JP2006258718A - 検査回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体集積回路の任意の端子間のオープンショートチェックを行えるようにする。
【解決手段】 外部端子A2が外部端子A1または外部端子A3とショートしているかをチェックする場合、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定するとともに、外部端子A1〜A3に入力される入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定し、第2テスト信号入力端子B4に与えられる第2テスト入力信号の論理値を“1”に設定して、テスト信号出力端子C1の論理値を判別する。
【選択図】 図1
【解決手段】 外部端子A2が外部端子A1または外部端子A3とショートしているかをチェックする場合、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定するとともに、外部端子A1〜A3に入力される入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定し、第2テスト信号入力端子B4に与えられる第2テスト入力信号の論理値を“1”に設定して、テスト信号出力端子C1の論理値を判別する。
【選択図】 図1
Description
本発明は検査回路に関し、特に、半導体集積回路のボンディング不良などを検査する方法に適用して好適なものである。
従来の半導体集積回路の検査では、半導体集積回路のボンディング不良を検出するために、半導体集積回路に設けられた端子のオープンショートチェックが行われている。また、例えば、特許文献1には、外部端子に入力された信号の論理和および論理積をとることにより、全端子のオープンショートチェックを一度に行えるようにして、テスト時間を短縮する方法が開示されている。さらに、特許文献1には、外部端子にインバータを1個置きに配置することにより、隣接端子間のオープンショートチェックも短時間で行えるようにする方法が開示されている。
特開平5−11015号公報
しかしながら、特許文献1に開示された方法では、自己の端子のオープンショートチェックおよび隣接端子間のオープンショートチェックは行うことができるが、任意の端子間のオープンショートチェックを行うことができないという問題があった。
そこで、本発明の目的は、任意の端子間のオープンショートチェックを行うことが可能な検査回路を提供することである。
そこで、本発明の目的は、任意の端子間のオープンショートチェックを行うことが可能な検査回路を提供することである。
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査回路によれば、複数の外部端子と、第1テスト入力信号に基づいて、前記外部端子にそれぞれ入力された入力信号または前記入力信号を反転させた反転信号のいずれかを選択して出力する反転信号選択回路と、前記反転信号選択回路から出力された出力信号の論理和演算を行う第1論理和演算回路と、前記反転信号選択回路から出力された出力信号の論理積演算を行う第1論理積演算回路と、前記第1論理和演算回路から出力された論理和演算結果の反転信号と、前記第1論理積演算回路から出力された論理積演算結果との論理和演算を行う第2論理和演算回路と、第2テスト入力信号と、前記第2論理和演算回路から出力された論理和演算結果との論理積演算を行う第2論理積演算回路とを備えることを特徴とする。
これにより、第1テスト入力信号を入力することで、複数の外部端子の入力信号またはその反転信号を任意に選択して出力させることが可能となる。このため、選択された外部端子間がショートしている場合には、第1論理和演算回路および第1論理積演算回路の出力がいずれも論理値“0”になることから、第2論理積演算回路の出力を論理値“0”にすることができ、任意の端子間のショートチェックを効率よく行うことが可能となる。
また、本発明の一態様に係る検査回路によれば、前記第1テスト入力信号が論理値“1”に設定された時に前記外部端子に入力された入力信号を選択して出力するクロックド・バッファと、前記第1テスト入力信号が論理値“0”に設定され時に前記外部端子に入力された入力信号を反転させて出力するクロックド・インバータとを備えることを特徴とする。
これにより、第1テスト入力信号の論理値を“0”または“1”に設定することで、外部端子にそれぞれ入力された入力信号またはその反転信号のいずれかを選択して出力させることができ、任意の端子間のショートチェックを効率よく行うことが可能となる。
以下、本発明の実施形態に係る検査回路について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る検査装置の回路構成を示す図である。
図1において、検査装置には、外部端子A1〜A3にそれぞれ入力された入力信号またはその入力信号を反転させた反転信号のいずれかを選択して出力する反転信号選択回路1a〜1cが設けられている。なお、外部端子A1〜A3は入力端子または入出力端子のいずれでもよい。
図1は、本発明の一実施形態に係る検査装置の回路構成を示す図である。
図1において、検査装置には、外部端子A1〜A3にそれぞれ入力された入力信号またはその入力信号を反転させた反転信号のいずれかを選択して出力する反転信号選択回路1a〜1cが設けられている。なお、外部端子A1〜A3は入力端子または入出力端子のいずれでもよい。
ここで、反転信号選択回路1a〜1cには、クロックド・バッファ2a〜2cおよびクロックド・インバータ3a〜3cがそれぞれ設けられている。そして、クロックド・バッファ2aおよびクロックド・インバータ3aの入力端子には、外部端子A1が共通に接続されるとともに、クロックド・バッファ2aおよびクロックド・インバータ3aのクロック端子には、第1テスト入力信号を入力する第1テスト信号入力端子B1が接続されている。また、クロックド・バッファ2bおよびクロックド・インバータ3bの入力端子には、外部端子A2が共通に接続されるとともに、クロックド・バッファ2bおよびクロックド・インバータ3bのクロック端子には、第1テスト入力信号を入力する第1テスト信号入力端子B2が接続されている。さらに、クロックド・バッファ2cおよびクロックド・インバータ3cの入力端子には、外部端子A3が共通に接続されるとともに、クロックド・バッファ2cおよびクロックド・インバータ3cのクロック端子には、第1テスト入力信号を入力する第1テスト信号入力端子B3が接続されている。
また、クロックド・バッファ2a〜2cおよびクロックド・インバータ3a〜3cの出力端子はAND回路4の入力端子に接続されるとともに、クロックド・バッファ2a〜2cおよびクロックド・インバータ3a〜3cの出力端子はNOR回路5の入力端子に接続されている。
また、AND回路4およびNOR回路5の出力端子は、ラッチ回路6、7をそれぞれ介してOR回路8の入力端子に接続されている。また、OR回路8の出力端子および第2テスト入力信号を入力する第2テスト信号入力端子B4は、AND回路9の入力端子に接続され、AND回路9の出力端子はテスト信号出力端子C1に接続されている。
また、AND回路4およびNOR回路5の出力端子は、ラッチ回路6、7をそれぞれ介してOR回路8の入力端子に接続されている。また、OR回路8の出力端子および第2テスト入力信号を入力する第2テスト信号入力端子B4は、AND回路9の入力端子に接続され、AND回路9の出力端子はテスト信号出力端子C1に接続されている。
そして、外部端子A1〜A3のオープンショートチェックを行う場合、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“1”に設定する。そして、外部端子A1〜A3に入力される入力信号の論理値をそれぞれ“1”に設定する。ここで、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“1”に設定すると、外部端子A1〜A3に入力された入力信号がクロックド・バッファ2a〜2cをそれぞれ介してそのままAND回路4およびNOR回路5に出力される。
このため、外部端子A1〜A3にショート不良やオープン不良がなければ、反転信号選択回路1a〜1cから論理値“1”がAND回路4およびNOR回路5にそれぞれ出力されることから、AND回路4から論理値“1”が出力されるとともに、NOR回路5から論理値“0”が出力される。この結果、ラッチ回路6には論理値“1”が保持されるとともに、ラッチ回路7には論理値“0”が保持され、OR回路8を介してAND回路9には論理値“1”が入力される。この状態で、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値を“1”に設定すると、テスト信号出力端子C1には論理値“1”が出力される。
一方、外部端子A1〜A3にショート不良やオープン不良があれば、外部端子A1〜A3の電位はほぼ0Vになる。このため、反転信号選択回路1a〜1cから論理値“0”がAND回路4およびNOR回路5にそれぞれ出力され、AND回路4から論理値“0”が出力されるとともに、NOR回路5から論理値“0”が出力される。この結果、ラッチ回路6には論理値“0”が保持されるとともに、ラッチ回路7には論理値“0”が保持され、OR回路8を介してAND回路9には論理値“0”が入力される。この状態で、第2テスト信号入力端子B4に与えられる第2テスト入力信号の論理値を“1”に設定すると、テスト信号出力端子C1には論理値“0”が出力される。この結果、テスト信号出力端子C1の論理値を判別することで、外部端子A1〜A3にショート不良やオープン不良を識別することができる。
また、外部端子A2が外部端子A1または外部端子A3とショートしているかをチェックする場合、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定する。そして、外部端子A1〜A3に入力される入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定する。ここで、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“1”、“0”、“1”に設定すると、外部端子A1、A3に入力された入力信号がクロックド・バッファ2a、2cをそれぞれ介してそのままAND回路4およびNOR回路5に出力されるとともに、外部端子A2に入力された入力信号がクロックド・インバータ2bを介してAND回路4およびNOR回路5に出力される。
このため、外部端子A2が外部端子A1、A3とショートしていなければ、反転信号選択回路1a〜1cから論理値“1”がAND回路4およびNOR回路5にそれぞれ出力されることから、AND回路4から論理値“1”が出力されるとともに、NOR回路5から論理値“0”が出力される。この結果、ラッチ回路6には論理値“1”が保持されるとともに、ラッチ回路7には論理値“0”が保持され、OR回路8を介してAND回路9には論理値“1”が入力される。この状態で、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値を“1”に設定すると、テスト信号出力端子C1には論理値“1”が出力される。
一方、例えば、外部端子A2が外部端子A1とショートしていれば、外部端子A1、A2の電位はほぼ0Vになる。このため、反転信号選択回路1a〜1cから論理値“0”、“1”、“1”がAND回路4およびNOR回路5にそれぞれ出力され、AND回路4から論理値“0”が出力されるとともに、NOR回路5から論理値“0”が出力される。この結果、ラッチ回路6には論理値“0”が保持されるとともに、ラッチ回路7には論理値“0”が保持され、OR回路8を介してAND回路9には論理値“0”が入力される。この状態で、第2テスト信号入力端子B4に与えられる第2テスト入力信号の論理値を“1”に設定すると、テスト信号出力端子C1には論理値“0”が出力される。この結果、テスト信号出力端子C1の論理値を判別することで、外部端子A2が外部端子A1、A3とショートしているかをチェックすることができる。
また、外部端子A1が外部端子A2または外部端子A3とショートしているかをチェックする場合、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“0”、“1”、“1”に設定する。そして、外部端子A1〜A3に入力される入力信号の論理値をそれぞれ“0”、“1”、“1”に設定する。ここで、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値をそれぞれ“0”、“1”、“1”に設定すると、外部端子A2、A3に入力された入力信号がクロックド・バッファ2b、2cをそれぞれ介してそのままAND回路4およびNOR回路5に出力されるとともに、外部端子A1に入力された入力信号がクロックド・インバータ2aを介してAND回路4およびNOR回路5に出力される。
このため、外部端子A1が外部端子A2、A3とショートしていなければ、反転信号選択回路1a〜1cから論理値“1”がAND回路4およびNOR回路5にそれぞれ出力されることから、AND回路4から論理値“1”が出力されるとともに、NOR回路5から論理値“0”が出力される。この結果、ラッチ回路6には論理値“1”が保持されるとともに、ラッチ回路7には論理値“0”が保持され、OR回路8を介してAND回路9には論理値“1”が入力される。この状態で、第1テスト信号入力端子B1〜B3に与えられる第1テスト入力信号の論理値を“1”に設定すると、テスト信号出力端子C1には論理値“1”が出力される。
一方、例えば、外部端子A1が外部端子A3とショートしていれば、外部端子A1、A3の電位はほぼ0Vになる。このため、反転信号選択回路1a〜1cから論理値“1”、“1”、“0”がAND回路4およびNOR回路5にそれぞれ出力され、AND回路4から論理値“0”が出力されるとともに、NOR回路5から論理値“0”が出力される。この結果、ラッチ回路6には論理値“0”が保持されるとともに、ラッチ回路7には論理値“0”が保持され、OR回路8を介してAND回路9には論理値“0”が入力される。この状態で、第2テスト信号入力端子B4に与えられる第2テスト入力信号の論理値を“1”に設定すると、テスト信号出力端子C1には論理値“0”が出力される。この結果、テスト信号出力端子C1の論理値を判別することで、外部端子A1が外部端子A2、A3とショートしているかをチェックすることができる。
これにより、第1テスト入力信号を反転信号選択回路1a〜1cにそれぞれ入力することで、複数の外部端子A1〜A3の入力信号またはその反転信号を任意に選択して出力させることが可能となる。このため、選択された外部端子1a〜1c間がショートしている場合には、AND回路4およびNOR回路5の出力がいずれも論理値“0”になることから、AND回路9の出力を論理値“0”にすることができ、任意の外部端子A1〜A3間のショートチェックを効率よく行うことが可能となる。
なお、上述した実施形態では、反転信号選択回路1a〜1cを全ての外部端子A1〜A3に対して設ける方法について説明したが、反転信号選択回路を一部の外部端子A1〜A3に対してのみ設けるようにしてもよい。
A1〜A3 外部端子、B1〜B3 第1テスト信号入力端子、B4 第2テスト信号入力端子、C1 テスト信号出力端子、1a〜1c 反転信号選択回路、2a〜2c クロックド・バッファ、3a〜3c クロックド・インバータ、4、9 AND回路、5 NOR回路、6、7 ラッチ回路、8 OR回路
Claims (2)
- 複数の外部端子と、
第1テスト入力信号に基づいて、前記外部端子にそれぞれ入力された入力信号または前記入力信号を反転させた反転信号のいずれかを選択して出力する反転信号選択回路と、
前記反転信号選択回路から出力された出力信号の論理和演算を行う第1論理和演算回路と、
前記反転信号選択回路から出力された出力信号の論理積演算を行う第1論理積演算回路と、
前記第1論理和演算回路から出力された論理和演算結果の反転信号と、前記第1論理積演算回路から出力された論理積演算結果との論理和演算を行う第2論理和演算回路と、
第2テスト入力信号と、前記第2論理和演算回路から出力された論理和演算結果との論理積演算を行う第2論理積演算回路とを備えることを特徴とする検査回路。 - 前記第1テスト入力信号が論理値“1”に設定された時に前記外部端子に入力された入力信号を選択して出力するクロックド・バッファと、
前記第1テスト入力信号が論理値“0”に設定され時に前記外部端子に入力された入力信号を反転させて出力するクロックド・インバータとを備えることを特徴とする請求項1記載の検査回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005079327A JP2006258718A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 検査回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005079327A JP2006258718A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 検査回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006258718A true JP2006258718A (ja) | 2006-09-28 |
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ID=37098135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005079327A Withdrawn JP2006258718A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 検査回路 |
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JP (1) | JP2006258718A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009092529A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Elpida Memory Inc | 半導体回路およびその検査方法 |
CN111610389A (zh) * | 2020-04-17 | 2020-09-01 | 中国核电工程有限公司 | 一种信号通路的测试方法 |
-
2005
- 2005-03-18 JP JP2005079327A patent/JP2006258718A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111610389A (zh) * | 2020-04-17 | 2020-09-01 | 中国核电工程有限公司 | 一种信号通路的测试方法 |
CN111610389B (zh) * | 2020-04-17 | 2023-09-15 | 中国核电工程有限公司 | 一种信号通路的测试方法 |
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