CN109772111B - 一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，包括壳体、微放电模块、导电轨道和电源；壳体设有进气口和出气口，导电轨道由进气口/出气口向出气口/进气口方向布置，并与电源连接，微放电模块滑动连接于导电轨道上，微放电模块和与其连接的导电轨道形成放电单元，放电单元与壳体之间均设有绝缘隔板。本发明公开的一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，由于导电轨道由进气口/出气口向出气口/进气口方向布置，微放电模块滑动连接于导电轨道上，又由微放电模块和导电轨道形成的放电单元，组装方便，故可实现快速扩容，提升规模能适应不同风量，放电单元与壳体之间均设有绝缘隔板，可有效的提高对有机废气的处理效果。

Description

一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置

技术领域

本发明涉及工业废气治理技术领域，具体涉及一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置。

背景技术

目前，随着我国经济的快速发展，大型的电子产品制造工业开发区的建设规模也随之增长，这就导致了挥发性有机污染物的排放总量呈现逐年增加的趋势。电子产品制造业一般可以分为电子元件及部件、电真空器件、印刷线路板、半导体制造、平板显示器和电子终端产品装配等几大主要部分。电子元件生产过程有机废气主要来源于电子元件生产车间清洗零部件或原材料使用的甲苯、二甲苯等有机溶剂。电真空器件生产过程有机废气主要来自屏玻璃有机膜涂层中甲苯及其他挥发性有机物的排放。线路板生产过程有机废气主要来源于大量使用的油墨及稀释、清洁用挥发性有机物，其主要成分是苯、甲苯、二甲苯。电子终端产品装配车间有机废气主要来源于清洗有机废气及产品喷漆生产过程中产生的漆雾和挥发性有机物。目前，国内外对于有机废气治理采用的方法主要有吸附法、直接燃烧法和催化燃烧法，吸附法主要采用活性炭等吸附剂进行吸附，需要定期更换吸附剂、费用高且废弃的吸附剂会造成二次污染；直接燃烧法则存在能耗大、产生NOx等二次污染的缺点；而催化燃烧法存在催化剂易中毒、能耗大、设备复杂等问题。因此，改善传统技术，发展有机废气的新治理技术，是解决以上问题的有效途径。

低温等离子体是治理有机废气的新的有效技术，它具有高选择性和相对低的维护要求，在室温下即可对污染物实现有效的转化，有效地降低了能耗和维护成本。而催化剂结合低温等离子体是进一步提高低温等离子体技术处理效率的方法，一般的结合方式包括催化剂内置式和催化剂后置式两种，催化剂内置于低温等离子体放电区域可使废气在反应过程中同时被催化氧化，使低温等离子体产生的短寿命活性物质得到了充分的利用；而催化剂后置于等离子体放电区域则可以使低温等离子体产生的二次污染物与其生成的长寿命活性物质结合被净化。现有常用的利用微放电净化有机废气的方法为线筒式放电装置，该装置由于受放电间距和形状影响，无法处理大风量的气体，且催化剂、电极更换难度较大、无法实现快速更换，导致安装及运行成本相对较高，同时由于不能实现大规模的快速安装、无法对原有设备实现快速升级扩容改造，因此不适用于在工业上的大规模应用。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供了一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其能安装方便且能快速扩容、提升规模，能适应不同风量、不同气体。

上述技术问题通过以下技术方案进行解决：

一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，包括壳体、微放电模块、导电轨道和电源；

所述壳体设有进气口和出气口，所述导电轨道由所述进气口/出气口向所述出气口/进气口方向布置，并与所述电源连接，所述微放电模块滑动连接于所述导电轨道上，所述微放电模块和与其连接的所述导电轨道形成放电单元，所述放电单元与所述壳体之间均设有绝缘隔板。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述放电单元包含至少两个所述微放电模块，至少两个所述微放电模块沿其所连接的所述导电轨道间隔分布。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，至少两个所述微放电模块沿其所连接的所述导电轨道等间距设置。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述放电单元中的导电轨道为两根，且两根所述导电轨道平行设置，所述微放电模块架设于两根平行的所述导电轨道上。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述放电单元设为至少两个，至少两个所述放电单元在与所述导电轨道垂直的平面呈阵列分布，且任意相邻的至少两个所述放电单元之间设有绝缘隔板。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述微放电模块包括催化模块、金属网状电极和卡扣片，所述微放电模块通过所述卡扣片与所述导电轨道滑动连接，所述卡扣片包括导电卡扣片和绝缘卡扣片，所述催化模块的两侧均贴设有所述金属网状电极，所述金属网状电极的两端均分别设有所述导电卡扣片和所述绝缘卡扣片，且所述金属网状电极位于所述催化模块同一侧的卡扣片不相同。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述壳体包括箱体，所述进气口和所述出气口设置在所述箱体的两端，所述箱体为棱柱体，所述导电轨道、所述绝缘隔板和所述棱柱体靠近所述绝缘隔板的平面平行设置。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述催化模块为块状体，所述块状体的厚度为5mm，块状体设有孔径为100um微孔。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述块状体为陶瓷，所述陶瓷上设有催化剂。

上述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置中，所述金属网状电极为不锈钢或铜，所述金属导电轨道为不锈钢，所述导电卡扣片为不锈钢，所述绝缘卡扣片为聚四氟乙烯材料。本发明的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，与背景技术相比所产生的有益效果：

由于导电轨道由进气口/出气口向出气口/进气口方向布置，微放电模块滑动连接于导电轨道上，故可方便在导电轨道上设置更多的微放电模块，又由微放电模块和导电轨道形成的放电单元，组装方便，故可实现快速扩容，提升规模能适应不同风量，放电单元与壳体之间均设有绝缘隔板，可有效的提高对有机废气的处理效果。

附图说明

图1是本发明实施例的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置的俯视图；

图2是本发明实施例的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置的放电单元的结构示意图；

图3是本发明实施例的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置的微放电模块的结构示意图；

图4是本发明实施例的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置图1的A－A截面图。

其中，1、壳体，11、微放电模块，111、催化模块，112、导电卡扣片，113、绝缘卡扣片，114、金属网状电极，12、绝缘隔板，13、导电轨道，14、电源。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

结合图1至图4所示，本发明是一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，所提供的实施例是，包括壳体1、微放电模块11、导电轨道13和电源14；

壳体1设有进气口和出气口，导电轨道13由进气口/出气口向出气口/进气口方向布置，并与电源14连接，微放电模块11滑动连接于导电轨道13上，微放电模块11和与其连接的导电轨道13形成放电单元，放电单元与壳体1之间均设有绝缘隔板12，此实施例中的阵列设置有利于对整个微放电处理装置的拆卸和组装，可有效解决微放电技术处理规模小、无法快速安装设备、无法快速升级扩容改造和难以更换电极、催化剂等技术问题，需要强调的是，两个相邻的放电单元应保持一定的距离，以避免弧光放电，电源14可选用高压交流电源14或者高压直流脉冲电源14，通过导线将电源14连接到导电轨道13。

优选地，放电单元包含至少两个微放电模块11，至少两个微放电模块11沿其所连接的导电轨道13间隔分布，微放电模块11沿导电轨道13间隔分布，以避免由于微放电模块11之间的距离太近而导致弧光放电。

优选地，至少两个微放电模块11沿其所连接的导电轨道13等间距设置，等间距的设置有利于微放电模块在导电轨道上的布局更加合理，在安装上面也是更加的方便，即使装置出故障也方便对单个微放电模块进行检修。

优选地，放电单元中的导电轨道13为两根，且两根导电轨道13平行设置，微放电模块11架设于两根平行的导电轨道13上，导电轨道13的端部固定于邻近的绝缘隔板12内壁的相应的端部。

优选地，放电单元设为至少两个，至少两个放电单元在与导电轨道13垂直的平面呈阵列分布，其阵列组成可以为串联、并联或者串联与并联混合的方式，可根据处理气体的要求在三维方向上随时增加或减少微放电模块的个数，且任意相邻的至少两个放电单元之间设有绝缘隔板12，绝缘隔板12设置在放电单元的四周并紧密连接，单个的放电单元的四周的绝缘隔板12形成一个箱体结构，箱体结构的两端分别靠近整个装置的进气口和出气口，箱体结构固定于壳体1的内部。

优选地，微放电模块11包括催化模块111、金属网状电极114和卡扣片，微放电模块11通过卡扣片与导电轨道13滑动连接，卡扣片包括导电卡扣片112和绝缘卡扣片113，催化模块111的两侧均贴设有金属网状电极114，金属网状电极114的两端均分别设有导电卡扣片112和绝缘卡扣片113，且金属网状电极114位于催化模块111同一侧的卡扣片不相同，金属网状电极114的覆盖面不应超出催化模块111的接触面，催化模块111的两侧分别与金属网状电极114紧密连接，金属网状电极114在形状和大小上面应与催化模块111的相同或者比催化模块111略小。

优选地，壳体1包括箱体，进气口和出气口设置在箱体的两端，箱体为棱柱体，导电轨道13、绝缘隔板12和棱柱体靠近绝缘隔板12的面平行设置，绝缘隔板12设置于微放电模块11的四周并绝缘隔板12之间紧密连接，每个放电单元的四周的绝缘隔板12形成箱体，两端靠设有用于空气的进出口，一端为进气口，另一端为出气口，固定于箱体结构的壳体1内部。

优选地，催化模块111为块状体，块状体的厚度为5mm，块状体设有孔径为100μm微孔，工作时，箱体内部的工作气体可以为氮气、氦气、氩气、氧气等单种纯气体或由它们组成的混合气体，也可以为空气、气态有机物或气态无机化合物等，例如，当处理挥发性有机气体时，首先打开电源14，将有机废气通入进气口中，金属网状电极114夹有的催化模块111内部产生微放电现象，当存在一定电场强度的气体在足够多的初始电子的作用下产生连续均匀的微放电现象，呈现微弱的蓝光，使气体在通过催化模块111微孔孔隙时，微放电生成的等离子体可以对挥发性有机物进行有效的处理。

优选地，块状体为陶瓷，陶瓷上设有催化剂，催化模块111为多孔陶瓷材料，可使放电在微孔通道中发生，避免散射性放电，提高放电效率。

优选地，金属网状电极114为不锈钢或铜，金属网状电极114的表面设有微孔，孔径为5mm，且孔间距为1mm，导电轨道13为不锈钢，导电卡扣片112为不锈钢，绝缘卡扣片113为聚四氟乙烯材料。

本装置将微放电技术与催化剂处理技术相结合，使气流与活性粒子在催化模块的微孔中接触，并在催化剂的催化作用下将有机废气分解成二氧化碳和水，所得产物安全无污染，可以直接排放到大气中，整个过程能耗较低，同时避免了散射性放电的产生，提高了放电效率和挥发性有机物的处理效率。

综上，本发明的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，与背景技术相比所产生的有益效果：

由于导电轨道由进气口/出气口向出气口/进气口方向布置，微放电模块滑动连接于导电轨道上，由微放电模块和导电轨道形成的放电单元在导电轨道垂直的平面呈阵列分布，组装方便，故可实现快速扩容，提升规模能适应不同风量，且放电单元之间以及放电单元与壳体之间均设有绝缘隔板，可有效的提高对有机废气的处理效果，通过将微放电模块和催化剂结合的设计方式，可有效提高电子厂车间有机废气的处理效率。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其特征在于，包括壳体、微放电模块、导电轨道和电源；

所述壳体设有进气口和出气口，所述导电轨道由所述进气口/出气口向所述出气口/进气口方向布置，并与所述电源连接，所述微放电模块滑动连接于所述导电轨道上，所述微放电模块和与其连接的所述导电轨道形成放电单元，所述放电单元与所述壳体之间均设有绝缘隔板；所述放电单元包含至少两个所述微放电模块，至少两个所述微放电模块沿其所连接的所述导电轨道间隔分布；

所述放电单元中的导电轨道为两根，且两根所述导电轨道平行设置，所述微放电模块架设于两根平行的所述导电轨道上；

所述微放电模块包括催化模块、金属网状电极和卡扣片，所述微放电模块通过所述卡扣片与所述导电轨道滑动连接，所述卡扣片包括导电卡扣片和绝缘卡扣片，所述催化模块的两侧均贴设有所述金属网状电极，所述金属网状电极的两端均分别设有所述导电卡扣片和所述绝缘卡扣片，且所述金属网状电极位于所述催化模块同一侧的卡扣片不相同；所述催化模块为陶瓷，所述陶瓷上设有催化剂。

2.如权利要求1所述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其特征在于，至少两个所述微放电模块沿其所连接的所述导电轨道等间距设置。

3.如权利要求1所述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其特征在于，所述放电单元设为至少两个，至少两个所述放电单元在与所述导电轨道垂直的平面呈阵列分布，且任意相邻的至少两个所述放电单元之间设有绝缘隔板。

4.如权利要求1所述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其特征在于，所述壳体包括箱体，所述进气口和所述出气口设置在所述箱体的两端，所述箱体为棱柱体，所述导电轨道、所述绝缘隔板和所述棱柱体靠近所述绝缘隔板的平面平行设置。

5.如权利要求1所述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其特征在于，所述催化模块为块状体，所述块状体的厚度为5mm，块状体设有孔径为100um微孔。

6.如权利要求1或5任意一项所述的基于电子厂车间有机废气微放电处理装置，其特征在于，所述金属网状电极为不锈钢或铜，所述导电轨道为不锈钢，所述导电卡扣片为不锈钢，所述绝缘卡扣片为聚四氟乙烯材料。

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