JP4829734B2 - イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 - Google Patents
イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4829734B2 JP4829734B2 JP2006256181A JP2006256181A JP4829734B2 JP 4829734 B2 JP4829734 B2 JP 4829734B2 JP 2006256181 A JP2006256181 A JP 2006256181A JP 2006256181 A JP2006256181 A JP 2006256181A JP 4829734 B2 JP4829734 B2 JP 4829734B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- soft
- ionization chamber
- ion mobility
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
また、本発明による第2のイオン移動度計は、試料分子をイオン化するイオン化装置と、イオン化された試料分子の移動度を計測するドリフト室とを備え、イオン化装置が、ベースガスをイオン化するとともに該ベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室、ベースガス及び試料分子をイオン化室内に導入する一または複数の導入口、及び、イオン化された試料分子をドリフト室へ排出する排出口を有する本体部と、電子源、及び該電子源からの電子線を受けて軟X線を発生するターゲット部を含み、イオン化室内へ軟X線を照射する軟X線源と、イオン化された試料分子を通過させる開口を有し、排出口に設けられた第1の電極と、試料分子イオンを排出するための電界を第1の電極との間に形成する第2の電極と、ターゲット部に設けられた電極及び第2の電極の電位を制御する制御部とを有し、制御部が、ターゲット部に設けられた電極と第2の電極とを同電位に制御し、軟X線源が、軟X線の照射量を増減可能に構成されていることを特徴とする。
次に、上記実施形態によるイオン移動度計1の様々な変形例について説明する。
Claims (15)
- 試料分子をイオン化するイオン化装置と、
イオン化された前記試料分子の移動度を計測するドリフト室と
を備え、
前記イオン化装置が、
ベースガスをイオン化するとともに該ベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室、前記ベースガス及び前記試料分子を前記イオン化室内に導入する一または複数の導入口、及び、イオン化された前記試料分子を前記ドリフト室へ排出する排出口を有する本体部と、
電子源、及び該電子源からの電子線を受けて軟X線を発生するターゲット部を含み、前記イオン化室内へ前記軟X線を照射する軟X線源と、
イオン化された前記試料分子を通過させる開口を有し、前記排出口に設けられた第1の電極と、
前記試料分子イオンを排出するための電界を前記第1の電極との間に形成する第2の電極と
を有し、
前記ターゲット部に設けられた電極と前記第2の電極とが互いに短絡されており、
前記軟X線源が、前記軟X線の照射量を増減可能に構成されていることを特徴とする、イオン移動度計。 - 試料分子をイオン化するイオン化装置と、
イオン化された前記試料分子の移動度を計測するドリフト室と
を備え、
前記イオン化装置が、
ベースガスをイオン化するとともに該ベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室、前記ベースガス及び前記試料分子を前記イオン化室内に導入する一または複数の導入口、及び、イオン化された前記試料分子を前記ドリフト室へ排出する排出口を有する本体部と、
電子源、及び該電子源からの電子線を受けて軟X線を発生するターゲット部を含み、前記イオン化室内へ前記軟X線を照射する軟X線源と、
イオン化された前記試料分子を通過させる開口を有し、前記排出口に設けられた第1の電極と、
前記試料分子イオンを排出するための電界を前記第1の電極との間に形成する第2の電極と、
前記ターゲット部に設けられた電極及び前記第2の電極の電位を制御する制御部と
を有し、
前記制御部が、前記ターゲット部に設けられた電極と前記第2の電極とを同電位に制御し、
前記軟X線源が、前記軟X線の照射量を増減可能に構成されていることを特徴とする、イオン移動度計。 - 前記軟X線源において、前記電子源から出射される電子線量が可変であることを特徴とする、請求項1または2に記載のイオン移動度計。
- 前記軟X線源において、前記電子源から前記ターゲット部への電子線の加速電圧が可変であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記軟X線源及び前記第2の電極それぞれの表面を除く前記イオン化室の内面が絶縁性部材からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に中間電極を更に備え、
前記中間電極の前記イオン化室側の端部が前記絶縁性部材に覆われていることを特徴とする、請求項5に記載のイオン移動度計。 - 前記第1の電極の前記開口の内面が、前記イオン化室の前記排出口の内面と連続しているか、或いは、前記排出口の中心軸を基準として前記排出口の内面よりも外側に位置していることを特徴とする、請求項5または6に記載のイオン移動度計。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に中間電極を更に備え、前記軟X線源、前記第2の電極、及び前記イオン化室の内面から突出している前記中間電極の前記イオン化室側の端部のそれぞれの表面を除く前記イオン化室の内面が絶縁性部材からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のイオン化装置。
- 前記イオン化室を気密に保つシール部材を更に備え、
前記シール部材が、前記軟X線源の周囲に設けられ、ガラス繊維及びセラミック繊維のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記イオン化室を気密に保つシール部材を更に備え、
前記シール部材が、前記X線源と前記イオン化室との間に設けられた金属または炭素系材料を含む環状部材であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記本体部を収容して高温に保持する保温容器を更に備え、
前記電子源が前記保温容器の外部に位置することを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - 前記電子源が冷陰極を含むことを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記軟X線源が、前記電子源から出射された前記電子線を偏向させる偏向部を更に含むことを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載のイオン移動度計。
- 前記本体部が、前記ベースガスを前記イオン化室内に導入する第1の導入口、及び前記試料分子を前記イオン化室内に導入する第2の導入口を有し、
前記第2の導入口が、前記第1の導入口に対して前記排出口寄りに設けられていることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載のイオン移動度計。 - イオン化室内に試料分子及びベースガスを導入し、前記ベースガスに軟X線を照射してベースガスイオンを生成し、前記ベースガスイオンと前記試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成し、前記試料分子イオンの移動度を計測する方法において、
前記軟X線の強度を調整することにより、前記イオン化室内における前記ベースガスイオンの生成量を前記試料分子イオンの生成量に近づけることを特徴とする、イオン移動度計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256181A JP4829734B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256181A JP4829734B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008077980A JP2008077980A (ja) | 2008-04-03 |
JP4829734B2 true JP4829734B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=39349825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006256181A Expired - Fee Related JP4829734B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4829734B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI123930B (fi) * | 2008-04-03 | 2013-12-31 | Environics Oy | Menetelmä kaasujen mittaamiseksi |
JP2010096678A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Soda Kogyo:Kk | イオン化装置及び方法 |
CN102315076B (zh) * | 2010-07-05 | 2014-08-27 | 同方威视技术股份有限公司 | 离子迁移管 |
US20140284204A1 (en) * | 2013-03-22 | 2014-09-25 | Airmodus Oy | Method and device for ionizing particles of a sample gas glow |
CN114486969B (zh) * | 2022-01-14 | 2023-11-24 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种原位电池界面的软x射线荧光吸收谱测试系统及方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0417251A (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-22 | Shimadzu Corp | 化学イオン化型イオン源 |
JPH06310091A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-04 | Hitachi Ltd | 大気圧イオン化質量分析計 |
JPH077057U (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-31 | 日新ハイボルテージ株式会社 | プラズマスパッタ型負イオン源 |
JP3505071B2 (ja) * | 1997-12-12 | 2004-03-08 | 日立東京エレクトロニクス株式会社 | 大気圧イオン化質量分析計およびその方法 |
DE19933650C1 (de) * | 1999-07-17 | 2001-03-08 | Bruker Saxonia Analytik Gmbh | Ionisationskammer mit einer nicht- radioaktiven Ionisationsquelle |
JP4257004B2 (ja) * | 1999-12-22 | 2009-04-22 | ジャパンマテックス株式会社 | 耐熱性シール材 |
JP4200053B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2008-12-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン移動度検出器 |
JP2005050646A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 高周波電子銃 |
JP2005174619A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Hitachi Ltd | イオン移動度分光計及びイオン移動度分光法 |
JP2005243331A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Shimadzu Corp | X線管 |
JP2006066075A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Keyence Corp | 光除電装置 |
-
2006
- 2006-09-21 JP JP2006256181A patent/JP4829734B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008077980A (ja) | 2008-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7949099B2 (en) | Compact high voltage X-ray source system and method for X-ray inspection applications | |
EP2547177B1 (en) | Radiation generating apparatus and radiation imaging apparatus | |
JP4825028B2 (ja) | イオン化装置 | |
JP6388491B2 (ja) | 計測装置を備えたプラズマ発生装置及びプラズマ推進器 | |
JP2007511064A (ja) | カーボンナノチューブ電子イオン化装置 | |
JP4829734B2 (ja) | イオン移動度計およびイオン移動度計測方法 | |
JPWO2007102224A1 (ja) | 質量分析装置 | |
JP4884902B2 (ja) | イオン化装置、質量分析器、イオン移動度計、電子捕獲検出器およびクロマトグラフ用荷電粒子計測装置 | |
US20100195801A1 (en) | Miniature, Low-Power X-Ray Tube Using A Microchannel Electron Generator Electron Source | |
CN107533941B (zh) | 用于离子化气体的x射线源 | |
JP6346532B2 (ja) | 電子源ユニット及び帯電処理ユニット | |
JP7137002B2 (ja) | 電子源、及び荷電粒子線装置 | |
JP4665517B2 (ja) | 質量分析装置 | |
JP4200053B2 (ja) | イオン移動度検出器 | |
RU2248643C1 (ru) | Рентгеновская трубка с автокатодом | |
JP6649812B2 (ja) | 帯電処理装置及び電子源ユニット | |
US20090310134A1 (en) | Multi Micro-Hollow Cathode Light Source and Multi-Atomic Simulataneous Absorption Spectrum Analyzer | |
JP4163556B2 (ja) | イオン移動度検出器 | |
JP2004356072A (ja) | イオン移動度検出器 | |
JPH0665200B2 (ja) | 高速原子線源装置 | |
JPH1186778A (ja) | イオン化装置 | |
JP6343212B2 (ja) | 帯電処理装置 | |
JP2022539216A (ja) | 荷電粒子のパルス発生器および荷電粒子のパルス発生器を使用するための方法 | |
KR20200014995A (ko) | 초소형 마이크로 포커스 엑스선 튜브 | |
JP2005004986A (ja) | イオン移動度検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110913 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110916 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |