JP2006258914A - 波長板 - Google Patents
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Abstract
【課題】 λmin /n<P<λmax/nの周期構造を波長板として用いたときに、いずれの波長においても高い0次光透過率を得ることが可能な波長板を提供する。
【解決手段】 この広帯域用波長板1は、λmin/n<P<λmax/nの凹凸周期構造を有し、凸状の柱部11の幅が柱先端部に向かって狭くなる柱先端狭幅部13を備える。但し、λmin:最短波長、λmax:最長波長、P:構造周期、n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
【選択図】 図1
【解決手段】 この広帯域用波長板1は、λmin/n<P<λmax/nの凹凸周期構造を有し、凸状の柱部11の幅が柱先端部に向かって狭くなる柱先端狭幅部13を備える。但し、λmin:最短波長、λmax:最長波長、P:構造周期、n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
【選択図】 図1
Description
本発明は、凹凸周期構造を有する波長板に関するものである。
従来の構造性複屈折を利用した構造性複屈折波長板は、図12のように、構造周期P、構造高さh、幅Lの周期的な凹凸形状の構造を有する。波長板の材料の屈折率をn2、凹凸形状の外側(例えば、空気)の屈折率をn1とすると、n1<n2である。かかる波長板で、最短波長λmin〜最長波長λmax(μm)の広帯域波長板を実現するには、構造周期P(μm)を、λmin/n<P<λmax/n、とすることが望ましい。ここで、nはそれぞれの波長における波長板の材料の屈折率である。しかし、この範囲の構造周期Pを持つ場合、波長によっては1次もしくは高次の回折光が発生してしまうため、高い0次光透過率を得ることは難しい。波長板は光学素子としてより高い透過率が望まれている。
下記特許文献1は、基板の表面付近で徐々に溝の幅が広がった形状にして屈折率を空気の屈折率1.0から徐々に変えることで光の反射防止機能を持たせた波長板を開示する。
特開2004−133290号公報(図8)
しかし、上記特許文献1の波長板は、格子形状の工夫で透過率を向上させるが、構造周期が波長の1/2以下であり、かつ溝の幅が溝の上部で表面方向に向かって広がったもののみを提案している。
本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、λmin /n<P<λmax/nの周期構造を波長板として用いたときに、いずれの波長においても高い0次光透過率を得ることが可能な波長板を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明による広帯域用波長板は、λmin/n<P<λmax/nの凹凸周期構造を有し、凸状の柱部の幅が柱先端部に向かって狭くなる柱先端狭幅部を備えることを特徴とする。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
この広帯域用波長板によれば、λmin /n<P<λmax/nの周期構造を広帯域用波長板に用い、柱先端狭幅部で凸状の柱部の幅を柱先端部に向かって狭くすることで柱部先端における光の反射を低減でき透過率が向上し、いずれの波長においても高い0次光透過率を得ることができる。
上記広帯域用波長板において前記柱先端狭幅部の寸法が次の条件式(1)を満たすことが好ましく、0次光透過率が更に高くなる。
h1≦2×L (1)
但し、h1:狭幅形状部の高さ
L:柱部の幅
h1≦2×L (1)
但し、h1:狭幅形状部の高さ
L:柱部の幅
本発明による波長板は、凹凸周期構造を有し、凹状の溝の幅が溝底部に向かって狭くなる溝底狭幅部を備えることを特徴とする。
この波長板によれば、溝底狭幅部で凹凸周期構造の凹状の溝の幅を溝底部に向かって狭くすることで溝底における光の反射を低減でき透過率が向上し、いずれの波長においても高い0次光透過率を得ることができる。
上記波長板において前記溝底狭幅部の寸法が次の条件式(2)を満たすことが好ましく、0次光透過率が更に高くなる。
h2≦L (2)
但し、h2:溝底狭幅部の高さ
L:柱部の幅
h2≦L (2)
但し、h2:溝底狭幅部の高さ
L:柱部の幅
また、上記波長板において前記凹凸周期構造がλmin/n<P<λmax/nを満たし、前記波長板が広帯域用であるようにできる。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
本発明による別の波長板は、凹凸周期構造を有し、凸状の柱部の幅が柱先端部に向かって狭くなる柱先端狭幅部と、凹状の溝の幅が溝底部に向かって狭くなる溝底狭幅部と、を備えることを特徴とする。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
この波長板によれば、柱先端狭幅部で凸状の柱部の幅を柱先端部に向かって狭くすることで柱部先端における光の反射を低減できるとともに溝底狭幅部で凹凸周期構造の凹状の溝の幅を溝底部に向かって狭くすることで溝底における光の反射を低減できるので、透過率が向上し、いずれの波長においても高い0次光透過率を得ることができる。
上記波長板において前記柱先端狭幅部の寸法が次の条件式(1)を満たすことが好ましく、0次光透過率が更に高くなる。
h1≦2×L (1)
但し、h1:狭幅形状部の高さ
L:柱部の幅
h1≦2×L (1)
但し、h1:狭幅形状部の高さ
L:柱部の幅
また、前記溝底狭幅部の寸法が次の条件式(2)を満たすことが好ましく、0次光透過率が更に高くなる。
h2≦L (2)
但し、h2:溝底狭幅部の高さ
L:柱部の幅
h2≦L (2)
但し、h2:溝底狭幅部の高さ
L:柱部の幅
また、前記凹凸周期構造がλmin/n<P<λmax/nを満たし、前記波長板が広帯域用であるようにできる。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
本発明の波長板によれば、いずれの波長においても高い0次光透過率を得ることができ、λmin /n<P<λmax/nの周期構造を有する広帯域用の波長板においても高い0次光透過率を得ることができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。
〈第1の実施の形態〉
図1乃至図3は、第1の実施の形態による各広帯域用波長板1乃至3の要部側断面図である。
図1の波長板1は、構造周期Pの凹凸周期構造を有し、凸状の柱部11と、溝底部14を有する凹状の溝部12とからなる凹凸形状が周期的に形成されている。凸状の柱部11は、その幅Lが柱先端部に向かって徐々に狭くなる柱先端狭幅部13を有している。柱先端狭幅部13の図の上方の先端は丸みを帯びた曲面状になっている。
図2の波長板2は図1と同様の凹凸周期構造を有し、凸状の柱部11は、その幅Lが柱先端部に向かって徐々に狭くなる柱先端狭幅部13を有し、その先端は丸みを帯びた曲面状になっているが、図1の場合よりも尖った形状である。
図3の波長板3は図1と同様の凹凸周期構造を有し、凸状の柱部11は、その幅Lが柱先端部に向かって徐々に狭くなる柱先端狭幅部13を有し、その先端はナイフエッジ状の尖った形状である。
図1,図2,図3の各波長板1,2,3において柱部11の幅をL、柱先端狭幅部13の高さをh1とすると、柱先端狭幅部13の寸法は次の条件式(1)を満たしている。なお、図1〜図3では柱部11の幅Lが一定の部分の高さをh0としている。
h1≦2×L (1)
h1≦2×L (1)
また、各波長板1,2,3の凹凸周期構造の構造周期Pが使用波長の最短波長λmin、最長波長λmaxに対し、λmin/n<P<λmax/nを満たすように決められている。なお、nは、それぞれの波長における波長板1,2,3の材料の屈折率である。
図1乃至図3の各波長板1乃至3によれば、凹凸周期構造の柱部11を柱先端狭幅部13においてその幅Lが柱先端部に向かって狭くなる形状にすることで、柱部11の先端における光の反射を低減でき、図12の従来の基本形の波長板構造のものと比べていずれの波長においても高い0次光透過率を得ることができる。
また、各波長板1乃至3の柱先端狭幅部13が上述の条件式(1)を満たすことで、更に0次光透過率を高くできる。
また、図1乃至図3では、λmin /n<P<λmax/nの周期構造を広帯域用波長板に用いているが、各波長板1乃至3の形状はどの波長に対しても透過率向上の効果があるので、広帯域用の波長板に対しても有効である。
上述の図1乃至図3の形状によれば、波長板1乃至3を例えばドライエッチングにより作製した成形金型によりインプリント成形等で製造する場合、柱先端狭幅部13に対応する成形金型の根元部分が太くなり、成形金型の耐久性が向上する。また、柱先端狭幅部13が徐々に細くなるので、インプリント成形のときの離型性が良くなる。
上述の図1乃至図3の形状によれば、波長板1乃至3を例えばドライエッチングにより作製した成形金型によりインプリント成形等で製造する場合、柱先端狭幅部13に対応する成形金型の根元部分が太くなり、成形金型の耐久性が向上する。また、柱先端狭幅部13が徐々に細くなるので、インプリント成形のときの離型性が良くなる。
〈第2の実施の形態〉
図4は第2の実施の形態による波長板の要部側断面図である。
図4の波長板4は、図1と同様の凹凸周期構造を有するが、凹状の溝部12の幅を溝底部に向かって徐々に狭くなる溝底狭幅部15を備える。また、波長板4において柱部11の幅をL、溝底狭幅部15の高さをh2とすると、溝底狭幅部15の寸法は次の条件式(2)を満たしている。なお、図4では柱部11の幅Lが一定の部分の高さをh0としている。
h2≦L (2)
h2≦L (2)
図4の波長板4によれば、凹凸周期構造の溝部12を溝底狭幅部15においてその幅が溝底部に向かって狭くなる形状にすることで、溝底における光の反射を低減でき透過率が向上し、図12の従来の基本形の波長板構造のものと比べていずれの波長においても高い0次光透過率を得ることができる。
また、波長板4の凹凸周期構造の構造周期Pを、使用波長の最短波長λmin、最長波長λmaxに対し、λmin/n<P<λmax/n(nは、それぞれの波長における波長板4の材料の屈折率)を満たすように決めることが好ましい。図4の波長板4の形状はどの波長に対しても透過率向上の効果があるので、広帯域用の波長板に対しても有効である。
上述の図4の形状によれば、波長板4を例えばドライエッチングにより作製した成形金型によりインプリント成形等で製造する場合、溝底狭幅部15が徐々に細くなるので、インプリント成形のときの離型性が良くなる。
上述の図4の形状によれば、波長板4を例えばドライエッチングにより作製した成形金型によりインプリント成形等で製造する場合、溝底狭幅部15が徐々に細くなるので、インプリント成形のときの離型性が良くなる。
〈第3の実施の形態〉
図5は第3の実施の形態による波長板の要部側断面図である。
図5の波長板5は、図1と同様の凹凸周期構造を有するが、凸状の柱部11の幅Lが柱先端部に向かって徐々に狭くなる柱先端狭幅部13と、凹状の溝部12の幅を溝底部に向かって徐々に狭くなる溝底狭幅部15と、を備える。
また、図5の波長板5において柱部11の幅をL、柱先端狭幅部13の高さをh1、溝底狭幅部15の高さをh2とすると、柱先端狭幅部13の寸法は上述の条件式(1)を満たし、溝底狭幅部15の寸法は上述の条件式(2)を満たしている。なお、図5では柱部11の幅Lが一定の部分の高さをh0としている。
図5の波長板5によれば、凹凸周期構造の柱部11を柱先端狭幅部13においてその幅Lが柱先端部に向かって狭くなる形状にすることで、柱部11の先端における光の反射を低減できるとともに、凹凸周期構造の溝部12を溝底狭幅部15においてその幅が溝底部に向かって狭くなる形状にすることで、溝底における光の反射を低減できので、透過率が一層向上する。従って、図12の従来の基本形の波長板構造のものと比べていずれの波長においても更に高い0次光透過率を得ることができる。
また、波長板4の凹凸周期構造の構造周期Pを、使用波長の最短波長λmin、最長波長λmaxに対し、λmin/n<P<λmax/n(nは、それぞれの波長における波長板4の材料の屈折率)を満たすように決めることが好ましい。図5の波長板5の形状はどの波長に対しても透過率向上の効果があるので、広帯域用の波長板に対しても有効である。
上述の図5の形状によれば、波長板5を例えばドライエッチングにより作製した成形金型によりインプリント成形等で製造する場合、柱先端狭幅部13に対応する成形金型の根元部分が太くなり、成形金型の耐久性が向上する。また、柱先端狭幅部13及び溝底狭幅部15が徐々に細くなるので、インプリント成形のときの離型性が良くなる。
上述の図5の形状によれば、波長板5を例えばドライエッチングにより作製した成形金型によりインプリント成形等で製造する場合、柱先端狭幅部13に対応する成形金型の根元部分が太くなり、成形金型の耐久性が向上する。また、柱先端狭幅部13及び溝底狭幅部15が徐々に細くなるので、インプリント成形のときの離型性が良くなる。
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。なお、本実施例において、波長板の凹凸周期構造の構造周期Pを0.35μm、柱部の幅Lを0.231μmとした。また、波長板の材料の屈折率nは次のとおりとした。
n(λ:405nm)=1.56014
n(λ:650nm)=1.54090
n(λ:780nm)=1.53734
n(λ:405nm)=1.56014
n(λ:650nm)=1.54090
n(λ:780nm)=1.53734
〈実施例1〉
実施例1は、0次光透過率について図1〜図5における柱先端狭幅部13と溝底狭幅部15の各形状(形状例1〜5)を、図12の従来の波長板形状(以下、「基本形状」ともいう。)と比較したものである。その結果を表1及び図6に示す。なお、形状例1〜5は、それぞれ図1〜図5の各形状にそれぞれ対応する。
表1及び図6から、形状例1〜5の各形状にすることで、従来の基本形状よりも、高い透過率が得られることが分かる。
〈実施例2〉
実施例2は、図7(a)に示す各形状例3,4,5(図3,図4,図5にそれぞれ対応する。)について0次光透過率を比較したものである。その結果を表2及び図7(b)に示す。
表2及び図7(b)から、柱先端狭幅部と溝底狭幅部の両方を備える形状例5は、柱先端狭幅部のみを有する形状例3及び溝底狭幅部のみを有する形状例4のどちらに対しても高い透過率が得られることが分かる。
〈実施例3〉
実施例3は、図8(a)に示す形状例3(図3に対応する。)において、柱先端狭幅部の高さh1を表3のように柱部の幅Lに対して(1)0倍,(2)0.5倍,(3)1倍,(4)1.5倍,(5)2倍,(6)3倍,(7)5倍,にそれぞれ変えた場合について0次光透過率及び位相差を比較したものである。その結果を表3、図8(b)及び図8(c)に示す。なお、(1)は幅Lの0倍であるので、図12の基本形状である。
表3及び図8(b)から、柱先端狭幅部の高さh1が上記条件式(1)を満たす柱部の幅Lの0.5〜2倍である(2)〜(5)は、(1)の基本形状と比べて透過率が向上することが分かる。なお、高さh1が柱部の幅Lの3倍,5倍である(6),(7)は、特に波長405nmの場合、透過率が(1)の基本形状よりも低下してしまう。
また、表3及び図8(c)から、柱先端狭幅部の高さh1が柱部の幅Lの0.5〜2倍である(2)〜(5)は、(1)の基本形状と比べて若干広帯域性が悪くなる傾向にあるが、高さh1が上記条件式(1)の範囲を超えて柱部の幅Lの3倍,5倍である(6),(7)は、上記条件式(1)を満たす(2)〜(5)に比べ著しく広帯域性が悪くなることが分かる。
〈実施例4〉
実施例4は、図9(a)に示す形状例4(図4に対応する。)において、溝底狭幅部の高さh2を表4のように柱部の幅Lに対して(1)0倍,(8)0.5倍,(9)1倍,(10)1.5倍,(11)2倍,(12)3倍,(13)5倍,にそれぞれ変えた場合について0次光透過率及び位相差を比較したものである。その結果を表4、図9(b)及び図9(c)に示す。なお、(1)は幅Lの0倍であるので、図12の基本形状である。
表4及び図9(b)から、溝底狭幅部の高さh2が上記条件式(2)を満たす柱部の幅Lの0.5倍,1倍である(8),(9)は、(1)の基本形状と比べて透過率が向上することが分かる。なお、高さh2が上記条件式(2)の範囲を越えて柱部の幅Lの1.5倍,2倍,3倍,5倍である(10)〜(13)は、特に波長405nmの場合、透過率が(1)の基本形状よりも低下してしまう。なお、表4及び図9(c)から分かるように、溝底狭幅部の高さh2が柱部の幅Lの0.5〜5倍である(8)〜(13)は広帯域性の低下が殆どみられない。
以上のように本発明を実施するための最良の形態及び実施例について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、第1の実施の形態における図1〜図3の波長板は、図10のように、柱先端狭幅部13が一方向にのみ傾斜した平面になるように構成してもよく、また、図11のように、柱先端狭幅部13が複数の小階段状になるように構成してもよい。図10,図11の構成により、図1〜図3と同様の効果を得ることができる。
1,2,3 波長板
4 波長板
5 波長板
11 柱部
12 溝部
13 柱先端狭幅部
14 溝底部
15 溝底狭幅部
L 柱部の幅
P 構造周期
h1 柱先端狭幅部13の高さ
h2 溝底狭幅部15の高さ
4 波長板
5 波長板
11 柱部
12 溝部
13 柱先端狭幅部
14 溝底部
15 溝底狭幅部
L 柱部の幅
P 構造周期
h1 柱先端狭幅部13の高さ
h2 溝底狭幅部15の高さ
Claims (9)
- λmin/n<P<λmax/nの凹凸周期構造を有し、凸状の柱部の幅が柱先端部に向かって狭くなる柱先端狭幅部を備えることを特徴とする広帯域用波長板。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率 - 前記柱先端狭幅部の寸法が次の条件を満たす請求項1に記載の広帯域用波長板。
h1≦2×L
但し、h1:狭幅形状部の高さ
L:柱部の幅 - 凹凸周期構造を有し、凹状の溝の幅が溝底部に向かって狭くなる溝底狭幅部を備えることを特徴とする波長板。
- 前記溝底狭幅部の寸法が次の条件を満たす請求項3に記載の波長板。
h2≦L
但し、h2:溝底狭幅部の高さ
L:柱部の幅 - 前記凹凸周期構造がλmin/n<P<λmax/nを満たし、前記波長板が広帯域用である請求項3または4に記載の波長板。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率 - 凹凸周期構造を有し、凸状の柱部の幅が柱先端部に向かって狭くなる柱先端狭幅部と、凹状の溝の幅が溝底部に向かって狭くなる溝底狭幅部と、を備えることを特徴とする波長板。
- 前記柱先端狭幅部の寸法が次の条件を満たす請求項6に記載の波長板。
h1≦2×L
但し、h1:狭幅形状部の高さ
L:柱部の幅 - 前記溝底狭幅部の寸法が次の条件を満たす請求項6または7に記載の波長板。
h2≦L
但し、h2:溝底狭幅部の高さ
L:柱部の幅 - 前記凹凸周期構造がλmin/n<P<λmax/nを満たし、前記波長板が広帯域用である請求項6,7または8に記載の波長板。
但し、λmin:最短波長
λmax:最長波長
P:構造周期
n:それぞれの波長における波長板の材料の屈折率
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