JP2006237455A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
半導体装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006237455A JP2006237455A JP2005052749A JP2005052749A JP2006237455A JP 2006237455 A JP2006237455 A JP 2006237455A JP 2005052749 A JP2005052749 A JP 2005052749A JP 2005052749 A JP2005052749 A JP 2005052749A JP 2006237455 A JP2006237455 A JP 2006237455A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- element formation
- cavity
- substrate
- trenches
- trench
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 47
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 29
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 24
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 14
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1203—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body the substrate comprising an insulating body on a semiconductor body, e.g. SOI
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
- H01L21/76264—SOI together with lateral isolation, e.g. using local oxidation of silicon, or dielectric or polycristalline material refilled trench or air gap isolation regions, e.g. completely isolated semiconductor islands
- H01L21/76286—Lateral isolation by refilling of trenches with polycristalline material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
- H01L21/76264—SOI together with lateral isolation, e.g. using local oxidation of silicon, or dielectric or polycristalline material refilled trench or air gap isolation regions, e.g. completely isolated semiconductor islands
- H01L21/76289—Lateral isolation by air gap
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8248—Combination of bipolar and field-effect technology
- H01L21/8249—Bipolar and MOS technology
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/84—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being other than a semiconductor body, e.g. being an insulating body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0611—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region
- H01L27/0617—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type
- H01L27/0623—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type in combination with bipolar transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7841—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating body, e.g. programmable transistors
Abstract
【課題】素子形成領域を確実に支えることができ、寄生容量の増加を防止して素子の消費電力を低減することが困難であった。
【解決手段】空洞部13は、基板11表面の少なくとも1つの素子形成領域12に対応して基板11内に形成されている。複数のトレンチ14は、空洞部13に連通され、素子形成領域12を他の素子形成領域から部分的に分離する。酸化膜15は、トレンチ14周囲の基板11及び素子形成領域12に形成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】空洞部13は、基板11表面の少なくとも1つの素子形成領域12に対応して基板11内に形成されている。複数のトレンチ14は、空洞部13に連通され、素子形成領域12を他の素子形成領域から部分的に分離する。酸化膜15は、トレンチ14周囲の基板11及び素子形成領域12に形成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えばSON(Silicon on Nothing)構造を用いた半導体装置とその製造方法に関する。
半導体装置の低消費電力化や動作速度の高速化を図るため、基板内に形成した空洞上に素子形成領域を形成したSON構造が注目されている。微細なSON構造を形成する方法として、基板内に浅いトレンチの素子分離領域(STI)を形成し、この後、基板内にイオンを注入して微細な複数の空洞を形成し、次いで、熱処理により空洞を成長させて互いに結合し、STIに接する大きな空洞を形成する技術が開発されている(例えば特許文献1参照)。この製造方法の場合、先にSTIを形成した後、基板内にSTIに接する空洞を形成するため、空洞上の素子形成領域はSTIに支えられ、落下を防止できる。
また、基板に複数のトレンチを形成し、この後、熱処理によりトレンチ表面を融解してトレンチ表面にシリコン層を形成することにより、複数のトレンチが一体化され、基板内にトレンチの径より大きな空洞を形成する技術が知られている。このように、先に空洞を形成した場合、この周囲にトレンチ形状の素子分離領域を形成する際、空洞に接して素子形成領域を囲むトレンチを形成しようとすると、素子形成領域が支えを失い落下してしまう。このため、空洞に接して素子分離領域を形成することが困難であった。そこで、空洞の周囲に素子形成領域を支持する基板部位を残しながら、素子形成領域を連続的に囲むトレンチ形状の素子分離領域を形成することが考えられる。しかし、この場合、たとえ素子形成領域を支持していた基板部位をその後絶縁化したとしても、素子形成領域において空洞下のシリコン基板と空洞で分離されない部分が存在する。このため、寄生容量が増加し、素子の消費電力を低減することが困難であった。
特開2003−332540号公報
本発明は、素子形成領域を確実に支えることができ、寄生容量の増加を防止し、素子の消費電力を低減することが可能なSON構造の半導体装置とその製造方法を提供する。
本発明の一態様の半導体装置は、基板表面の少なくとも1つの素子形成領域に対応して前記基板内に形成された空洞部と、前記空洞部に連通され、前記素子形成領域周囲の前記基板内に形成された複数のトレンチと、前記各トレンチの周囲に形成され、前記素子形成領域を連続して囲む酸化膜とを具備している。
本発明の一態様の半導体装置の製造方法は、基板内に空洞部を形成し、前記基板表面から前記基板内に前記空洞部に連通された複数のトレンチを形成し、前記複数のトレンチ周囲の前記基板を酸化することにより、前記空洞部上の前記基板表面を連続して囲む酸化膜を形成することを特徴とする。
本発明によれば、素子形成領域を確実に支えることができ、寄生容量の増加を防止し、素子の消費電力を低減することが可能なSON構造の半導体装置とその製造方法を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図1、図2は、第1の実施形態に係る半導体装置を示している。この半導体装置は、例えばパワーMOSトランジスタ又はパワーバイポーラトランジスタに適用される。
図1、図2は、第1の実施形態に係る半導体装置を示している。この半導体装置は、例えばパワーMOSトランジスタ又はパワーバイポーラトランジスタに適用される。
図1、図2において、シリコン基板11の内部には、素子形成領域12の下方に対応して空洞部13が形成されている。素子形成領域12の周囲には、複数のトレンチ14が互いに所定間隔離間して形成されている。各トレンチ14の周囲には素子形成領域12及び空洞部13に接して、素子分離領域17を構成する例えばシリコン酸化膜15が連続的に形成されている。このシリコン酸化膜15は、図2に示すように、空洞部13の内面にも形成され、空洞部13内のシリコン酸化膜15aと各トレンチ14の周囲のシリコン酸化膜15は一体とされている。このため、素子形成領域12は、その底部において、比誘電率が“1”の空洞部13により空洞部13下の基板11から電気的に分離され、且つその周囲とは、シリコン酸化膜15により電気的に分離されている。したがって、寄生容量を低減でき、素子の消費電力を低減できる。また、各トレンチ14の内部には、熱膨張率がシリコンとほぼ等しい例えばポリシリコン膜16が埋め込まれている。このため、例えば素子形成時の熱処理において、トレンチ14や酸化膜15に欠陥が生じることを防止できる。
図3乃至図10は、第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を示している。
先ず、シリコン基板11上の素子形成領域に対応して、複数のトレンチが規則的に、且つ密集して形成される。すなわち、図3に示すように、基板11上にマスク材としての例えばシリコン酸化膜21が形成され、このシリコン酸化膜21が図示せぬレジストパターンをマスクとしてエッチングされる。このようにして、シリコン酸化膜21がパターニングされる。この後、レジストパターンが除去され、シリコン酸化膜21をマスクとして基板11が例えば反応性イオンエッチング(RIE)によりエッチングされ、複数のトレンチ22が形成される。これらトレンチ22の開口部の平面形状は例えば円形であり、アスペクト比は例えば7程度である。トレンチ22間の間隔は、トレンチの径をRとした場合、例えば3.76R以下に設定される。
次に、図4に示すように、水素(H2)の雰囲気中で、温度1100℃、圧力300Torr程度の条件で熱処理することにより、トレンチ22の表面が融解され、素子形成領域12が形成されるとともに、複数のトレンチ14が一体化され、素子形成領域12下部の基板中に空洞部13が形成される。
この後、図5に示すように、基板11の全面にマスク材としてのシリコン酸化膜23が形成される。このシリコン酸化膜23を図示せぬレジストパターンを用いて例えばRIEによりエッチングし、シリコン酸化膜23によるマスクが形成される。このとき、空洞部13上の素子形成領域12を支える柱となる部分にシリコン酸化膜23を残し、後に形成されるトレンチの一側面が空洞部13の内側になるようにレジストをパターニングする。このレジストパターンをマスクとしてRIEによりシリコン酸化膜23をエッチングし、この後、レジストを剥離する。次いで、パターニングされたシリコン酸化膜23をマスクとしてRIEにより複数のトレンチ14を形成する。このとき、トレンチ14は空洞部13と連通する。しかし、トレンチ14相互間に複数のシリコンの柱24が存在するため、素子形成領域12はこの柱24に支えられ、落下することを防止できる。この柱24の幅は、素子形成領域12を保持する観点からは広いほうがよいが、柱24の幅を広くし過ぎた場合、寄生容量が増加するおそれがある。また、柱24の幅を広くした場合、後の柱24を全て酸化する工程において、酸化膜の膜厚を厚くする必要が生じ、素子形成領域12にストレスが加わり欠陥が発生し易い。このため、柱24の幅は、レジストパターンの形成、シリコン酸化膜23のパターニング及びトレンチ14の形成における最小寸法により規定されることが望ましい。現状において、この最小寸法は例えば0.3μmである。
次に、図7、図8に示すように、シリコン酸化膜23が除去される。この後、シリコンの柱24を全て酸化させるため、基板11が酸化雰囲気中で熱処理され、トレンチ14及び空洞部13の内部、さらに、基板11の表面が酸化される。ここでは、例えば柱24の幅の1.0倍以上の膜厚を有するシリコン酸化膜15が形成される程度の熱処理を行なえばよい。これは、シリコンの柱24を構成するシリコンが酸素と結合するため、シリコンの柱24を全て酸化させた後に複数のトレンチ14間で得られる酸化膜15の膜厚は、熱処理前におけるシリコンの柱24の幅の2倍程度となることによる。このようにして素子形成領域12の周囲において、素子分離領域17を構成するシリコン酸化膜15が、複数のトレンチ14間でシリコンの柱24が酸化されてなるシリコン酸化膜15の1/2以上程度の膜厚で形成される。
その後、図9、図10に示すように、全面に例えばポリシリコン膜16が形成される。このとき、トレンチ14内をポリシリコン膜16により完全に埋め込む必要はない。寄生容量を低減させるためには、トレンチ14の内部にポリシリコン膜16を形成しないほうがよい。しかし、トレンチ14の内部を完全に空洞とした場合、後の熱処理工程において、シリコン酸化膜15や素子形成領域12に欠陥が発生するおそれがある。これを防止するため、シリコンと熱膨張率がほぼ等しいポリシリコン膜16をトレンチ14内に形成している。したがって、熱ストレスの影響が少ない範囲であれば、このポリシリコン膜16はトレンチ14の上部を閉塞する程度形成されればよく、トレンチ14の内部に空孔が生じていてもよい。
次いで、図1、図2に示すように、トレンチ14の外部に位置するポリシリコン膜16が例えば化学的機械研磨(CMP)により除去され、基板11上のシリコン酸化膜15が例えばウェットエッチングにより除去される。このようにして、トレンチ14がポリシリコン膜16により埋め込まれる。
この後、素子形成領域12に図示せぬ例えばMOSトランジスタあるいはバイポーラトランジスタが形成される。
上記第1の実施形態によれば、基板11内に形成した空洞部13の周囲に部分的に基板11を残して複数のトレンチ14を形成し、これらトレンチ14の側面にシリコン酸化膜15を形成することにより、空洞部13上の素子形成領域12の周囲に連続して素子形成領域12に接した素子分離領域17を形成している。このため、素子形成領域12の周囲はシリコン酸化膜15からなる素子分離領域17により隣接する素子形成領域から分離され、素子形成領域12の底部は比誘電率が“1”の空洞部13により空洞部13下の基板11から分離されている。したがって、素子形成領域12とシリコン基板11との間の寄生容量を小さくすることができ、消費電力を低減できる。
また、トレンチ14の相互間に形成された柱24の幅は、トレンチを形成する際の最小寸法により規定され得る。この最小寸法は、例えば0.3μm程度である。この幅の柱24を酸化する場合、トレンチ14の両側から酸化することができるため、トレンチの一側面に形成されるシリコン酸化膜15の膜厚については、柱24を酸化して得られる酸化膜厚未満、換言すれば、酸化後におけるトレンチ14の相互間の距離の1/2倍以上1倍未満に抑えることが可能であり、具体的に酸化膜厚は0.3μm程度でよい。このため、シリコン酸化膜15を形成するための熱処理を短時間で行うことができ、基板11に対する結晶欠陥の発生を低減できる。
さらに、各トレンチ14は、シリコンと同等の熱膨張率を有するポリシリコンにより埋め込まれている。このため、熱処理においてトレンチ14に欠陥が生じることを防止できる。
尚、トレンチの埋め込み材料としては、ポリシリコンに限定されるものではなく、素子形成領域12に欠陥が発生しなければ、例えば化学気相成長(CVD)により形成されたシリコン酸化膜を用いることも可能である。
(第2の実施形態)
図11、図12は、第2の実施形態を示している。第1の実施形態は、1つの空洞部に対応した1つの素子形成領域の周囲に素子分離領域を形成する場合について説明した。これに対して、第2の実施形態は、1つの空洞部に対応した複数の素子形成領域を分離する素子分離領域を同時に形成する場合を示している。
図11、図12は、第2の実施形態を示している。第1の実施形態は、1つの空洞部に対応した1つの素子形成領域の周囲に素子分離領域を形成する場合について説明した。これに対して、第2の実施形態は、1つの空洞部に対応した複数の素子形成領域を分離する素子分離領域を同時に形成する場合を示している。
図11、図12は、基板11内に2つの素子形成領域12−1,12−2を形成した場合を示している。この場合、先ず、基板11内に、素子形成領域12−1,12−2に対応した大きさを有する1つの空洞部13を形成する。空洞部13の形成方法は、第1の実施形態と同様である。次に、素子形成領域12−1,12−2の周囲に対応して複数のトレンチ14を形成する。このとき、第1の実施形態と同様に、トレンチ14の相互間にシリコンの一部が残っているため、素子形成領域12−1,12−2の落下を防止できる。
尚、図11には、素子形成領域12−1、12−2の相互間に形成されるトレンチ14についてもシリコンの柱を一部残した場合を示した。しかし、素子形成領域12−1、12−2の周囲に形成された複数のトレンチ14の相互間に残されたシリコンの柱だけで2つの素子形成領域12−1、12−2を確実に支えることができるようであれば、素子形成領域12−1、12−2の相互間のトレンチ14はシリコンの柱を残す必要はなく、図13に示すように、連続的なトレンチ14−1としてもよい。
この後、第1の実施形態と同様にして、トレンチ14、14−1の周囲の基板11に素子分離領域17を構成するシリコン酸化膜15が形成され、トレンチ14、14−1内がポリシリコン膜16により埋め込まれる。
上記第2の実施形態によれば、複数の素子形成領域12−1,12−2に対応した大きさの空洞部13を予め形成し、これら素子形成領域12−1,12−2の周囲に複数のトレンチ14、14−1を形成した後、トレンチ14、14−1周囲のシリコンを酸化することにより、複数の素子形成領域12−1、12−2と素子分離領域17を同時に形成することができる。
しかも、複数のトレンチ14、14−1を各素子形成領域12−1、12−2の周囲に互いに所定間隔離間して形成し、これらトレンチ14、14−1の間にシリコンの柱を残している。したがって、同時に複数の素子形成領域12−1、12−2及び素子分離領域17を形成する場合においても、素子形成領域12−1、12−2を確実に支えることができ、素子形成領域12−1、12−2の落下を防止できる。
また、第2の実施形態は、複数の素子形成領域12−1、12−2に対応して広い空洞部13を形成している。一般に、狭い空洞部13の場合、後の熱処理においてシリコンが融解した場合、表面エネルギーが小さくなるよう空洞部13の断面形状が円形状となり易い。このような円形状の空洞部13は、寄生容量が増加することが知られている。しかし、第2の実施形態のように、広い空洞部13を形成した場合、熱処理後も空洞部13の断面形状をほぼ矩形に保持することができる。したがって、寄生容量の増加を抑制することができる。
尚、上記第1、第2の実施形態は、STIのような微細なトレンチを用いた素子に適用することも可能である。したがって、第1、第2の実施形態は、パワーMOSトランジスタ、パワーバイポーラトランジスタなどの高耐圧素子に限定されるものではなく、ロジック回路等に適用することも可能である。
さらに、上記第2の実施形態は、3つ以上の素子形成領域に対応して空洞部を形成した場合に適用可能であることは言うまでもない。
その他、本発明の要旨を変えない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
11…シリコン基板、12、12−1、12−2…素子形成領域、13…空洞部、14、14−1…トレンチ、15…シリコン酸化膜、16…ポリシリコン膜、17…素子分離領域。
Claims (5)
- 基板表面の少なくとも1つの素子形成領域に対応して前記基板内に形成された空洞部と、
前記空洞部に連通され、前記素子形成領域周囲の前記基板内に形成された複数のトレンチと、
前記各トレンチの周囲に形成され、前記素子形成領域を連続して囲む酸化膜と
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記トレンチ内に形成され、前記トレンチを埋め込む埋め込み材料をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記酸化膜の膜厚は、前記複数のトレンチ相互間の距離の1/2以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 基板内に空洞部を形成し、
前記基板表面から前記基板内に前記空洞部に連通された複数のトレンチを形成し、
前記複数のトレンチ周囲の前記基板を酸化することにより、前記空洞部上の前記基板表面を連続して囲む酸化膜を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチ内を埋め込み材により埋め込むことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005052749A JP2006237455A (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | 半導体装置とその製造方法 |
US11/362,737 US7253479B2 (en) | 2005-02-28 | 2006-02-28 | Semiconductor device with cavity and method of manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005052749A JP2006237455A (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | 半導体装置とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006237455A true JP2006237455A (ja) | 2006-09-07 |
Family
ID=36932451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005052749A Pending JP2006237455A (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | 半導体装置とその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7253479B2 (ja) |
JP (1) | JP2006237455A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009194325A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2012222092A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体基板または半導体装置の製造方法 |
US8587064B2 (en) | 2011-03-02 | 2013-11-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7547945B2 (en) | 2004-09-01 | 2009-06-16 | Micron Technology, Inc. | Transistor devices, transistor structures and semiconductor constructions |
US7384849B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-06-10 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming recessed access devices associated with semiconductor constructions |
US7282401B2 (en) | 2005-07-08 | 2007-10-16 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for a self-aligned recessed access device (RAD) transistor gate |
US7867851B2 (en) | 2005-08-30 | 2011-01-11 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming field effect transistors on substrates |
US7700441B2 (en) | 2006-02-02 | 2010-04-20 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming field effect transistors, methods of forming field effect transistor gates, methods of forming integrated circuitry comprising a transistor gate array and circuitry peripheral to the gate array, and methods of forming integrated circuitry comprising a transistor gate array including first gates and second grounded isolation gates |
US7452784B2 (en) * | 2006-05-25 | 2008-11-18 | International Business Machines Corporation | Formation of improved SOI substrates using bulk semiconductor wafers |
US7602001B2 (en) * | 2006-07-17 | 2009-10-13 | Micron Technology, Inc. | Capacitorless one transistor DRAM cell, integrated circuitry comprising an array of capacitorless one transistor DRAM cells, and method of forming lines of capacitorless one transistor DRAM cells |
US7772632B2 (en) | 2006-08-21 | 2010-08-10 | Micron Technology, Inc. | Memory arrays and methods of fabricating memory arrays |
US7589995B2 (en) | 2006-09-07 | 2009-09-15 | Micron Technology, Inc. | One-transistor memory cell with bias gate |
WO2008145186A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Floating-body dram cell capacitively coupled to an electrode in an sti region and fabrication method thereof |
US7923373B2 (en) | 2007-06-04 | 2011-04-12 | Micron Technology, Inc. | Pitch multiplication using self-assembling materials |
US7919388B2 (en) * | 2008-05-30 | 2011-04-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Methods for fabricating semiconductor devices having reduced gate-drain capacitance |
US7838389B2 (en) * | 2008-05-30 | 2010-11-23 | Freescale Semiconductor, Inc. | Enclosed void cavity for low dielectric constant insulator |
CN102456727A (zh) * | 2010-10-25 | 2012-05-16 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 低集电极/基极电容SiGe异质结双极晶体管结构及制造方法 |
US8603889B2 (en) * | 2012-03-30 | 2013-12-10 | International Business Machines Corporation | Integrated circuit structure having air-gap trench isolation and related design structure |
US8772126B2 (en) | 2012-08-10 | 2014-07-08 | Infineon Technologies Ag | Method of manufacturing a semiconductor device including grinding from a back surface and semiconductor device |
US9263357B2 (en) | 2013-12-06 | 2016-02-16 | Infineon Technologies Dresden Gmbh | Carrier with hollow chamber and support structure therein |
US9560765B2 (en) | 2013-12-06 | 2017-01-31 | Infineon Technologies Dresden Gmbh | Electronic device, a method for manufacturing an electronic device, and a method for operating an electronic device |
US9613878B2 (en) * | 2013-12-06 | 2017-04-04 | Infineon Technologies Dresden Gmbh | Carrier and a method for processing a carrier |
US20160247879A1 (en) * | 2015-02-23 | 2016-08-25 | Polar Semiconductor, Llc | Trench semiconductor device layout configurations |
US10833175B2 (en) * | 2015-06-04 | 2020-11-10 | International Business Machines Corporation | Formation of dislocation-free SiGe finFET using porous silicon |
CN108649015B (zh) * | 2018-05-18 | 2020-12-11 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | Son器件的制备方法 |
CN112701128B (zh) * | 2020-12-29 | 2022-04-19 | 上海烨映微电子科技股份有限公司 | Son结构及其制备方法 |
CN113838795A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-12-24 | 慧石(上海)测控科技有限公司 | 含有空腔的多层绝缘体上的硅晶圆及其制备方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5427975A (en) * | 1993-05-10 | 1995-06-27 | Delco Electronics Corporation | Method of micromachining an integrated sensor on the surface of a silicon wafer |
US5736430A (en) * | 1995-06-07 | 1998-04-07 | Ssi Technologies, Inc. | Transducer having a silicon diaphragm and method for forming same |
JP4074051B2 (ja) | 1999-08-31 | 2008-04-09 | 株式会社東芝 | 半導体基板およびその製造方法 |
US6579738B2 (en) * | 2000-12-15 | 2003-06-17 | Micron Technology, Inc. | Method of alignment for buried structures formed by surface transformation of empty spaces in solid state materials |
JP4277481B2 (ja) | 2002-05-08 | 2009-06-10 | 日本電気株式会社 | 半導体基板の製造方法、半導体装置の製造方法 |
JP2006093268A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 半導体基板、半導体装置、半導体基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-02-28 JP JP2005052749A patent/JP2006237455A/ja active Pending
-
2006
- 2006-02-28 US US11/362,737 patent/US7253479B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009194325A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Denso Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
US8587064B2 (en) | 2011-03-02 | 2013-11-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
JP2012222092A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体基板または半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7253479B2 (en) | 2007-08-07 |
US20060194410A1 (en) | 2006-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006237455A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP4827363B2 (ja) | トレンチ素子分離構造を有する半導体素子の製造方法 | |
JP4034136B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
US20060128123A1 (en) | Methods of forming integrated circuits structures including epitaxial silicon layers in a active regions | |
JP2007103490A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2004103613A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2010098277A (ja) | 半導体素子およびその製造方法 | |
KR20050051448A (ko) | 에스오아이 기판들을 제조하는 방법들, 이를 사용하여반도체 소자들을 제조하는 방법들 및 그에 의해 제조된반도체 소자들 | |
US7625805B2 (en) | Passivation of deep isolating separating trenches with sunk covering layers | |
JP2007088312A (ja) | 半導体装置 | |
JP2006041422A (ja) | 半導体基板、半導体装置、半導体基板の製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2006332404A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2004128123A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4696640B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US7989308B2 (en) | Creation of dielectrically insulating soi-technlogical trenches comprising rounded edges for allowing higher voltages | |
JP4726120B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009238980A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006222447A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006344769A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP3844239B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005064194A (ja) | Soi構造を有する半導体基板及びその製造方法及び半導体装置 | |
JP2007207825A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2008130828A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
KR20070090089A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2009176856A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080924 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090303 |