JP2006245275A - 磁気検出素子 - Google Patents
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- G11B5/3929—Disposition of magnetic thin films not used for directly coupling magnetic flux from the track to the MR film or for shielding
Abstract
【解決手段】固定磁性層14の磁性層14cは下からCoFe層14c1、NiaFeb合金層14c2(ただし、a、bは原子%であり0<a≦25、a+b=100である)及びCoFe層14c3が積層された3層構造を有している。NiaFeb合金層14c2中のNiの原子%が0原子%より大きく25原子%以下と従来よりも低くなっている。これにより、従来よりも磁気検出素子の抵抗変化量と素子面積の積ΔRAを大きくできる。
【選択図】図1
Description
前記固定磁性層はNiaFeb合金層(a、bは原子%であり0<a≦25、a+b=100である)を有していることを特徴とするものである。
固定磁性層14の磁性層14cは下からCoFe層14c1、NiaFeb合金層14c2(ただし、a、bは原子%であり0<a≦25、a+b=100である)及びCoFe層14c3が積層された3層構造を有している。
図2に示される磁気検出素子の固定磁性層31は、磁性層31a、非磁性中間層31b、磁性層31cからなる。磁性層31aはCoFeなどの強磁性材料によって形成されている。非磁性中間層31bはRu、Rh、Ir、Cr、Re、Cuなどの非磁性導電材料で形成される。磁性層31cはCoFe合金層31c1、NiaFeb合金層31c2、CoFe合金層31c3からなる3層構造である。NiaFeb合金層31c2の組成は本発明の特徴をなすものであるので、後に詳述する。
固定磁性層23の磁性層23cは下からCoFe層23c1、NiaFeb合金層23c2(ただし、a、bは原子%であり0<a≦25、a+b=100である)及びCoFe層23c3が積層された3層構造を有している。
12 シード層
13 反強磁性層
14、31、32 固定磁性層
15 非磁性材料層
16 フリー磁性層
17 保護層
18 ハードバイアス層
19 絶縁層
20 電極層
Claims (11)
- 磁化方向が一方向に固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成されたフリー磁性層が設けられた多層膜を有し、前記多層膜の各層の膜面と垂直方向に電流が流れる磁気検出素子において、
前記固定磁性層はNiaFeb合金層(a、bは原子%であり0<a≦25、a+b=100である)を有していることを特徴とする磁気検出素子。 - 前記固定磁性層はNiaFeb合金層(a、bは原子%であり4≦a≦23、a+b=100である)を有している請求項1記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層はNiaFeb合金層(a、bは原子%であり15≦a≦20、a+b=100である)を有している請求項2記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層が前記NiaFeb合金層の上下にCoFe層が積層された3層構造を有している請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 抵抗変化量と素子面積の積ΔRAが5mΩμm2以上である請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記フリー磁性層がCo2YZ合金層(YはMn、Fe、Crのうち1種または2種以上の元素であり、前記ZはAl、Ga、Si、Ge、Sn、In、Sb、Pb、Znのうち1種または2種以上の元素)を有している請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層が前記フリー磁性層の上側に設けられている請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層が前記フリー磁性層の下側に設けられている請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記フリー磁性層の下に前記非磁性材料層及び前記固定磁性層が設けられ、前記フリー磁性層の上にも非磁性材料層及び固定磁性層が設けられている請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層の一軸異方性によってこの固定磁性層の磁化方向が一方向に固定されている請求項7ないし9のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層に反強磁性層が重ねられている請求項7ないし9のいずれかに記載の磁気検出素子。
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