JP2006253600A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】追って配線基板となるグリーンシートの少なくとも一方の表面に、導体層とこれを露出させる厚肉の絶縁コート層とを有する配線基板であって、前記段差などが生じにくく、電子部品などを精度良く実装し得る配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】焼成後に配線基板となるグリーンシート1の裏面3に、かかる裏面3に形成された複数のパッド(導体層)5の周縁を覆い且つ当該パッド5よりも厚みの厚い絶縁コート層6を形成する工程と、平板15およびこれに突設した複数の凸部16を有する治具gのうち、絶縁コート層6の表面に平板15を接触させ、且つ絶縁コート層6を貫通し各パッド5が露出する凹部7ごとに各凸部16を挿入するように配置して、グリーンシート1および絶縁コート層6を厚み方向に沿って圧着する工程と、を含む、配線基板の製造方法。
【選択図】 図6
【解決手段】焼成後に配線基板となるグリーンシート1の裏面3に、かかる裏面3に形成された複数のパッド(導体層)5の周縁を覆い且つ当該パッド5よりも厚みの厚い絶縁コート層6を形成する工程と、平板15およびこれに突設した複数の凸部16を有する治具gのうち、絶縁コート層6の表面に平板15を接触させ、且つ絶縁コート層6を貫通し各パッド5が露出する凹部7ごとに各凸部16を挿入するように配置して、グリーンシート1および絶縁コート層6を厚み方向に沿って圧着する工程と、を含む、配線基板の製造方法。
【選択図】 図6
Description
本発明は、少なくとも一方の表面に導体層とかかる導体層よりも厚く且つ当該導体を露出させる絶縁コート層とが形成される配線基板の製造方法に関する。
絶縁基板の表面に電子部品を高密度に実装するため、かかる絶縁基板の表面に予め形成した一対の電極パッドが露出するように、当該絶縁基板の表面にレジスト層を被覆し、かかるレジスト層を貫通する一対の凹部ごとに充填した半田ペーストを介して、電子部品を実装するようにした回路基板が提案されている(例えば、特許文献1参照)
ところで、前記回路基板のように、絶縁基板における一方の表面に、予め形成した電極パッドなどの導体層よりも厚いレジスト層を、導体層の表面が露出するように形成する場合、所定パターンでコーティングされた上記レジスト層を絶縁基板寄りに圧着している。この際、圧着された上記レジスト層の外周形状が、上記絶縁基板における他方の表面に転写されるため、かかる他方の表面に浮き上がりによる段差やうねりを生じる場合がある。このため、絶縁基板の他方の表面に電子部品を実装したり、かかる電子部品を実装するためのパッドなどの導体層を形成すると、上記段差やうねりに起因してロウ付けなどに支障を来すため、実装精度が低下し、電子部品との導通が不安定となる、という問題があった。
本発明は、前記背景技術において説明した問題点を解決し、追って配線基板となるグリーンシートの少なくとも一方の表面に、導体層とこれを露出させる厚肉の絶縁コート層とを有する配線基板であって、前記段差やうねりが生じにくく、電子部品などを精度良く実装し得る配線基板の製造方法を提供する、ことを課題とする。
本発明は、前記課題を解決するため、基板本体で導体層と、これを露出させ且つ当該導体層よりも厚みの厚い絶縁コート層と、を形成した表面において、かかる導体層および絶縁コート層をほぼ同じ圧力で圧着する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明による配線基板の製造方法(請求項1)は、焼成後に配線基板となるグリーンシートの少なくとも一方の表面に、かかる表面に形成された導体層の周縁を覆い且つ当該導体層の厚みよりも厚い絶縁コート層を形成する工程と、平板および当該平板に突設した凸部を有する治具のうち、上記絶縁コート層の表面に上記平板を接触し、且つ上記導体層が露出する凹部に上記凸部を挿入するように配置して、上記グリーンシートおよび上記絶縁コート層を厚み方向に沿って圧着する工程と、を含む、ことを特徴とする。
即ち、本発明による配線基板の製造方法(請求項1)は、焼成後に配線基板となるグリーンシートの少なくとも一方の表面に、かかる表面に形成された導体層の周縁を覆い且つ当該導体層の厚みよりも厚い絶縁コート層を形成する工程と、平板および当該平板に突設した凸部を有する治具のうち、上記絶縁コート層の表面に上記平板を接触し、且つ上記導体層が露出する凹部に上記凸部を挿入するように配置して、上記グリーンシートおよび上記絶縁コート層を厚み方向に沿って圧着する工程と、を含む、ことを特徴とする。
これによれば、前記治具の平板を前記絶縁コート層の表面に接触し且つ当該平板に突設された凸部を絶縁コート層の凹部に挿入した状態で、前記グリーンシートおよび上記絶縁コート層が厚み方向に沿って圧着される。このため、絶縁コート層のみを圧着する従前の方法のように、かかる絶縁コート層の外周形状がグリーンシートにおける反対側の表面に転写されないか、かかる転写を極く僅かに抑制することができる。従って、例えば、電子部品などを実装する実装エリアや、かかる実装に用いるパッドなどの導体層に、段差やうねりが生じにくくなるため、電子部品などを精度良く実装できる配線基板を確実に提供することが可能となる。
尚、前記グリーンシートは、単層または複数層の何れでも良く、複数層のグリーンシートを積層して構成されている場合には、得られるグリーンシート積層体の少なくとも一方の表面に、導体層と、これを露出させる当該導体層よりも厚みの厚い絶縁コート層と、を形成した配線基板となる。また、前記グリーンシートには、焼成後に例えばアルミナ系のセラミックとなるもののほか、低温焼成セラミックの一種であるガラス−セラミックとなるものも含まれる。更に、前記絶縁コート層は、焼成後に上記グリーンシートと同じか同種のセラミックとなるもの構成される。加えて、絶縁コート層に形成され且つ導体層が露出する前記凹部は、断面が円形または矩形などであり、かかる凹部に挿入される前記治具の凸部の断面も上記の円形または矩形などのほぼ相似形を呈する。
また、本発明には、前記グリーンシートにおける一方の表面に、前記導体層および前記絶縁コート層が形成されていると共に、上記グリーンシートにおける他方の表面に、電子部品を実装するための別の導体層が位置している、配線基板の製造方法(請求項2)も含まれる。
これによれば、上記グリーンシートの一方の表面に形成した絶縁コート層の外周形状がグリーンシートにおける他方の表面に転写されないか、極く僅かに抑制されるため、当該グリーンシートの他方の表面に形成した別の導体層の平坦度を保持できる。このため、当該別の導体層を介して、電子部品を精度良く実装できる配線基板を確実に製造できる。尚、前記導体層と前記別の導体層とは、形成されるグリーンシートの面が異なるだけの相対的な呼称である。
これによれば、上記グリーンシートの一方の表面に形成した絶縁コート層の外周形状がグリーンシートにおける他方の表面に転写されないか、極く僅かに抑制されるため、当該グリーンシートの他方の表面に形成した別の導体層の平坦度を保持できる。このため、当該別の導体層を介して、電子部品を精度良く実装できる配線基板を確実に製造できる。尚、前記導体層と前記別の導体層とは、形成されるグリーンシートの面が異なるだけの相対的な呼称である。
更に、本発明には、前記グリーンシートにおける他方の表面に、電子部品を実装するための別の前記導体層の周囲を囲む貫通孔を有する貫通孔付きグリーンシートを積層した後で、前記圧着工程を施す、配線基板の製造方法(請求項3)も含まれる。
これによれば、上記グリーンシートおよび貫通孔付きグリーンシートにより形成されるキャビティの底面が、他方の表面に形成される絶縁コート層による段差やうねりを生じにくいため、かかるキャビティの底面に平坦な別の導体層を形成したり、平坦な実装エリアが得られる。この結果、上記キャビティに電子部品(発光素子を含む)を精度良く実装できる配線基板が提供可能となる。
これによれば、上記グリーンシートおよび貫通孔付きグリーンシートにより形成されるキャビティの底面が、他方の表面に形成される絶縁コート層による段差やうねりを生じにくいため、かかるキャビティの底面に平坦な別の導体層を形成したり、平坦な実装エリアが得られる。この結果、上記キャビティに電子部品(発光素子を含む)を精度良く実装できる配線基板が提供可能となる。
付言すれば、本発明には、前記グリーンシートの両面に、前記導体層および前記絶縁コート層が形成されている、配線基板の製造方法も含まれ得る。
また、本発明には、前記グリーンシートの両面に形成される前記導体層と別の導体層とは、当該グリーンシートの厚み方向の位置が相違している、配線基板の製造方法も含まれ得る。
これらによる場合、グリーンシートの両面において、前記段差などのない導体層および絶縁コート層が形成された配線基板を確実に提供することが可能となる。特に、導体層と別の導体層とが、上記グリーンシートの厚み方向において異なる位置にある場合には、上記効果が顕著に得られる。
また、本発明には、前記グリーンシートの両面に形成される前記導体層と別の導体層とは、当該グリーンシートの厚み方向の位置が相違している、配線基板の製造方法も含まれ得る。
これらによる場合、グリーンシートの両面において、前記段差などのない導体層および絶縁コート層が形成された配線基板を確実に提供することが可能となる。特に、導体層と別の導体層とが、上記グリーンシートの厚み方向において異なる位置にある場合には、上記効果が顕著に得られる。
更に、本発明には、前記配線基板の製造方法における圧着工程に用いられる圧着用治具であって、前記絶縁コート層の表面に接触する平板と、かかる平板から上記絶縁コート層を貫通し前記導体層が露出する凹部に挿入される凸部と、を含む、圧着用治具も含まれ得る。
これによる場合、平板を絶縁コート層の表面に接触し且つ当該平板に突設した凸部を絶縁コート層の凹部に挿入した状態で、グリーンシートおよび上記絶縁コート層を厚み方向に沿って、ほぼ同時に圧着することが可能となる。この結果、電子部品などを精度良く実装できる配線基板を確実に提供することに寄与し得る。尚、上記圧着用治具は、例えば、ステンレス鋼などの金属板における一方の表面を、凸部を形成する位置のみをマスキングしてエッチングすることで形成される。
これによる場合、平板を絶縁コート層の表面に接触し且つ当該平板に突設した凸部を絶縁コート層の凹部に挿入した状態で、グリーンシートおよび上記絶縁コート層を厚み方向に沿って、ほぼ同時に圧着することが可能となる。この結果、電子部品などを精度良く実装できる配線基板を確実に提供することに寄与し得る。尚、上記圧着用治具は、例えば、ステンレス鋼などの金属板における一方の表面を、凸部を形成する位置のみをマスキングしてエッチングすることで形成される。
以下において、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1は、例えばアルミナを主成分とするグリーンシート1の表面2および裏面3に、パッド(別の導体層)4と、パッド(導体層)5と、を個別に形成した本発明の製造方法における一製造工程の概略を示す。
上記グリーンシート1の厚みは、約0.12〜1.2mmである。また、パッド4,5は、W、Mo、Ag、またはCuなどの金属粉末を含む導電性ペーストを印刷などにより形成したもので、平面視が円形または四隅の各コーナにアールを付けたほぼ正方形などを呈すると共に、それぞれの厚みは約10〜30μmである。上記グリーンシート1の内部には、パッド4,5間を接続する上記同様の導電性ペーストとからなるビア導体(図示せず)が形成されている。
図1は、例えばアルミナを主成分とするグリーンシート1の表面2および裏面3に、パッド(別の導体層)4と、パッド(導体層)5と、を個別に形成した本発明の製造方法における一製造工程の概略を示す。
上記グリーンシート1の厚みは、約0.12〜1.2mmである。また、パッド4,5は、W、Mo、Ag、またはCuなどの金属粉末を含む導電性ペーストを印刷などにより形成したもので、平面視が円形または四隅の各コーナにアールを付けたほぼ正方形などを呈すると共に、それぞれの厚みは約10〜30μmである。上記グリーンシート1の内部には、パッド4,5間を接続する上記同様の導電性ペーストとからなるビア導体(図示せず)が形成されている。
尚、前記グリーンシート1の裏面3は、本発明におけるグリーンシートの一方の表面であり、且つその表面2は、グリーンシートの他方の表面である。また、グリーンシート1は、多数個取り用の大判サイズのグリーンシートとしても良く、次述する絶縁コート層6や後述する貫通孔付きグリーンシート8,9についても、同様に大版サイズのグリーンシートとしても良い。
次いで、図2に示すように、グリーンシート1の裏面3に、予め形成した複数のパッド5の周縁のみを覆い且つかかるパッド5の厚みよりも厚い絶縁コート層6を形成する。かかる絶縁コート層6は、例えばアルミナを主成分とし所要の粘性を有するセラミック系の絶縁ペーストをスクリーン印刷法などにより、約25〜40μmの厚みとなるように形成したものである。
次いで、図2に示すように、グリーンシート1の裏面3に、予め形成した複数のパッド5の周縁のみを覆い且つかかるパッド5の厚みよりも厚い絶縁コート層6を形成する。かかる絶縁コート層6は、例えばアルミナを主成分とし所要の粘性を有するセラミック系の絶縁ペーストをスクリーン印刷法などにより、約25〜40μmの厚みとなるように形成したものである。
図2に示すように、各パッド5の表面は、それらの周縁を除いて、絶縁コート層6を貫通する凹部7の底面に露出する。かかる凹部7の断面は、平面視において、パッド5の形状とほぼ相似形の円形またはほぼ正方形などを呈する。
次に、図3に示すように、グリーンシート1の表面2上に、異なる内径の貫通孔h1,h2を有する貫通孔付きグリーンシート8,9を積層して、積層体Sを形成する。貫通孔付きグリーンシート8,9は、アルミナを主成分とし、パンチとダイとによる打ち抜き加工により、平面視が矩形(正方形または長方形)、円形、長円形、あるいは、楕円形などを呈する貫通孔h1,h2を予め形成したものである。また、貫通孔付きグリーンシート8における貫通孔h1寄りの上面には、前記同様の導電性ペーストからなるパッド10が形成されている。
次に、図3に示すように、グリーンシート1の表面2上に、異なる内径の貫通孔h1,h2を有する貫通孔付きグリーンシート8,9を積層して、積層体Sを形成する。貫通孔付きグリーンシート8,9は、アルミナを主成分とし、パンチとダイとによる打ち抜き加工により、平面視が矩形(正方形または長方形)、円形、長円形、あるいは、楕円形などを呈する貫通孔h1,h2を予め形成したものである。また、貫通孔付きグリーンシート8における貫通孔h1寄りの上面には、前記同様の導電性ペーストからなるパッド10が形成されている。
図3に示すように、上記積層体Sには、グリーンシート1の表面2と、貫通孔付きグリーンシート8,9の貫通孔h1,h2とにより、全体がほぼ四角柱やほぼ円柱形などを呈するキャビティ11が形成される。また、当該キャビティ11の底面に露出するグリーンシート1の表面2には、後述する電子部品を実装するための前記パッド4と、かかるパッド4の表面に位置する実装面4aと、が位置している。
尚、積層体Sは、最上層に位置する貫通孔付きグリーンシート9の表面12と、最下層に位置する前記絶縁コート層6の裏面(表面)13と、を有する。また、上記グリーンシート1,8,9間には、配線層が位置し且つこれらを接続する前記同様のビア導体(何れも図示せず)がグリーンシート8を貫通している。
尚、積層体Sは、最上層に位置する貫通孔付きグリーンシート9の表面12と、最下層に位置する前記絶縁コート層6の裏面(表面)13と、を有する。また、上記グリーンシート1,8,9間には、配線層が位置し且つこれらを接続する前記同様のビア導体(何れも図示せず)がグリーンシート8を貫通している。
更に、図4に示すように、定盤14の上に固定した圧着用治具(治具)gを用意する。かかる治具gは、平板15と、その一方の表面に一体に突設した複数の凸部16とを有し、例えば、所要の厚みを有するステンレス鋼、アルミニウム合金、銅、銅合金、またはチタン合金などの板における一方の表面を、複数の凸部16を形成する位置のみをマスキングし且つエッチングして形成したものである。
図4に示すように、圧着用治具gの各凸部16は、積層体Sの最下層に位置する前記絶縁コート層6を貫通し且つパッド5が露出する各凹部7に対応して形成されており、凹部7の断面とほぼ同じ円形またはほぼ正方形などの断面を有すると共に、凹部7の深さとほぼ同じ高さに予め設定されている。
図4に示すように、圧着用治具gの各凸部16は、積層体Sの最下層に位置する前記絶縁コート層6を貫通し且つパッド5が露出する各凹部7に対応して形成されており、凹部7の断面とほぼ同じ円形またはほぼ正方形などの断面を有すると共に、凹部7の深さとほぼ同じ高さに予め設定されている。
次いで、図5に示すように、圧着用治具gの平板15に、絶縁コート層6(積層体S)の裏面13を接触させると共に、かかる治具gの各凸部16を、絶縁コート層6に囲まれた各凹部7に挿入し且つ凸部16の頂面とパッド5の表面とを接触させることで、積層体Sを圧着用治具gの上にセットする。かかる状態で、図5の上方に示すように、圧着用治具g上にセットされた積層体Sの表面12に、所要の厚みを有するゴムなどからなる弾性体17を載置する。尚、積層体Sと弾性体17との間には、図示しないメタル板が挟持されている。
次に、図6中の太い矢印で示すように、弾性体17を積層体Sの厚み方向に沿って圧着用治具g寄りに押し、積層体Sの表面12を押圧する。この際、弾性体17の表面18は、キャビティ11内に進入し且つ一部はパッド4の実装面4aに接触する。
かかる圧着工程により、積層体Sを形成するグリーンシート1、絶縁コート層6、貫通孔付きグリーンシート8,9は、それぞれの厚み方向に沿って圧着されるため、互いに密着した積層体Sとなる。
次に、図6中の太い矢印で示すように、弾性体17を積層体Sの厚み方向に沿って圧着用治具g寄りに押し、積層体Sの表面12を押圧する。この際、弾性体17の表面18は、キャビティ11内に進入し且つ一部はパッド4の実装面4aに接触する。
かかる圧着工程により、積層体Sを形成するグリーンシート1、絶縁コート層6、貫通孔付きグリーンシート8,9は、それぞれの厚み方向に沿って圧着されるため、互いに密着した積層体Sとなる。
この間において、圧着用治具gの平板15と絶縁コート層6の裏面13とが接触し、且つ凸部16の頂面とパッド5の表面とが接触しているため、凹部7が貫通する絶縁コート層6の外周形状は、グリーンシート1の他方の表面(キャビティ11の底面)に位置するパッド4の実装面4aに転写されない。この結果、かかる実装面4aには、段差やうねりの影響が殆ど生じない。
尚、図7の左側に示すように、圧着用治具gの平板15に、絶縁コート層6の裏面13を接触させた際には、上記治具gの凸部16とパッド5との間に、数μmの隙間sが位置するようにし、図7中の矢印の右側に示すように、前記圧着の後で、凸部16とパッド5とが接触または当接するようにしても良い。この場合、主に絶縁コート層6が圧縮されつつグリーンシート1に密着する。
尚、図7の左側に示すように、圧着用治具gの平板15に、絶縁コート層6の裏面13を接触させた際には、上記治具gの凸部16とパッド5との間に、数μmの隙間sが位置するようにし、図7中の矢印の右側に示すように、前記圧着の後で、凸部16とパッド5とが接触または当接するようにしても良い。この場合、主に絶縁コート層6が圧縮されつつグリーンシート1に密着する。
更に、前記圧着工程の後、積層体Sを図示しない焼成炉に挿入し、所要の温度域および時間で焼成する。
その結果、図8に示すように、セラミック層1、絶縁コート層6、貫通孔付きセラミック層8,9、パッド4,5,10、およびキャビティ11を有する配線基板20が得られる。尚、上記セラミック層1,8,9は、前記グリーンシート1,8,9が焼成されたものである。
かかる配線基板20は、前記圧着工程において、前記治具gの平板15を絶縁コート層6に接触させ且つ当該絶縁コート層6を貫通する凹部7の底面に位置するパッド5に前記治具gの凸部16を接触させた状態で、前記積層体S(グリーンシート1,8,9、絶縁コート層6)を圧着する工程を経て製造されている。
その結果、図8に示すように、セラミック層1、絶縁コート層6、貫通孔付きセラミック層8,9、パッド4,5,10、およびキャビティ11を有する配線基板20が得られる。尚、上記セラミック層1,8,9は、前記グリーンシート1,8,9が焼成されたものである。
かかる配線基板20は、前記圧着工程において、前記治具gの平板15を絶縁コート層6に接触させ且つ当該絶縁コート層6を貫通する凹部7の底面に位置するパッド5に前記治具gの凸部16を接触させた状態で、前記積層体S(グリーンシート1,8,9、絶縁コート層6)を圧着する工程を経て製造されている。
この結果、凹部7が貫通する絶縁コート層6の外周形状は、実装面4aやこれを有するを有する前記パッド4に転写されないため、かかる実装面4aやパッド4には、段差やうねりが殆ど生じない。
従って、図9に示すように、配線基板20におけるキャビティ11の底面に位置するパット4の平坦な実装面4aの中央に、ロウ材層19または導電性の樹脂層(図示せず)を介して、ICチップ(電子部品)cを、導通を取りつつ精度良く容易に実装することができる。しかも、当該ICチップcと一対のパッド10との間に、それぞれワイヤwをボンディングする操作も、公知の手段により精度良く行うことが可能となる。
従って、図9に示すように、配線基板20におけるキャビティ11の底面に位置するパット4の平坦な実装面4aの中央に、ロウ材層19または導電性の樹脂層(図示せず)を介して、ICチップ(電子部品)cを、導通を取りつつ精度良く容易に実装することができる。しかも、当該ICチップcと一対のパッド10との間に、それぞれワイヤwをボンディングする操作も、公知の手段により精度良く行うことが可能となる。
尚、裏面13側の各パッド5は、各凹部7に充填されるロウ材(図示せず)を介して、当該配線基板30自体を搭載するマザーボードなどとの導通を取ることに活用される。また、前記グリーンシート1,8,9、および絶縁コート層6が多数個取り用の大版サイズである場合には、前記焼成工程の後で、例えばダイシング加工により、大版サイズのセラミック層(焼成体)を切断・分離することで、複数個の配線基板20を同時に得ることができる。
更に、図10に示すように、予めグリーンシート1を2つ(複数層)のグリーンシート1a,1bの積層体とし、これらの間に図示しない配線層を形成すると共に、かかる配線層と前記パッド4,5,10とを前記ビア導体を介して導通するようにして、前記各工程を経て製造した配線基板20aとしても良い。尚、グリーンシート1は、3層以上のグリーンシートを積層した積層体としても良い。
更に、図10に示すように、予めグリーンシート1を2つ(複数層)のグリーンシート1a,1bの積層体とし、これらの間に図示しない配線層を形成すると共に、かかる配線層と前記パッド4,5,10とを前記ビア導体を介して導通するようにして、前記各工程を経て製造した配線基板20aとしても良い。尚、グリーンシート1は、3層以上のグリーンシートを積層した積層体としても良い。
図11は、異なる形態の積層体S1およびこれを焼成した配線基板30の概略を示す断面図である。かかる積層体S1は、図11に示すように、前記同様のグリーンシート1、その裏面3に形成した複数のパッド(導体層)5、かかるパッド5の周縁を覆う前記同様の絶縁コート層6、グリーンシート1の表面2に形成した複数のパッド(別の導体層)24、およびかかるパッド24の周縁を覆い且つこれより厚い上記同様の絶縁コート層21、を備えている。上記パッド24は、前記同様の導電性ペーストおよびこれを焼成したWなどからなり、周縁を除くその表面は、絶縁コート層21を貫通する凹部22の底面に露出する。
尚、上記グリーンシート1,絶縁コート層6,21は、配線基板30における焼成済みのセラミック層1,絶縁コート層6,21をも表している。
尚、上記グリーンシート1,絶縁コート層6,21は、配線基板30における焼成済みのセラミック層1,絶縁コート層6,21をも表している。
図11に示すように、積層体S1のパッド5とパッド24とは、それぞれグリーンシート1の厚み方向における異なる位置の表面2,裏面3に形成されている。
尚、積層体S1は、グリーンシート1の両面2,3に絶縁コート層6,21を形成する工程を予め経ていると共に、絶縁コート層21の表面23と、絶縁コート層6の裏面13とを有する。更に、上記パッド24は、パッド5と同様の厚みを有し、平面視で円形またはほぼ正方形を呈し、凹部22もこれとほぼ相似形の断面を有する。
尚、積層体S1は、グリーンシート1の両面2,3に絶縁コート層6,21を形成する工程を予め経ていると共に、絶縁コート層21の表面23と、絶縁コート層6の裏面13とを有する。更に、上記パッド24は、パッド5と同様の厚みを有し、平面視で円形またはほぼ正方形を呈し、凹部22もこれとほぼ相似形の断面を有する。
前記積層体S1を配線基板30にするため、以下の各工程が行われる。
先ず、図12に示すように、定盤14の上に固定した前記同様の圧着用治具g1における平板15の表面に、積層体S1における絶縁コート層6の裏面13を接触させ、且つ上記治具g1の各凸部16を各凹部7に挿入し且つ各パッド5と接触するように、積層体S1を治具g1上にセットする。
次に、図12の上方に示すように、異なる形態の圧着用治具g2および弾性体27を用意する。かかる治具g2も、平板25と、その表面から一体に突設された複数の凸部26とを備えている。各凸部26は、上記凹部22とほぼ同じ断面で且つ該凹部22の深さとほぼ同じ高さである。
先ず、図12に示すように、定盤14の上に固定した前記同様の圧着用治具g1における平板15の表面に、積層体S1における絶縁コート層6の裏面13を接触させ、且つ上記治具g1の各凸部16を各凹部7に挿入し且つ各パッド5と接触するように、積層体S1を治具g1上にセットする。
次に、図12の上方に示すように、異なる形態の圧着用治具g2および弾性体27を用意する。かかる治具g2も、平板25と、その表面から一体に突設された複数の凸部26とを備えている。各凸部26は、上記凹部22とほぼ同じ断面で且つ該凹部22の深さとほぼ同じ高さである。
次いで、図13に示すように、積層体S1の最上層に位置する絶縁コート層21の表面23に、圧着用治具g2の平板25の表面を接触させると共に、絶縁コート層21を貫通する各凹部22に、上記治具g2の各凸部26を挿入し、且つ各凸部26の頂面を各凹部22の底面に露出するパッド24に接触させる。
かかる状態で、図13中の太い矢印で示すように、上記治具g2の平面25が積層体S1の表面23に当接するように、表面28を有する弾性体27を、積層体S1の厚み方向に沿って圧着用治具g1寄りに、当該積層体S1の表面23を押圧する。
かかる状態で、図13中の太い矢印で示すように、上記治具g2の平面25が積層体S1の表面23に当接するように、表面28を有する弾性体27を、積層体S1の厚み方向に沿って圧着用治具g1寄りに、当該積層体S1の表面23を押圧する。
この際、圧着用治具g1,g2の平板15,25と絶縁コート層21,6の表面23または裏面13とが接触し、且つ凸部16,26の頂面とパッド24,5の表面とが接触しているため、凹部22,7が貫通する絶縁コート層21,6の外周形状が、グリーンシート1の互いの反対側に位置する表面2や裏面3に転写されない。この結果、かかる表面2または裏面3やこれらに形成されたパッド24,5には、段差やうねりの影響が殆ど生じなくなる。
更に、上記圧着工程を経てグリーンシート1と絶縁コート層21,6とが密着した積層体S1を、図示しない焼成炉に挿入し、所要の温度域および時間で焼成する。その結果、前記図11で示したような配線基板30が得られる。
更に、上記圧着工程を経てグリーンシート1と絶縁コート層21,6とが密着した積層体S1を、図示しない焼成炉に挿入し、所要の温度域および時間で焼成する。その結果、前記図11で示したような配線基板30が得られる。
以上のような配線基板30では、表面23側の複数のパッド24は、各凹部22に充填されるロウ材(図示せず)を介して、表面23上に実装する図示しない電子部品との導通を確実且つ容易に取ることが可能となる。また、裏面13側の各パッド5も、各凹部7に充填されるロウ材(図示せず)を介して、当該配線基板30自体を搭載するマザーボードなどとの導通を確実且つ容易に取ることが可能となる。従って、本発明によれば、かかる配線基板30を確実に製造することができる。
尚、前記積層体S1を形成するグリーンシート1,および絶縁コート層6,21を、それぞれ多数個取り用の大版サイズとして前記各工程を施しても良く、これにより、複数個の配線基板30を同時に得ることができる。また、前記圧着工程において、前記図7の左側で示したと同様に、凸部16,26とパッド5,24との間に隙間sが介在するようにし、かかる隙間sを解消するように圧着を行っても良い。更に、積層体S1のグリーンシート1の表面2の各パッド24と裏面3の各パッド5とを、当該グリーンシート1の厚み方向で同じか、ほぼ同じ位置に形成し、かかる積層体S1に対し、前記各工程を行うようにしても良い。加えて、積層体S1のグリーンシート1も2層以上(複数層)のグリーンシートを積層したグリーンシート積層体としも良い。
本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
前記積層体S,S1を形成するグリーンシート1,8,9、絶縁コート層6,21は、低温焼成セラミックの1種であるガラス−セラミックとしても良い。
また、前記積層体Sおよび配線基板20,20aのキャビティは、グリーンシート8,9の貫通孔を底面から表面12に向かって連続して広がる傾斜面とし、平面視にて底面が円形、長円形、楕円形で且つ全体がほぼ円錐形、ほぼ長円錐形、ほぼ楕円錐形を呈する形態としても良い。かかるキャビティの傾斜した側面には、Agなどを含む光反射層が形成され、パッド4の平坦な実装面4a上に精度良く実装される発光ダイオードなどの発光素子が発する光を、効率良く外部に反射することが可能となる。
更に、前記パッド5,24や凹部7,22は、断面ほぼ三角形、長方形、または、長円形などしても良い。これらの場合、前記治具g1,g2の凸部16,26の断面も、上記各断面形状とほぼ相似形とされる。
前記積層体S,S1を形成するグリーンシート1,8,9、絶縁コート層6,21は、低温焼成セラミックの1種であるガラス−セラミックとしても良い。
また、前記積層体Sおよび配線基板20,20aのキャビティは、グリーンシート8,9の貫通孔を底面から表面12に向かって連続して広がる傾斜面とし、平面視にて底面が円形、長円形、楕円形で且つ全体がほぼ円錐形、ほぼ長円錐形、ほぼ楕円錐形を呈する形態としても良い。かかるキャビティの傾斜した側面には、Agなどを含む光反射層が形成され、パッド4の平坦な実装面4a上に精度良く実装される発光ダイオードなどの発光素子が発する光を、効率良く外部に反射することが可能となる。
更に、前記パッド5,24や凹部7,22は、断面ほぼ三角形、長方形、または、長円形などしても良い。これらの場合、前記治具g1,g2の凸部16,26の断面も、上記各断面形状とほぼ相似形とされる。
1,1a,1b………グリーンシート
2………………………表面(他方の表面)
3………………………裏面(一方の表面)
4,24………………パッド(別の導体層)
5………………………パッド(導体層)
6,21………………絶縁コート層
7,22………………凹部
8,9…………………貫通孔付きグリーンシート
13,23……………裏面/表面(絶縁コート層の表面)
20,20a,30…配線基板
c………………………ICチップ(電子部品)
h1,h2……………貫通孔
2………………………表面(他方の表面)
3………………………裏面(一方の表面)
4,24………………パッド(別の導体層)
5………………………パッド(導体層)
6,21………………絶縁コート層
7,22………………凹部
8,9…………………貫通孔付きグリーンシート
13,23……………裏面/表面(絶縁コート層の表面)
20,20a,30…配線基板
c………………………ICチップ(電子部品)
h1,h2……………貫通孔
Claims (3)
- 焼成後に配線基板となるグリーンシートの少なくとも一方の表面に、かかる表面に形成された導体層の周縁を覆い且つ当該導体層の厚みよりも厚い絶縁コート層を形成する工程と、
平板および当該平板に突設した凸部を有する治具のうち、上記絶縁コート層の表面に上記平板を接触し、且つ上記導体層が露出する凹部に上記凸部を挿入するように配置して、上記グリーンシートおよび上記絶縁コート層を厚み方向に沿って圧着する工程と、を含む、
ことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記グリーンシートにおける一方の表面に、前記導体層および前記絶縁コート層が形成されていると共に、上記グリーンシートにおける他方の表面に、電子部品を実装するための別の導体層が位置している、
ことを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。 - 前記グリーンシートにおける他方の表面に、電子部品を実装するための別の前記導体層の周囲を囲む貫通孔を有する貫通孔付きグリーンシートを積層した後で、前記圧着工程を施す、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。
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-
2005
- 2005-03-14 JP JP2005071599A patent/JP2006253600A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080303 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20100507 |