JP2006228776A - 荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レジスト上に帯電防止膜が形成されている場合に、精度良くパターンを形成できる荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法を提供すること。
【解決手段】荷電粒子ビーム露光装置は、帯電防止膜が被着されたレジスト膜に荷電粒子ビームを照射して露光を行う露光部100と露光後のウエハを処理する露光後ウエハ処理部160とを有する。前記露光後ウエハ処理部160は、露光後に前記帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去手段162と、前記ウエハのベーク処理を行うベーク手段163と、露光後のウエハを前記帯電防止膜除去手段162に搬送し、前記帯電防止膜を除去させた後に前記ベーク手段163に搬送する露光後ウエハ処理制御手段209とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】荷電粒子ビーム露光装置は、帯電防止膜が被着されたレジスト膜に荷電粒子ビームを照射して露光を行う露光部100と露光後のウエハを処理する露光後ウエハ処理部160とを有する。前記露光後ウエハ処理部160は、露光後に前記帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去手段162と、前記ウエハのベーク処理を行うベーク手段163と、露光後のウエハを前記帯電防止膜除去手段162に搬送し、前記帯電防止膜を除去させた後に前記ベーク手段163に搬送する露光後ウエハ処理制御手段209とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法に関し、特に、帯電防止膜が形成されたレジストを露光する荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法に関する。
近年、半導体装置等の製造におけるリソグラフィ工程において、微細パターンを形成するために、荷電粒子ビーム露光装置が使用されるようになってきている。
荷電粒子ビーム露光装置を使用した微細パターンの形成においては、レジスト中に電荷が蓄積するチャージアップにより荷電粒子ビームが曲げられ、描画位置精度が悪化するという現象が発生する。
この現象を防止するため、一般にレジストの上又は下に導電性の帯電防止膜を形成している。帯電防止膜を形成することによって、例えば帯電防止膜の電位をアース電位とし、電子がレジストに帯電しないようにしている。
これに関する技術として、特許文献1には、チャージアップを防止するために、パターニングを行うレジストの下に帯電防止膜を形成する方法が開示されている。また、特許文献2には、チャージアップを防止するために、レジストを帯電防止膜とフッ素系樹脂膜とが積層された二重構造にする方法が開示されている。
特開平2−5408号公報
特開平7−74076号公報
上述したように、荷電粒子ビームを使用してレジストを露光する場合には、荷電粒子ビームの直進性を確保するために、帯電防止膜の形成が不可欠である。
しかし、帯電防止膜をレジスト上に形成して、露光、現像処理を行うと、帯電防止膜を形成しない場合に比べ、レジストに形成されるパターンの解像度やエッジラフネスが劣化し、パターンの精度が悪くなってしまう場合がある。
本発明は、かかる従来技術の課題に鑑みなされたものであり、レジスト上に帯電防止膜が形成されている場合に、精度良くパターンを形成できる荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法を提供することである。
上記した課題は、帯電防止膜が被着されたレジスト膜に荷電粒子ビームを照射して露光を行う露光部と露光後のウエハを処理する露光後ウエハ処理部とを有する荷電粒子ビーム露光装置であって、前記露光後ウエハ処理部は、露光後に前記帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去手段と、前記ウエハのベーク処理を行うベーク手段と、露光後のウエハを前記帯電防止膜除去手段に搬送し、前記帯電防止膜を除去させた後に前記ベーク手段に搬送する露光後ウエハ処理制御手段とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置により解決する。
また、上記した課題は、荷電粒子ビームの照射により、表面に帯電防止膜を形成したレジスト膜に所望のパターンを露光する工程と、前記帯電防止膜を除去する工程と、前記帯電防止膜を除去した後にレジスト膜を加熱するベーク処理をする工程とを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法により解決する。
本発明では、ウエハを露光した後、露光後ウエハ処理部において、レジストの上に形成した帯電防止膜を剥離し、その後PEB(Post Exposure Bake)処理を行うようにしている。これにより、PEB処理においてレジストの上に形成した帯電防止膜による影響がなくなり、パターン精度の悪化を防ぐことができる。
また、本発明では、荷電粒子ビーム露光装置に帯電防止膜除去及びベーク処理を行う露光後ウエハ処理部を設け、露光後すぐに帯電防止膜の除去及びベーク処理を行うようにしている。これにより、露光後のウエハの放置によるパターンの変形という現象を防止することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
はじめに、荷電粒子ビーム露光装置の構成、露光後ウエハ処理部の構成及び各構成要素を制御する制御部について説明する。次に、本発明の特徴である荷電粒子ビーム露光装置の露光後ウエハ処理部の動作を説明する。次に、本発明に係る荷電粒子ビーム露光装置を使用することにより、帯電防止膜を被着したレジストに形成するパターンの精度を向上させる露光方法について説明する。最後に、実際に本発明に係る露光装置及び露光方法により精度良くレジストにパターンが形成される実施例を示す。
(荷電粒子ビーム露光装置の構成)
図1は、本実施形態に係る荷電粒子ビーム露光装置の構成図である。
図1は、本実施形態に係る荷電粒子ビーム露光装置の構成図である。
この荷電粒子ビーム露光装置は、露光部100と、露光後ウエハ処理部160と、露光部100及び露光後ウエハ処理部160の各部を制御する制御部200とに大別される。このうち、露光部100は、荷電粒子ビーム生成部130、マスク偏向部140及び基板偏向部150によって構成され、その内部が減圧される。
荷電粒子ビーム生成部130では、電子銃101から生成した荷電粒子ビームEBが第1電磁レンズ102で収束作用を受けた後、ビーム整形用マスク103の矩形アパーチャ103aを透過し、荷電粒子ビームEBの断面が矩形に整形される。
その後、荷電粒子ビームEBは、マスク偏向部140の第2電磁レンズ105によって露光マスク110上に結像される。そして、荷電粒子ビームEBは、第1、第2静電偏向器104、106により、露光マスク110に形成された特定のパターンSに偏向され、その断面形状がパターンSの形状に整形される。
なお、露光マスク110はマスクステージ123に固定されるが、そのマスクステージ123は水平面内において移動可能であって、第1、第2静電偏向器104、106の偏向範囲(ビーム偏向領域)を超える部分にあるパターンSを使用する場合、マスクステージ123を移動することにより、そのパターンSをビーム偏向領域内に移動させる。
露光マスク110の上下に配された第3、第4電磁レンズ108、111は、それらの電流量を調節することにより、荷電粒子ビームEBを基板W上で結像させる役割を担う。
露光マスク110を通った荷電粒子ビームEBは、第3、第4静電偏向器112、113の偏向作用によって光軸Cに振り戻された後、第5電磁レンズ114によってそのサイズが縮小される。
マスク偏向部140には、第1、第2補正コイル107、109が設けられており、それらにより、第1〜第4静電偏向器104、106、112、113で発生するビーム偏向収差が補正される。
その後、荷電粒子ビームEBは、基板偏向部150を構成する遮蔽板115のアパーチャ115aを通過し、第1、第2投影用電磁レンズ116、121によって基板W上に投影される。これにより、露光マスク110のパターンの像が、所定の縮小率、例えば1/60の縮小率で基板Wに転写されることになる。
基板偏向部150には、第5静電偏向器119と電磁偏向器120とが設けられており、これらの偏向器119、120によって荷電粒子ビームEBが偏向され、基板Wの所定の位置に露光マスクのパターンの像が投影される。
更に、基板偏向部150には、基板W上における荷電粒子ビームEBの偏向収差を補正するための第3、第4補正コイル117、118が設けられる。
基板Wは、モータ等の駆動部125により水平方向に移動可能なウェハステージ124に固定されており、ウェハステージ124を移動させることで、基板Wの全面に露光を行うことが可能となる。
(露光後ウエハ処理部の構成)
露光後ウエハ処理部160は露光部100と接続されるロードロック部161と、帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去部162と、PEBを行うベーク部163と、ウエハを冷却するCP(チルプレート)部164と、ウエハを収納するウエハキャリア部165とから構成される。
露光後ウエハ処理部160は露光部100と接続されるロードロック部161と、帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去部162と、PEBを行うベーク部163と、ウエハを冷却するCP(チルプレート)部164と、ウエハを収納するウエハキャリア部165とから構成される。
(制御部の説明)
一方、制御部200は、電子銃制御部202、電子光学系制御部203、マスク偏向制御部204、マスクステージ制御部205、ブランキング制御部206、基板偏向制御部207、ウェハステージ制御部208及び露光後ウエハ処理制御部209を有する。これらのうち、電子銃制御部202は電子銃101を制御して、荷電粒子ビームEBの加速電圧やビーム放射条件等を制御する。また、電子光学系制御部203は、電磁レンズ102、105、108、111、114、116及び121への電流量等を制御して、これらの電磁レンズが構成される電子光学系の倍率や焦点位置等を調節する。ブランキング制御部206は、ブランキング電極127への印加電圧を制御することにより、露光開始前から発生している荷電粒子ビームEBを遮蔽板115上に偏向し、露光前に基板W上に荷電粒子ビームEBが照射されるのを防ぐ。
一方、制御部200は、電子銃制御部202、電子光学系制御部203、マスク偏向制御部204、マスクステージ制御部205、ブランキング制御部206、基板偏向制御部207、ウェハステージ制御部208及び露光後ウエハ処理制御部209を有する。これらのうち、電子銃制御部202は電子銃101を制御して、荷電粒子ビームEBの加速電圧やビーム放射条件等を制御する。また、電子光学系制御部203は、電磁レンズ102、105、108、111、114、116及び121への電流量等を制御して、これらの電磁レンズが構成される電子光学系の倍率や焦点位置等を調節する。ブランキング制御部206は、ブランキング電極127への印加電圧を制御することにより、露光開始前から発生している荷電粒子ビームEBを遮蔽板115上に偏向し、露光前に基板W上に荷電粒子ビームEBが照射されるのを防ぐ。
基板偏向制御部207は、第5静電偏向器119への印加電圧と、電磁偏向器120への電流量を制御することにより、基板Wの所定の位置上に荷電粒子ビームEBが偏向されるようにする。ウェハステージ制御部208は、駆動部125の駆動量を調節して基板Wを水平方向に移動させ、基板Wの所望の位置に荷電粒子ビームEBが照射されるようにする。露光後ウエハ処理制御部209は、露光後ウエハ処理部160内の各部にウエハを搬送させたり、帯電防止膜を除去する際に必要な水量を調節したり、ベークの温度を調節したりする。
上記の各部202〜209は、ワークステーション等の統合制御系201によって統合的に制御される。
以上のように構成された荷電粒子ビーム露光装置において、帯電防止膜除去部162は「帯電防止膜除去手段」に、ベーク部163は「ベーク手段」に、CP部164は「冷却手段」に、ウエハキャリア部165は「ウエハ格納手段」に、露光後ウエハ処理制御部209は「露光後ウエハ処理制御手段」にそれぞれ対応している。
(露光後ウエハ処理部の動作)
以下、帯電防止膜が被着されたレジスト膜に荷電粒子ビームを照射して露光をした後の処理を行う露光後ウエハ処理部160の動作について図面を参照して説明する。
以下、帯電防止膜が被着されたレジスト膜に荷電粒子ビームを照射して露光をした後の処理を行う露光後ウエハ処理部160の動作について図面を参照して説明する。
露光後にロードロック部161を通過して露光後ウエハ処理部160に搬送されたウエハは、PEBをする前に帯電防止膜を剥離するために、帯電防止膜除去部162のカップ(載置台)に載置する。次に、ウエハを載置したカップを回転させる。ウエハが回転している状態でウエハの表面に純水を滴下又はスプレーして帯電防止膜を除去(剥離)する。帯電防止膜が剥離されたウエハはベーク部163に搬送されベーク処理(PEB)を行う。PEBが行われたウエハはCP部164に搬送され、PEBで高温になったウエハをクールダウンする。その後、ウエハはウエハキャリア部165に搬送される。
ここで、帯電防止膜は例えば、ポリアニリンスルホン酸(5%)と水(95%)とからなり、水溶性である。そのため、レジスト上に形成された帯電防止膜は、純水を滴下又はスプレーすることにより容易に剥離することができる。
以上説明したように、本実施形態においてはウエハを露光した後、露光後ウエハ処理部において帯電防止膜の剥離をし、その後PEB処理を行うようにしている。これにより、PEB処理においてレジスト上に形成した帯電防止膜による影響がなくなり、パターン精度の悪化を防ぐことができる。
また、荷電粒子ビーム露光装置に帯電防止膜除去及びベーク処理を行う露光後ウエハ処理部を設け、露光後すぐに帯電防止膜の除去及びベーク処理を行うようにしている。これにより、露光後のウエハの放置によるパターンの変形という現象を防止することができる。
(荷電粒子ビーム露光方法の説明)
次に、上記した露光後ウエハ処理部を有する荷電粒子ビーム露光装置を使用することにより、帯電防止膜が被着されたレジストに精度良くパターンを形成する露光方法について説明する。
次に、上記した露光後ウエハ処理部を有する荷電粒子ビーム露光装置を使用することにより、帯電防止膜が被着されたレジストに精度良くパターンを形成する露光方法について説明する。
図2は、本実施形態に係る荷電粒子ビーム露光方法を説明するための工程を順に示す断面図である。
ここでは、ウエハ(基板)上に絶縁膜が形成され、その上に感光性のレジストが塗布される試料を対象とする。
まず、図2(a)に示すように、シリコンよりなるウエハ(基板)30の上にSi酸化膜31を形成する。次に、レジスト32をスピンコート法により塗布して約150nmの膜厚にする。ここで、レジスト32は、化学増幅型レジストを使用している。化学増幅型レジストは、光反応でレジスト膜の中に酸を発生させ、酸を触媒として露光後の加熱によりパターンを形成するものである。本実施形態においては化学増幅型レジストとして、感度が15μC/cm2のレジストを使用している。
次に、図2(b)に示すように、レジスト32の上全面に帯電防止膜33を形成する。帯電防止膜33となる導電性の材料をスピンコート法により塗布して約30nmの膜厚にする。本実施形態においては帯電防止膜33として、ポリアニリンスルホン酸が5%、水が95%からなる導電性材料を使用している。この後、脱水のためのベーク処理を行う。
次に、図2(c)に示すように、荷電粒子ビーム34で所望のパターンの露光を行う。露光の際には、帯電防止膜33を接地するようにして露光する。これにより、レジスト32内部及びSi酸化膜31中に電荷が溜まることを防止できる。このため、荷電粒子ビーム34の入射ビームの位置がレジスト32及びSi酸化膜31の帯電によってずれるということがなくなる。また、帯電防止膜33はその膜厚が30nmと薄く形成しているため、導電性の帯電防止膜33において荷電粒子ビーム34が散乱することはほとんど無く、荷電粒子ビーム34は帯電防止膜33を直進してレジスト32に達する。
次に、図2(d)に示すように、帯電防止膜33を除去する。露光後の試料は、ロードロック部161を通り、真空の露光部100から大気圧の露光後ウエハ処理部160に搬送される。そして、露光後ウエハ処理部160に搬送された試料は、帯電防止膜除去部162において、帯電防止膜33を除去する。帯電防止膜33の除去は、帯電防止膜除去部162を構成するカップに試料をセットし、カップを回転させ、試料の上から純水を滴下又はスプレーすることにより行う。上記のように帯電防止膜33は水溶性であるため、試料の上から純水を滴下又はスプレーすることによって容易に除去することができる。また、レジスト32は純水と反応することは無いため、帯電防止膜33の除去に純水を使用してもレジスト32に与える影響はない。
なお、帯電防止膜33を除去するのに要する時間は数分である。従って、露光後、数時間放置しておくとパターンが変化してしまう場合があるが、本実施形態においては、露光後、PEBまでの時間が数分であるため、レジスト32に形成されるパターンが変化することはほとんど無い。
次に、ベーク部163において、PEB処理を行う。PEB処理は、100〜130℃で90〜120秒間行う。このPEB処理を行うことにより、化学増幅型レジスト32の樹脂が熱に反応し、パターンを得ることができる。帯電防止膜の熱による余分な反応が無いため、得られるパターンの誤差を小さくすることが可能である。
この後、ウエハはCP部164に搬送されて冷却され、冷却されたウエハはウエハキャリア部165に収納される。
次に、ウエハはデベロッパー(不図示)に搬送され、現像処理が施され、図2(e)に示すように、パターンが形成される。
(実施例)
以下、本実施形態の荷電粒子ビーム露光方法により実際に試料にパターンを形成した結果について説明する。ここで、化学増幅型レジストとして、富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ製のFEPS−127Bを使用し、レジストの膜厚は150nmとした。また、形成するパターンは、ライン&スペースでパターンの幅は80nmとし、ラインとスペースの幅の比率を1:2とした。
以下、本実施形態の荷電粒子ビーム露光方法により実際に試料にパターンを形成した結果について説明する。ここで、化学増幅型レジストとして、富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ製のFEPS−127Bを使用し、レジストの膜厚は150nmとした。また、形成するパターンは、ライン&スペースでパターンの幅は80nmとし、ラインとスペースの幅の比率を1:2とした。
図3(a)は、帯電防止膜が有る場合に、露光後に帯電防止膜を除去し、その後、PEB処理をして得られたパターンのSEM(Scanning Electron Microscope)画像である。図3(b)は、帯電防止膜が有る場合に、露光後にPEB処理をし、その後、帯電防止膜を除去したときに得られるパターンのSEM画像である。また、図3(c)は帯電防止膜が無い場合に得られるパターンのSEM画像である。
図3(a)からわかるように、帯電防止膜を除去した後にPEB処理をした場合は、図3(c)に示した帯電防止膜が無い場合に得られたパターンと同程度の解像度の良いパターンが得られた。一方、PEB処理をした後に帯電防止膜を除去した場合は、パターンの解像度が悪く、所望のパターンが得られなかった。なお、ライン&スペースの比率を1:1として、PEB処理をした後に帯電防止膜を除去した場合は解像されずパターンを得ることができなかった。
図4は、パターンの幅を60nmとし、ラインとスペースの幅の比率を1:2とした場合のSEM画像であり、図4(a)は露光後に帯電防止膜を除去し、その後PEB処理をした場合、図4(b)は露光後にPEB処理をし、その後帯電防止膜を除去した場合、図4(c)は帯電防止膜が無い場合に得られるパターンのSEM画像である。
図3の場合と同様に、露光後に帯電防止膜を除去してからPEB処理を行うと解像度の良いパターンが得られることが確認された。
以上説明したように、本実施形態の荷電粒子ビーム露光方法では、化学増幅型レジストの上に帯電防止膜を形成して所望のパターンに露光する。その後、帯電防止膜を除去してからPEB処理を行うようにしている。これにより、PEB処理においてレジストに対する帯電防止膜の影響を無くすことができ、パターンの精度を向上させることができる。
また、帯電防止膜の除去及びPEB処理は、露光装置の一部として設けた露光後ウエハ処理部で行うようにしている。そのため、露光後、短時間でウエハのPEB処理を行うことができる。これにより、露光後にウエハを放置しておくことによってパターンが変形する前にPEB処理をすることができ、パターンの変化を防止することができる。
なお、本実施形態で説明した荷電粒子ビーム露光装置の一部である露光後ウエハ処理部を独立した露光後ウエハ処理装置とし、荷電粒子ビーム露光装置の露光部と接続して使用することも可能である。
30…ウエハ、32…レジスト、33…帯電防止膜、34…荷電粒子ビーム、100…露光部、101…電子銃、102…第1電磁レンズ、103…ビーム整形用マスク、103a…矩形アパーチャ、104…第1静電偏向器、105…第2電磁レンズ、106…第2静電偏向器、107…第1補正コイル、108…第3電磁レンズ、109…第2補正コイル、110…露光用マスク、111…第4電磁レンズ、112…第3静電偏向器、113…第4静電偏向器、114…第5電磁レンズ、115…遮蔽板、115a…アパーチャ、116…第1投影用電磁レンズ、117…第3補正コイル、118…第4補正コイル、119…第5静電偏向器、120…電磁偏向器、121…第2投影用電磁レンズ、123…マスクステージ、124…ウェハステージ、125…駆動部、127…ブランキング電極、160…露光後ウエハ処理部、161…ロードロック部、162…帯電防止膜除去部、163…ベーク部、164…CP部、165…ウエハキャリア部。
Claims (13)
- 帯電防止膜が被着されたレジスト膜に荷電粒子ビームを照射して露光を行う露光部と露光後のウエハを処理する露光後ウエハ処理部とを有する荷電粒子ビーム露光装置であって、
前記露光後ウエハ処理部は、
露光後に前記帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去手段と、
前記ウエハのベーク処理を行うベーク手段と、
露光後のウエハを前記帯電防止膜除去手段に搬送し、前記帯電防止膜を除去させた後に前記ベーク手段に搬送する露光後ウエハ処理制御手段とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。 - 前記帯電防止膜除去手段は、前記露光後のウエハを載置する載置台と、
該ウエハに純水を滴下する滴下手段又は純水をスプレーするスプレー手段とを有することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム露光装置。 - 前記露光後ウエハ処理部は、前記露光部とロードロックを介して接続されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の荷電粒子ビーム露光装置。
- 前記露光後ウエハ処理部は、更に、前記ベーク手段においてベークされたウエハを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム露光装置。
- 前記露光後ウエハ処理部は、更に、前記冷却手段において冷却されたウエハを格納するウエハ格納手段を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム露光装置。
- レジスト膜に被着された帯電防止膜を剥離する帯電防止膜除去手段と、
ウエハのベーク処理を行うベーク手段と、
露光後のウエハを前記帯電防止膜除去手段に搬送し、前記帯電防止膜を除去させた後に前記ベーク手段に搬送する露光後ウエハ処理制御手段とを有することを特徴とする露光後ウエハ処理装置。 - 前記帯電防止膜除去手段は、前記露光後のウエハを載置する載置台と、
該ウエハに純水を滴下する滴下手段又は純水をスプレーするスプレー手段とを有することを特徴とする請求項6に記載の露光後ウエハ処理装置。 - 更に、前記ベーク手段においてベークされたウエハを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の露光後ウエハ処理装置。
- 更に、前記冷却手段において冷却されたウエハを格納するウエハ格納手段を有することを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか一項に記載の露光後ウエハ処理装置。
- 荷電粒子ビームの照射により、表面に帯電防止膜を形成したレジスト膜に所望のパターンを露光する工程と、
前記帯電防止膜を除去する工程と、
前記帯電防止膜を除去した後にレジスト膜を加熱するベーク処理をする工程と
を含むことを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。 - 前記帯電防止膜は、
前記レジスト膜の上全面に導電性材料を塗布する工程と、
前記材料を塗布した前記レジスト膜を加熱する露光前ベーク処理をする工程と
により形成することを特徴とする請求項10に記載の荷電粒子ビーム露光方法。 - 前記導電性材料は、ポリアニリンスルホン酸と水とからなることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の荷電粒子ビーム露光方法。
- 前記レジスト膜は、荷電粒子ビームの照射により酸を発生する化学増幅型レジスト膜であることを特徴とする請求項10から請求項12のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム露光方法。
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