JP2008077980A - イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン移動度計1は、試料分子をイオン化するイオン化装置2と、イオン化された試料分子の移動度を計測するドリフト室11とを備える。イオン化装置2は、ベースガスをイオン化するとともにベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室20と、イオン化室20内へ軟X線を照射する軟X線管3とを有する。軟X線管3は、軟X線の照射量を増減可能に構成されている。
【選択図】図1
Description
次に、上記実施形態によるイオン移動度計1の様々な変形例について説明する。
Claims (17)
- 試料分子をイオン化するイオン化装置と、
イオン化された前記試料分子の移動度を計測するドリフト室と
を備え、
前記イオン化装置が、
ベースガスをイオン化するとともに該ベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室、前記ベースガス及び前記試料分子を前記イオン化室内に導入する一または複数の導入口、及び、イオン化された前記試料分子を前記ドリフト室へ排出する排出口を有する本体部と、
電子源、及び該電子源からの電子線を受けて軟X線を発生するターゲット部を含み、前記イオン化室内へ前記軟X線を照射する軟X線源と
を有し、
前記軟X線源が、前記軟X線の照射量を増減可能に構成されていることを特徴とする、イオン移動度計。 - 前記軟X線源において、前記電子源から出射される電子線量が可変であることを特徴とする、請求項1に記載のイオン移動度計。
- 前記軟X線源において、前記電子源から前記ターゲット部への電子線の加速電圧が可変であることを特徴とする、請求項1または2に記載のイオン移動度計。
- 前記イオン化装置が、
イオン化された前記試料分子を通過させる開口を有し、前記排出口に設けられた第1の電極と、
前記試料分子イオンを排出するための電界を前記第1の電極との間に形成する第2の電極と
を有し、
前記ターゲット部に設けられた電極と前記第2の電極とが互いに短絡されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記イオン化装置が、
イオン化された前記試料分子を通過させる開口を有し、前記排出口に設けられた第1の電極と、
前記試料分子イオンを排出するための電界を前記第1の電極との間に形成する第2の電極と、
前記ターゲット部に設けられた電極及び前記第2の電極の電位を制御する制御部と
を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記制御部は、前記ターゲット部に設けられた電極と前記第2の電極とを同電位に制御することを特徴とする、請求項5に記載のイオン移動度計。
- 前記軟X線源及び前記第2の電極それぞれの表面を除く前記イオン化室の内面が絶縁性部材からなることを特徴とする、請求項4〜6のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に中間電極を更に備え、
前記中間電極の前記イオン化室側の端部が前記絶縁性部材に覆われていることを特徴とする、請求項7に記載のイオン移動度計。 - 前記第1の電極の前記開口の内面が、前記イオン化室の前記排出口の内面と連続しているか、或いは、前記排出口の中心軸を基準として前記排出口の内面よりも外側に位置していることを特徴とする、請求項7または8に記載のイオン移動度計。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に中間電極を更に備え、前記軟X線源、前記第2の電極、及び前記イオン化室の内面から突出している前記中間電極の前記イオン化室側の端部のそれぞれの表面を除く前記イオン化室の内面が絶縁性部材からなることを特徴とする、請求項4〜6のいずれか一項に記載のイオン化装置。
- 前記イオン化室を気密に保つシール部材を更に備え、
前記シール部材が、前記軟X線源の周囲に設けられ、ガラス繊維及びセラミック繊維のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記イオン化室を気密に保つシール部材を更に備え、
前記シール部材が、前記X線源と前記イオン化室との間に設けられた金属または炭素系材料を含む環状部材であることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記本体部を収容して高温に保持する保温容器を更に備え、
前記電子源が前記保温容器の外部に位置することを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記電子源が冷陰極を含むことを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記軟X線源が、前記電子源から出射された前記電子線を偏向させる偏向部を更に含むことを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記本体部が、前記ベースガスを前記イオン化室内に導入する第1の導入口、及び前記試料分子を前記イオン化室内に導入する第2の導入口を有し、
前記第2の導入口が、前記第1の導入口に対して前記排出口寄りに設けられていることを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - イオン化室内に試料分子及びベースガスを導入し、前記ベースガスに軟X線を照射してベースガスイオンを生成し、前記ベースガスイオンと前記試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成し、前記試料分子イオンの移動度を計測する方法において、
前記軟X線の強度を調整することにより、前記イオン化室内における前記ベースガスイオンの生成量を前記試料分子イオンの生成量に近づけることを特徴とする、イオン移動度計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006256181A JP4829734B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 |
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JP2006256181A JP4829734B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 |
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JP2008077980A true JP2008077980A (ja) | 2008-04-03 |
JP4829734B2 JP4829734B2 (ja) | 2011-12-07 |
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JP2006256181A Expired - Fee Related JP4829734B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 |
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JP (1) | JP4829734B2 (ja) |
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