JP2006223917A - 溶剤回収機能付き蒸留装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 洗浄液が溶解したリンス液を蒸留して再生する際に、洗浄液及びリンス液を廃棄する必要のない蒸留装置を提供する。
【解決手段】 蒸留装置２０の蒸留槽２１内に、熱源２２が設置されている。また、蒸留槽２１の上方には、冷却コイル２３を有したリンス液回収槽２４が設置されている。また、蒸留槽２１内には、熱源２２によりリンス液を気化して当該リンス液に溶解する洗浄液を回収する洗浄液回収槽２５が設置されている。洗浄液回収槽２５は、リンス液の液面の上限を検出する第１のセンサ２６Ａ及び当該下限を検出する第２のセンサ２６Ｂを有している。また、熱源２２の熱により気化されたリンス液を冷却コイル２３へ導くための開口部２５Ｍを有している。また、蒸留槽２１及び洗浄液回収槽２５には、リンス液もしくは回収された洗浄液を通す第１の導入管３１、第１の排出管４１、第２の導入管、第２の排出管４２が接続されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、工業製品の洗浄工程に係る蒸留装置に関し、特に、洗浄液が溶解したリンス液から当該洗浄液を回収する溶剤回収機能を有した蒸留装置に関する。

従来より、被洗浄体である電子部品や自動車部品等の工業製品の洗浄処理において、例えば炭化水素（ＨＣ）のような有機系の洗浄液を用いた場合、その後のリンス処理では、当該有機系の洗浄液よりも低い沸点を有した例えばフッ素系溶剤（ＨＦＥ）のようなフッ素系のリンス液を用いることが一般的であるとされている。洗浄処理後のリンス処理では、洗浄処理において被洗浄体に付着した洗浄液が、リンス液が蓄積されたリンス槽に持ち込まれ、当該リンス液に溶解する。そのため、当該リンス液を一定周期で廃棄するかまたは蒸留装置により蒸留して、洗浄液を分離して除く必要がある。

次に、上述したような洗浄処理及び当該リンス処理に用いられる蒸留装置について、図面を参照して説明する。図２は、リンス処理に用いるリンス液の流れを説明する図である。また、図３は、従来例に係る蒸留装置を説明する図である。なお、図２では、洗浄処理に用いられる洗浄槽等の洗浄装置の構成要素については省略している。

図２に示すように、リンス液は、例えば、３つの槽から成るリンス槽１１２に蓄積される。即ち、最初に被洗浄体がリンス処理される第１のリンス槽１１２Ａには、２回目のリンス処理が為される第２のリンス槽１１２Ｂからオーバーフローしたリンス液が蓄積される。また、オーバーフロー槽１１２Ｃには、第１のリンス槽１１２Ａからオーバーフローしたリンス液が蓄積される。オーバーフロー槽１１２Ｃのリンス液は、蒸留装置１２０へ流入する。そして、蒸留装置１２０から排出されたリンス液は、第２のリンス槽１１２Ｂへ還流する。

ここで、蒸留装置１２０は、例えば次のような構成を有している。即ち、図３に示すように、蒸留槽１２１には、図２のオーバーフロー槽１１２Ｃから導入管１３１を通して流入したリンス液が蓄積される。蒸留槽１２１には、リンス液を気化させる熱源１２２が設けられている。また、蒸留槽１２１の上方には、気化したリンス液を冷却して液化する冷却コイル１２３を有したリンス液回収槽１２４が設けられている。この冷却コイル１２３により冷却されたリンス液は、当該冷却コイル１２３を伝わって、リンス液回収槽１２４に回収される。回収されたリンス液は、図２の第２のリンス槽１１２Ｂへ還流する。また、蒸留槽１２１には、蒸留により濃縮された洗浄液を含むリンス液を外部へ排出する排出管１６２が設けられている。

また、導入管１３１及び排出管１４１には、それぞれ、リンス液の流れを制御するバルブ１６１及びバルブ１６２が設けられている。

なお、関連する技術文献としては、例えば以下の特許文献が挙げられる。
特開平０６−３２８０５２号公報

しかしながら、上述した従来例に係る蒸留装置１２０を用いたリンス液の蒸留では、当該蒸留が進むに従って、蒸留槽１２１内のリンス液に溶解する洗浄液の濃度が高まってゆき、リンス液の再生能力（単位時間あたりの再生量）が低下する。そのため、リンス液に溶解している洗浄液が所定の濃度に達した場合、当該洗浄液を、本来ならば蒸留して再生するべきリンス液と共に、定期的に排出管１４１より蒸留槽１２１の外部へ排出して廃棄する必要があった。さらに、上記廃棄にともなう洗浄液及びリンス液の不足分を補充する必要があった。

従って、上記洗浄液及びリンス液の補充にともなって、洗浄処理及びリンス処理のコストが増大していた。特に、上述したようなフッ素系のリンス液は高価であるため、リンス処理のコストが増大していた。

そこで本発明は、洗浄液及びリンス液を廃棄する必要のない蒸留装置を提供するものである。

本発明の溶剤回収機能付き蒸留装置は、上述の課題に鑑みて為されたものであり、被洗浄体を洗浄する洗浄槽の洗浄液が溶解したリンス槽のリンス液から、当該洗浄液を分離する蒸留装置であって、以下の特徴を有する。

即ち、本発明の溶剤回収機能付き蒸留装置は、リンス液が蓄積される蒸留槽と、リンス液を前記リンス槽から蒸留槽に流入させる第１の導入管と、蒸留槽内に設置されて、リンス液を気化させる熱源と、気化したリンス液を液化させる冷却器を有したリンス液回収槽と、蒸留装置内に設置されて、熱源の熱によりリンス液を気化して洗浄液を回収する洗浄液回収槽と、蒸留槽に流入したリンス液を洗浄液回収槽に流入させる第２の導入管と、洗浄液回収槽内に回収された洗浄液を蒸留槽の外部へ排出する排出管と、を備えることを特徴とする。

また、本発明の溶剤回収機能付き蒸留装置は、上記構成に加えて、洗浄液回収槽が、リンス液の液面の上限を検出する第１のセンサ及び当該下限を検出する第２のセンサと、上記熱源の熱により気化されたリンス液を冷却器へ導く開口部と、を有し、第２の導入管を通して流入したリンス液の液面を第１のセンサが検出した時点から、熱源の熱の気化により低下する当該リンス液の液面を第２のセンサが検出する時点までの時間に応じて、排出管を通して洗浄液を排出することを特徴とする。

また、本発明の溶剤回収機能付き蒸留装置は、上記構成に加えて、洗浄槽へ洗浄液を還流させる第１の還流管（減圧蒸留器が接続されている）と、リンス槽へリンス液を還流させる第２の還流管とを備え、排出管が前記第１の還流管と接続されると共に、リンス液回収槽が第２の還流管と接続されることを特徴とする。

また、本発明の溶剤回収機能付き蒸留装置は、上記構成に加えて、洗浄液回収槽が、当該洗浄液回収槽内のリンス液を循環させる循環管を有していることを特徴とする。

本発明の蒸留装置によれば、蒸留槽内に洗浄液回収槽が設置されている。そのため、洗浄液及びリンス液の両者を廃棄することなく、洗浄液が溶解したリンス液から、洗浄液及びリンス液をそれぞれ分離して再利用することができる。即ち、洗浄液及びリンス液の補充を行う必要が無くなり、洗浄処理及びリンス処理のコストを極力低く抑えることが可能となる。

また、蒸留装置と洗浄液回収槽とを別々に設置する必要がないため、上記リンス液の蒸留を、極力省スペースで行うことができる。また、蒸留槽内及び洗浄液回収槽内のリンス液を気化する際、同一の熱源によりリンス液を気化することができると共に、同一の冷却器を共有することで液化したリンス液を一括して貯めることができる。そのような蒸留装置の構成により、蒸留時の温度変化が極力低く抑えられ、当該熱源の温度管理を効率的かつ一元的に行うことができる。

次に、本発明の実施形態に係る溶剤回収機能付き蒸留装置について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る溶剤回収機能付き蒸留装置を説明する図である。

図１に示すように、被洗浄体１の洗浄処理に用いられる所定の洗浄液が、洗浄槽１１に蓄積されている。また、上記洗浄処理を経て搬送装置２により搬送される被洗浄体１のリンス処理に用いられる所定のリンス液が、リンス槽１２に蓄積されている。

上記所定の洗浄液は、例えば炭化水素（ＨＣ）のような有機系の洗浄液であるものとする。また、上記所定のリンス液は、上記洗浄液よりも低い沸点を有した例えばフッ素系溶剤（ＨＦＥ）のようなフッ素系のリンス液であるものとする。ここで、特に限定されないが、有機系の洗浄液は例えば約１５０℃の沸点を有しており、フッ素系のリンス液は例えば約６０℃の沸点を有しているものとする。また、上述したリンス槽１２に蓄積されるリンス液には、洗浄処理において被洗浄体１に付着した洗浄液が溶解しているものとする。

また、被洗浄体１は、上記洗浄液及びリンス液を用いて洗浄処理及びリンス処理が為されるものであれば特に限定されないが、例えば半導体装置の製造工程に用いられる金属マスク、電子回路を構成するプリント基板、自動車部品等である。

本発明の実施形態に係る溶剤回収機能付き蒸留装置は、上記洗浄液が溶解したリンス液を蒸留してリンス液を再生すると共に、当該洗浄液を同一の蒸留装置内で回収して再利用可能な状態に至らしめるものである。

次に、本実施形態に係る溶剤回収機能付き蒸留装置の構成について説明する。図１に示すように、蒸留装置２０の蒸留槽２１に、リンス槽１２からリンス液を流入させる第１の導入管３１、及び当該蒸留槽２１内のリンス液を外部へ排出する第１の排出管４１が接続されている。第１の導入管３１及び第１の排出管４１には、それぞれ、バルブ６１及びバルブ６２が設けられている。

また、蒸留槽２１内には、リンス液を気化するための熱源２２が設置されている。この熱源２２は、一般的な蒸留装置で用いられているヒーターであり、特に限定されないが、例えば温水等の加熱媒体が循環するパイブを有したものであってもよい。蒸留槽２１の上方には、冷却コイル２３を有したリンス液回収槽２４が設置されている。ここで、冷却コイル２３は、冷却液が循環するコイル状の冷却パイプである。冷却コイル２３は、当該コイル状の冷却パイプに囲まれる空間に気化されたリンス液を通過させて、当該気化されたリンス液を冷却して液化する。この液化されたリンス液は、当該冷却パイプに伝わりながらリンス液回収槽に導かれる。

また、リンス液回収槽２４は、リンス液と水との比重差を利用して当該リンス液から水分（上記気化及び液化の際に含まれた水分等）を分離する水分離槽２４Ｓを有している。また、リンス液回収槽２４は、回収されたリンス液をリンス槽１２に還流させる第２の還流管５２と接続されている。第２の還流管５２には、リンス液に含まれた水分を除去するための不図示の水分離層が接続されてもよい。

また、蒸留槽２１内には、洗浄液が溶解したリンス液から洗浄液を回収する洗浄液回収槽２５が設置されている。洗浄液回収槽２５は、リンス液の液面の上限を検出する第１のセンサ２６Ａ、及び当該下限を検出する第２のセンサ２６Ｂを有している。また、熱源２２の熱により気化されたリンス液を冷却コイル２３へ導くための開口部２５Ｍを有している。

また、洗浄液回収槽２５内には、蒸留補助用球体２５Ｂが備えられてもよい。蒸留補助用球体２５Ｂは、洗浄液回収槽２５内のリンス液上に局所的に浮上して露出し、かつ回転可能であり、リンス液及び当該リンス液中に溶解した洗浄液に対する所定の耐性（変形、変質、溶解等に対する耐性）を有するような材質から成ることが好ましい。例えば、本実施形態の洗浄液及びリンス液に対しては、蒸留補助用球体２５Ｂは、テフロン（イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーの登録商標）等のフッ素系材料から成るものであってもよい。

また、蒸留補助用球体２５Ｂのサイズ及び個数は特に制限されないが、当該サイズが小さい場合、リンス液上に浮上して露出する当該表面の面積が極力大きくなるように、複数の蒸留補助用球体２５Ｂが洗浄液回収槽２５内に備えられてもよい。

また、洗浄液回収槽２５には、蒸留槽２１内のリンス液を当該洗浄液回収槽２５内に流入させる第２の導入管３２が接続されている。また、洗浄液回収槽２５には、当該洗浄液回収槽２５内に回収された洗浄液、もしくは当該洗浄液が溶解したリンス液を当該洗浄液回収槽２５の外部へ排出する第２の排出管４２が接続されている。第２の導入管３２及び第２の排出管４２には、それぞれ、バルブ６３及びバルブ６４が設けられている。

ここで、第１の排出管４１及び第２の排出管４２は、ポンプＰを介して、第２の導入管３２と接続されている。また、第２の排出管４２は、ポンプＰを介して、洗浄液回収槽２５に回収された洗浄液を洗浄槽１１に還流させる第１の還流管５１と接続されている。第１の還流管５１には、洗浄液に含まれた汚れ等の不純物を取り除いて当該洗浄液を再生する減圧蒸留器７０（例えば真空蒸留器）が接続されている。第２の排出管４２と第１の還流管５１との接続部には、バルブ６５が設けられている。

また、第２の導入管３２と第２の排出管４２は、ポンプＰを介して接続される。即ち、バルブ６２，６３，６４，６５の開閉により、第２の導入管３２と第２の排出管４２は、洗浄液回収槽２５内のリンス液を攪拌するような所定の流量をもって当該リンス液を循環させる流動経路、即ち循環管を構成することができる。この場合、バルブ６３及びバルブ６４は開かれ、バルブ６２及びバルブ６５は閉じられる。

次に、上述した蒸留装置の動作について説明する。最初に、バルブ６１が開いた第１の導入管３１を通して、リンス液が蒸留槽２１に流入する。蒸留槽２１では、熱源２２の熱によってリンス液が気化される。ここで、熱源２２は、リンス液を、当該リンス液の沸点を超える温度（例えば約６０℃以上）に加熱する。気化されたリンス液は、リンス液回収槽２４の冷却コイル２３に囲まれる領域を通過して冷却されて液化される。

液化されたリンス液、即ち溶解した洗浄液が分離されて除去されたリンス液は、当該冷却コイル２３を伝わってリンス液回収槽２４に回収される。さらに、回収されたリンス液は、リンス液回収槽２４の水分離槽２４Ｓを経て、リンス液の比重を用いて当該リンス液に含まれる水分が分離されて除去される。その後、当該リンス液は、再生されたリンス液として、第２の還流管５２を通してリンス槽へ還流する。

一方、蒸留槽２１内で気化されていないリンス液、即ち、洗浄液が溶解したリンス液は、第１の排出管４１及び第２の導入管３２を通して、ポンプＰを介して洗浄液回収槽２５に流入する。この間、第１の排出管４１及び第２の導入管３２のバルブ６２及びバルブ６４は開かれており、その他のバルブ６３及びバルブ６５は閉じられている。

次に、第２の導入管３２を通して洗浄液回収槽２５に流入したリンス液の液面を第１のセンサ２６Ａが検出した時点で、バルブ６２及びバルブ６４を閉じてリンス液の流入を停止する。そして、洗浄液回収槽２５内に流入したリンス液は、蒸留槽２１内の熱源２２の熱により気化される。気化されたリンス液は、蒸留槽２１内のリンス液と同様にして冷却コイル２３を介してリンス液回収槽２４に回収され、第２の還流管５２を通してリンス槽１２に還流する。なお、第２の還流管５２に不図示の水分離層が接続されている場合、当該不図示の水分離層において、上記気化及び液化の際にリンス液に含まれた水分が除去される。

また、洗浄液回収槽内２５が蒸留補助用球体２５Ｂを備えている場合、洗浄液回収槽内２５のリンス液上では、当該リンス液の対流によって蒸留補助用球体２５Ｂが回転しながら当該表面上で当該リンス液を空気に触れさせることにより、当該リンス液の気化される面積が広げられて気化の速度が速められる。

上述した洗浄液回収槽２５内のリンス液の気化が進むにしたがって、気化されずに洗浄液回収槽２５内に残存するリンス液の液面は低下してゆく。ここで、第１のセンサ２６Ａがリンス液の液面を検出した時点から、第２のセンサ２６Ｂが気化により低下するリンス液の液面を検出する時点までの時間（以降、「液面推移時間」と略称する）を計測する。

この液面推移時間が、リンス液に溶解する洗浄液の飽和状態を示す所定の時間を超えない場合、リンス液に溶解する洗浄液は飽和状態ではないものと判断して、再び、第１の排出管４１及び第２の導入管３２を通して、洗浄液が溶解したリンス液を、第１のセンサが当該リンス液の液面を検出するまで洗浄液回収槽２５に流入させる。即ち、上述した洗浄液回収槽２５へのリンス液の流入及び液面推移時間の計測を繰り返す。このリンス液の流入及び液面推移時間の計測の繰り返しによって、洗浄液回収槽２５内のリンス液に溶解する洗浄液の濃度が徐々に高まってゆく。

ここで、洗浄液回収槽２５へのリンス液の流入を停止した後、洗浄液回収槽２５内のリンス液が気化される間、第２の導入管３２と第２の排出管４２とをバルブ６２，６３，６４，６５の開閉により接続して循環管を構成し、当該循環管を通して、所定の流量を以って当該リンス液を循環させてもよい。このとき、バルブ６３及びバルブ６４は開かれており、バルブ６２及びバルブ６５は閉じられている。また、リンス液を循環させる際の所定の流量は、洗浄液回収槽２５内のリンス液を攪拌することができる程度の流量である。このリンス液の攪拌によって当該リンス液の気化される速度を高めることが可能となる。

上記リンス液の洗浄液回収槽２５への流入及び液面推移時間の計測を繰り返す過程で、液面推移時間が、リンス液に溶解する洗浄液の飽和状態を示す所定の時間を超えた場合、洗浄液回収槽２５内には、洗浄液のみが残留しているものと判断して、当該洗浄液を第２の排出管４２を通して排出する。

このとき、第２の排出管４２及び第１の還流管５１のバルブ６３及びバルブ６５は開かれている。その他のバルブ６２及びバルブ６４は閉じられている。即ち、洗浄液回収槽２５により回収された洗浄液は、リンス液を含まない極めて高濃度の洗浄液（汚れ等の不純物を含む）として、第１の還流管５１を通して減圧蒸留器７０に送られて汚れ等の不純物が除去されて再生された後、洗浄槽１１に還流する。

上述したように、本実施形態の蒸留装置２０は、その蒸留槽２１内に熱源２２及び洗浄液回収槽２５が設置され、溶剤回収機能付き蒸留装置として構成されている。そのため、蒸留装置２０のみにより、洗浄液及びリンス液を廃棄することなく、洗浄液が溶解したリンス液から、洗浄液及びリンス液をそれぞれ分離して再利用することができる。

即ち、従来例にみられたように、リンス液に溶解した洗浄液を所定のタイミングで廃棄するためのリンス液の廃棄を行う必要が無くなり、その廃棄された洗浄液及びリンス液の補充を行う必要が無くなる。そのため、洗浄処理及びリンス処理のコストを極力低く抑えることが可能となる。

また、そのようなリンス液の蒸留を、極力省スペースで行うことができる。また、蒸留槽２１内及び洗浄液回収槽２５内のリンス液を気化する際、蒸留槽２１内及び洗浄液回収槽２５内に流入したリンス液は同一の熱源２２により当該リンス液の沸点で維持されるため、蒸留槽２１内と洗浄液回収槽２５内とによって当該リンス液の温度変化が生じることはない。そのため、当該熱源２２の温度管理を効率的かつ一元的に行うことが可能となる。

なお、上述した実施形態では、第１の排出管４１、第２の排出管４２、及び第２の導入管３２を通るリンス液の流れをバルブ６２，６３，６４，６５の開閉により切り替えることにより、リンス液の洗浄液回収槽２５への流入、洗浄液回収槽内２５に回収された洗浄液の排出、及び洗浄液回収槽２５内のリンス液の循環、の各流れを生じさせる流動経路を構成していたが、本発明はこれに限定されない。即ち、図示しないが、上記リンス液の洗浄液回収槽２５への流入、洗浄液回収槽内２５に回収された洗浄液の排出、及び洗浄液回収槽２５内のリンス液の循環、の各流動経路を構成する独立した管を蒸留装置２０に設けてもよい。

また、上述した実施形態において、所定の洗浄液は炭化水素（ＨＣ）のような有機系の洗浄液であり、所定のリンス液はフッ素系溶剤（ＨＦＥ）のようなフッ素系のリンス液としたが、本発明はこれに限定されない。即ち、リンス液の沸点が洗浄液の沸点よりも低いものであれば、洗浄処理及びリンス処理が為される被洗浄体１の種類に応じて、上記以外の洗浄液もしくはリンス液が用いられてもよい。

例えば、被洗浄体１が自動車部品である場合、被洗浄体１に付着したオイル等の油成分を除去する洗浄液として、例えばアルコールやアセトンを用いてもよい。また、被洗浄体１がプリント基板である場合、洗浄液として、ＩＰＡ（ｉｓｏｐｒｏｐｙｌａｌｃｈｏｈｏｌ）が用いられてもよい。また、被洗浄体１及びその洗浄液に応じて、リンス液として純水が用いられてもよい。

本発明の実施形態に係る溶剤回収機能付き蒸留装置を説明する図である。 リンス処理に用いるリンス液の流れを説明する図である。 従来例に係る蒸留装置を説明する図である。

符号の説明

１ 被洗浄体 ２ 搬送装置 １１ 洗浄槽 １２，１１２ リンス槽
２０，１２０ 蒸留装置 ２１，１２１ 蒸留槽 ２２，１２２ 熱源
２３，１２３ 冷却コイル ２４，１２４ リンス液回収槽 ２４Ｓ 水分離槽
２５ 洗浄液回収槽 ２５Ｍ 開口部 ２５Ｂ 蒸留補助用球体
２６Ａ 第１のセンサ ２６Ｂ 第２のセンサ ３１ 第１の導入管
３２ 第２の導入管 ４１ 第１の排出管 ４２ 第２の排出管
５１ 第１の還流管 ５２ 第２の還流管
６１，６２，６３，６４，６５ バルブ ７０ 減圧蒸留器
１１２Ａ 第１のリンス槽 １１２Ｂ 第２のリンス槽
１１２Ｃ 第３のリンス槽 １３１ 導入管 １４１ 排出管
Ｐ ポンプ

Claims (8)

1. 被洗浄体を洗浄する洗浄槽の洗浄液が溶解したリンス槽のリンス液から、当該洗浄液を分離する蒸留装置であって、
   前記リンス液が蓄積される蒸留槽と、
   前記リンス液を前記リンス槽から前記蒸留槽に流入させる第１の導入管と、
   前記蒸留槽内に設置されて、前記リンス液を気化させる熱源と、
   気化したリンス液を液化させる冷却器を有したリンス液回収槽と、
   前記蒸留装置内に設置されて、前記熱源の熱によりリンス液を気化して洗浄液を回収する洗浄液回収槽と、
   前記蒸留槽に流入した前記リンス液を前記洗浄液回収槽に流入させる第２の導入管と、
   前記洗浄液回収槽内に回収された洗浄液を前記蒸留槽の外部へ排出する排出管と、を備えることを特徴とする溶剤回収機能付き蒸留装置。
2. 前記洗浄液回収槽は、リンス液の液面の上限を検出する第１のセンサ及び当該下限を検出する第２のセンサと、前記熱源の熱により気化されたリンス液を前記冷却器へ導く開口部と、を有し、
   前記第２の導入管を通して流入した前記リンス液の液面を前記第１のセンサが検出した時点から、前記熱源の熱の気化により低下する当該リンス液の液面を前記第２のセンサが検出する時点までの時間に応じて、前記排出管を通して洗浄液を排出することを特徴とする請求項１記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。
3. 前記洗浄槽へ洗浄液を還流させる第１の還流管と、前記リンス槽へリンス液を還流させる第２の還流管とを備え、
   前記排出管が前記第１の還流管と接続されると共に、前記リンス液回収槽が前記第２の還流管と接続されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。
4. 前記洗浄液回収槽は、当該洗浄液回収槽内の前記リンス液を循環させる循環管を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。
5. 前記リンス液の沸点が、前記洗浄液の沸点より低いことを特徴とする請求項１、２、３、４のうちのいずれか１項に記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。
6. 前記リンス液が、フッ素系のリンス液であり、前記洗浄液が、炭化水素系の洗浄液であることを特徴とする請求項５記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。
7. 前記第１の還流管には、洗浄液に含まれた不純物を取り除いて当該洗浄液を再生する減圧蒸留器が接続されていることを特徴とする請求項３記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。
8. 前記洗浄液回収槽内に、前記洗浄液及び前記リンス液に対して浮力を有して回転しながら当該リンス液を空気に触れさせる蒸留補助用球体を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の溶剤回収機能付き蒸留装置。

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