SE523321C2 - Sätt och anordning för avkänning och indikering av akustisk emission - Google Patents
Sätt och anordning för avkänning och indikering av akustisk emissionInfo
- Publication number
- SE523321C2 SE523321C2 SE0201927A SE0201927A SE523321C2 SE 523321 C2 SE523321 C2 SE 523321C2 SE 0201927 A SE0201927 A SE 0201927A SE 0201927 A SE0201927 A SE 0201927A SE 523321 C2 SE523321 C2 SE 523321C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- coil
- elements
- band
- coils
- atomic
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0885—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by magnetostrictive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/02—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by magnetic means, e.g. reluctance
- G01H11/04—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by magnetic means, e.g. reluctance using magnetostrictive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/16—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
- G01B7/24—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in magnetic properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/12—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
Description
. u - ; nu 523 321 2 mätning med betydligt större känslighet och noggrannhet inom vidare områden än tidigare och dessutom mätning av tidigare svàrdetekterbara storheter möjliggörs.
Ett ytterligare ändamål med uppfinningen är att åstadkomma en sensoranordning som har en så liten egenmassa att den storhet den har till uppgift att detektera ej kan påverkas därav. Ändamàlen ovan uppnås enligt uppfinningen genom att ett anordning bestående av att ett eller flera åtminstone omkring 20 pm tjocka amorfa eller nanokristallina bandelement med hög permeabilitet och relativt hög magnetostriktion appliceras på fritt upphängt vis (se fig 2) vid aktuell detalj, varvid bandelementen för uppnående av en önskvärd materialstruktur är behandlade med magnetisk värmebehandling, vilka bandelement åtminstone partiellt omges av mångvarviga spolar, varav antingen bandelementen eller spolarna eller bådadera försätts i ett magnetiserat grund- eller initialtillstånd, varvid sådana atomära rörelser, vilka uppkommer vid en godtycklig tillstàndsawikelse av ovannämnt slag överföres till bandelementet/-en och därvid antingen ger upphov till en tydligt mät- och detekterbar magnetisk flödesförändring (dB/dt) i respektive spole i proportion till sagda atomära rörelser, eller en likaledes mät- och detekterbar induktansförändring i respektive spole.
Kort beskrivning av ritningfigurer Uppfinningen skall i det följande närmare beskrivas med hänvisning till bifogade ritningsfigurer, där, Fig 1 visar en sensorför akustisk emission fotograferad på ett millimeterpapper, Fig 2 visar en principskiss över en sensor för att detektera akustisk emission, Fig 3 visar en tidssignal från de respektive givarna P1_1 (a. överst), P1_2 (b. mitten) och P1_3 (c. underst), Fig 4 visar frekvensspektra över utsignalerna vid avbrytning av glas för P1_1, P1_2 och P1_3 (a. överst, b. mitten respektive c. underst). 20 30 523 321 Detaljerad beskrivning Tillämpning som glaskrossensor Funktionsprincip Givaren består av ett amorft ferromagnetiskt material som har egenskapen att den kan ges extremt hög permeabilitet, 5000 legeringssammansättningar, har en relativt hög magnetostriktion, 5<7Lsat<4O ppm (där Asa, sålunda är en materialkonstant). Sammantaget så ger detta ett material med en mycket hög magnetc-elastisk koppling och lämpar sig därför utmärkt som sensormaterial.
Genom att använda ett band cza 3*10 mm som klipps ut ur ett ark amorft material med tjockleken 22 um och därefter limmas på ett godtyckligt material, så kan atomära rörelser i materialet detekteras. Det amorfa materialet kan ges olika egenskaper genom att klippa det med olika riktningar i förhållande till valsningsriktningen, här har använts längs och tvärs valsningsriktningen.
Materialparametrarna kan också ändras genom att värmebehandla materialet i magnetfält i temperaturer nära men under kristallisationstemperaturen. l fallet med glaskrossning och allmän akustisk emission så detekteras den magnetiska flödesförändringen genom att en mångvarvig spole lindas runt bandet, se Figur 1 och Figur 2.
Teori För att detektera högfrekventa signaler är det fördelaktigt och enkelt att bara detektera flödesförändringen i spolen och anta att den är proportionell mot storleken av den magnetiska flödesförändringen i det amorfa_bandet. Detta innebär att ett magnetiskt väldefinierat utgångstillstånd måste uppnås eftersom ett omagnetiserat band inte kan ge någon flödesförändring.
För att uppnå ett magnetiserat grundtillstànd så räcker i princip det jordmagnetiska fältet på 30-60 pT (20-40 Alm), däremot så är det opraktiskt att behöva ha koll på riktningen och storleken på det jordmagnetiska fältet när en givare skall monteras och kalibreras.
Det finns två sätt att uppnå ett bra i-nitialtillstànd: 20 523 321 o - o o u: u 4 Mjukmagnetisk kapsling och DC-ström genom pick-up spolen.
Mjukmagnetisk kapsling och Biasmagnetisering med pemlanentmagnet.
Storleken på fältet bör vara så att magnetiseringen blir O.2-0.7 T, vilket innebär att det magnetiserande fältet i bandet skall vara i storleksordningen 2-56 A/m.
Storleken på fältet kan överslagsmässigt räknas fram genom formeln B .UoUU H: där H är magnetiserande fält, B är magnetisk flödestäthet, permeabiliteten för fria rymden p0=4n-10'7 Vs/Am och den relativa permeabiliteten p för, i detta fallet, det amorfa bandet.
Mätsignalen fås genom att detektera flödesförändringen i bandet p.g.a. d_eg atomära rörelsen. För det linjära fallet så bör följande kopplade ekvation beskriva funktionen: AB=d-Aa'+p0-,u-AH Där o betecknar mekanisk spänning och d är den magneto-elastisk kopplingskoefficienten. Prefixet A betecknar förändring från ursprungsvärdet.
Materialparametern d kan approximeras genom att ta maximal magnetostriktion vid konstant mekanisk spänning, Ao=O, dividerat med magnetiserande fält vid magnetisk mättnad, d.v.s. eftersom 20 523 321 5 vilket med kmax=35-10'6 och Hmax=200 A/m ger kopplingsfaktorn d=1.75-10'7 m/A, ett mycket högt värde för all typ av magneto-elastisk koppling.
Den utsignal som kan förväntas är proportionell mot flödesförändringen och den mekaniska spänningen Umflv-A-Éå d: där N är antal varv i pick-up spolen och A är det amorfa bandets tvärsnittsarea.
Genom antagandet att AH=0 så gäller följande ekvationer: ACWA/t-E” AB=d-Ao' där E” är elasticitetsmodulen vid konstant magnetiserande fält. Övergång till frekvensplanet samt utnyttjande av ekvationerna ovan ger: Ûflv-A-w-d-Aí-E” där m är vinkelfrekvensen i rad/sek. Cirkumflexet anger att amplitudvärde avses.
Med antagandet att elasticitetsmodulen är i storleksordningen 100 GPa så bör töjningen l sensorn vid 100000 kHz vara i storleksordningen 0.0025 ppm för fallet P1_2, se Figur 3 och Figur4 mitten.
Mä tresultat initiala försök med sensorer fastlimmade pà en glasruta visar att vibrationer i frekvensområdet 40 kHz -1 MHz kan detekteras.
Följande jämförande test har utförts: 523 321 -' 6 Tabell 1. Beskrivning av givare Sensor Bandets Antal Kommentar Statisk obelastad orientering varv Permeabilitet[mHi P1_1 Tvärs 280 Tjock limfog 158 P1_2 Tvärs 280 60 P1_3 Längs 280 Tjock 32 piastinkapsling Testet har utförts genom att hörnet pà glasskivan har brutits av och utsignalen registrerats med cza 100 ggrförstärkning.
Claims (7)
1. Sätt för avkänning och indikering av bestående tillståndsawikelser via detektering av temporära inre materialsvängningar, sk. akustisk emission, i realtid i detaljer av betydelse för hårdvarukonstruktion, inom befintlig produktionsutrustning, t ex. maskinutrustning, och/eller övervakning av sedan tidigare uppbyggd infrastruktur, k ä n n e t e c k n at av att ett eller flera åtminstone omkring 20um tjocka amorfa eller nanokristallina, magnetiskt värmebehandlade bandelement med hög permeabilitet och relativt hög magnetostriktion appliceras på fritt upphängt vis vid en aktuell detalj, vilka respektive bandelement åtminstone partiellt omges av mångvarviga spolar varav antingen bandelementen eller spolama eller bådadera försätts i ett magnetiserat grund- eller initialtillstånd, varvid sådana atomära rörelser (svängningar), som uppkommer vid en godtycklig sådan tillstàndsawikelse överföres till de respektive bandelementen, vilken avvikelse antingen ger upphov till en tydligt mät och detekterbar magnetisk flödesförändring (dB/dt) i respektive spole i proportion till sagda atomära rörelser, eller en likaledes mät- och detekterbar induktansförändring i respektive spole.
2. Anordning för avkänning och indikering av bestående tillståndsawikelser via detektering av temporära inre materialsvängningar, sk. akustisk emission, i realtid i detaljer av betydelse för hàrdvarukonstruktion, inom befintlig produktions- utrustning, t ex. maskinutrustning, och/eller övervakning av sedan tidigare uppbyggd infrastruktur, k ä n n e t e c k n a d av att den omfattar ett eller flera åtminstone omkring 20um tjocka amorfa eller nanokristallina, magnetiskt värmebehandlade bandelement med hög permeabilitet och relativt hög magnetostriktion, vilket/vilka bandelement är fritt upphängda och omgivna av mångvarviga spolar varav antingen bandelementet eller spolen eller bådadera är försatta i ett magnetiserat grund- eller initialtillstånd, varvid sådana atomära rörelser (svängningar) vilka uppkommer vid en godtycklig sådan tillståndsawikelse, i samband med att de övergår till bandelementet/-en, antingen ger upphov till en tydligt mät och detekterbar magnetisk flödesförändring (dB/dt) i respektive spole i proportion till de atomära 20 a o ø u nu n 523 321 8 rörelserna, eller en likaledes mät- och detekterbar induktansförändring i respektive spole. _
3. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d av att bandelementet/-en med tillhörande spole/-ar är inneslutna i en elastiskt deformerbar epoxipolymer.
4. Anordning enligt krav 2 eller 3, k ä n n e t e c k n a d av att bandelementet/-en och spolen/spolarna är limmade fast vid föremålet vars tillstàndsawikelser skall indikeras.
5. Anordning enligt något av kraven 2 till 4, k ä n n e t e c k n a d av att känsligheten hos densamma är olika beroende på detekteringsriktningens orientering i förhållande till bandelementets/-ens valsningsriktning, som en följd av riktningsberoende egenskaper hos materialet.
6. Anordning enligt något av kraven 2 till 5, kännetecknad av att bandelementen med tillhörande spolar är brygg- och förstärkarkopplade för att öka känslighet respektive detekterbarhet.
7. Anordning enligt något av kraven 2 till 6, kännetecknad av att den realiseras som glaskrossindikator.
Priority Applications (15)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0201927A SE523321C2 (sv) | 2002-06-20 | 2002-06-20 | Sätt och anordning för avkänning och indikering av akustisk emission |
BR0312434-7A BR0312434A (pt) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Método e aparelho para determinar desvios de estado permanente |
KR1020047020796A KR101046539B1 (ko) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | 센서 |
CA2489171A CA2489171C (en) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Method and apparatus for sensing permanent state deviations |
JP2004515286A JP4233523B2 (ja) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | 永久状態偏差を感知する方法及び装置 |
US10/518,126 US7282822B2 (en) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Sensor |
PCT/SE2003/000871 WO2004001353A1 (en) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Sensor |
AU2003238987A AU2003238987B2 (en) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Sensor |
CNB038143925A CN100489471C (zh) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | 传感器 |
MXPA04012921A MXPA04012921A (es) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Sensor. |
EA200401567A EA009475B1 (ru) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Датчик |
EP03733699A EP1514082A1 (en) | 2002-06-20 | 2003-05-28 | Sensor |
NO20045350A NO329969B1 (no) | 2002-06-20 | 2004-12-07 | Metode og apparat for avfoling og angivelse av akustisk emisjon |
ZA200409956A ZA200409956B (en) | 2002-06-20 | 2004-12-08 | Sensor |
IL16577404A IL165774A0 (en) | 2002-06-20 | 2004-12-14 | Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0201927A SE523321C2 (sv) | 2002-06-20 | 2002-06-20 | Sätt och anordning för avkänning och indikering av akustisk emission |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE0201927D0 SE0201927D0 (sv) | 2002-06-20 |
SE0201927L SE0201927L (sv) | 2003-12-21 |
SE523321C2 true SE523321C2 (sv) | 2004-04-13 |
Family
ID=20288285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE0201927A SE523321C2 (sv) | 2002-06-20 | 2002-06-20 | Sätt och anordning för avkänning och indikering av akustisk emission |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7282822B2 (sv) |
EP (1) | EP1514082A1 (sv) |
JP (1) | JP4233523B2 (sv) |
KR (1) | KR101046539B1 (sv) |
CN (1) | CN100489471C (sv) |
BR (1) | BR0312434A (sv) |
CA (1) | CA2489171C (sv) |
EA (1) | EA009475B1 (sv) |
IL (1) | IL165774A0 (sv) |
MX (1) | MXPA04012921A (sv) |
NO (1) | NO329969B1 (sv) |
SE (1) | SE523321C2 (sv) |
WO (1) | WO2004001353A1 (sv) |
ZA (1) | ZA200409956B (sv) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1663519A1 (en) * | 2003-03-03 | 2006-06-07 | Adaptive Materials Technology Oy | A damping and actuating apparatus comprising magnetostrictive material, a vibration dampening device and use of said apparatus |
KR101592950B1 (ko) * | 2009-02-27 | 2016-02-11 | 연세대학교 산학협력단 | 자성체를 함유하는 구조물의 변형률 측정용 도료, 이를 포함하는 테이프 및 이를 이용한 구조물의 변형률 측정방법 |
CN101650217B (zh) * | 2009-09-23 | 2011-02-02 | 上海交通大学 | 非接触式共轴磁弹性传感器 |
CN104316225B (zh) * | 2014-11-07 | 2016-04-20 | 山东科技大学 | 一种磁流变弹性体压力传感器 |
ITUA20162508A1 (it) * | 2016-04-12 | 2017-10-12 | Safecertifiedstructure Ingegneria S R L | Metodo e dispositivo d’indagine per la misurazione di tensioni in una struttura di agglomerato |
CN107063073B (zh) * | 2017-04-12 | 2020-03-20 | 爱德森(厦门)电子有限公司 | 一种物体形变电磁监测装置及方法 |
CN109900793B (zh) * | 2019-04-16 | 2021-04-27 | 中国特种设备检测研究院 | 一种铁磁性金属构件蠕变损伤的磁致声发射检测方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4463610A (en) * | 1982-02-18 | 1984-08-07 | Allied Corporation | Tuned vibration detector |
JPH01189971A (ja) | 1988-01-26 | 1989-07-31 | Toshiba Corp | トルクセンサ |
JP2800347B2 (ja) * | 1990-02-07 | 1998-09-21 | 株式会社豊田自動織機製作所 | 磁歪式トルクセンサ |
DE4008644C1 (sv) | 1990-03-17 | 1991-05-29 | Mercedes-Benz Aktiengesellschaft, 7000 Stuttgart, De | |
JPH0442004A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-12 | Toshiba Corp | ひずみセンサおよびその製造方法 |
DE4309413C2 (de) | 1993-03-19 | 1996-03-07 | Holger Kabelitz | Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche |
JP3541996B2 (ja) | 1995-09-26 | 2004-07-14 | Tdk株式会社 | 磁歪装置 |
GB9818959D0 (en) * | 1998-09-02 | 1998-10-21 | New Transducers Ltd | Panelform loudspeaker |
GB9806994D0 (en) * | 1998-04-02 | 1998-06-03 | New Transducers Ltd | Acoustic device |
DE19653428C1 (de) * | 1996-12-20 | 1998-03-26 | Vacuumschmelze Gmbh | Verfahren zum Herstellen von Bandkernbändern sowie induktives Bauelement mit Bandkern |
US6018296A (en) * | 1997-07-09 | 2000-01-25 | Vacuumschmelze Gmbh | Amorphous magnetostrictive alloy with low cobalt content and method for annealing same |
JPH11194158A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-21 | Alps Electric Co Ltd | 方位センサ |
US6542342B1 (en) * | 1998-11-30 | 2003-04-01 | Nec Corporation | Magnetoresistive effect transducer having longitudinal bias layer directly connected to free layer |
JP3643823B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2005-04-27 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子 |
JP3835447B2 (ja) * | 2002-10-23 | 2006-10-18 | ヤマハ株式会社 | 磁気センサ、同磁気センサの製造方法及び同製造方法に適したマグネットアレイ |
JP2006245275A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
-
2002
- 2002-06-20 SE SE0201927A patent/SE523321C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-05-28 EA EA200401567A patent/EA009475B1/ru not_active IP Right Cessation
- 2003-05-28 BR BR0312434-7A patent/BR0312434A/pt not_active IP Right Cessation
- 2003-05-28 CA CA2489171A patent/CA2489171C/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-28 MX MXPA04012921A patent/MXPA04012921A/es unknown
- 2003-05-28 KR KR1020047020796A patent/KR101046539B1/ko active IP Right Grant
- 2003-05-28 WO PCT/SE2003/000871 patent/WO2004001353A1/en active Application Filing
- 2003-05-28 JP JP2004515286A patent/JP4233523B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-05-28 CN CNB038143925A patent/CN100489471C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-28 EP EP03733699A patent/EP1514082A1/en not_active Ceased
- 2003-05-28 US US10/518,126 patent/US7282822B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-12-07 NO NO20045350A patent/NO329969B1/no not_active IP Right Cessation
- 2004-12-08 ZA ZA200409956A patent/ZA200409956B/en unknown
- 2004-12-14 IL IL16577404A patent/IL165774A0/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NO20045350L (no) | 2005-02-04 |
CN1662795A (zh) | 2005-08-31 |
US7282822B2 (en) | 2007-10-16 |
JP2005530173A (ja) | 2005-10-06 |
NO329969B1 (no) | 2011-01-31 |
BR0312434A (pt) | 2005-04-19 |
CA2489171A1 (en) | 2003-12-31 |
MXPA04012921A (es) | 2005-07-26 |
SE0201927L (sv) | 2003-12-21 |
KR101046539B1 (ko) | 2011-07-06 |
AU2003238987A1 (en) | 2004-01-06 |
KR20050016602A (ko) | 2005-02-21 |
CN100489471C (zh) | 2009-05-20 |
EA200401567A1 (ru) | 2005-08-25 |
ZA200409956B (en) | 2006-07-26 |
US20050242806A1 (en) | 2005-11-03 |
SE0201927D0 (sv) | 2002-06-20 |
WO2004001353A1 (en) | 2003-12-31 |
JP4233523B2 (ja) | 2009-03-04 |
IL165774A0 (en) | 2006-01-15 |
EA009475B1 (ru) | 2008-02-28 |
EP1514082A1 (en) | 2005-03-16 |
CA2489171C (en) | 2011-12-13 |
NO20045350D0 (no) | 2004-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0419040B1 (en) | Speed/position sensor based upon magnetoresistive effect | |
JPH0528347B2 (sv) | ||
JPS5845642B2 (ja) | 運動部材の位置の検出方法及び装置 | |
JP2009069148A (ja) | 磁界を測定する測定装置 | |
Lu et al. | Magnetoelectric composite Metglas/PZT-based current sensor | |
SE523321C2 (sv) | Sätt och anordning för avkänning och indikering av akustisk emission | |
CN101251409A (zh) | 一种InSb-NiSb磁敏电阻型振动传感器 | |
CN109444454A (zh) | 一种用于测量车轮转速的磁电转速传感器 | |
JP2005530173A5 (sv) | ||
JP2002195854A (ja) | 回転検出センサ | |
JP6702432B2 (ja) | 回転数検出装置及び回転数検出方法 | |
CN111443311A (zh) | 一种悬臂梁磁场传感器 | |
CN201476873U (zh) | 振动温度传感器 | |
AU2003238987B2 (en) | Sensor | |
JP2014521109A (ja) | 運動パラメータ検出装置 | |
WO2019018925A1 (en) | MULTILAYER THIN FILM SENSOR FOR NON-DESTRUCTIVE TESTING OF FERROMAGNETIC MATERIALS | |
Pattanayak et al. | Variable Reluctance type Speed Sensor for Acidic and Radiation Environment | |
JP2005257477A (ja) | 磁気センサ | |
JPH0572304A (ja) | 磁気センサ | |
Löffler et al. | Toward a novel remote pressure sensor: Influence of static magnetic fields on the resonance frequency of magnetostrictive microcantilevers | |
RU158892U1 (ru) | Многокристальная микросборка для контроля силы тока | |
JP2005300510A (ja) | 検出センサ | |
CN117589208A (zh) | 一种基于压电截止反射波的磁致伸缩位移传感器 | |
JP2022114102A5 (sv) | ||
JP2000346606A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |