JP2006253315A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の表層配線6が形成されたインターポーザ基板2の表面には、複数の金属バンプ3が設けられた半導体チップ1がフェイスダウンで保持されている。各金属バンプ3は所定の表層配線6とそれぞれ導電接着材4により電気的に接続されている。表層配線6は、金属バンプ3が接続された部分を除いてコーティング層7に覆われており、半導体チップ1の下側においてコーティング層7の厚さは他の領域よりも薄くなっている。インターポーザ基板2と半導体チップ1との隙間には、アンダーフィル材5が注入され、インターポーザ基板2と半導体チップ1との隙間は封止されている。
【選択図】図1
Description
本発明の一実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について図面を用いて説明する。図1は本実施形態の半導体装置の断面構成を示している。図1に示すようにインターポーザ基板2の裏面には、複数の裏面端子11がエリア状に配置されており、裏面端子11を覆う保護膜12が設けられている。
以下に、本発明の一実施形態の第1変形例に係る半導体装置について図面を用いて説明する。図3は第1変形例の半導体装置の断面構成を示している。図3において図1と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
以下に、本発明の一実施形態の第2変形例に係る半導体装置について図面を用いて説明する。図4は第2変形例の半導体装置の断面構成を示している。図4において図1と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
2 インターポーザ基板
3 金属バンプ
4 導電性接着材
5 アンダーフィル材
6 表層配線
7 表層コーティング層
8 外部接続端子
11 裏面端子
12 保護膜
22 半導体チップ保持領域
Claims (8)
- 一の面の上に形成された複数の配線及び前記一の面の上に前記複数の配線を覆うように形成され且つ前記複数の配線を保護するコーティング層を有するインターポーザ基板と、
前記インターポーザ基板の前記一の面の上に、素子形成面を対向させて保持され且つ前記複数の配線と電気的に接続された半導体チップと、
前記インターポーザ基板と前記半導体チップとの隙間を封止するアンダーフィル材とを備え、
前記コーティング層は、前記一の面の上における前記半導体チップが保持される領域である半導体チップ保持領域における厚さが、前記半導体チップ保持領域を除く領域における厚さよりも薄いことを特徴とする半導体装置。 - 前記コーティング層は、前記半導体チップ保持領域における厚さが、前記半導体チップ保持領域を除く領域における厚さの4分の1以上且つ2分の1以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記コーティング層は、前記半導体チップ保持領域における厚さが、5μm以上且つ10μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップ保持領域は平面四角形状であり、
前記コーティング層は、前記半導体チップ保持領域の周辺部のうち前記半導体チップ保持領域の一辺と面した領域における厚さが、前記半導体チップ保持領域における厚さと同じであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記コーティング層は、前記半導体チップ保持領域の周辺部における厚さが、前記半導体チップ保持領域における厚さと同じであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 複数の外部接続端子を有する半導体素子が形成された半導体チップを準備する工程と、
前記各外部接続端子に金属バンプをそれぞれ取り付ける工程と、
一の面の上に前記半導体チップを保持する半導体チップ保持領域を有し、前記一の面の上に複数の配線及び該複数の配線を覆うと共に前記半導体チップ保持領域における厚さが前記半導体チップ保持領域を除く領域における厚さよりも薄いコーティング層が形成されたインターポーザ基板を準備する工程と、
前記各金属バンプと前記各配線とがそれぞれ電気的に接続されるように前記半導体チップを前記半導体チップ保持領域に保持する工程と、
前記半導体チップと前記インターポーザ基板との隙間に未硬化のアンダーフィル材を注入した後、注入したアンダーフィル材を硬化させることにより、前記半導体チップと前記インターポーザ基板との隙間を封止する工程とを備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体チップ保持領域は平面四角形状であり、
前記コーティング層は、前記半導体チップ保持領域の周辺部のうち前記半導体チップ保持領域の一辺に面した領域における厚さが、前記半導体チップ保持領域における厚さと同じであることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記コーティング層は、前記半導体チップ保持領域の周辺部における厚さが、前記半導体チップ保持領域における厚さと同じであることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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