JP2016057225A - 渦電流探傷センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】傷周辺を流れる渦電流は、傷中央部では流れがバランスして傷の検出が困難となる。【解決手段】渦電流探傷センサ装置10は、検査面46に対して離間されるとともに巻軸C1,C2が検査面46に対してともに平行に向けられた、一対の励磁コイル24A,24Bと、一方に対して他方が逆極性となるように励磁コイル24A,24Bに励磁電流を供給する交流電源12を備える。さらに、励磁コイル24A,24Bの間であって巻軸方向C1,C2中心に配置されるとともに、自身の巻軸C3が検査面46に対して平行かつ励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2と垂直となるように向けられ、励磁コイル24A,24Bによって検査面46に誘起された渦電流の変化を検出する検出コイル28を備える。【選択図】図2
Description
本発明は、渦電流探傷センサ装置に関する。
従来から、検査体表面上の傷を検出する探傷センサとして、渦電流探傷センサが知られている。例えば特許文献1では、巻軸が検査体表面と平行に向けられた励磁コイルと、当該励磁コイルと検査体表面との間に置かれるとともにその巻軸は検査体表面に垂直に向けられた検出コイルを備えた、渦電流探傷プローブが開示されている。
また、特許文献2では、一対の励磁コイルを備えた渦電流探傷プローブが開示されている。各励磁コイルの巻軸は検査体表面に対して垂直に向けられており、各励磁コイルにはそれぞれ逆極性の励磁電流が流される。各励磁コイルによって誘起された渦電流は重ね合わされて、その結果、検出感度が向上する。
ところで、従来の渦電流探傷センサでは、検出コイルよりも長い傷について、特に中央部分を検知することが困難となる。すなわち、検査体表面に流れる渦電流は、傷周辺ではその傷に沿って流れる。このとき、傷の端部では渦電流の流れが偏ることから当該傷端部を検出することが可能であるが、傷中央部では渦電流の流れがバランスして(相殺されて)検出が困難となる。これは例えば特許文献1の図4(b)のグラフ上の点(ロ)や特許文献2の図5のスキャン結果から明らかである。傷の長手方向両端部分が検知できてもその中央部分が検知できないことになると、検出結果の解析において、検出された傷が単一の長い傷であるか、2つの短い傷であるかの判別が困難となるおそれがある。
また、渦電流に加えて漏洩磁束を用いた探傷方法では、傷を跨ぐようにして検査体表面から漏洩磁束が生じることから、傷の中央部分も検知することが可能であるが、検査体が磁束の生じないアルミニウム等の非磁性体である場合には当該方法は有効ではない。そこで、本発明は、渦電流のみにて傷の中央部分の検知が可能な、渦電流探傷センサ装置を提供することを目的とする。
本発明に係る渦電流探傷センサ装置は、検査面に対して離間されるとともに巻軸が前記検査面に対してともに平行に向けられた一対の励磁コイルと、一方に対して他方が逆極性となるように前記一対の励磁コイルに励磁電流を供給する交流電流源と、前記一対の励磁コイルの間であって前記巻軸方向中心に配置されるとともに自身の巻軸が前記検査面に対して平行かつ前記励磁コイルの巻軸と垂直となるように向けられ、前記一対の励磁コイルによって前記検査面に誘起された渦電流の変化を検出する検出コイルと、を備える。
また、本発明に係る渦電流探傷センサ装置の別態様は、検査面に対して離間されるとともに巻軸が前記検査面に対してともに平行に向けられた一対の励磁コイルと、一方に対して他方が逆極性となるように前記一対の励磁コイルに励磁電流を供給する交流電流源と、前記一対の励磁コイルの間であって前記巻軸方向中心に配置されるとともに自身の巻軸が前記励磁コイルの巻軸と平行となるように向けられ、前記一対の励磁コイルによって前記検査面に誘起された渦電流の変化を検出する検出コイルと、を備える。
また、上記発明において、前記一対の励磁コイル及び検出コイルは一体のプローブユニットとして組み付けられ、前記プローブユニットは、前記検出コイルの巻軸に対して垂直方向に走査されることが好適である。
請求項1、2に係る発明によれば、渦電流のみにて傷の中央部分の検知が可能となる。また、請求項3に係る発明によれば、傷を高精度に検出することができる。
<渦電流探傷センサ装置の全体構成>
図1に、本実施の形態に係る渦電流探傷センサ装置10のブロック図を例示する。渦電流探傷センサ装置10は、交流電源12、アンプ14、プローブユニット16、計測ステージ18、計測器20、及び演算処理器22を含んで構成される。
図1に、本実施の形態に係る渦電流探傷センサ装置10のブロック図を例示する。渦電流探傷センサ装置10は、交流電源12、アンプ14、プローブユニット16、計測ステージ18、計測器20、及び演算処理器22を含んで構成される。
なお、図1〜図8では、検査体26の検査面46を、直交するX座標及びY座標からなるX−Y平面とし、これに垂直な軸をZ軸とする。
交流電源12からプローブユニット16の励磁コイル24A,24Bに対して励磁電流が供給される。これを受けて計測ステージ18上の導体からなる検査体26に渦電流が誘起される。プローブユニット16の検出コイル28はこの渦電流の変化を検出する。計測器20は検出コイル28からの信号を加工して演算処理器22に送る。演算処理器22では検出結果が表示される。
<各構成の詳細>
交流電源12は、励磁電流を励磁コイル24A,24Bに供給する交流電流源である。交流電源12は、例えば、電圧や周波数が可変なVVVF電源であってよい。交流電源12から出力された励磁電流は、アンプ14によって増幅されて励磁コイル24A,24Bに供給される。
交流電源12は、励磁電流を励磁コイル24A,24Bに供給する交流電流源である。交流電源12は、例えば、電圧や周波数が可変なVVVF電源であってよい。交流電源12から出力された励磁電流は、アンプ14によって増幅されて励磁コイル24A,24Bに供給される。
交流電源12は、励磁コイル24A,24Bに対して、一方が他方に対して逆極性となるように、それぞれ励磁電流を供給する。このようにすることで、後述するように、各励磁コイル24A,24Bにより誘起された渦電流が重畳される。
計測器20は、検出コイル28から取得した信号からノイズ成分を除去したり、ノイズ除去後の信号を増幅するなどの機能を有している。計測器20は、例えば、位相検波器30、アンプ32、フィルタ34、及び表示手段36を備える。
位相検波器30は、検出コイル28から取得した電圧信号のうち、交流電源12が励磁コイル24A,24Bに印加した入力電圧と同位相の成分を取り出す。アンプ32は、位相検波後の信号を増幅する。フィルタ34は、増幅後の信号から、位相検波器30で除去し切れなかった成分(例えば、高周波成分)を除去する。
表示手段36は、フィルタ34を通過した信号波形を表示する。表示された信号振幅等に基づいて交流電源12の出力を調整するなど、測定条件の調整が可能となる。
演算処理器22は、計測器20から信号を受け取るとともに、信号の演算処理を行う。
演算処理器22は、例えば、A/D変換器38、記憶装置40、データ処理装置42、及び表示手段44を備える。
演算処理器22は、例えば、A/D変換器38、記憶装置40、データ処理装置42、及び表示手段44を備える。
A/D変換器38は、計測器20から送られたアナログ信号をデジタル信号に変換する。記憶装置40は、変換後のデジタル信号を記憶する。データ処理装置42は、変換後の信号から検査体26の特性を求めるための演算処理を行う。表示手段44は、演算処理後の信号に基づいた、検査体26の特性マップ(図8)を表示する。
<プローブユニットの詳細>
プローブユニット16は、一対の励磁コイル24A,24B及び検出コイル28を組み付けて一体化させたものである。また、プローブユニット16と検査体26の検査面46との離間距離(リフトオフ量)を調整するため、及び、検査面46上を走査するために、計測ステージ18に対するX軸、Y軸、及びZ軸方向の相対距離を調整可能な三次元移動機構をプローブユニット16に備えるようにしてもよい。
プローブユニット16は、一対の励磁コイル24A,24B及び検出コイル28を組み付けて一体化させたものである。また、プローブユニット16と検査体26の検査面46との離間距離(リフトオフ量)を調整するため、及び、検査面46上を走査するために、計測ステージ18に対するX軸、Y軸、及びZ軸方向の相対距離を調整可能な三次元移動機構をプローブユニット16に備えるようにしてもよい。
励磁コイル24A,24Bは、交流電源12から送られる励磁電流によって磁界を発生させ、もって検査体26に渦電流を誘起させる。図2に示すように、励磁コイル24A,24Bは、検査体26の探傷検査時に、検査体26の検査面46に対して離間されて配置される。加えて、励磁コイル24A,24Bは、それぞれの巻軸C1,C2が検査面46に対してともに平行に向けられる。
検出コイル28は、励磁コイル24A,24Bによって検査面46に誘起された渦電流の変化を検出する。検出コイル28は、励磁コイル24A,24Bの間であって巻軸C1,C2方向中心に配置される。加えて、検出コイル28は、自身の巻軸C3が検査面46に対して平行かつ励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2と垂直になるように向けられる。例えば図2では、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2はX軸と平行に向けられ、検出コイル28の巻軸C3はY軸と平行に向けられる。
なお、本実施形態における垂直及び平行とは、それぞれ90°及び0°の場合のみを示すものではなく、計測上許容される範囲の誤差を含むものとする。例えば85°以上95°以下を垂直に含め、−5°以上+5°以下の範囲を平行に含める。
<本実施形態に係る渦電流探傷の原理>
図3には、本実施形態に係る励磁コイル24A,24Bにそれぞれ逆極性の励磁電流を供給したときの、検査体26に誘起される渦電流密度を、有限要素法により計算した結果が示されている。この計算では、励磁コイル24A,24Bの検査面46側の底面と検査面46との距離(リフトオフ量)を5mmとした。また、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2をX軸方向に向けた。さらに、この計算は、検査面46に傷が無いとの条件で行ったものである。なお、当然のことながら、渦電流は交番的に変化し、電流の向き(矢印)は先頭と末尾とに周期ごとに切り替わるが、図3では便宜上、そのうち一方の極性の渦電流密度分布を示している。
図3には、本実施形態に係る励磁コイル24A,24Bにそれぞれ逆極性の励磁電流を供給したときの、検査体26に誘起される渦電流密度を、有限要素法により計算した結果が示されている。この計算では、励磁コイル24A,24Bの検査面46側の底面と検査面46との距離(リフトオフ量)を5mmとした。また、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2をX軸方向に向けた。さらに、この計算は、検査面46に傷が無いとの条件で行ったものである。なお、当然のことながら、渦電流は交番的に変化し、電流の向き(矢印)は先頭と末尾とに周期ごとに切り替わるが、図3では便宜上、そのうち一方の極性の渦電流密度分布を示している。
図3では、図2の平面図が示されている。Y軸の周辺に着目して、渦電流のY軸方向成分は、励磁コイル24A,24Bに流れる励磁電流の極性が逆であるために、対応する渦電流もそれぞれ逆方向に誘起される。
さらに、Y軸方向に生じた渦電流が4つのループ軌道に沿って流れるとともに、2つの励磁コイル24A,24Bに挟まれた領域の中央付近でX軸方向に迂回する。このとき、励磁コイル24A,24Bによる渦電流の成分方向が同一であるため、両者は重畳し強め合う。すなわち、励磁コイル24A,24Bに挟まれた領域では、励磁コイル24A,24Bの渦電流が重畳されて渦電流が最大密度となる。このことから、X軸方向成分、つまり、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2に平行な渦電流成分を積極的に利用することで、高感度の探傷を行うことができる。
この図から分かるように、X−Y平面の原点、つまり励磁コイル24A,24Bの間であって巻軸方向中心部分は渦電流がバランスされている。したがって、図4の模式図に示すように、この箇所に検出コイル28を配置すると、検査面46に傷が無い状態では、検出コイル28の出力は理想的には0になることが理解される。なお、図4の矢印は渦電流密度を表している。
図5には、検出コイル28の一端側に傷48が形成された場合の渦電流分布が例示されている。傷48によって渦電流のX軸方向の流れが遮られ、Y軸方向に迂回する。このとき、渦電流のX軸方向成分に注目すると、傷48の形成されていない他端と比較して傷48側の端部は渦電流密度が低下する。つまり渦電流密度のバランスが崩れる。このとき、検出コイル28は図4のバランスされた状態と比較して電圧値が増加(0から正側及び負側への増加)する。
図5における渦電流密度の偏りは、検出コイル28から見て対称的であるため、検出コイル28の検出信号も対称的なものとなる。例えば図5上段にて電圧値が正の最大値をとる場合、下段では負の最大値をとるようになる。すなわち、図5上段から下段に、言い換えると、傷48を右側にした状態から傷48を跨ぐように検出コイル28を右方向に走査させる、つまり、検出コイル28の巻軸C3に対して垂直方向(X軸方向)にプローブユニット16を走査した場合、検出コイル28による検出電圧は図6に示すような波形を示すようになる。このように、検出コイル28の巻軸C3に対して垂直方向にプローブユニット16を走査させることで、検出電圧の山と谷が明瞭に現れるようになり、その結果、傷48を高精度に検出することができる。
なお、渦電流の乱れは、傷48の向きによって異なる。すなわち、検出コイル28の巻軸C3に垂直である、つまり検出コイル28の両端部における渦電流の流れと平行である場合には、渦電流の流れを遮る効果が相対的に低くなる。一方、検出コイル28の巻軸C3に平行である、つまり検出コイル28の両端部における渦電流の流れと垂直である場合には、渦電流の流れを遮る効果が相対的に高くなる。この点から、本実施形態に係る渦電流探傷センサ装置10は、検出コイル28の巻軸C3に平行である(検出コイル28の両端部における渦電流の流れと垂直である)傷48の検出に適している。
また、検出コイル28の巻軸C3に平行である傷48の検出に際して、傷48の長手方向中心が図3のX軸上にある場合に渦電流を遮る効果が最も高くなる、つまりバランスの乱れが最も大きくなることが理解される。このことから、本実施形態に係る渦電流探傷センサ装置10は、検出コイル28の巻軸C3に平行である傷48の中心部分を高精度に検出することが可能となる。
<実施例>
図7に示すように、検査体26の検査面46に人工的に傷48を形成させて、本実施形態に係る渦電流探傷センサ装置10の動作確認を行った。検査体26として、長さ(Y軸方向長さ)120mm、幅(X軸方向長さ)100mm、厚さ(Z軸方向長さ)5mmのSUS316板を用いた。
図7に示すように、検査体26の検査面46に人工的に傷48を形成させて、本実施形態に係る渦電流探傷センサ装置10の動作確認を行った。検査体26として、長さ(Y軸方向長さ)120mm、幅(X軸方向長さ)100mm、厚さ(Z軸方向長さ)5mmのSUS316板を用いた。
傷48として、放電加工により、矩形スリットを検査面46の中心に形成した。この矩形スリットの形状は、深さ(Z軸方向深さ)1.5mm、長さ(Y軸方向長さ)5mm、幅(X軸方向長さ)0.15mmとした。
また、励磁コイル24A,24Bについて、それぞれコイル断面(Y−Z断面)を5×5mm2とし、コイル長さ(X軸方向長さ)を10mmとした。巻数は30回とした。また、検出コイル28について、コイル断面(X−Z断面)を5×5mm2とし、コイル長さ(Y軸方向長さ)を3mmとした。巻数は33回とした。励磁電流は100kHz、0.200Aとした。
計測条件として、計測範囲は傷周辺の40×40mm2の範囲とした。また、計測間隔は0.5mmとした。検査面46とプローブユニット16の底面との離間距離(リフトオフ量)は1mmとした。
図8に、上記条件による計測結果を示す。横軸はX座標を示し、縦軸はY座標を示す。この図では、各座標における計測信号の強度が示されている。なお強度として、無欠陥部に対する計測信号の差分を用いている。また、傷48は、X−Y座標の原点にその中心点が位置するとともに、Y軸方向に延びるように図示されている。
この図から、傷48の左右に信号強度の極値(正及び負の最大値)が現れていることが理解される。これらの最大値の中間点を求めることで、検査面46上の傷48の位置を特定することが可能となる。
<他の実施形態>
なお、上述した実施形態では、検出コイル28の巻軸C3を、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2に対して垂直に向けていたが、この形態に限らない。図3に示したように、励磁コイル24A,24Bの両端部にて渦電流密度は最大となるが、励磁コイル24A,24Bの中心部分、つまりY軸上においても、両端部に準じて渦電流密度が高くなる。このことから、Y軸方向の渦電流のバランスを検出するようにしてもよい。
なお、上述した実施形態では、検出コイル28の巻軸C3を、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2に対して垂直に向けていたが、この形態に限らない。図3に示したように、励磁コイル24A,24Bの両端部にて渦電流密度は最大となるが、励磁コイル24A,24Bの中心部分、つまりY軸上においても、両端部に準じて渦電流密度が高くなる。このことから、Y軸方向の渦電流のバランスを検出するようにしてもよい。
具体的には、励磁コイル24A,24Bの間であって巻軸C1,C2方向中心に検出コイル28を配置するとともに、自身の巻軸C3を、励磁コイル24A,24Bの巻軸C1,C2と平行となるように向ける。このようにすることで、図7に示したものとは方向が異なる傷48、例えばX軸方向に平行またはそれに近い方向の傷48であっても、検出を高精度に行うことが可能となる。
なお、傷48の検出に当たり、傷48を跨ぐようにしてプローブユニット16を走査させることが好適である。つまり、言い換えると検出コイル28の巻軸C3に対して垂直方向に(Y軸方向に)プローブユニット16を走査させることが好適である。このようにすることで、図6に示した例と同様に、検出電圧の山と谷が明瞭に現れるようになり、その結果、傷48を高精度に検出することができる。
10 渦電流探傷センサ装置、12 交流電源、16 プローブユニット、20 計測器、22 演算処理器、24A,24B 励磁コイル、28 検出コイル、46 検査面。
Claims (3)
- 検査面に対して離間されるとともに、巻軸が前記検査面に対してともに平行に向けられた、一対の励磁コイルと、
一方に対して他方が逆極性となるように、前記一対の励磁コイルに励磁電流を供給する交流電流源と、
前記一対の励磁コイルの間であって前記巻軸方向中心に配置されるとともに自身の巻軸が前記検査面に対して平行かつ前記励磁コイルの巻軸と垂直となるように向けられ、前記一対の励磁コイルによって前記検査面に誘起された渦電流の変化を検出する検出コイルと、
を備えることを特徴とする、渦電流探傷センサ装置。 - 検査面に対して離間されるとともに、巻軸が前記検査面に対してともに平行に向けられた、一対の励磁コイルと、
一方に対して他方が逆極性となるように、前記一対の励磁コイルに励磁電流を供給する交流電流源と、
前記一対の励磁コイルの間であって前記巻軸方向中心に配置されるとともに自身の巻軸が前記励磁コイルの巻軸と平行となるように向けられ、前記一対の励磁コイルによって前記検査面に誘起された渦電流の変化を検出する検出コイルと、
を備えることを特徴とする、渦電流探傷センサ装置。 - 請求項1または2に記載の渦電流探傷センサ装置であって、
前記一対の励磁コイル及び検出コイルは一体のプローブユニットとして組み付けられ、
前記プローブユニットは、前記検出コイルの巻軸に対して垂直方向に走査されることを特徴とする、渦電流探傷センサ装置。
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