CN108455701B - 等离子体发生器以及化学液的等离子体处理装置及应用 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种等离子体发生器以及化学液的等离子体处理装置及应用，该等离子体发生器包括壳体和设置于壳体内的至少一个等离子体处理单元，壳体设置有用于待处理液体进入的进口和用于反应产物流出的出口，每个等离子体处理单元至少包括一个单片处理结构，每个单片处理结构包括相对设置的阳极板和阴极板，阳极板和阴极板的外侧分别设置有具有微孔结构的第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板，第一陶瓷材料板、第二陶瓷材料板、阳极板和阴极板被配置成等离子体发生器的进口进入的待处理液能够依次通过第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板。该等离子体发生器以及具有该等离子体发生器的化学液的等离子体处理装置提高了对待处理液体的反应效率和反应效果。

Description

等离子体发生器以及化学液的等离子体处理装置及应用

技术领域

本发明涉及化学液体处理技术领域，具体而言，涉及一种等离子体发生器以及化学液的等离子体处理装置及应用。

背景技术

等离子体是物质的第四态，是由大量的自由电子和离子组成、且在整体上表现为电中性的电离气体。等离子体在放电时能产生大量的OH·自由基，OH自由基可以诱发一系列的自由基链式反应，进而可以应用于污水处理中。OH·自由基具备大规模链式反应能力，反应迅速而无选择性，可以攻击水中的各种污染物，使之降解为二氧化碳、水或其他矿物盐，能有效去除污水中的有机物，并且不会产生二次污染。一些在“三态”条件下不能进行的化学反应可在等离子状态下进行。等离子体处理污染物兼具物理、化学和生物反应。

目前，用等离子体技术处理污水是将等离子体发生器放置在污水中产生等离子体并与污水中的有害物质进行反应。在液相中，气体电离后产生的等离子体在电极附近与污水反应，由于直接作用与液体内部，因此反应面积小，不利于反应的进行，从而降低了反应效率且难以降解顽固化学污染物。

发明内容

本发明的目的在于提供一种等离子体发生器，以在等离子体发生器内充分对化学液进行反应，提高了反应效率和效果。

本发明的另一目的在于提供一种化学液的等离子体处理装置，以其能够充分对化学液进行反应，提高了反应效率和降低了降解顽固化学污染物的难度。

本发明的实施例是这样实现的：

本发明实施方式提供的一种等离子体发生器，其包括：

壳体；壳体设置有用于待处理液体进入的进口和用于反应产物流出的出口；

设置于壳体内的至少一个等离子体处理单元，每个等离子体处理单元至少包括一个单片处理结构，每个单片处理结构包括相对设置的阳极板和阴极板，阳极板和阴极板的外侧分别设置有具有微孔结构的第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板，第一陶瓷材料板、第二陶瓷材料板、阳极板和阴极板被配置成等离子体发生器的进口进入的待处理液体能够依次通过第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板。

在本发明较佳的实施例中，上述阳极板和阴极板交错布置，以使得阳极板和阴极板之间的电离空间具有对角设置的进口和出口。

在本发明较佳的实施例中，上述等离子体发生器包括多个等离子体处理单元，多个等离子体处理单元呈横竖方向的矩阵布置，多个等离子体处理单元的进液端的方向和出液端的方向相同。

在本发明较佳的实施例中，上述每个等离子体处理单元包括多个单片处理结构，多个单片处理结构沿液体流通方向间隔设置。

在本发明较佳的实施例中，上述每个等离子体处理单元的沿气液流动方向的四周均设置有用于封装第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板的封装材料，封装材料的外侧分别设置有相对的阴极连接板和阳极连接板，阳极板的一端穿过封装材料连接于阳极连接板，阴极板的一端穿过封装材料连接于阴极连接板。

在本发明较佳的实施例中，制备第一陶瓷材料板或第二陶瓷材料板的陶瓷材料包括以下材料的任意一种：1)硅酸盐陶瓷；2)氧化物陶瓷；3)非氧化物陶瓷；4)复合陶瓷；5)金属陶瓷；6)纤维增强陶瓷。

在本发明较佳的实施例中，上述第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板的厚度均为0.1mm-3mm，阳极板和阴极板之间的空隙大小为0.1-5mm。

在本发明较佳的实施例中，上述每个等离子体处理单元内的气液流通通道内设置有用于促进待处理液体与等离子体反应的催化剂。

本发明的实施方式还涉及一种化学液的等离子体处理装置，包括用于盛放待处理液体的容器和上述的等离子体发生器，容器设有进液口、出液口；容器的进液口连通于等离子体发生器的出口，容器的出液口连通于等离子体发生器的进口，容器的出液口和等离子体发生器之间还设置有用于雾化待处理液体的雾化器。

在本发明较佳的实施例中，上述雾化器设置于容器的出液口处；或雾化器设置于等离子体发生器的进口处；或雾化器设置于连通等离子体发生器的进口和容器的出液口的管道上。

本发明的实施方式还涉及上述的等离子体发生器或化学液的等离子体处理装置在处理污水中的应用。

本发明实施例的有益效果是：通过公开的等离子体发生器可以使得在气内部将等离子体气源电离成等离子体的过程中同时通入待处理液体，并且在第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板上与等离子体进行充分接触反应，提高了对待处理液体的反应效率和反应效果。

进一步在提供的化学液的等离子体处理装置中，等离子体发生器中的电极部分并未直接接触容器内部的待处理液体，而是与通入等离子体发生器内的雾化状的雾滴进行接触反应。通过雾化器对待处理液体进行雾化处理后进入等离子体发生器内，与等离子气体混合生成气溶胶式的气包液结构，并在气包液结构中的气液表面进行反应，反应后再进入待处理液体内部。然后再循环泵的作用下，再重复上述反应过程，从而实现连续循环界面反应，由于反应比表面积的增加，进而提高了反应效率，同时能够降解化学液体中的顽固污染物。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明一种实施方式提供的化学液的等离子体处理装置的结构示意图；

图2为本发明一种实施方式提供的处理设备的等离子体发生器内部的多个等离子体处理单元的布置示意图；

图3为本发明一种实施方式提供的处理设备的等离子体发生器内部的等离子体处理模块的结构示意图；

图4为本发明一种实施方式提供的处理设备的等离子体发生器内部的一个等离子体处理单元的结构示意图；

图5为本发明一种实施方式提供的处理设备的等离子体发生器内部的一个等离子体处理单元的单片处理结构第一纵向的剖面结构示意图；

图6为图5的实施方式提供的处理设备的等离子体发生器内部的一个等离子体处理单元的单片处理结构与第一纵向垂直的第二纵向的剖面结构示意图。

图中：10-容器；101-进液口；102-出液口；20-等离子体发生器；210-等离子体处理单元；220-阴极连接板；230-阳极连接板；240-单片处理结构；241-阳极板；242-阴极板；250-封装材料；243-第一陶瓷材料板；244-第二陶瓷材料板；201-进口；202-出口；30-雾化器；40-循环泵。

具体实施方式

下面通过具体的实施例子并结合附图对本发明做进一步的详细描述。

本公开的一些实施方式提供了一种化学液的等离子体处理装置，如图1所示，其包括用于盛放待处理液体的容器10、等离子体发生器20，容器10设有进液口101、出液口102；等离子体发生器20设置有用于待处理液体进入的进口和用于反应液体流出的出口，容器10的进液口101连通于等离子体发生器20的出口，容器10的出液口102连通于等离子体发生器20的进口，容器10的出液口和等离子体发生器20之间还设置有用于雾化待处理液体的雾化器30。

发明人发现用等离子体技术处理污水是在污水中产生等离子体并与污水中的有害物质进行反应。由于水的介电常数比较大，等离子体发生器的正负极要克服水的介电常数将气体电离才能产生等离子体，这一过程要损耗大量的电能，造成电能不必要的损耗。另外，由于等离子体发生器的正负极直接与污水接触，对正负极通电后将有一部分的电能用于对污水液体的加热，因此在液相中直接电离产生等离子体，焦耳热高和热转化高，电耗高，从而造成了电能的浪费。同时，由于需要的电能大，对等离子体设备的电源及设备的安装保护要求较高，投资巨大，企业往往难以承担。此外，在液相中，气体电离后产生的等离子体在电极附近与污水反应，由于直接作用与液体内部，因此反应面积小，不利于反应的进行，从而降低了反应效率且难以降解顽固化学污染物。

上述化学液的等离子体处理装置通过雾化器30对待处理液体进行雾化处理后等离子体发生器20的进口通入等离子体发生器20中，与等离子气体发生器20内产生的等离子气体混合生成气溶胶式的气包液结构，并在气包液结构中的气液表面进行反应，从等离子体发生器20出口出来的反应后的产物再通过进液口101进入容器10内的待处理液体内部，然后在循环泵40的作用下，再重复上述反应过程，从而实现连续循环界面反应，由于反应比表面积的增加，进而提高了反应效率。

其中，进液口101、出液口102可以根据实际处理工艺流程设置在容器10壁上的任意位置，只要能实现相应的功能即可。

可选的，雾化器30设置于出液口102处。

或，雾化器30设置于等离子体发生器20的进口处。

或，雾化器30设置于连接出液口102和等离子体发生器20的进口的管道上。

可选的，雾化器30设置于容器10的底部。

由于容器10内不断地通入雾滴和等离子体反应后的产物，因此容器10内的压力会不断增加。为了防止容器10内的压力过高而发生爆炸，一些实施方式中，容器10的顶部还设有限压阀，当容器10内的压力过高时，限压阀开启并排气。为了防止在排气时液体成分流失，在流经限压阀前或限压阀后还设有汽水分离器。排气时先将液体成分通过汽水分离器进行回收，再通过将气体排出。

本发明的一些实施方式中提供的等离子体发生器20包括至少一个等离子体处理单元210，每个等离子体处理单元210至少包括一个单片处理结构240。优选地，如图2所示，等离子体发生器20包括多个等离子体处理单元210，多个等离子体处理单元210呈横竖方向的矩阵布置，多个等离子体处理单元210的进液端的方向和出液端的方向相同。即等离子体发生器20具有一个壳体(图未示)，壳体具有进口和出口，多个呈横竖方向的矩阵布置的等离子体处理单元210被设置于壳体内，雾化后雾滴从壳体的进口进入通过多个等离子体处理单元210进行处理，使得雾滴能够充分与等离子体发生器20的壳体内产生的等离子体混合生成气溶胶式的气包液结构，并在气包液结构中的气液表面进行反应。多个等离子体处理单元210呈横竖方向的矩阵布置，使得能够充分对雾滴进行反应，并且处理效率高。其他实施方式中，也可以直接将待处理液体通入到等离子体发生器内进行处理。

作为本公开优选的实施方式,待处理液体经雾化器雾化后所得雾滴颗粒的尺寸为0.2-200微米，进一步优选10-150微米，更优选30-110微米。

待处理液体雾化后得到的雾滴颗粒尺寸过小，气液界面的比表面积较大，反应效率增加效果明显，但气液分离困难。待处理液体雾滴颗粒尺寸过大，雾滴颗粒的稳定性较差，同时，尺寸太大还会影响雾滴颗粒内部待处理液体与等离子体的反应，不利于反应的进行。因此，本公开的优选实施方式中通过通入特定尺寸的雾滴颗粒，使反应效率的达到最大化。

作为本公开优选的实施方式，其中，等离子体的气源包括待化学液体蒸汽、空气、水蒸气、氧气、氮气或二氧化碳、氯气、二氧化硫、甲烷、乙炔中的任意一种。优选地，等离子体的气源为空气或氧气。化学液体蒸汽气源除了可以为待处理液体蒸汽外，还可以根据待处理液体的化学性质选用其他化学液体的蒸汽。

一些实施方式中，整个矩阵布置的多个等离子体处理单元210可以沿竖直方向分为多个处理模块，如图3所示，为其中一个处理模块，每个处理模块沿物料流动的方向均匀间隔设置有多个等离子体处理单元210。通过模块化的结构设置，可以便于等离子体发生器20的内部反应结构的安装以及优化装置内部的整体处理效率。

如图4所示，一些实施方式中，每个等离子体处理单元210包括多个单片处理结构240，多个单片处理结构240沿液体流通方向间隔设置，即进入等离子体发生器20内的待反应液体的雾滴能够依次通过多个单片处理结构240以达到对雾滴的充分反应。

如图5所示，根据一些实施方式，每个单片处理结构240包括相对设置的阳极板241和阴极板242，通过阳极板241和阴极板242的设置可以使得进入单片处理结构240内的气源在阳极板241和阴极板242通电的情况下能够高效的电离为等离子体，该等离子体能够与进入的待反应液体的雾滴进行结合并反应。阳极板241和阴极板242的外侧分别设置有具有微孔结构的第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244，第一陶瓷材料板243、第二陶瓷材料板244、阳极板241和阴极板242被配置成等离子体发生器20的进口进入的待处理液能够依次通过第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244，使得等离子体能够在第一陶瓷材料板243以及第二陶瓷材料板244的表面以及孔隙结构中进行充分接触和反应，进而使得反应更加充分，效果更加理想。雾滴先在第一陶瓷材料板243的表面上与等离子体进行结合并反应，并最终向下流动，通过阳极板241和阴极板242之间的空间进入，第二陶瓷材料板244，在第二陶瓷材料板244上继续反应，再进入下一单片处理结构240。

根据一些实施方式，制备第一陶瓷材料板243或第二陶瓷材料板244的陶瓷材料板的陶瓷材料包括以下材料的任意一种：1)硅酸盐陶瓷、2)氧化物陶瓷如氧化铝瓷、氧化镁瓷、氧化钛瓷；3)非氧化物陶瓷如氮化硼瓷、碳化硅瓷、氟化钙瓷；4)复合陶瓷如由氧化铝和氧化镁组合而成的镁铝尖晶石瓷，由氧化铝与氮化硅组合而成的氧氮化硅铝瓷等；5)金属陶瓷如氧化物基金属陶瓷、碳化物基金属陶瓷、硼化物基金属陶瓷等；6)纤维增强陶瓷在陶瓷基体中添加金属纤维或无机纤维而成的一种高强度、高韧性陶瓷。

需要说明的是，第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244是均具有空隙结构的陶瓷板，其内部和表面均具有微观的空隙结构，气体和液体可以在陶瓷板的材料中进行渗透和流动。

根据一些实施方式，第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244的厚度均为0.1mm-3mm。阳极板241和阴极板242之间的空隙大小为0.1-5mm。当然其他实施方式中可以根据实际的反应效果的需求，对上述范围值进行调整。

进一步地，第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244是通过钎焊连接，或通过第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244同时置于真空条件下，使第一陶瓷材料板243和阳极板241或第二陶瓷材料板244和阴极板242在-20℃～300℃和0.01～50大气压的压力下局部发生塑性变形，实现固相扩散连接。

根据一些实施方式，阳极板241和阴极板242交错布置，以使得阳极板241和阴极板242之间的电离空间具有对角设置的进口和出口。上述结构设置使得进入等离子体处理单元210的雾滴和等离子体结合的气包液结构能够依次呈Z形通过每个单片处理结构240，进而使得气体和雾滴以及混合得到的气包液结构能够从第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244的一端到另一端，进而能够充分进行反应，使得均匀程度更高，反应效果更佳。

根据一些实施方式，每个等离子体处理单元210的沿气液流动方向的四周均设置有用于封装第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板242的封装材料250，封装材料250的外侧分别设置有相对的阴极连接板220和阳极连接板230，阳极板241的一端穿过封装材料250连接于阳极连接板230，阴极板242的一端穿过封装材料250连接于阴极连接板220。通过封装材料可以将多个单片处理结构240包围固定，进而使得反应的气体和液体以及气液混合物能够沿着特定的方向流动。

如图3和图4所示，同一处理模块的多个等离子体处理单元210共用一个阴极连接板220和一个阳极连接板230，进而使得连接结构更加简单，每个等离子体处理单元210内的阳极板241和阴极板242均通过连接螺栓和阴极连接板241和阳极连接板242相连。

根据一些实施方式，每个等离子体处理单元210内的气液流通通道内设置有用于促进待处理液体与等离子体反应的催化剂。催化剂可以设置在相邻的两个单片处理结构240之间的空隙，或设置在阳极板241和阴极板242之间的间隙内。

根据一些实施方式，催化剂包括待化学液体蒸汽、空气、水蒸气、氧气、氮气或二氧化碳、氯气、二氧化硫、甲烷、乙炔中的任意一种。

根据一些实施方式，等离子体发生器的电压为2V～100kV、电流为0.1A～100kA、频率为50Hz～100KHz。

本公开还涉及上述的等离子体发生器20或化学液的等离子体处理装置在处理污水中的应用在处理污水中的应用。

实施例1

本实施例的化学液的等离子体处理装置，如图1所示，其包括用于盛放待处理液体的容器10、等离子体发生器20，容器10设有进液口101、出液口102；等离子体发生器20设置有用于待处理液体进入的进口和用于反应液体流出的出口，容器10的进液口101连通于等离子体发生器20的出口，容器10的出液口102连通于等离子体发生器20的进口，在等离子体发生器20的进口处设置有用于雾化待处理液体的雾化器30。

容器10的顶部还设有限压阀(图未示)，当容器10内的压力过高时，限压阀开启并排气。为了防止在排气时液体成分流失，在流经限压阀前或限压阀后还设有汽水分离器。排气时先将液体成分通过汽水分离器进行回收，再通过将气体排出。

如图2所示，等离子体发生器20包括多个等离子体处理单元210，多个等离子体处理单元210呈横竖方向的矩阵布置，多个等离子体处理单元210的进液端的方向和出液端的方向相同。即等离子体发生器20具有一个壳体(图未示)，壳体具有进口和出口，多个呈横竖方向的矩阵布置的等离子体处理单元210被设置于壳体内。本实施例中，整个矩阵布置的多个等离子体处理单元210可以沿竖直方向分为多个处理模块，如图3所示，为其中一个处理模块，每个处理模块沿物料流动的方向均匀间隔设置有多个等离子体处理单元210。

如图4所示，本实施例中，每个等离子体处理单元210包括多个单片处理结构240，多个单片处理结构240沿液体流通方向间隔设置。进一步，如图5和图6所示，每个单片处理结构240包括相对设置的阳极板241和阴极板242，阳极板241和阴极板242的外侧分别设置有具有微孔结构的第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244，第一陶瓷材料板243、第二陶瓷材料板244、阳极板241和阴极板242被配置成等离子体发生器20的进口进入的待处理液能够依次通过第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244。本实施例中，第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244的厚度均为1mm。阳极板241和阴极板242之间的空隙大小为1mm。

本实施例中，阳极板241和阴极板242交错布置，以使得阳极板241和阴极板242之间的电离空间具有对角设置的进口201和出口202。每个等离子体处理单元210的沿气液流动方向的四周均设置有用于封装第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板242的封装材料250，封装材料250的外侧分别设置有相对的阴极连接板220和阳极连接板230，阳极板241的一端穿过封装材料250连接于阳极连接板230，阴极板242的一端穿过封装材料250连接于阴极连接板220。如图3和图4所示，同一处理模块的多个等离子体处理单元210共用一个阴极连接板220和一个阳极连接板230，每个等离子体处理单元210内的阳极板241和阴极板242均通过连接螺栓和阴极连接板241和阳极连接板242相连。

待处理液体在上述设备中的处理过程为：本实施例中，待处理液体在循环泵40的作用下被打到雾化器30，待处理液体经过雾化器30的震动作用在待处理液体表面产生雾化液滴。雾化液滴从等离子体发生器20的进口进入，雾化液滴和气体进行待处理单元210中使得电离的等离子体和雾化液滴结合形成气溶胶，并且在第一陶瓷材料板243和第二陶瓷材料板244的表面和空隙中进行反应和流动，等离子体与小液滴形式的待处理液体在气液界面处发生反应，净化待处理液体，大大提高了处理面积和处理效率。之后，反应后的气溶胶颗粒从等离子体发生器20的出口通过进液口101进入容器10内进入到容器110的待处理液体中。

重复上述过程，直至容器10中的待处理液体净化完全，再停止设备的运转。

本实施例中，待处理液体为污水。上述等离子体发生器中产生的等离子体与污水的雾滴颗粒中的有机物反应生成水或二氧化碳等无害物质，从而达到去除有机物的目的。

实施例2

本实施例与实施例1不同之处仅在于，雾化器30设置于容器10底部的出液口102处。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，上面结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行了清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和表示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以上对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

Claims (8)

1.一种等离子体发生器，其特征在于，其包括：

壳体；所述壳体设置有用于待处理液体进入的进口和用于反应产物流出的出口；

设置于所述壳体内的至少一个等离子体处理单元，每个所述等离子体处理单元至少包括一个单片处理结构，每个所述单片处理结构包括相对设置的阳极板和阴极板，所述阳极板和所述阴极板的外侧分别设置有具有微孔结构的第一陶瓷材料板和第二陶瓷材料板，所述第一陶瓷材料板、所述第二陶瓷材料板、所述阳极板和所述阴极板被配置成所述等离子体发生器的进口进入的所述待处理液体能够依次通过第一陶瓷材料板和所述第二陶瓷材料板；

所述阳极板和所述阴极板交错布置，以使得所述阳极板和所述阴极板之间的电离空间具有对角设置的进口和出口；

每个所述等离子体处理单元的沿气液流动方向的四周均设置有用于封装所述第一陶瓷材料板和所述第二陶瓷材料板的封装材料，所述封装材料的外侧分别设置有相对的阴极连接板和阳极连接板，所述阳极板的一端穿过所述封装材料连接于所述阳极连接板，所述阴极板的一端穿过所述封装材料连接于所述阴极连接板；

所述第一陶瓷材料板和所述第二陶瓷材料板是均具有空隙结构的陶瓷板，其内部和表面均具有微观的空隙结构，气体和液体可以在陶瓷板的材料中进行渗透和流动。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，所述等离子体发生器包括多个等离子体处理单元，多个所述等离子体处理单元呈横竖方向的矩阵布置，所述多个等离子体处理单元的进液端的方向和出液端的方向相同。

3.根据权利要求2所述的等离子体发生器，其特征在于，每个所述等离子体处理单元包括多个所述单片处理结构，多个所述单片处理结构沿液体流通方向间隔设置。

4.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，所述第一陶瓷材料板和所述第二陶瓷材料板的厚度均为0.1mm-3mm，所述阳极板和所述阴极板之间的空隙大小为0.1-5mm；

制备所述第一陶瓷材料板或所述第二陶瓷材料板的陶瓷材料包括以下材料的任意一种：1)硅酸盐陶瓷；2)氧化物陶瓷；3)金属陶瓷；4)纤维增强陶瓷。

5.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，每个所述等离子体处理单元内的气液流通通道内设置有用于促进所述待处理液体与所述等离子体反应的催化剂。

6.一种化学液的等离子体处理装置，其特征在于，包括用于盛放所述待处理液体的容器和如权利要求1-5任一项所述的等离子体发生器，所述容器设有进液口、出液口；所述容器的所述进液口连通于所述等离子体发生器的出口，所述容器的出液口连通于所述等离子体发生器的进口，所述容器的出液口和所述等离子体发生器之间还设置有用于雾化所述待处理液体的雾化器。

7.根据权利要求6所述的化学液的等离子体处理装置，其特征在于，所述雾化器设置于所述容器的所述出液口处；

或所述雾化器设置于所述等离子体发生器的进口处；

或所述雾化器设置于连通所述等离子体发生器的进口和所述容器的所述出液口的管道上。

8.如权利要求1～5任一项所述的等离子体发生器或如权利要求6～7任一项所述的化学液的等离子体处理装置在处理污水中的应用。