JP2005300510A - 検出センサ - Google Patents
検出センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005300510A JP2005300510A JP2004147003A JP2004147003A JP2005300510A JP 2005300510 A JP2005300510 A JP 2005300510A JP 2004147003 A JP2004147003 A JP 2004147003A JP 2004147003 A JP2004147003 A JP 2004147003A JP 2005300510 A JP2005300510 A JP 2005300510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- detection sensor
- magnetic
- exciting coil
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
【課題】 非磁性導体からなる対象物の位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、振動、表面の凹凸、回転数、速度、等をMI素子と励磁コイルで構成したセンサで高感度に検出する。
【解決手段】 非磁性体対象物の検出センサであって、該非対象物を励磁するコイルにより、該非対象物に生じた渦電流反磁界による磁束変化を検出する磁気インピーダンス素子、及び該インピーダンス素子を該コイルの円周外部に配置することを特徴とする信号処理回路を備えた検出センサ
【選択図】 図1
【解決手段】 非磁性体対象物の検出センサであって、該非対象物を励磁するコイルにより、該非対象物に生じた渦電流反磁界による磁束変化を検出する磁気インピーダンス素子、及び該インピーダンス素子を該コイルの円周外部に配置することを特徴とする信号処理回路を備えた検出センサ
【選択図】 図1
Description
本発明は、非磁性導体からなる対象物の位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度等を、励磁コイルと磁気インピーダンス素子(以下MI素子と略する)を用いて検出するセンサに関する。
非磁性導体を検出対象として、位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度等を検出するセンサとして渦電流を利用したものが知られている。
図16は従来の渦電流を利用した検出センサ3の概念図である。同図の検出センサ3は空心コイルからなるコイル4、発振回路5、増幅器6、信号処理回路7からなっている。同図において符号2は非磁性導体対象物である。この検出センサ3は発振回路5よりコイル4に交流電流を流し交流磁束3を発生させる。該非磁性導体対象物2表面とセンサ間の距離が短くなると、交流磁束3の一部が非磁性導体対象物2の内部に侵入して渦電流を発生し、その渦電流により発生した反磁界が交流磁束3を打ち消し、コイル電圧は低下する。反対に、該非磁性導体対象物2の表面とセンサ間の距離が長くなるとコイル電圧は増加する。そこで、このコイル電圧を信号として増幅器6で増幅し、信号処理回路7で処理する。
しかしながら、このような回転センサは、例えば、コイル4を径10mm以下に小型化すると感度が落ち、渦電流の反磁場の強さが急激に低下するため、測定対象物の表面積が小さい場合や測定対象物と励磁コイルとの距離(リフトオフ)がおよそ1mm以上の場合には測定が困難となる。様々な分野で該センサの小型化の要請がある。例えばアルミニウム製の測定対象物の凹凸上下の落差が1mm以下の測定の場合、径10mm以下の励磁コイルを使用して安全を見てリフトオフを1mm以上での測定が困難となる。
このような問題に対しては、コイルの巻き数を増やし、コイル電圧を上げること試られたが、十分な信号を得るに到っていない。
このような問題に対しては、コイルの巻き数を増やし、コイル電圧を上げること試られたが、十分な信号を得るに到っていない。
これに対して、近年、MI素子が、高感度で、消費電流が少なく、形状が小さいことから注目され、例えば、車載センサとして車速センサ、位置センサ、高さ測定センサ、ポジションセンサ等、また工場内生産ラインとして各種近接センサ、工場内搬送装置などに使用されているか、又はされつつある(特許文献1)。
しかしながら、MI素子は基本的に非磁性物質に応答しないために、非磁性導体の測定個所に磁性物質を取り付けたり、蒸着をして使用する必要がある。一方測定個所の取り付けが不可能な場所や測定環境によっては好ましくはない場合がある。
しかしながら、MI素子は基本的に非磁性物質に応答しないために、非磁性導体の測定個所に磁性物質を取り付けたり、蒸着をして使用する必要がある。一方測定個所の取り付けが不可能な場所や測定環境によっては好ましくはない場合がある。
そこで、位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度等を測定する場合、非磁性導体対象物に磁性物質を取り付けや蒸着することなくそのままの形態で高感度に求められるようにすることが求められている。なお、MI素子を利用した渦電流センサとしては、金属の欠陥検出を目的としたもの(非特許文献1)や、金属体との距離を検出するものが既に提案されているが感度の点で低いかもしくは不明確である。
特開2002−195854号 特開2003−273718号 日本応用磁気学会誌、23、1453−1456(1999)
本発明は、MI素子を利用したセンサにより、非磁性体対象物の位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度をその非磁性対象物に磁性物質を取り付けたり、蒸着したりすることなく、そのままの形態で高感度に求めることができるようにし、更にそのセンサを小型化することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は、非磁性導体対象物の位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度を検出するセンサであって、非磁性体導体対象物を励磁する励磁コイル、励磁コイルにより非磁性体導体対象物による磁束変化を検出する磁気インピーダンス素子、及び磁気インピーダンス素子により検出された信号を処理する演算回路を備えた検出センサを提供する。
本発明の検出センサはMI素子を励磁コイルの外部に配置することで、渦電流による反磁場の影響を効果的にし、高感度で小型化にすることが実現できる。例えば従来の磁気抵抗素子の感度が1ガウス程度であるのに対して、10−6 ガウス程度の高感度のMI素子を反磁場の影響を効果的に取り出すために励磁コイルの外部に配置して更に感度を高め、演算回路を除いたセンサヘッド部を縦横数mmないしそれ以下の寸法に小型化し、検出精度を向上すると同時に、従来測定不可能であったリフトオフでの測定を可能にすることができる。
従って、非磁性体対象物の位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度の計測に使用することができる。
従って、非磁性体対象物の位置、変位、ずれ、キズ、厚さ、面ブレ、軸振動、表面の凹凸、回転数、速度の計測に使用することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明を詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は同一又は同等の構成要素を表している。
図1は、本発明の一実施例の検出センサ1の概念図である。この検出センサ1は、先端ヘッド部11が励磁コイル9及び、MI素子10で構成されており、また、回路部が励磁用発振回路12、MI素子用発振回路13、及び保持回路15と増幅器6からなる演算回路14で構成されている。MI素子10は、その外部磁場感知方向(長手方向)が励磁コイル9の軸に対して垂直に該コイル円周外部に配置されており、非磁性導体対象物2の面に対して水平となるように配置されて使用される。このように励磁コイル9とMI素子10とを配置することにより、リフトオフを大きくした場合の感度の低下を大幅に抑制することができる。本発明において、MI素子10としては例えば、直径20から30μm、長さ約0.5mmから1.0mmの棒状のアモルハスワイヤを使用する。この他、MI素子としては、ガラス等の基板に蒸着により形成した薄膜MI素子を使用してもよく、その場合、薄膜MI素子の大きさは、例えば、縦1〜3mm×横2〜4mm×厚さ0.2〜1.5mm程度となる。
図1は、本発明の一実施例の検出センサ1の概念図である。この検出センサ1は、先端ヘッド部11が励磁コイル9及び、MI素子10で構成されており、また、回路部が励磁用発振回路12、MI素子用発振回路13、及び保持回路15と増幅器6からなる演算回路14で構成されている。MI素子10は、その外部磁場感知方向(長手方向)が励磁コイル9の軸に対して垂直に該コイル円周外部に配置されており、非磁性導体対象物2の面に対して水平となるように配置されて使用される。このように励磁コイル9とMI素子10とを配置することにより、リフトオフを大きくした場合の感度の低下を大幅に抑制することができる。本発明において、MI素子10としては例えば、直径20から30μm、長さ約0.5mmから1.0mmの棒状のアモルハスワイヤを使用する。この他、MI素子としては、ガラス等の基板に蒸着により形成した薄膜MI素子を使用してもよく、その場合、薄膜MI素子の大きさは、例えば、縦1〜3mm×横2〜4mm×厚さ0.2〜1.5mm程度となる。
MI素子10には発振回路等により高周波電圧を印加する。MI素子10の近傍には、必要に応じて、感度調整コイル16を設け、適度に電流を流すことが好ましい。また、MI素子10はその周囲をシリコーン樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、セラミック等図6のMI素子保護物質17で外気や障害物に触れないようで覆う構造が好ましい。一方、励磁コイル9としては、例えば、線径0.01mm〜1mmの銅、ニッケルメッキ銅からなる、外径0.5〜10mmのコイルを使用する。
図6−1のようにMI素子保護物質17上または下に銅線を巻いた励磁コイル9を設置してもよいし、図6−3のようにMI素子10の左または右に該励磁コイル9を設置してもよい。また、図6−2のようにMI素子10と励磁コイル9は互いに一定距離離して配置してよい。励磁コイル9の巻数(ターン数)は、20〜1000が好ましい。通常、この範囲では、ターン数が多い程好ましく、励磁コイル9の長さがMI素子10長を超えても良い。
図6−1のようにMI素子保護物質17上または下に銅線を巻いた励磁コイル9を設置してもよいし、図6−3のようにMI素子10の左または右に該励磁コイル9を設置してもよい。また、図6−2のようにMI素子10と励磁コイル9は互いに一定距離離して配置してよい。励磁コイル9の巻数(ターン数)は、20〜1000が好ましい。通常、この範囲では、ターン数が多い程好ましく、励磁コイル9の長さがMI素子10長を超えても良い。
そこで、励磁コイル9に印加する電圧を例えば5V以下に抑えるためには、10〜200ターンとすることが好ましい。ターン数が少なすぎると、交流信号の振幅は小さく、短いリフトオフでしか使用できなくなる。励磁コイル9には、励磁用発振回路12により交流正弦波電圧を印加する。励磁コイル9への印加電圧を上げることによりMI素子10で検出される信号の変化分を大きくし、ノイズ比を低下させることができる。更に図2の形態のようにMI素子10を励磁コイル9内部に配置した検出センサ2に比べて、図1のようにMI素子10を励磁コイル9円周外部に配置している本考案の検出センサ1は飛躍的に高感度の検出が可能である。また、MI素子10と励磁コイル9の間隔を数mm空けることで感度は高まることがあっても下がることはない。よって、信頼性が高く、高感度でかつ製作コストの安価な検出センサの提供が可能である。ここで、図2の構成の検出センサ2は図1の構成の検出センサ1においてMI素子10を励磁コイル9の内部に配置換えした場合に等しい。
検出センサ1の好ましい使用方法として、図1の態様ではアルミニウム、真鍮、またはこれら合金等の非磁性導体対象物2の表面から0.1mmから50mm離れた位置に、MI素子10を、その外部磁場感知方向が非磁性導体対象物2の近接面と水平になるように配置する。このとき、MI素子10の外部磁場感知方向とMI素子10の外部にある励磁コイル9の軸とは垂直になる。MI素子用発振回路13によってMI素子10に高周波電流を流すと、MI素子10は表皮効果により高感度の磁気検出状態となる。この状態で非磁性導体対象物2表面近辺に渦電流が生じる。非磁性導体対象物2をより接近させると渦電流が増加し、遠ざけると渦電流は減少し、最後に励磁電流の影響成分のみが残る。その増減は、図2のMI素子を該励磁コイル9内に配置した検出センサ2の変化量に比較して格段に大きい。そこで、演算回路14では、この渦電流によるMI素子10のインピーダンスの変化量を信号として取り出す。
より具体的には、まず、図1の保持回路15で保持し、増幅回路6で増幅し、その信号の変化をオシロスコープ等のモニターに出力するか、あるいはAD変換回路に出力する。図2の様態においても、図1の様態と同一の方法で測定を行なう。
なお、励磁コイル9円周内部にMI素子10を配置した構成のうち、特許文献2に記載されている、励磁コイル9軸と平行に外部磁場感知方向があり、測定時、非磁性導体対象物2面に垂直な図15に示す検出センサ4の構成は、励磁コイル9軸に垂直外部磁場感知方向があり非磁性導体対象物2面と平行な図1の検出センサ1より特に高い感度でないので本考案では説明を省略する。
なお、励磁コイル9円周内部にMI素子10を配置した構成のうち、特許文献2に記載されている、励磁コイル9軸と平行に外部磁場感知方向があり、測定時、非磁性導体対象物2面に垂直な図15に示す検出センサ4の構成は、励磁コイル9軸に垂直外部磁場感知方向があり非磁性導体対象物2面と平行な図1の検出センサ1より特に高い感度でないので本考案では説明を省略する。
実施例1
MI素子を励磁コイル9の外部に配置した図1の構成からなる検出センサ1とMI素子10を励磁コイル9の内部に配置した図2の構成からなる検出センサ2の出力比較試験を行なった。また、検出センサ1の感度をも同時に調べた。ここで励磁コイルとして、銅線を外径3mmに40ターン(1.7Ω)、80ターン(3.4Ω)、120ターン(5.1Ω)巻いたものを使用した。
図1及び図2の構成はともに、MI素子10はその外部磁場感知方向が励磁コイル9の軸に垂直となるように取りつけられており、測定時にはMI素子10をその外部磁場感知方向がアルミニウム製非磁性導体対象物2に平行となるように配置した。MI素子10の端子間に10〜70kHzの周波数範囲で電流を加え、またMI素子10と発振回路を含む回路への印加電圧(以下、回路印加電圧という)として5Vを加え試験をしたときの出力波形例をオシロスコープに表示させた。結果を図3に示す。
図3に示すように、MI素子10の検出出力は、励磁コイル9の磁気の影響で正弦波になっている。この正弦波の出力波形には、非磁性導体対象物2に生じた渦電流による反磁場の影響を含まれている。
試験1−1
図1及び図2の構成はともに、MI素子10はその外部磁場感知方向が励磁コイル9の軸に垂直となるように取りつけられており、測定時にはMI素子10をその外部磁場感知方向がアルミニウム製非磁性導体対象物2に平行となるように配置した。MI素子10の端子間に10〜70kHzの周波数範囲で電流を加え、またMI素子10と発振回路を含む回路への印加電圧(以下、回路印加電圧という)として5Vを加え試験をしたときの出力波形例をオシロスコープに表示させた。結果を図3に示す。
図3に示すように、MI素子10の検出出力は、励磁コイル9の磁気の影響で正弦波になっている。この正弦波の出力波形には、非磁性導体対象物2に生じた渦電流による反磁場の影響を含まれている。
試験1−1
図2の構成(MI素子を励磁コイルの内部に配置)で、励磁電圧を0.2V〜5Vの範囲のときのリフトオフ(mm)と出力電圧(mV)の関係の測定結果を図4に示す。
0〜10mmまでのリフトオフにおいて、0.2V、0.5V、2V、5Vの各励磁電圧で各出力電圧を測定した。各励磁電圧ごとの出力の変化は0mm〜1mmでは大きいが、1mmを過ぎると次第に小さくなり、10mm近くではほとんど無視できるほど小さくなる。
また、リフトオフの大小により励磁コイル電圧が高いほど出力電圧差を大きく取れる。
ここで感度を次のように定義し、各励磁電圧ごとの感度変化の度合いを比較した。
感度=リフトオフ0mmでの出力電圧値/リフトオフ10mmでの出力電圧値
感度は各励磁電圧ともおよそ1.3から1.4の間にあり、励磁電圧の大きさにあまり影響を受けない。
試験1−2
0〜10mmまでのリフトオフにおいて、0.2V、0.5V、2V、5Vの各励磁電圧で各出力電圧を測定した。各励磁電圧ごとの出力の変化は0mm〜1mmでは大きいが、1mmを過ぎると次第に小さくなり、10mm近くではほとんど無視できるほど小さくなる。
また、リフトオフの大小により励磁コイル電圧が高いほど出力電圧差を大きく取れる。
ここで感度を次のように定義し、各励磁電圧ごとの感度変化の度合いを比較した。
感度=リフトオフ0mmでの出力電圧値/リフトオフ10mmでの出力電圧値
感度は各励磁電圧ともおよそ1.3から1.4の間にあり、励磁電圧の大きさにあまり影響を受けない。
試験1−2
図1の構成(MI素子を励磁コイルの円周外部に密着して配置)で、コイル巻数40タ−ン及び励磁電圧1V及び5Vのときのリフトオフ(mm)と出力電圧(mV)の関係について測定結果を図5に示す。
およそ径20〜30μmのMI素子10と励磁コイル9は図6−1のように間にMI素子保物質17を介して接触している。この間の距離はおよそ0.5mmであった。励磁電圧1V及び5Vでリフトオフ(mm)と出力電圧(mV)の関係を示す。0〜10mmまでのリフトオフにおいて、1Vと5Vの各励磁電圧で各出力電圧を測定した。各励磁電圧ごとの出力の変化は0mm〜2mmまで大きいが、2mmを過ぎると次第に小さくなり、それ以降10mm近くでは微小となった。感度は各励磁電圧で2から3の範囲にあった。更に、図1の構成と図2の構成を比較するために、両構成のリフトオフ0mmにおけるそれぞれの出力値を標準値1とし、各リフトオフにおける比をグラフにして図7に示す。図1の構成(MI素子を励磁コイルの周辺外部に密着し配置)は図2の構成(MI素子を励磁コイルの内部に配置)よりはるかに感度が高い。
以上、MI素子をコイルの外部に配置した検出センサはMI素子をコイルの内側に配置した検出センサに比べて十分に大きな信号が得られた。
試験1−3
およそ径20〜30μmのMI素子10と励磁コイル9は図6−1のように間にMI素子保物質17を介して接触している。この間の距離はおよそ0.5mmであった。励磁電圧1V及び5Vでリフトオフ(mm)と出力電圧(mV)の関係を示す。0〜10mmまでのリフトオフにおいて、1Vと5Vの各励磁電圧で各出力電圧を測定した。各励磁電圧ごとの出力の変化は0mm〜2mmまで大きいが、2mmを過ぎると次第に小さくなり、それ以降10mm近くでは微小となった。感度は各励磁電圧で2から3の範囲にあった。更に、図1の構成と図2の構成を比較するために、両構成のリフトオフ0mmにおけるそれぞれの出力値を標準値1とし、各リフトオフにおける比をグラフにして図7に示す。図1の構成(MI素子を励磁コイルの周辺外部に密着し配置)は図2の構成(MI素子を励磁コイルの内部に配置)よりはるかに感度が高い。
以上、MI素子をコイルの外部に配置した検出センサはMI素子をコイルの内側に配置した検出センサに比べて十分に大きな信号が得られた。
試験1−3
図1の構造(MI素子を励磁コイルの円周外部に密着して配置)で、コイルの巻き数80ターン及び各励磁電圧0.2V,1V,5Vのときのリフトオフ(mm)と出力電圧(mV)の関係について測定結果を図8に示す。測定方法及びその他の条件は試1−2と同一である。この試験の結果を試1−2と比較すると、コイルの巻数が80ターンにした検出センサは巻数が40ターンの検出センサよりも出力電圧がおよそ2倍高い。しかし、感度は2.0から3.0の範囲であまり変わらない。
試験1−4
試験1−4
図1の構造(MI素子を励磁コイルの円周外部に密着して配置)で、励磁コイル電圧を5Vとコイルの巻数40ターン、80ターン、及び120の各ターンのときのリフトオフ出力電圧(mV)の関係について測定結果を図9に示す。ターン数が多い程出力電圧が高くなる。感度は2から3の間にあり差は認められなかった。
試験1−5
試験1−5
図1の構造(MI素子被覆部と励磁コイルの円周外部が密着して配置)の試1−2の検出センサの結果と、MI素子被覆物質と励磁コイルとの間隔を1mm離して設置した概念図6−2に示す検出センサの結果を図10に示し、更に、図11で各データのリフトオフ0mmを基準値1とし、その他リフトオフでの数値を相対比に変換し、間隔の影響を検討した。
その結果、出力電圧は1mm間隔を空けると、出力電圧はおよそ1/3になったが、信号変化量は勝るとも劣らなかった。
試験1−6
その結果、出力電圧は1mm間隔を空けると、出力電圧はおよそ1/3になったが、信号変化量は勝るとも劣らなかった。
試験1−6
図1の構造(MI素子の被腹膜を密着して励磁コイルの円周外部に配置)で、励磁コイル径をより小型に変えたときの効果を調べた。コイル径は内径3.1mm、外径4.4mm、線径0.1mm、長さ0.98mm及び抵抗1.7Ωから内径1.25mm、外径2.4mm、線径0.06mm、長さ0.95mm及び抵抗4.8Ωのコイルに変える前後の測定結果を図12に示す。
その結果、コイル径の大小による出力差を明確にするほどではなかった。
試験1−7
その結果、コイル径の大小による出力差を明確にするほどではなかった。
試験1−7
図1の構造(MI素子を励磁コイルの円周外部に密着して配置)で、MI素子端子磁気感知方向延長線上に励磁コイルを配置する図6−3の構成の検出センサの結果を図13示す。励磁電圧は2.6Vである。
図13の結果より、該検出センサは図1の構成の検出センサのなかでも、特に高い出力電圧を示し、かつほぼ同等の感度変化を持ち合わせている。
図13の結果より、該検出センサは図1の構成の検出センサのなかでも、特に高い出力電圧を示し、かつほぼ同等の感度変化を持ち合わせている。
真鍮を非磁性導体対象物として、コイル巻数40ターンで図1の構成(MI素子を励磁コイルの外部に配置)にしたときと、図2の構成(MI素子を励磁コイルの内部に配置)にしたときの比較を示した。使用したMI素子及びコイルは実施例1で用いたものと同じものである。MI素子の端子間に10〜70kHzの周波数範で電流を加え、またMI素子と発振回路を含む回路への印加電圧(以下、回路印電圧という)として5Vを加えたときの出力波形をオシロスコープで表示させ図14に結果を示す。
測定時、リフトオフ0mmで両構成にもほぼ等しくなるように出力電圧を調整した。MI素子を励磁コイルの外部に構成した検出センサはコイル内部に構成したものより、アルミニウム非磁性導体対象物と同様高い感度を示す。
測定時、リフトオフ0mmで両構成にもほぼ等しくなるように出力電圧を調整した。MI素子を励磁コイルの外部に構成した検出センサはコイル内部に構成したものより、アルミニウム非磁性導体対象物と同様高い感度を示す。
1 検出センサ
2 非磁性導体対象物
3 交流磁速
4 コイル
5 発振回路
6 増幅器
7 信号処理器
8 抵抗
9 励磁コイル
10 MI素子
11 先端ヘッド
12 励磁用発振回路
13 MI素子用発振回路
14 演算回路
15 保持回路
16 感度調整用コイル
17 MI素子保護物質
18 基板
2 非磁性導体対象物
3 交流磁速
4 コイル
5 発振回路
6 増幅器
7 信号処理器
8 抵抗
9 励磁コイル
10 MI素子
11 先端ヘッド
12 励磁用発振回路
13 MI素子用発振回路
14 演算回路
15 保持回路
16 感度調整用コイル
17 MI素子保護物質
18 基板
Claims (6)
- 非磁性導体対象物の検出センサであって、該非磁性導体対象物を励磁するコイルにより該非対象物に生じた渦電流反磁界による磁束変化を検出する磁気インピーダンス素子、及び該インピーダンス素子を該コイルの円周外部に配置することを特徴とする信号処理回路を備えた検出センサ
- 磁気インピーダンス素子は、その外部磁場感知方向が励磁コイルの軸に対して垂直に配置され、かつ非磁性導体対象物の磁気インピーダンス素子に対する近接面に対して水平に配置される請求項1記載の検出センサ
- 磁気インピーダンス素子の端部磁気感知方向延長上に励磁コイルを配置する請求項1及び2記載の検出センサ
- 磁気インピーダンス素子とコイルは0.01mmから50mmの範囲で離れた位置に配置される請求項1から3記載の検出センサ
- アルミニウム、真鍮等及びその合金の材料からなる請求項1から4記載の非磁性導体対象物
- 励磁コイルは線径0.01mmから1mmの銅又はニッケルメッキ銅からなる銅線を、外形0.5mmから10mmとなるように10から1000ターン巻いたものからなる請求項1から4に記載の検出センサ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004147003A JP2005300510A (ja) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | 検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004147003A JP2005300510A (ja) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | 検出センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005300510A true JP2005300510A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35332183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004147003A Pending JP2005300510A (ja) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | 検出センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005300510A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011033469A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Hioki Ee Corp | 磁気検出センサ |
JP2011064607A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Hioki Ee Corp | 磁気検出センサ |
CN108303461A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-07-20 | 西安交通大学 | 引入多介质单元的指套管不规则磨损缺陷的涡流检测方法 |
-
2004
- 2004-04-15 JP JP2004147003A patent/JP2005300510A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011033469A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Hioki Ee Corp | 磁気検出センサ |
JP2011064607A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Hioki Ee Corp | 磁気検出センサ |
CN108303461A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-07-20 | 西安交通大学 | 引入多介质单元的指套管不规则磨损缺陷的涡流检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3091398B2 (ja) | 磁気−インピーダンス素子及びその製造方法 | |
JPH07181239A (ja) | 磁気インピーダンス効果素子 | |
JP4529783B2 (ja) | マグネト・インピーダンス・センサ素子 | |
EP2878945A1 (en) | Conductive foreign material detecting apparatus | |
JP5156432B2 (ja) | 渦電流式試料測定方法と渦電流センサ | |
JP2012505420A (ja) | 磁界方向および/または磁界強度の測定装置 | |
JP3645116B2 (ja) | 磁気インピーダンス効果マイクロ磁気センサ | |
JP4565072B2 (ja) | 磁界センサ | |
US6586930B1 (en) | Material thickness measurement using magnetic information | |
JP2009186433A (ja) | 渦電流式試料測定方法と、渦電流センサと、渦電流式試料測定システム | |
JP4732705B2 (ja) | 磁界センサ | |
JP6388672B2 (ja) | 硬貨検出システム | |
JP2005300510A (ja) | 検出センサ | |
JP2001116773A (ja) | 電流センサー及び電流検出装置 | |
JP2008151534A (ja) | 磁束測定法及び磁気センサー | |
JP2016057225A (ja) | 渦電流探傷センサ装置 | |
JP2002090432A (ja) | 磁場検出装置 | |
JP2006343300A (ja) | 渦電流検出装置 | |
JP2006058274A (ja) | 検出センサ | |
JP2003344362A (ja) | 渦電流探傷プローブと渦電流探傷装置 | |
JP4053351B2 (ja) | 地磁気方位センサ | |
JP2005265790A (ja) | 回転体検出センサ | |
JP2011053160A (ja) | 磁気検出センサ | |
JP3494947B2 (ja) | Mi素子の制御装置 | |
JP2006112813A (ja) | 電流センサ及びそれを用いた電流検知ユニット |