜鉛、及びタングステン酸カルシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の材料を含むことが好ましい。上述した材料は、いずれも受け取る陽イオン７の数に対して５倍以上の数の二次電子８を放出するものであり、本実施の形態のプラズマ発生電極１に用いられる陰極単位電極３の材料として好適に用いることができる。なお、例えば、上述した、受け取る陽イオン７の数に対する、放出する二次電子８の数の割合（以下、「二次電子放出の割合」ということがある）は、ベリリウム銅合金が７、銀マグネシウム合金が１０、アルミニウムマグネシウム合金が１０〜１５、ニッケルベリリウム合金が１２、酸化セシウム８〜１１、バリウムとストロンチウムの二元酸化物が８、硫化亜鉛が７、タングステン酸カルシウムが７である。なお、この二次電子放出の割合は、図４に示すように、陽イオンが有するエネルギーによって変化するものであるが、その最大値は陽イオンを受け取る側の材質によって決まっている。本実施の形態において二次電子放出の割合という場合には、この最大値を意味する。なお、図４は、陽イオンのエネルギーと、陰極単位電極が受け取る陽イオンの数に対する放出する二次電子の数の割合（二次電子放出の割合）との関係を示すグラフである。なお、図３に示すように、この陰極単位電極３においては、放出する二次電子８の数が受け取る陽イオン７の数に対して５倍以上であれば、より多くの二次電子８を放出することが可能なものであることが好ましいが、一般的には、上述した好ましい材料を用いた場合には、５〜１５倍の二次電子８を放出することができる。

図１に示すように、本実施の形態のプラズマ発生電極１に用いられる陰極単位電極３においては、その陰極単位電極３の全質量に対して、ベリリウム銅合金、銀マグネシウム合金、アルミニウムマグネシウム合金、ニッケルベリリウム合金、酸化セシウム、バリウムとストロンチウムの二元酸化物、硫化亜鉛、及びタングステン酸カルシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の材料を、総量で５０質量％以上含むことがさらに好ましく、９０質量％以上含むことが特に好ましい。このように構成することによって、よりエネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることが可能となる。

なお、陰極単位電極３が受け取る陽イオンの数、及び陰極単位電極３が放出する二次電子８の数は、例えば、陽イオンを対象となる材料に衝突させ、その際発生した電子を計測することにより求めることができる。具体的には、表面イオン化等によって一次粒子となるイオンを発生させ、二重集束質量分析装置によって発生したイオンをふるいにかけ、一定のエネルギー・価数及び質量を持ったイオンを得る。得られた等エネルギー・等価数・等質量のイオンを、加速レンズを用いて最大３０ｋｅＶ程度まで加速し、対象となる材料に衝突させる。イオンとの衝突により測定対象となる材料は二次電子を放出し、放出された二次電子を、シリンドリカルレンズを用い３０ｋｅＶまで加速させ半導体検出器に集中して衝突させる。二次電子が半導体検出器に衝突することにより二次電子は電気信号として得ることができ、得られた信号を波高分析することにより衝突により発生した二次電子数を見積もることができる。

陽極単位電極２及び陰極単位電極３の形状については特に制限はないが、例えば、互いに対向する相互間に良好にプラズマを発生させることができるように、互いに対向する板状であることが好ましい。

また、本実施の形態のプラズマ発生電極１に用いられる陽極単位電極２は、板状のセラミック誘電体５と、セラミック誘電体５の内部に配設された導電膜６とを有する、所謂、バリア放電型の単位電極である。このため、本実施の形態のプラズマ発生電極１は、陽極単位電極２と陰極単位電極３との相互間に、バリヤ放電による均一なプラズマを良好に発生させることができる。この陽極単位電極２は、導電膜６がセラミック誘電体５の内部に配設されているため、プラズマ発生電極１を排気ガスの処理等に用いた際に、導電膜６と排気ガスとが直接接触することがなく、導電膜６の腐食や劣化を有効に防止することができる。

図１及び図２に示すように、本実施の形態のプラズマ発生電極１においては、陽極単位電極２と陰極単位電極３との相互間にプラズマを発生させる空間を形成するために、互いに対向する陽極単位電極２と陰極単位電極３とを所定の間隔隔てた状態で保持する保持部材４を備えている。また、図１及び図２においては、それぞれ三枚ずつの陽極単位電極２と陰極単位電極３とが、交互に保持部材４によって保持されたプラズマ発生電極１を示しているが、プラズマ発生電極１を構成する陽極単位電極２と陰極単位電極３との数はこれに限定されることはない。

本実施の形態のプラズマ発生電極１に用いられる陽極単位電極２においては、この陽極単位電極２を構成するセラミック誘電体５が、アルミナ、ムライト、セラミックガラス、ジルコニア、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウム、及びガラスからなる群から選ばれる少なくとも一種のセラミックを含むことが好ましい。セラミック誘電体５が上述したセラミックを含むことにより、その耐熱性及び耐衝撃性を向上させることが可能となり、プラズマ発生電極１を燃焼排気ガスの処理や自動車の排気ガスの処理等に好適に用いることができる。

このようなセラミック誘電体５としては、テープ状に成形されたセラミック成形体（グリーンテープ）を用いることが好ましい。このように構成することによって、セラミック誘電体５の厚さを薄くすることが可能となり、プラズマ発生電極１の小型化や、排気ガス等を処理する場合における通過抵抗を低減させることができる。なお、セラミック誘電体５としては、例えば、押出成形によって所定の形状に形成されたセラミック成形体を用いてもよい。

また、本実施の形態のプラズマ発生電極１に用いられる陽極単位電極２においては、この陽極単位電極２を構成する導電膜６が、タングステン、モリブデン、マンガン、クロム、チタン、ジルコニウム、ニッケル、鉄、銀、銅、白金、及びパラジウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含むことが好ましく、導電膜６の全質量に対して上記群から選ばれる少なくとも一種の金属を６０質量％以上含むことがさらに好ましい。

この導電膜６は、上述した導電膜６の好ましい材料として挙げた金属の粉末を含む導体ペーストを塗工して形成したものを好適に用いることができる。また、同様の好ましい材料として挙げた金属から構成された金属メッシュや金属ワイヤを用いることもできる。

導電膜６を、上述した導体ペーストを塗工して形成する場合には、テープ状に成形されたセラミック成形体（グリーンテープ）をセラミック誘電体５として用い、このテープ状のセラミック成形体に、例えば、導電膜６の好ましい材料として挙げた金属の粉末と、有機バインダーと、テルピネオール等の溶剤とを混合して調製した導体ペーストを塗工して形成することが好ましい。具体的な塗工の方法としては、例えば、スクリーン印刷、カレンダーロール、スプレー、静電塗装、ディップ、ナイフコータ、化学蒸着、物理蒸着等を好適例として挙げることができる。このような方法によれば、塗工後の表面の平滑性に優れ、かつ厚さの薄い導電膜６を容易に形成することができる。なお、上述した導体ペーストには、テープ状のセラミック成形体との密着性及び焼結性を向上させるべく、必要に応じて添加剤を加えてもよい。

また、導電膜６の厚さについては特に制限はないが、プラズマ発生電極１の小型化、及び排気ガス等を処理する場合における通過抵抗を低減させる等の理由から、１０〜１００μｍであることが好ましく、さらに、１０〜３０μｍであることが好ましい。

次に、本発明（第二の発明）のプラズマ反応器の一の実施の形態について具体的に説明する。図５（ａ）は、本発明のプラズマ反応器の一の実施の形態を、ガスの流れ方向に、互いに対向して配置された電極の表面に垂直な平面で切断した断面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図である。

図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、本実施の形態のプラズマ反応器１１は、図１に示したような本発明（第一の発明）のプラズマ発生電極の一の実施の形態（プラズマ発生電極１）と、所定の成分を含むガスの流路（ガス流路１３）を内部に有するケース体１２とを備え、このガスがケース体１２のガス流路１３に導入されたときに、プラズマ発生電極１によって発生したプラズマによりガスに含まれる所定の成分が反応することが可能なものである。本実施の形態のプラズマ反応器１１は、排気ガス処理装置や、空気等に含まれる酸素を反応させてオゾンを精製するオゾナイザ等に好適に用いることができる。特に、第一の発明の実施の形態であるプラズマ発生電極１は、陰極単位電極が、陽イオンを受け取る際に、受け取る陽イオンの数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することができるため、エネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させる可能となる。

本実施の形態のプラズマ反応器１１を構成するケース体１２の材料としては、特に制限はないが、例えば、優れた導電性を有するとともに、軽量かつ安価であり、熱膨張による変形の少ないフェライト系ステンレス等であることが好ましい。

また、図示は省略するが、本実施の形態のプラズマ反応器においては、プラズマ発生電極に電圧を印加するための電源をさらに備えていてもよい。この電源については、プラズマを有効に発生させることができる電流を供給することが可能なものであれば、従来公知の電源を好適に用いることができる。また上述した電源としては、パルス電源であることが好ましく、この電源が、その内部に少なくとも一つのＳＩサイリスタを有することがさらに好ましい。このような電源を用いることによって、さらに効率よくプラズマを発生させることができる。

また、本実施の形態のプラズマ反応器においては、上述したように電源を備えた構成とせずに、外部の電源から電流を供給することが可能なようにコンセント等の通電用部品を備えた構成としてもよい。

プラズマ反応器を構成するプラズマ発生電極に供給する電流については、発生させるプラズマの強度によって適宜選択して決定することができる。例えば、プラズマ反応器を自動車の排気系中に設置する場合には、プラズマ発生電極に供給する電流が、電圧が１ｋＶ以上の直流電流、ピーク電圧が１ｋＶ以上かつ１秒当たりのパルス数が１００以上（１００Ｈｚ以上）であるパルス電流、ピーク電圧が１ｋＶ以上かつ周波数が１００以上（１００Ｈｚ以上）である交流電流、又はこれらのいずれか二つを重畳した電流であることが好ましい。このように構成することによって、効率よくプラズマを発生させることができる。

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
陽極としての五枚の単位電極（陽極単位電極）と、プラズマ生成過程において生じた陽イオンを受け取る四枚の陰極としての単位電極（陰極単位電極）とを備え、この陽極単位電極と陰極単位電極とが互いに１ｍｍの間隔を隔てた状態で対向配置されたプラズマ発生電極（実施例１）を製造した。

陽極単位電極は、板状のセラミック誘電体と、このセラミック誘電体の内部に配設された導電膜とを有しており、セラミック誘電体は、アルミナグリーンシートを用いて形成し、セラミック誘電体の表面の形状を縦横９０×５０ｍｍの長方形とし、その厚さを１ｍｍとした。また、導電膜は、タングステンを含むペーストを用いて、セラミック誘電体の略中央に印刷して形成し、導電膜の大きさを、縦横８０ｍｍ×４８ｍｍ、厚さ１０μｍとした。また、陰極単位電極は、純度が略１００質量％のベリリウム銅を用いて、表面の形状を縦横９０×５０ｍｍの長方形とし、その厚さを１ｍｍとした。陰極電極の材料として用いたベリリウム銅は、二次電子放出の割合が７であった。

本実施例のプラズマ発生電極を用いて、排気ガスを模擬したモデルガスのＮＯをＮＯ₂に変換する処理実験を行った。モデルガスの成分はＮ₂をベースガスとし、Ｏ₂が１４％、ＣＯ₂が４．５％、ＣＯが１０００ｐｐｍ、ＴＨＣ（トータルハイドロカーボン）が６００ｐｐｍ、ＮＯが２００ｐｐｍ、Ｈ₂Ｏが４％であり、ガス流量は空間速度（ＳＶ値）が２０万となるように調整した。陽極単位電極に印加する電圧波形は高繰り返しパルスとし、周波数は１ｋＨｚとした。この処理実験より、投入電力が３０ＷのときにＮＯのＮＯ₂への変換率が８５％となった。

（比較例１）
陰極単位電極を、二次電子放出の割合が１．３のステンレスを用いて製作したものを用いた以外は、実施例１のプラズマ発生電極と同様に構成されたプラズマ発生電極（比較例１）を製造し、実施例１と同様の方法で、排気ガスを模擬したモデルガスのＮＯをＮＯ₂に変換する処理実験を行った。結果は、投入電力が６０ＷのときにＮＯのＮＯ₂への変換率が８５％となり、実施例１のプラズマ発生電極と同定の処理を行うために、約２倍の電力を要した。

本発明のプラズマ発生電極は、陰極単位電極が、陽イオンを受け取る際に、受け取る陽イオンの数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することが可能なものであるため、エネルギー状態の高いプラズマを低電力で発生させることができ、例えば、自動車の排気ガス等に含まれる一酸化窒素（ＮＯ）を二酸化窒素（ＮＯ₂）に変換にて処理する場合の処理効率を大幅に上昇させることができる。また、本発明のプラズマ反応器は、このようなプラズマ発生電極を備えており、均一かつ安定なプラズマを発生させることが可能であり、自動車の排気ガス処理装置等に好適に用いることができる。

本発明（第一の発明）のプラズマ発生電極の一の実施の形態を模式的に示す斜視図である。 図１に示すプラズマ発生電極を面Ａで切断した断面図である。 本発明（第一の発明）のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、陽極単位電極と陰極単位電極との相互間の粒子（陽イオンと二次電子）の動きを説明する説明図である。 陽イオンのエネルギーと、陰極単位電極が受け取る陽イオンの数に対する放出する二次電子の数の割合（二次電子放出の割合）との関係を示すグラフである。 本発明（第二の発明）のプラズマ反応器の一の実施の形態を、ガスの流れ方向に、互いに対向して配置された電極の表面に垂直な平面で切断した断面図である。 図５（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図である。

符号の説明

１…プラズマ発生電極、２…陽極としての単位電極（陽極単位電極）、３…陰極としての単位電極（陽極単位電極）、４…保持部材、５…セラミック誘電体、６…導電膜、７…陽イオン、８…二次電子、１１…プラズマ反応器、１２…ケース体、１３…ガス流路。

Claims (7)

1. 電圧を印加することによりプラズマを発生することのできる少なくとも一組の陽極としての単位電極及び陰極としての単位電極を備えたプラズマ発生電極であって、
   前記陽極としての単位電極及び前記陰極としての単位電極が互いに対向配置されており、少なくとも前記陽極としての単位電極が、板状のセラミック誘電体と、前記セラミック誘電体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、
   前記陰極としての単位電極が、プラズマ発生過程に生じた陽イオン（一次粒子）が衝突した際に、受け取る前記陽イオンの数に対して５倍以上の数の二次電子を放出することが可能なプラズマ発生電極。
2. 前記陰極としての単位電極が、ベリリウム銅合金、銀マグネシウム合金、アルミニウムマグネシウム合金、ニッケルベリリウム合金、酸化セシウム、バリウムとストロンチウムの二元酸化物、硫化亜鉛、及びタングステン酸カルシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の材料を含む請求項１に記載のプラズマ発生電極。
3. 前記陽極としての単位電極を構成する前記セラミック誘電体が、アルミナ、ムライト、セラミックガラス、ジルコニア、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウム、及びガラスからなる群から選ばれる少なくとも一種のセラミックを含む請求項１又は２に記載のプラズマ発生電極。
4. 前記陽極としての単位電極を構成する前記導電膜が、タングステン、モリブデン、マンガン、クロム、チタン、ジルコニウム、ニッケル、鉄、銀、銅、白金、及びパラジウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のプラズマ発生電極と、所定の成分を含むガスの流路（ガス流路）を内部に有するケース体とを備え、前記ガスが前記ケース体の前記ガス流路に導入されたときに、前記プラズマ発生電極で発生したプラズマにより前記ガスに含まれる前記所定の成分が反応することが可能なプラズマ反応器。
6. 前記プラズマ発生電極に電圧を印加するための一つ以上のパルス電源をさらに備えた請求項５に記載のプラズマ反応器。
7. 前記パルス電源が、その内部に少なくとも一つのＳＩサイリスタを有する請求項６に記載のプラズマ反応器。

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