JP2008130946A - 多数個取りセラミック基板およびセラミック配線基板ならびにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ロウ付け用パッドの大きさなどに拘わらずロウ材を所定の位置に確実に配設でき、且つ従来のセッティング工程が省略できる多数個取りセラミック基板およびセラミック配線基板ならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】ロウ付け用パッド14よびそれ以外のパッド15,16を備える複数のセラミック配線基板10nと、かかる複数のセラミック配線基板10nが縦横に隣接する基板領域aの外側に位置する耳部mに形成される第1外部電極5および第2外部電極6と、上記ロウ付け用パッド14と第1外部電極5とを接続する第1メッキ配線(7,17)と、上記ロウ付け用パッド以外のパッド15,16と第2外部電極6とを接続する第2メッキ配線(8,18,19)と、を含む、多数個取りセラミック基板1。
【選択図】 図1
【解決手段】ロウ付け用パッド14よびそれ以外のパッド15,16を備える複数のセラミック配線基板10nと、かかる複数のセラミック配線基板10nが縦横に隣接する基板領域aの外側に位置する耳部mに形成される第1外部電極5および第2外部電極6と、上記ロウ付け用パッド14と第1外部電極5とを接続する第1メッキ配線(7,17)と、上記ロウ付け用パッド以外のパッド15,16と第2外部電極6とを接続する第2メッキ配線(8,18,19)と、を含む、多数個取りセラミック基板1。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば、金属製の放熱部材をロウ付けするためのロウ付け用パッドと、それ以外のパッドとを備えるセラミック配線基板を、多数個取りするための多数個取りセラミック基板およびその製造方法に関する。
複数のセラミック層を積層した配線基板の表面と裏面との間を貫通する貫通孔に金属製の放熱部材を挿入してロウ付けするため、上記貫通孔の周囲に位置する配線基板の裏面、または貫通孔の厚み方向の中間に位置する段部に形成した金属層の上に、かかる金属層と平面視がほぼ相似形に予め成形(プリフォーム)されたロウ材(例えば、Agロウ)をセッティングし、かかるロウ材をリフロー(加熱)することで、上記放熱部材をロウ付けしている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前記プリフォームされたシート状のロウ材を、セラミック基板における所定の位置にセッティングする工程では、高精度の位置合わせが必要となるため、多数個取り基板に対して行う場合、かかる工程が長時間を要し、且つコスト高を招く一因となっていた。特に、上記ロウ材をセットするエリアが小さな面積である場合、上記セッティングの位置精度が低下し易いため、十分な接合力によるロウ付けができなくなる、という問題があった。
更に、シート状のロウ材の厚みが薄い場合、前記セッティング工程において、かかるロウ材のシートが破れたり、所定枚数以上のシートがセットされることで、所望のロウ材量がロウ付け用パッドに配設されるため、充分な接合力が得られなくなる、という問題もあった。
更に、シート状のロウ材の厚みが薄い場合、前記セッティング工程において、かかるロウ材のシートが破れたり、所定枚数以上のシートがセットされることで、所望のロウ材量がロウ付け用パッドに配設されるため、充分な接合力が得られなくなる、という問題もあった。
本発明は、背景技術において説明した問題点を解決し、ロウ材を配設するエリア(ロウ付け用パッド)の大きさなどに拘わらず、ロウ材を所定の位置に確実に配設でき、且つ従来の前記セッティング工程が省略できる多数個取りセラミック基板、およびセラミック配線基板、ならびにその製造方法を提供する、ことを課題とする。
本発明は、前記課題を解決するため、多数個取りセラミック基板に配設すべきロウ材をメッキによって形成する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明の多数個取りセラミック基板(請求項1)は、ロウ付け用パッドおよびそれ以外のパッドを備える複数のセラミック配線基板と、かかる複数のセラミック配線基板が縦横に隣接する基板領域の外側に位置する耳部に形成される第1外部電極および第2外部電極と、上記ロウ付け用パッドと第1外部電極とを接続する第1メッキ配線と、上記ロウ付け用パッド以外のパッドと第2外部電極とを接続する第2メッキ配線と、を含む、ことを特徴とする。
即ち、本発明の多数個取りセラミック基板(請求項1)は、ロウ付け用パッドおよびそれ以外のパッドを備える複数のセラミック配線基板と、かかる複数のセラミック配線基板が縦横に隣接する基板領域の外側に位置する耳部に形成される第1外部電極および第2外部電極と、上記ロウ付け用パッドと第1外部電極とを接続する第1メッキ配線と、上記ロウ付け用パッド以外のパッドと第2外部電極とを接続する第2メッキ配線と、を含む、ことを特徴とする。
これによれば、前記複数のセラミック配線基板ごとに形成されたロウ付け用パッドと、前記第1外部電極とが第1メッキ配線を介して接続され、セラミック配線基板ごとに形成されたロウ付け用パッド以外のパッドと、前記第2外部電極とが第2メッキ配線を介して接続されている。このため、ロウ付け用パッドを形成する金属層の表面に対し、Niメッキ層を介して、ロウ材と同じ金属(例えば、Ag)または合金(例えば、Ag−Sn、Ag−Cu)からなるロウ付け用メッキ層を所要の厚み(例えば、1〜100μm)および所要量(体積)にして精度良く、複数のセラミック配線基板ごとに形成できる。一方、ロウ付け用パッド以外のパッドを形成する金属層の表面に対し、例えば、NiおよびAuメッキ層を所要の厚みにして、複数のセラミック配線基板ごとに形成できる。従って、上記ロウ付け用メッキ層をリフロー(加熱)することで、例えば、放熱部材を強固にロウ付けでき、且つ外部との導通が取れるロウ付け用パッド以外のパッドを有するセラミック配線基板を多数個取りの形態として提供することが可能となる。
尚、前記ロウ付け用パッドおよびそれ以外のパッドは、セラミック配線基板の表面、裏面、あるいはこれらの間を貫通する貫通孔内の段部の表面において、かかる表面または裏面に露出するか、あるいは、これらから突出している。
また、前記第1・第2外部電極は、前記耳部の外側辺に設けた断面ほぼ半円形の凹部の内壁に形成され、電解メッキ用の電極棒が面接触するものである。
更に、前記第1・第2メッキ配線は、複数のセラミック配線基板が縦横に隣接している基板領域と上記耳部の第1・第2外部電極との間に平列に形成され、耳部とこれに隣接するセラミック配線基板との間、あるいは互いに隣接する2つのセラミック配線基板同士の間を接続するタイバーと共に、個々のセラミック配線基板の内部において複数の上記タイバー間を接続する内部配線層も含む。
また、前記セラミックは、例えば、アルミナのような高温焼成セラミックのほか、例えば、ガラス−セラミックのような低温焼成セラミックも含んでいる。
更に、前記セラミックが高温焼成セラミックの場合、前記ロウ付け用パッドおよびそれ以外のパッドの金属層、第1・第2外部電極、第1・第2メッキ配線は、WまたはMoなどにより形成され、前記セラミックが低温焼成セラミックの場合、上記ロウ付け用パッドなどは、CuまたはAgなどにより形成される。
また、前記第1・第2外部電極は、前記耳部の外側辺に設けた断面ほぼ半円形の凹部の内壁に形成され、電解メッキ用の電極棒が面接触するものである。
更に、前記第1・第2メッキ配線は、複数のセラミック配線基板が縦横に隣接している基板領域と上記耳部の第1・第2外部電極との間に平列に形成され、耳部とこれに隣接するセラミック配線基板との間、あるいは互いに隣接する2つのセラミック配線基板同士の間を接続するタイバーと共に、個々のセラミック配線基板の内部において複数の上記タイバー間を接続する内部配線層も含む。
また、前記セラミックは、例えば、アルミナのような高温焼成セラミックのほか、例えば、ガラス−セラミックのような低温焼成セラミックも含んでいる。
更に、前記セラミックが高温焼成セラミックの場合、前記ロウ付け用パッドおよびそれ以外のパッドの金属層、第1・第2外部電極、第1・第2メッキ配線は、WまたはMoなどにより形成され、前記セラミックが低温焼成セラミックの場合、上記ロウ付け用パッドなどは、CuまたはAgなどにより形成される。
また、本発明のセラミック配線基板(請求項2)は、セラミックからなり、少なくとも表面および裏面を有する基板本体と、かかる基板本体の表面および裏面の少なくとも一方に形成されたロウ付け用パッドと、上記基板本体の表面および裏面に個別に形成され、上記ロウ付け用パッド以外の複数のパッドと、を備え、上記ロウ付け用パッド以外の複数のパッドは互いに導通していると共に、上記ロウ付け用パッドは、上記複数のパッドとは電気的に導通していない、ことを特徴とする。
これによれば、上記ロウ付け用パッドをリフロー(加熱)して、その上方に例えば、放熱部材を強固に接合できると共に、基板本体の表面および裏面に設けたロウ付け用パッド以外のパッドを介して内部の配線層と外部との導通を取ることができる。このため、放熱部材の上に電子部品を搭載して、その放熱を促進できると共に、かかる電子部品とロウ付け用パッド以外のパッドを介して内部の配線層と外部との導通を取れるセラミック配線基板とすることができる。
これによれば、上記ロウ付け用パッドをリフロー(加熱)して、その上方に例えば、放熱部材を強固に接合できると共に、基板本体の表面および裏面に設けたロウ付け用パッド以外のパッドを介して内部の配線層と外部との導通を取ることができる。このため、放熱部材の上に電子部品を搭載して、その放熱を促進できると共に、かかる電子部品とロウ付け用パッド以外のパッドを介して内部の配線層と外部との導通を取れるセラミック配線基板とすることができる。
尚、前記基板本体の裏面には、かかる裏面に開口し且つ当該基板本体の表面との間を貫通する貫通孔の中間に位置する段部の表面も含まれる。かかる段部の表面に形成されるロウ付け用パッドは、平面視が四角形の枠形、またはリング形を呈する。上記貫通孔に、板状のベース部とその上面中央部から突出する凸部とを有する放熱部材を裏面側から挿入すると、その凸部の頂面を基板本体の表面とほぼ面一として、ベース部の上面との間でリフローさせた前記ロウ付け用メッキ層を介して、上記放熱部材をセラミック配線基板に対し強固に接合可能となる。
また、前記ロウ付け用パッドは、基板本体の裏面に開口する前記貫通孔の段部の表面に形成し、且つ同じ基板本体の表面に開口するキャビティの側面に形成した金属層とも導通した形態としても良い。これによる場合、ロウ付け用パッドの表面にロウ材と同じAgメッキ層を形成すると同時に、キャビティの側面に形成された金属層に対し同じAgメッキ層を形成し、全体が円柱形またはほぼ円錐形などを呈する光反射層を形成することが可能となる。
更に、前記ロウ付け用パッド以外のパッドは、基板本体の表面に開口するキャビティの底面(表面)に形成した形態としても良い。
また、前記ロウ付け用パッドは、基板本体の裏面に開口する前記貫通孔の段部の表面に形成し、且つ同じ基板本体の表面に開口するキャビティの側面に形成した金属層とも導通した形態としても良い。これによる場合、ロウ付け用パッドの表面にロウ材と同じAgメッキ層を形成すると同時に、キャビティの側面に形成された金属層に対し同じAgメッキ層を形成し、全体が円柱形またはほぼ円錐形などを呈する光反射層を形成することが可能となる。
更に、前記ロウ付け用パッド以外のパッドは、基板本体の表面に開口するキャビティの底面(表面)に形成した形態としても良い。
一方、本発明のセラミック配線基板の製造方法(請求項3)は、セラミックからなるグリーンシートの表面および裏面の少なくとも一方に複数のメタライズを形成するメタライズ形成工程と、前記メタライズが形成されたグリーンシートを焼成する焼成工程と、焼成後における複数のメタライズ層のうち、少なくとも1つの表面に接合用の金属層をメッキするメッキ工程と、を含む、ことを特徴とする。
これによれば、セラミックからなる基板本体の表面および裏面の少なくとも一方に、接合用の金属層であるロウ材が被覆されたロウ付け用パッドと、それ以外のパッドとを併有するセラミック配線基板を、確実に提供することができる。
これによれば、セラミックからなる基板本体の表面および裏面の少なくとも一方に、接合用の金属層であるロウ材が被覆されたロウ付け用パッドと、それ以外のパッドとを併有するセラミック配線基板を、確実に提供することができる。
尚、前記グリーンシートは、複数層であり、これらを貫通するビアホール内にビア導体用のメタライズを充填することを含むメタライズ形成工程を行った後に、これらを積層して得られたグリーンシート積層体を焼成工程で焼成する形態としても良い。
更に、前記金属層にAgメッキを施すと同時に、別途に形成したメタライズの表面に対し、例えば同じAgメッキを被覆して、光反射層を形成することも可能である。
付言すれば、前記メッキ工程の後に、前記接合用の金属層(ロウ材)に対し、放熱部材の一部の表面を接触をさせ、且つ上記金属層をリフローして、焼成済みのセラミック基板に放熱部材を接合する接合工程を有する、セラミック配線基板の製造方法も本発明に含まれ得る。これによる場合、厚みが比較的均一な金属層を介して放熱部材を強固に接合したセラミック配線基板を確実に得ることが可能となる。
更に、前記金属層にAgメッキを施すと同時に、別途に形成したメタライズの表面に対し、例えば同じAgメッキを被覆して、光反射層を形成することも可能である。
付言すれば、前記メッキ工程の後に、前記接合用の金属層(ロウ材)に対し、放熱部材の一部の表面を接触をさせ、且つ上記金属層をリフローして、焼成済みのセラミック基板に放熱部材を接合する接合工程を有する、セラミック配線基板の製造方法も本発明に含まれ得る。これによる場合、厚みが比較的均一な金属層を介して放熱部材を強固に接合したセラミック配線基板を確実に得ることが可能となる。
以下において、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1は、本発明の多数個取りセラミック基板(以下、単にセラミック基板と称する)1を示す平面図、図2は、図1中のA−A線の矢視に沿った断面図、図3は、図1中のB−B線の矢視に沿った断面図、図4は、セラミック基板1の底面図である。
セラミック基板1は、例えばアルミナなどのセラミックからなり、図1〜図4に示すように、複数のセラミック配線基板10n(n=a〜i)を縦横に隣接して有する基板領域aと、かかる基板領域aの外側に位置する矩形枠形状の耳部mと、を備えている。セラミック配線基板10n同士の間、および基板領域aと耳部mとの間は、図1〜図4中の破線で示す切断予定面cによって区画されている。
尚、セラミック基板1、セラミック配線基板10n、および耳部mは、それぞれ表面と裏面とを有するが、以下では、同じ符号の表面2と裏面3とを用いる。
図1は、本発明の多数個取りセラミック基板(以下、単にセラミック基板と称する)1を示す平面図、図2は、図1中のA−A線の矢視に沿った断面図、図3は、図1中のB−B線の矢視に沿った断面図、図4は、セラミック基板1の底面図である。
セラミック基板1は、例えばアルミナなどのセラミックからなり、図1〜図4に示すように、複数のセラミック配線基板10n(n=a〜i)を縦横に隣接して有する基板領域aと、かかる基板領域aの外側に位置する矩形枠形状の耳部mと、を備えている。セラミック配線基板10n同士の間、および基板領域aと耳部mとの間は、図1〜図4中の破線で示す切断予定面cによって区画されている。
尚、セラミック基板1、セラミック配線基板10n、および耳部mは、それぞれ表面と裏面とを有するが、以下では、同じ符号の表面2と裏面3とを用いる。
図1,図2において左辺の耳部mの外側面には、平面視がほぼ半円形の凹部4が形成され、その内壁に沿ってWまたはMoからなり且つ断面ほぼ半円形の第1外部電極5が形成され、右辺の耳部mの外側面に形成された凹部4の内壁には、上記同様の第2外部電極6が形成されている。
図1〜図4に示すように、セラミック配線基板10nは、平面視がほぼ正方形の表面2および裏面3を有する板形状の基板本体を備え、表面2と裏面3との間には、断面がほぼ正方形で且つ上下2段の貫通孔11,12が連続して貫通し、これらの間には、裏面3側に露出する矩形枠形の段部13が位置している。かかる段部13の表面には、図示しないWなどからなる金属層、Niメッキ層、およびロウ付け用のAgメッキ層からなるロウ付け用パッド14が形成されている。かかるロウ付け用パッド14の最上層に位置するAgメッキ層の厚みは、1〜100μmである。
図1〜図4に示すように、セラミック配線基板10nは、平面視がほぼ正方形の表面2および裏面3を有する板形状の基板本体を備え、表面2と裏面3との間には、断面がほぼ正方形で且つ上下2段の貫通孔11,12が連続して貫通し、これらの間には、裏面3側に露出する矩形枠形の段部13が位置している。かかる段部13の表面には、図示しないWなどからなる金属層、Niメッキ層、およびロウ付け用のAgメッキ層からなるロウ付け用パッド14が形成されている。かかるロウ付け用パッド14の最上層に位置するAgメッキ層の厚みは、1〜100μmである。
また、図1,図2,図4に示すように、隣接するセラミック配線基板10n,10n間におけるロウ付け用パッド14,14の間は、切断予定面cを横切り且つWなどからなるタイバー17で接続され、かかるタイバー17は、耳部mの第1外部電極5と、Wなどからなる接続配線7を介して接続されている。かかる接続配線7およびタイバー17は、本発明の第1メッキ配線を構成している。
更に、セラミック配線基板10nの表面2における貫通孔11の周囲には、図示しないWなどからなる金属層、Niメッキ層、および最上層のAuメッキ層とからなるパッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)15が形成されている。更に、セラミック配線基板10nの裏面2における貫通孔12の周囲には、上記同様のパッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)16が形成されている。
更に、セラミック配線基板10nの表面2における貫通孔11の周囲には、図示しないWなどからなる金属層、Niメッキ層、および最上層のAuメッキ層とからなるパッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)15が形成されている。更に、セラミック配線基板10nの裏面2における貫通孔12の周囲には、上記同様のパッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)16が形成されている。
前記パッド15,16は、図1,図3,図4,および図5のセラミック配線基板10nをほぼ中央付近で切断した模式的な斜視図に示すように、上下のセラミック層s1〜s3を貫通する上下のビア導体vと、かかるセラミック層s1,s2間に形成された配線18を介して接続されている。上記ビア導体vおよび配線18もWなどからなる。かかる配線18は、切断予定面cを横切り、隣接するセラミック配線基板10n,10n間に連続して形成されている。
各配線18と直交し且つ切断予定面cを横切って、前記パッド15,15ごとの直下をWなどからなる配線19がセラミック層s1,s2間に形成され、かかる配線19は、耳部mの第2外部電極6と、Wなどからなる接続配線8を介して接続されている。かかる接続配線8および配線18,19は、本発明の第2メッキ配線を構成している。
即ち、図5に示すように、各セラミック配線基板10nにおいて、上記パッド15,16は、ビア導体vと配線18とを介して互いに導通しているが、ロウ付け用パッド14は、当該パッド15,16とは、電気的に接続されていない。尚、配線18,19は、図示しない任意のパターンの配線層を含んでいても良い。
各配線18と直交し且つ切断予定面cを横切って、前記パッド15,15ごとの直下をWなどからなる配線19がセラミック層s1,s2間に形成され、かかる配線19は、耳部mの第2外部電極6と、Wなどからなる接続配線8を介して接続されている。かかる接続配線8および配線18,19は、本発明の第2メッキ配線を構成している。
即ち、図5に示すように、各セラミック配線基板10nにおいて、上記パッド15,16は、ビア導体vと配線18とを介して互いに導通しているが、ロウ付け用パッド14は、当該パッド15,16とは、電気的に接続されていない。尚、配線18,19は、図示しない任意のパターンの配線層を含んでいても良い。
以上のようなセラミック基板1およびセラミック配線基板10nは、以下のようにして製造した。
予め、アルミナを主成分とする3枚のグリーンシートを製作した。
各グリーンシートの対向する外側辺の同じ位置に、切り欠き加工によって断面ほぼ半円形の凹部を形成し、かかる凹部の内壁に沿ってW粉末を含む導電性ペーストを印刷して、第1・第2外部電極5,6を形成した。また、各グリーンシートの基板領域a内における所定の位置に、断面がほぼ正方形で且つ大小2種類の貫通孔11,12の何れかを打ち抜き加工で形成した。
更に、上記基板領域a内における所定の位置に、複数のビアホールを孔明け加工にて形成し、かかるビアホール中に、W粉末を含む導電性ペーストを充填し、複数のビア導体vを形成した。
予め、アルミナを主成分とする3枚のグリーンシートを製作した。
各グリーンシートの対向する外側辺の同じ位置に、切り欠き加工によって断面ほぼ半円形の凹部を形成し、かかる凹部の内壁に沿ってW粉末を含む導電性ペーストを印刷して、第1・第2外部電極5,6を形成した。また、各グリーンシートの基板領域a内における所定の位置に、断面がほぼ正方形で且つ大小2種類の貫通孔11,12の何れかを打ち抜き加工で形成した。
更に、上記基板領域a内における所定の位置に、複数のビアホールを孔明け加工にて形成し、かかるビアホール中に、W粉末を含む導電性ペーストを充填し、複数のビア導体vを形成した。
次いで、各グリーンシートの表面および裏面の少なくとも一方に、上記同様の導電性ペーストをスクリーン印刷などによって、所要パターンを呈する複数のメタライズを形成した。かかる複数のメタライズのうち、小さな貫通孔11の周囲に矩形枠状に形成されたメタライズは、タイバー17および接続配線7を介して、上記第1外部電極5と接続されている。また、上記以外の線状のメタライズは、複数のビア導体vの何れかと接続し、且つそのうちの1つは、接続配線8を介して第2外部電極6にも接続されている。
次に、複数のグリーンシートを、それらの第1・第2外部電極5,6および基板領域aが重複し、且つ大小の貫通孔11,12が同心で連通するように積層して、グリーンシート積層体を形成した後、かかる積層体を所定の温度帯に加熱して焼成した。
次に、複数のグリーンシートを、それらの第1・第2外部電極5,6および基板領域aが重複し、且つ大小の貫通孔11,12が同心で連通するように積層して、グリーンシート積層体を形成した後、かかる積層体を所定の温度帯に加熱して焼成した。
更に、焼成後のセラミック基板1において、第1外部電極5に電極棒(図示せず)を接触させ、接続配線7およびタイバー17を介して、裏面3に開口する貫通孔12内の段部13に位置する焼成後の金属層Mに対し、電解メッキによってNiおよびAgメッキを施した。
その結果、図6のセラミック配線基板10nの垂直断面図で例示するように、段部13に形成された金属層Mの上に図示しないNiメッキ層を介して、Agメッキ層14aが被覆され、ロウ付け用パッド14が形成できた。かかるAgメッキ層14aは、Agロウと同じ組成で且つ厚みが1〜100μmである。
そして、第2外部電極6に電極棒を接触させ、接続配線8および配線18,19を介して、セラミック基板1の表面2および裏面3に位置する焼成後の金属層Mに対し、電解メッキによりNiおよびAuメッキを施した。その結果、図7のセラミック配線基板10nの垂直断面図で例示するように、表面2および裏面3の金属層Mの上に、それぞれ図示しないNiメッキ層を介して、Auメッキ層15a,16aが被覆され、パッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)15,16が形成された。
その結果、図6のセラミック配線基板10nの垂直断面図で例示するように、段部13に形成された金属層Mの上に図示しないNiメッキ層を介して、Agメッキ層14aが被覆され、ロウ付け用パッド14が形成できた。かかるAgメッキ層14aは、Agロウと同じ組成で且つ厚みが1〜100μmである。
そして、第2外部電極6に電極棒を接触させ、接続配線8および配線18,19を介して、セラミック基板1の表面2および裏面3に位置する焼成後の金属層Mに対し、電解メッキによりNiおよびAuメッキを施した。その結果、図7のセラミック配線基板10nの垂直断面図で例示するように、表面2および裏面3の金属層Mの上に、それぞれ図示しないNiメッキ層を介して、Auメッキ層15a,16aが被覆され、パッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)15,16が形成された。
これによって、前記図1〜図4に示した複数のセラミック配線基板10nおよび耳部m備えたセラミック基板1が得られた。
以上のようなセラミック基板1の製造方法によれば、前記基板領域a内における複数のセラミック基板10a〜10iごとのロウ付け用パッド14を、第1外部電極5、接続配線7、およびタイバー17を介して確実に形成できると共に、表面2のパッド15および裏面3のパッド16を、第2外部電極6、接続配線8、および配線18,19を介して確実に形成できる。
また、セラミック配線基板10nの製造方法によれば、基板本体の裏面3に開口する貫通孔12内の段部13にロウ付け用パッド14を形成し、ビア導体vや配線18を介して互いに導通する表面2のパッド15および裏面3のパッド16を、確実に形成することができる。
以上のようなセラミック基板1の製造方法によれば、前記基板領域a内における複数のセラミック基板10a〜10iごとのロウ付け用パッド14を、第1外部電極5、接続配線7、およびタイバー17を介して確実に形成できると共に、表面2のパッド15および裏面3のパッド16を、第2外部電極6、接続配線8、および配線18,19を介して確実に形成できる。
また、セラミック配線基板10nの製造方法によれば、基板本体の裏面3に開口する貫通孔12内の段部13にロウ付け用パッド14を形成し、ビア導体vや配線18を介して互いに導通する表面2のパッド15および裏面3のパッド16を、確実に形成することができる。
図7で例示するように、セラミック基板1におけるセラミック配線基板10nの貫通孔11,12ごとに挿入する放熱部材20を用意した。かかる放熱部材20は、例えばCu−W合金からなり、平面視がほぼ正方形で板状のベース部21と、その上面22の中央付近から立設する四角柱形の凸部24とを一体に有する。凸部24の一辺は、上側の貫通孔11の一辺よりも若干小さく、ベース部21の一辺は、下側の貫通孔12の一辺よりも若干小さく設定されている。
貫通孔11,12に放熱部材20の凸部24とベース部21とを挿入すると、図8で例示するように、凸部24の頂面25は、セラミック配線基板10nの表面2とほぼ面一となり、ベース部21の底面23は、裏面3とほぼ面一となった。
かかる状態で、ロウ付けパッド14のAgロウ14aをリフロー(加熱)すると、かかるAuロウ14aを介して、放熱部材20とセラミック配線基板10nとを、強固にロウ付けすることができた。かかる放熱部材20のロウ付け工程では、事前に従来のようなプリフォームされたシート状のAgロウ材を、金属層Mごとの上にセッティングする工程が不要となり、且つAgメッキによって前記ロウ材14aの厚みが均一であるため、ロウ付け用パッド14とベース部21の上面22との間全体で、安定したロウ付けが行えた。
貫通孔11,12に放熱部材20の凸部24とベース部21とを挿入すると、図8で例示するように、凸部24の頂面25は、セラミック配線基板10nの表面2とほぼ面一となり、ベース部21の底面23は、裏面3とほぼ面一となった。
かかる状態で、ロウ付けパッド14のAgロウ14aをリフロー(加熱)すると、かかるAuロウ14aを介して、放熱部材20とセラミック配線基板10nとを、強固にロウ付けすることができた。かかる放熱部材20のロウ付け工程では、事前に従来のようなプリフォームされたシート状のAgロウ材を、金属層Mごとの上にセッティングする工程が不要となり、且つAgメッキによって前記ロウ材14aの厚みが均一であるため、ロウ付け用パッド14とベース部21の上面22との間全体で、安定したロウ付けが行えた。
更に、図8で例示するように、ロウ付けされた放熱部材20の凸部24の頂面25上に、エポキシ系などの樹脂26またはロウ材を介して、ICチップ(電子部品)28を所要の姿勢で搭載できると共に、かかるICチップ28と表面2のパッド15との間を、ボンデイングワイヤwを介して接続した。
尚、以上の放熱部材20のロウ付け、ICチップ28の搭載、およびワイヤボンデイングの各工程は、前記セラミック基板1を切断予定面cに沿ってダイシング加工により切断・分割して得られる個々のセラミック配線基板10nごとに対して、行うようにしても良い。
以上のようなセラミック配線基板10nによれば、前記ロウ付け用パッド14をリフロー(加熱)して、その上方に放熱部材20を強固に接合でき、基板本体の表面2および裏面3に設けたパッド15,16を介して内部の配線18,19および外部との導通を取ることができる。このため、放熱部材10の上にICチップ28を搭載し、その放熱を促進できると共に、かかるICチップ28とパッド15,16を介して配線18,19や外部との導通を容易に取ることができる。
尚、以上の放熱部材20のロウ付け、ICチップ28の搭載、およびワイヤボンデイングの各工程は、前記セラミック基板1を切断予定面cに沿ってダイシング加工により切断・分割して得られる個々のセラミック配線基板10nごとに対して、行うようにしても良い。
以上のようなセラミック配線基板10nによれば、前記ロウ付け用パッド14をリフロー(加熱)して、その上方に放熱部材20を強固に接合でき、基板本体の表面2および裏面3に設けたパッド15,16を介して内部の配線18,19および外部との導通を取ることができる。このため、放熱部材10の上にICチップ28を搭載し、その放熱を促進できると共に、かかるICチップ28とパッド15,16を介して配線18,19や外部との導通を容易に取ることができる。
また、多数個取りセラミック基板1によれば、複数のセラミック配線基板10nごとに形成されたロウ付け用パッド14と、第1外部電極5とが第1メッキ配線7,17を介して接続され、表・裏面2,3の各パッド15,16と第2外部電極6とが第2メッキ配線8,18,19を介して接続されている。このため、ロウ付け用パッド14を形成する金属層Mの表面に対し、Niメッキ層を介して、ロウ材と同じ金属のAgからなるロウ付け用メッキ層14aを1〜100μmの厚みで精度良く形成できる。
一方、パッド15,16を形成する金属層Mの表面に対し、NiおよびAuメッキ層15a,16aを所要の厚みにして、複数のセラミック配線基板10nごとに形成できる。従って、上記ロウ付け用パッド14のAgメッキ層14aをリフローすることで、放熱部材20を強固にロウ付けでき、且つ外部との導通が取れるパッド15,16を有するセラミック配線基板10nを多数個取りすることが可能となる。
一方、パッド15,16を形成する金属層Mの表面に対し、NiおよびAuメッキ層15a,16aを所要の厚みにして、複数のセラミック配線基板10nごとに形成できる。従って、上記ロウ付け用パッド14のAgメッキ層14aをリフローすることで、放熱部材20を強固にロウ付けでき、且つ外部との導通が取れるパッド15,16を有するセラミック配線基板10nを多数個取りすることが可能となる。
図9は、異なる形態の多数個取りセラミック基板(以下、単にセラミック基板と称する)30を示す平面図、図10は、図9中のC−C線の矢視に沿った断面図である。
セラミック基板30は、前記同様のセラミックからなり、図9,図10に示すように、複数のセラミック配線基板40n(n=a〜i)を縦横に隣接して有する基板領域aと、かかる基板領域aの外側に位置する矩形枠形状の耳部mと、を備えている。セラミック配線基板40n同士の間、および基板領域aと耳部mとの間は、図9,図10中の破線で示す切断予定面cによって区画されている。尚、セラミック基板30、セラミック配線基板40n、および耳部mは、それぞれ表面と裏面とを有するが、以下では、同じ符号の表面32と裏面33とを用いる。
セラミック基板30は、前記同様のセラミックからなり、図9,図10に示すように、複数のセラミック配線基板40n(n=a〜i)を縦横に隣接して有する基板領域aと、かかる基板領域aの外側に位置する矩形枠形状の耳部mと、を備えている。セラミック配線基板40n同士の間、および基板領域aと耳部mとの間は、図9,図10中の破線で示す切断予定面cによって区画されている。尚、セラミック基板30、セラミック配線基板40n、および耳部mは、それぞれ表面と裏面とを有するが、以下では、同じ符号の表面32と裏面33とを用いる。
図9,図10において左辺の耳部mの外側面には、平面視がほぼ半円形の凹部34が形成され、その内壁に沿ってWなどからなり且つ断面ほぼ半円形の第1外部電極35が形成され、右辺の耳部mの外側面に形成された凹部34の内壁には、上記同様の第2外部電極36が形成されている。
セラミック配線基板40nは、図9,図10に示すように、平面視がほぼ正方形の表面32および裏面33を有するほぼ板形状の基板本体を備え、表面32と裏面33との間には、表面32に開口するほぼ円錐形の側面42および底面43からなるキャビティ(C)と、底面43の中心部に位置する小径の貫通孔41と、かかる貫通孔41と同心で連通する大径の貫通孔44が貫通している。かかる断面が円形で大・小径の貫通孔44,41の間には、裏面33側に露出する円環状の段部45が位置している。
セラミック配線基板40nは、図9,図10に示すように、平面視がほぼ正方形の表面32および裏面33を有するほぼ板形状の基板本体を備え、表面32と裏面33との間には、表面32に開口するほぼ円錐形の側面42および底面43からなるキャビティ(C)と、底面43の中心部に位置する小径の貫通孔41と、かかる貫通孔41と同心で連通する大径の貫通孔44が貫通している。かかる断面が円形で大・小径の貫通孔44,41の間には、裏面33側に露出する円環状の段部45が位置している。
前記段部45の表面には、図示しないWなどからなる金属層(M)、Niメッキ層、およびロウ付け用のAgメッキ層からなるリング形状のロウ付け用パッド46が形成されている。かかるロウ付け用パッド46における最表層のAgメッキ層の厚みは、1〜100μmである。また、前記キャビティ(C)の側面42には、上記金属層(M)、Niメッキ層、およびロウ付け用のAgメッキ層からなる光反射層47が形成されている。かかる光反射層47と上記ロウ付け用パッド46とは、図10に示すように、ビア導体vを介して導通されている。
また、図9,図10に示すように、隣接するセラミック配線基板40g,40h,40i間におけるロウ付け用パッド46,46の間は、切断予定面cを横切り且つWなどからなるタイバー50で接続され、かかるタイバー50は、耳部mの第1外部電極35と、Wなどからなる接続配線37を介して接続されている。かかる接続配線37およびタイバー50は、第1メッキ配線を構成している。
また、図9,図10に示すように、隣接するセラミック配線基板40g,40h,40i間におけるロウ付け用パッド46,46の間は、切断予定面cを横切り且つWなどからなるタイバー50で接続され、かかるタイバー50は、耳部mの第1外部電極35と、Wなどからなる接続配線37を介して接続されている。かかる接続配線37およびタイバー50は、第1メッキ配線を構成している。
更に、セラミック配線基板40nごとのキャビティ(C)の底面43における貫通孔41の周囲には、前記同様の金属層(M)、Niメッキ層、およびAuメッキ層とからなる一対のパッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)48が形成されている。更に、セラミック配線基板40nの裏面33における貫通孔44の周囲には、上記同様のパッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)49が一対形成されている。上記パッド48,49は、図10に示すように、上下の各ビア導体vと、これらの間に形成された配線52とを介して接続されている。上記ビア導体vおよび配線52もWなどからなる。かかる配線52は、切断予定面cを横切り、隣接するセラミック配線基板40n,40n間に連続して形成され、且つ耳部mの第2外部電極36と、Wなどからなる接続配線38を介して接続されている。
図9に示すように、各配線52と直交し且つ切断予定面cを横切って、前記パッド48,49ごとの直下または直上を、Wなどからなる配線54が配線52と同じセラミック層の間に形成されている。尚、上記接続配線38および配線52,54は、第2メッキ配線を構成している。
更に、図10に示すように、各セラミック配線基板40nにおいて、上記パッド48,49は、ビア導体vと配線52,54とを介して互いに導通しているが、ロウ付け用パッド46および光反射層47は、上記パッド48,49とは、電気的に接続されていない。
更に、図10に示すように、各セラミック配線基板40nにおいて、上記パッド48,49は、ビア導体vと配線52,54とを介して互いに導通しているが、ロウ付け用パッド46および光反射層47は、上記パッド48,49とは、電気的に接続されていない。
以上のようなセラミック基板30およびセラミック配線基板40nは、以下のようにして製造した。
予め、アルミナを主成分とする4枚のグリーンシートを製作した。
各グリーンシートの対向する外側辺の同じ位置に、断面ほぼ半円形の凹部を複数形成し、かかる凹部の内壁に沿ってW粉末を含む導電性ペーストを印刷して、第1・第2外部電極35,36を形成した。
次に、1枚のグリーンシートの基板領域a内における所定の位置に、パンチの周面とダイの受入れ孔との間に所要のクリアランスを有する打ち抜き加工を施して、ほぼ円錐形を呈する複数の貫通孔(側面)42を形成した。一方、残り3枚のグリーンシートの基板領域a内における所定の位置に、大径および小径の2種類の貫通孔41,44の何れかを打ち抜き加工で形成した。
更に、上記3枚のグリーンシートの上記基板領域a内における所定の位置に、複数のビアホールを孔明け加工して形成し、かかるビアホール中に、W粉末を含む導電性ペーストを充填し、複数のビア導体vを形成した。
予め、アルミナを主成分とする4枚のグリーンシートを製作した。
各グリーンシートの対向する外側辺の同じ位置に、断面ほぼ半円形の凹部を複数形成し、かかる凹部の内壁に沿ってW粉末を含む導電性ペーストを印刷して、第1・第2外部電極35,36を形成した。
次に、1枚のグリーンシートの基板領域a内における所定の位置に、パンチの周面とダイの受入れ孔との間に所要のクリアランスを有する打ち抜き加工を施して、ほぼ円錐形を呈する複数の貫通孔(側面)42を形成した。一方、残り3枚のグリーンシートの基板領域a内における所定の位置に、大径および小径の2種類の貫通孔41,44の何れかを打ち抜き加工で形成した。
更に、上記3枚のグリーンシートの上記基板領域a内における所定の位置に、複数のビアホールを孔明け加工して形成し、かかるビアホール中に、W粉末を含む導電性ペーストを充填し、複数のビア導体vを形成した。
次いで、前記1枚のグリーンシートのほぼ円錐形の貫通孔42ごとの内面に、前記同様の導電性ペーストをスクリーン印刷などにより、メタライズを形成した。
一方、残り3枚のグリーンシートの表面および裏面に、上記同様にして所要パターンを呈する複数のメタライズを形成した。かかる複数のメタライズのうち、小径の貫通孔41の周囲に円環形状に形成されたメタライズは、タイバー50および接続配線37を介して、前記第1外部電極35と接続された。また、上記以外のメタライズは、複数のビア導体vの何れかと接続し、且つそのうちの1つは、接続配線38を介して第2外部電極36にも接続されていた。
次に、4枚のグリーンシートを、それらの第1・第2外部電極35,36および基板領域aが重複し、且つほぼ円錐形および大・小径の貫通孔42,41,44が同心で連通するように積層して、グリーンシート積層体を形成した後、かかる積層体を所定の温度帯に加熱して焼成した。
一方、残り3枚のグリーンシートの表面および裏面に、上記同様にして所要パターンを呈する複数のメタライズを形成した。かかる複数のメタライズのうち、小径の貫通孔41の周囲に円環形状に形成されたメタライズは、タイバー50および接続配線37を介して、前記第1外部電極35と接続された。また、上記以外のメタライズは、複数のビア導体vの何れかと接続し、且つそのうちの1つは、接続配線38を介して第2外部電極36にも接続されていた。
次に、4枚のグリーンシートを、それらの第1・第2外部電極35,36および基板領域aが重複し、且つほぼ円錐形および大・小径の貫通孔42,41,44が同心で連通するように積層して、グリーンシート積層体を形成した後、かかる積層体を所定の温度帯に加熱して焼成した。
更に、図11の部分断面図に示すように、焼成後のセラミック基板30において、第1外部電極35に電極棒(図示せず)を接触させ、接続配線37およびタイバー50を介して、裏面33に開口する貫通孔44内の段部45に位置する焼成後の金属層Mに対し、電解メッキによってNiおよびAgメッキを施した。
その結果、図12の部分断面図で示すように、段部45に形成された金属層Mの上に図示しないNiメッキ層を介して、Agメッキ層46aが被覆され、ロウ付け用パッド46が形成された。Agメッキ層46aは、Agロウと同じ組成で且つ厚みが1〜100μmである。同時に、キャビティCの側面42に位置する焼成後の金属層Mの上にも、上記同様にNiメッキ層を介してAgメッキ層47aが被覆され、光反射層47が形成された。
その結果、図12の部分断面図で示すように、段部45に形成された金属層Mの上に図示しないNiメッキ層を介して、Agメッキ層46aが被覆され、ロウ付け用パッド46が形成された。Agメッキ層46aは、Agロウと同じ組成で且つ厚みが1〜100μmである。同時に、キャビティCの側面42に位置する焼成後の金属層Mの上にも、上記同様にNiメッキ層を介してAgメッキ層47aが被覆され、光反射層47が形成された。
そして、前記第2外部電極36に電極棒を接触させ、接続配線38および配線52,54を介して、セラミック基板30(セラミック配線基板40n)の裏面33および各キャビティCの底面43に位置する焼成後の金属層Mに対し、電解メッキによりNiおよびAuメッキを施した。その結果、図12の部分断面図で示すように、各キャビティCの底面43および裏面33の金属層Mの上に、それぞれ図示しないNiメッキ層を介して、Auメッキ層48a,49aが被覆され、パッド(ロウ付け用パッド以外のパッド)48,49が形成された。
これにより、前記図9,図10に示した複数のセラミック配線基板40nおよび耳部m備えたセラミック基板30が得られた。
これにより、前記図9,図10に示した複数のセラミック配線基板40nおよび耳部m備えたセラミック基板30が得られた。
以上のようなセラミック基板30の製造方法によれば、前記基板領域a内における複数のセラミック基板40a〜40iごとのロウ付け用パッド46と光反射層47とを、第1外部電極35、接続配線37、およびタイバー50を介して確実に形成できると共に、キャビティCの底面43のパッド48および裏面33のパッド49を、第2外部電極36、接続配線38、および配線52,54を介して確実に形成できる。
また、セラミック配線基板40nの製造方法によれば、裏面33に開口する貫通孔44内の段部45にロウ付け用パッド46を形成し、ビア導体vや配線52,54を介して互いに導通するキャビティC底面43のパッド48および裏面33のパッド49を、確実に形成することができる。更に、上記ロウ付け用パッド46と同時に、光反射層47を形成することもできる。
また、セラミック配線基板40nの製造方法によれば、裏面33に開口する貫通孔44内の段部45にロウ付け用パッド46を形成し、ビア導体vや配線52,54を介して互いに導通するキャビティC底面43のパッド48および裏面33のパッド49を、確実に形成することができる。更に、上記ロウ付け用パッド46と同時に、光反射層47を形成することもできる。
図13で例示するように、セラミック基板30を切断予定線cで切断・分割したセラミック配線基板40nの貫通孔41,44に挿入する放熱部材60を用意した。かかる放熱部材60は、例えばCu−W合金からなり、平面視が円形で板状のベース部61と、その上面62の中央付近から立設する円柱形の凸部64とを一体に有する。凸部64の外径は、上側の貫通孔41の内径よりも若干小さく、ベース部61の外径は、下側の貫通孔44の内径よりも若干小さく設定される。
図13に示すように、貫通孔41,44に放熱部材60の凸部64とベース部61とを挿入すると、凸部64の頂面65は、セラミック配線基板10nのキャビティCの底面43とほぼ面一となり、ベース部61の底面63は、裏面33とほぼ面一となった。
図13に示すように、貫通孔41,44に放熱部材60の凸部64とベース部61とを挿入すると、凸部64の頂面65は、セラミック配線基板10nのキャビティCの底面43とほぼ面一となり、ベース部61の底面63は、裏面33とほぼ面一となった。
かかる状態で、ロウ付けパッド46のAgロウ46aをリフロー(加熱)すると、かかるAuロウ46aを介して、放熱部材60とセラミック配線基板40nとを、強固にロウ付けすることができた。かかる放熱部材60のロウ付け工程では、事前に従来のようなプリフォームされたシート状のAgロウ材を、金属層Mごとの上にセッティングする工程が不要となり、且つAgメッキによってAgロウ46aの厚みが均一であるため、ロウ付け用パッド46とベース部61の上面62との間全体で、安定したロウ付けが行えた。尚、上記ロウ付け時には、マスキングなどを用いてキャビティC側の光反射層47の昇温を防止ないし抑制した。
更に、図13で例示するように、ロウ付けされた放熱部材60の凸部64の頂面65上に、エポキシ系などの樹脂58またはロウ材を介して、発光素子(発光ダイオード:LED)56を所要の姿勢で搭載できると共に、かかる発光素子56と各パッド48との間を、ボンデイングワイヤwを介して接続した。尚、上記発光素子56から発光された光は、前記光反射層47のAgメッキ層47aに反射して、キャビティCから外部に放射される。
更に、図13で例示するように、ロウ付けされた放熱部材60の凸部64の頂面65上に、エポキシ系などの樹脂58またはロウ材を介して、発光素子(発光ダイオード:LED)56を所要の姿勢で搭載できると共に、かかる発光素子56と各パッド48との間を、ボンデイングワイヤwを介して接続した。尚、上記発光素子56から発光された光は、前記光反射層47のAgメッキ層47aに反射して、キャビティCから外部に放射される。
尚、以上の放熱部材60のロウ付け、発光素子56の搭載、およびワイヤボンデイングの各工程は、前記セラミック基板30におけるセラミック配線基板40nごとに対して、行うようにしても良い。
以上のようなセラミック配線基板40nによれば、前記ロウ付け用パッド46をリフロー(加熱)して、その上方に放熱部材60を強固に接合でき、キャビティCの底面43および裏面33に設けたパッド48,49を介して内部の配線52,54と外部との導通を取ることができる。このため、放熱部材60の上に搭載した発光素子56の放熱を促進できる。更に、かかる発光素子56が放射した光を光反射層47に反射させて外部に放射できると共に、パッド48を介して発光素子56と配線52,54や外部との導通を容易に取ることができる。
以上のようなセラミック配線基板40nによれば、前記ロウ付け用パッド46をリフロー(加熱)して、その上方に放熱部材60を強固に接合でき、キャビティCの底面43および裏面33に設けたパッド48,49を介して内部の配線52,54と外部との導通を取ることができる。このため、放熱部材60の上に搭載した発光素子56の放熱を促進できる。更に、かかる発光素子56が放射した光を光反射層47に反射させて外部に放射できると共に、パッド48を介して発光素子56と配線52,54や外部との導通を容易に取ることができる。
また、多数個取りセラミック基板30によれば、複数のセラミック配線基板40nごとに形成されたロウ付け用パッド46と、第1外部電極35とが第1メッキ配線37,50を介して接続され、キャビティCの底面43および裏面33のパッド48,49と第2外部電極36とが第2メッキ配線38,52,54を介して接続されている。このため、ロウ付け用パッド46を形成する金属層Mの表面に対し、Niメッキ層を介して、ロウ材と同じ金属Agからなるロウ付け用メッキ層46aを1〜100μmの厚みで精度良く形成できる。同時に、キャビティCの側面42に形成した金属層Mにも、Agメッキ層47aを被覆できる。
一方、パッド48,49を形成する金属層Mの表面に対し、NiおよびAuメッキ層48a,48aを所要の厚みにして、複数のセラミック配線基板40nごとに形成できる。従って、上記ロウ付け用パッド46のAgメッキ層14aをリフローすることで、放熱部材60を強固にロウ付けでき、且つ外部との導通が取れるパッド48,49を有するセラミック配線基板40nを多数個取りすることが可能となる。
尚、円柱形の前記貫通孔41,44は、それぞれ四角柱形とし、前記放熱部材20を挿入し、ロウ付け用パッド46によつてロウ付けするようにしても良い。
一方、パッド48,49を形成する金属層Mの表面に対し、NiおよびAuメッキ層48a,48aを所要の厚みにして、複数のセラミック配線基板40nごとに形成できる。従って、上記ロウ付け用パッド46のAgメッキ層14aをリフローすることで、放熱部材60を強固にロウ付けでき、且つ外部との導通が取れるパッド48,49を有するセラミック配線基板40nを多数個取りすることが可能となる。
尚、円柱形の前記貫通孔41,44は、それぞれ四角柱形とし、前記放熱部材20を挿入し、ロウ付け用パッド46によつてロウ付けするようにしても良い。
本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
前記セラミックは、アルミナに限らず、窒化アルミニウムやムライト、あるいはガラス−アルミナなどのガラス−セラミックとしても良い。
また、前記ロウ付け用パッドは、放熱部材とのロウ付け用に限らず、セラミック配線基板の表面や、キャビティの底面に搭載する電子部品または発光素子のロウ付け用としても良い。
更に、前記ロウ付け用パッド以外のパッドは、セラミック配線基板の表面および裏面や、キャビティの底面に対し、内部の配線やビア導体を介して互いに導通する3個あるいは5個以上としても良い。あるいは、ロウ付け用パッド以外のパッドは、2個以上が互いに導通する組を複数組有し、これらの組が互いに電気的に導通していない形態であっても良い。
前記セラミックは、アルミナに限らず、窒化アルミニウムやムライト、あるいはガラス−アルミナなどのガラス−セラミックとしても良い。
また、前記ロウ付け用パッドは、放熱部材とのロウ付け用に限らず、セラミック配線基板の表面や、キャビティの底面に搭載する電子部品または発光素子のロウ付け用としても良い。
更に、前記ロウ付け用パッド以外のパッドは、セラミック配線基板の表面および裏面や、キャビティの底面に対し、内部の配線やビア導体を介して互いに導通する3個あるいは5個以上としても良い。あるいは、ロウ付け用パッド以外のパッドは、2個以上が互いに導通する組を複数組有し、これらの組が互いに電気的に導通していない形態であっても良い。
1,30……………………………多数個取りセラミック基板
2,32……………………………表面
3,33……………………………裏面
5,35……………………………第1外部電極
6,36……………………………第2外部電極
7,17,37,50……………第1メッキ配線
8,18,19,38,52,54…第2メッキ配線
10n,40n(a〜i)………セラミック配線基板
14,46…………………………ロウ付け用パッド
15,16,48,49…………ロウ付け用パッド以外のパッド
a……………………………………基板領域
m……………………………………耳部
M……………………………………金属層
2,32……………………………表面
3,33……………………………裏面
5,35……………………………第1外部電極
6,36……………………………第2外部電極
7,17,37,50……………第1メッキ配線
8,18,19,38,52,54…第2メッキ配線
10n,40n(a〜i)………セラミック配線基板
14,46…………………………ロウ付け用パッド
15,16,48,49…………ロウ付け用パッド以外のパッド
a……………………………………基板領域
m……………………………………耳部
M……………………………………金属層
Claims (3)
- ロウ付け用パッドおよびそれ以外のパッドを備える複数のセラミック配線基板と、
上記複数のセラミック配線基板が縦横に隣接する基板領域の外側に位置する耳部に形成される第1外部電極および第2外部電極と、
上記ロウ付け用パッドと第1外部電極とを接続する第1メッキ配線と、
上記ロウ付け用パッド以外のパッドと第2外部電極とを接続する第2メッキ配線と、を含む、
ことを特徴とする多数個取りセラミック基板。 - セラミックからなり、少なくとも表面および裏面を有する基板本体と、
上記基板本体の表面および裏面の少なくとも一方に形成されたロウ付け用パッドと、
上記基板本体の表面および裏面に個別に形成され、上記ロウ付け用パッド以外の複数のパッドと、を備え、
上記ロウ付け用パッド以外の複数のパッドは互いに導通していると共に、
上記ロウ付け用パッドは、上記複数のパッドとは電気的に導通していない、
ことを特徴とするセラミック配線基板。 - セラミックからなるグリーンシートの表面および裏面の少なくとも一方に複数のメタライズを形成するメタライズ形成工程と、
上記メタライズが形成されたグリーンシートを焼成する焼成工程と、
焼成後における複数のメタライズのうち、少なくとも1つの表面に接合用の金属層をメッキするメッキ工程と、
を含む、
ことを特徴とするセラミック配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006316440A JP2008130946A (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 多数個取りセラミック基板およびセラミック配線基板ならびにその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN110622300A (zh) * | 2017-05-26 | 2019-12-27 | 京瓷株式会社 | 电子部件搭载用基板、电子装置以及电子模块 |
-
2006
- 2006-11-24 JP JP2006316440A patent/JP2008130946A/ja not_active Withdrawn
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