JP2006221982A - アレイ基板の製造方法及び有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 33
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 12
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 34
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 18
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 3
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
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Abstract
【課題】滅点の画素の効率的な良点化が可能となり、安定した製品の製造が可能なアレイ基板の製造方法及び有機EL表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】
陰極及び陽極間に存在するとともにこれら陰極及び陽極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、異物のサイズに基づいてその異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、上記設定されたレーザを異物に照射し、異物の少なくとも一部を除去する。
【選択図】 図6
【解決手段】
陰極及び陽極間に存在するとともにこれら陰極及び陽極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、異物のサイズに基づいてその異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、上記設定されたレーザを異物に照射し、異物の少なくとも一部を除去する。
【選択図】 図6
Description
この発明は、アレイ基板の製造方法及びアレイ基板を備えた有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示装置の製造方法に関する。
近年、表示装置として、有機EL表示装置及び液晶表示装置等が用いられている。有機EL表示装置は液晶表示装置に用いられるバックライトが不要であるため、製品の薄型化、軽量化、低消費電力化、低コスト化、及び水銀レス化が可能である。有機EL表示装置は自発光型の表示装置であることから、高視野角及び高速応答といった特徴を有している。上記したことから、有機EL表示装置は、ノートPC(パーソナルコンピュータ)、モニタ、及びビューワ等の静止画向け製品だけでなく、TV(テレビジョン)受像機等の動画向け製品としても注目されている。
有機EL表示装置は、アレイ基板を備えている。アレイ基板は、ガラス基板と、このガラス基板上にマトリクス状に配置された複数の有機EL素子とを有している。各有機EL素子は、1つの画素を形成している。各有機EL素子は、陽極と、陽極に対向した陰極と、これら陽極及び陰極間に狭持されたEL層とを有している。EL層は、発光機能を有する有機化合物を含み、赤色、緑色、及び青色の何れかの発光色に発光可能である。
ところで、陽極及び陰極の間隔は、約1μmと非常に狭い。このため、有機EL表示装置の製造過程において、陽極及び陰極間で短絡が発生する場合がある。陽極及び陰極間の短絡は、陽極及び陰極間に異物が付着した場合に生じる。異物が付着した画素は滅点となり、発光不能である。滅点の画素が多いと、画質や表示品位が著しく悪化するため、製品を出荷することができない。このため、滅点の画素はリペアする必要がある。
リペア方法としては、陽極及び陰極間の短絡個所にレーザを照射して陽極及び陰極間に高抵抗領域を形成する方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。これにより、滅点の画素は良点化され、正常な画素として機能する。その他、異物にレーザを照射して異物を除去し、画素を良点化することも可能である。
特開2004−227852号公報
しかしながら、異物の形状やサイズは様々であるため、従来のリペア方法では、リペアの成功率が変動し、滅点の画素を良点化できる場合とできない場合とがあった。上記したように、画素の効率的な良点化が困難であるため、安定した製品の生産が困難であった。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、滅点の画素の効率的な良点化が可能となり、安定した製品の製造が可能なアレイ基板の製造方法及び有機EL表示装置の製造方法を提供することにある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、滅点の画素の効率的な良点化が可能となり、安定した製品の製造が可能なアレイ基板の製造方法及び有機EL表示装置の製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の態様に係るアレイ基板の製造方法は、基板と、前記基板上に配置され、第1電極、前記第1電極に対向した第2電極、並びに前記第1電極及び第2電極間に狭持された遮蔽層をそれぞれ有した複数の素子と、を備えたアレイ基板の製造方法において、前記第1電極及び第2電極間に存在するとともにこれら第1電極及び第2電極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、前記異物のサイズに基づいて前記異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、前記設定されたレーザを前記異物に照射し、前記異物の少なくとも一部を除去することを特徴としている。
また、本発明の他の態様に係る有機EL表示装置の製造方法は、基板と、前記基板上に配置され、陰極、前記陰極に対向した陽極、並びに前記陰極及び陽極間に狭持されているとともに発光体となる有機活性層をそれぞれ有した複数の素子と、を有したアレイ基板と、前記アレイ基板の前記複数の素子が形成された面に対向しているとともに前記アレイ基板との間の雰囲気を気密に保持した封止基板と、を備えた有機EL表示装置の製造方法において、前記陰極及び陽極間に存在するとともにこれら陰極及び陽極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、前記異物のサイズに基づいて前記異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、前記設定されたレーザを前記異物に照射し、前記異物の少なくとも一部を除去することを特徴としている。
この発明によれば、滅点の画素の効率的な良点化が可能となり、安定した製品の製造が可能なアレイ基板の製造方法及び有機EL表示装置の製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の製造方法について詳細に説明する。始めに、この製造方法によって製造された有機EL表示装置の構成を説明する。
図1に示すように、有機EL表示装置は、表示面S及び表示領域Rを有したアレイ基板1と、アレイ基板に所定の隙間を置いて対向配置された封止基板2とを備えている。封止基板2の周縁に沿って図示しないシール材が設けられ、アレイ基板1の表示領域R外側及び封止基板2はこのシール材により貼り合わされている。このため、封止基板2及び上記シール材は、アレイ基板1の表示領域Rとの間の雰囲気を気密に保持している。
アレイ基板1の表示領域R及び封止基板2で囲まれた空間は、ArガスやN2等の不活性ガスで満たされている。また、その空間内部には、図示しない乾燥剤が配置され、後述する有機EL素子12に悪影響を与えない程度の乾燥状態に維持されている。
アレイ基板1は、ガラス等の透明な基板10を有している。基板上には、アンダーコート層11が積層されている。アンダーコート層11としては、例えば、SiNX層及びSiO2層が順次積層されて形成されている。表示領域Rにおいて、アンダーコート層11上には、マトリクス状に配置された複数の有機EL素子12を有している。各有機EL素子12は画素を形成し、赤色、緑色、及び青色のいずれかに発光可能である。
各有機EL素子12はスイッチング素子としての薄膜トランジスタ(以下、TFTと称する)13に接続されている。各TFT13は、ゲート電極14、ゲート絶縁膜15、層間絶縁膜16、半導体膜17、層間絶縁膜18、半導体膜19、半導体膜20、ソース電極21、及びドレイン電極22を有している。
ゲート電極14は、MoW、Al、Ta等の導電材料を用いてアンダーコート層11上に形成されている。ゲート絶縁膜15は、SiOX等の絶縁材料を用いてアンダーコート層及びゲート電極上に成膜されている。なお、ゲート絶縁膜15は、表示領域Rのアンダーコート層11上全体に成膜されている。層間絶縁膜16は、SiOX、SiNX等の絶縁材料を用いてゲート絶縁膜15上に成膜され、ゲート電極14に重なっている。半導体膜17は、ポリシリコン(以下、p−Siと称する)又はアモルファスシリコン(以下、a−Siと称する)の半導体を用いて層間絶縁膜16上に成膜されている。
層間絶縁膜18は、SiOX、SiNX等の絶縁材料を用いて半導体膜17上に成膜され、ゲート電極14に重なっている。半導体膜19及び半導体膜20は、p−Si又はa−Siの半導体を用いて、互いに離間して半導体膜17及び層間絶縁膜18上に形成されている。半導体膜19は、半導体膜17のソース領域と接続され、半導体膜20は、半導体膜17のドレイン領域と接続されている。ソース電極21は、Al、Ta等の導電材料を用いて半導体膜19上に形成され、この半導体膜19と接続されている。ドレイン電極22は、Al、Ta等の導電材料を用いて半導体膜20上に形成され、この半導体膜20と接続されている。
ゲート絶縁膜15を含む複数のTFT13上には、隔壁層23が形成されている。隔壁層23は、後述する各有機活性層26の周縁に沿った個所が突出して格子状に形成されている。隔壁層23は、SiOX等の絶縁性の遮光材料を用いて形成されている。
各有機EL素子12は、陰極25と、この陰極に対向した陽極27と、これら陰極及び陽極間に狭持されているとともに発光体となる有機活性層26とを有している。陰極25は、隔壁層23の突出した個所で囲まれた領域内の隔壁層上に形成され、隔壁層に形成されたコンタクトホール23hを介してドレイン電極22に電気的に接続されている。陰極25はITO(インジウム・ティン・オキサイド)やAl等の導電材料により形成されている。この実施の形態において、アレイ基板1の外面が表示面Sとして機能するため、陰極25は透光性を有するITOで形成されている。
有機活性層26は、陰極25に重なって形成されている。有機活性層26は、図示しないが、正孔輸送層、正孔注入層、発光層、電子注入層、及び電子輸送層を含んでいる。陽極27は、隔壁層23及び有機活性層26上に一体に形成されている。陽極27は、Al、MoW、ITO等の導電材料により形成されている。封止基板2は、例えばガラスからなるカバー30を有している。
次に、上記のように構成された有機EL表示装置の製造装置40について詳述する。この製造装置40は、アレイ基板1及び封止基板2を貼り合わせた後、または貼り合せる前のアレイ基板の滅点の画素の有無を検査し、良点化(リペア)するための装置である。
図2に示すように、製造装置40は、防振機能を有する本体41と、この本体によりそれぞれ直交する第1方向X、第2方向Y、及び第3方向Zに移動可能なステージ42と、レーザ発振器本体43と、本体41及びレーザ発振器本体43を制御可能な制御部44と、CCD45と、モニタ46とを有している。レーザ発振器本体43は、光学系としての対物レンズ43aを有している。レーザ発振器本体43は、YAGレーザ等の基本波及び基本波の2倍の波長である第2高調波等のレーザを照射することが可能である。レーザ発振器本体43によって取得されるレーザ照射個所の画像の情報は、CCD45を介してモニタ46に伝送される。そして、モニタ46にレーザ照射個所の画像が表示される。
次に、上記のように構成された製造装置40を用いて貼り合わされたアレイ基板1及び封止基板2(以下、有機EL表示パネル)の滅点の画素の有無を検査し、滅点の画素を良点化する方法について説明する。
まず、処理対象としての有機EL表示パネルを用意する。図3に示すように、この実施の形態において、有機EL表示パネルの1つ又は複数の画素の陰極25及び陽極27間に異物100が存在する場合について説明する。異物100は、陰極25及び陽極27の短絡に寄与するものであり、異物の存在する画素は発光不能な滅点となる。
異物100としては、陰極25、有機活性層26、及び陽極27の形成時等、製造工程中に付着した金属や有機物である。また、異物100が付着した付近では膜の薄い個所や膜の欠落が発生してしまう。すなわち、有機活性層26が薄く形成される個所や欠落した個所が発生する。上記したことから、異物100が導電性を有しているか否かを問わず陰極25および陽極27は短絡してしまう。
次に、有機EL表示パネルを搬送し、この有機EL表示パネルをステージ42上に配置する。このとき、レーザ発振器本体43がアレイ基板1に対向するように有機EL表示パネルを配置する。その後、有機EL表示パネルを駆動して全ての有機EL素子12を発光させる。すると、異物100が存在する画素は滅点となり、滅点の画素は例えば目視により検出される。
次いで、ステージ42を移動させて滅点の画素と対物レンズ43aとを対向させ、この対物レンズを介して取得される滅点の画素の画像をモニタ46に表示させる。そして、モニタ46に表示された画像を基に異物100のサイズ(面積)を測定する。続いて、レーザ発振器本体43を用い、対物レンズ43aを介して異物100に所定のパルス幅のレーザを1回照射する。画素が良点化していない場合は、複数回レーザを照射して画素を良点化させる。
これにより、図4に示すように、異物100は除去される。すなわち、異物100と異物付近の陰極25、有機活性層26、及び陽極27等を飛散させる。異物100を除去した画素の有機EL素子12は不活性ガス及び乾燥剤により保護されているため長期間の発光が可能である。なお、滅点の画素が複数個検出された場合は、それぞれ異物100のサイズの測定及びレーザの照射を行なえば良い。
ここで、本願発明者は、異なるサイズの異物100に異なる波長のレーザを照射した場合における滅点の画素を良点化させるまでのレーザの照射回数を調査した。
図5に示すように、異物100にレーザを照射する際は、YAGレーザの基本波または第2高調波のレーザをそれぞれ照射した。基本波の波長は1064nmであり、第2高調波の波長は532nmである。異物100のサイズ(面積)が9μm2以下の場合、基本波のレーザを1回照射することで、画素が良点化することが判る。異物100のサイズが9μm2を超える場合、第2高調波のレーザを1回または複数回照射することで、画素が良点化することが判る。
図5に示すように、異物100にレーザを照射する際は、YAGレーザの基本波または第2高調波のレーザをそれぞれ照射した。基本波の波長は1064nmであり、第2高調波の波長は532nmである。異物100のサイズ(面積)が9μm2以下の場合、基本波のレーザを1回照射することで、画素が良点化することが判る。異物100のサイズが9μm2を超える場合、第2高調波のレーザを1回または複数回照射することで、画素が良点化することが判る。
次に、製造工程における有機EL表示パネルの滅点の画素を効率的に良点化するリペア工程について詳細に説明する。
図6に示すように、まず、ステップS1において滅点の画素のリペア工程がスタートすると、ステップS2において、滅点の画素を検出する。滅点の画素が検出されない場合、このリペア工程は終了する(ステップS8)。滅点の画素が検出された場合、ステップS3において、滅点の画素に存在する異物100のサイズを測定する。続いて、ステップS4において、異物100のサイズが9μm2以下であった場合は、ステップS5において、基本波のレーザを1回照射することで滅点の画素が良点化され、リペア工程は終了する(ステップS8)。
図6に示すように、まず、ステップS1において滅点の画素のリペア工程がスタートすると、ステップS2において、滅点の画素を検出する。滅点の画素が検出されない場合、このリペア工程は終了する(ステップS8)。滅点の画素が検出された場合、ステップS3において、滅点の画素に存在する異物100のサイズを測定する。続いて、ステップS4において、異物100のサイズが9μm2以下であった場合は、ステップS5において、基本波のレーザを1回照射することで滅点の画素が良点化され、リペア工程は終了する(ステップS8)。
なお、ステップS5の後に、滅点の画素が良点化(異物100が除去)されたかどうかを判断し、仮に画素が良点化されなかった場合は2回目以降のレーザの照射により、画素が良点化されるまでレーザを照射するステップを設けるようにすれば、ステップS5で1回のレーザ照射で良点化出来ないという場合が仮に生じたとしても問題は生じない。
ステップS4において、異物100のサイズが9μm2を超えた場合は、ステップS6において、第2高調波のレーザを1回照射する。そして、ステップS7において、滅点の画素が良点化(異物100が除去)されたかどうか判断し、画素が良点化されなかった場合は2回目以降のレーザの照射(ステップS6)により、画素が良点化されるまでレーザを照射する。ステップS7において、滅点の画素が良点化されると、リペア工程は終了する(ステップS8)。
図7に示すように、上記ステップS5及びステップS6において、異物100に照射するレーザのスリットLS1の形状は例えば矩形状であり、異物を覆っていれば良い。また、レーザが照射された異物100のサイズは、レーザ照射前と同じ場合や、図8に示すように、レーザ照射前より小さくなる場合がある。このため、レーザが照射された異物100のサイズがレーザ照射前より小さくなる場合において、2回目以降に異物100にレーザを照射する際は、レーザのスリットLS2の面積をスリットLS1の面積より小さくした状態でレーザを照射できる。上記ステップS6において、2回目以降に異物100にレーザを照射する際は、モニタ46に異物100を表示させ、レーザのスリットLS2が少なくとも異物100を覆うよう設定した状態でレーザを照射する。
以上のように構成された有機EL表示装置の製造方法によれば、滅点の画素が有る場合、まず、滅点の画素の陰極25及び陽極27間に存在するとともにこれら陰極及び陽極の短絡に寄与する異物100のサイズを測定する。その後、異物100のサイズに基づいてその異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定する。より詳しくは、異物100のサイズが9μm2以下であるかどうか測定し、異物のサイズが9μm2以下である場合、異物に基本波のレーザを1回照射している。これにより、異物100は除去されて滅点の画素は完全に良点化される。このため、異物100のサイズが9μm2以下である場合には基本波のレーザを1回照射すれば良く、効率的に滅点の画素を良点化することができる。
上記したことから、滅点の画素の効率的な良点化が可能となり、安定した製品の製造が可能な有機EL表示装置の製造方法を提供することができる。
上記したことから、滅点の画素の効率的な良点化が可能となり、安定した製品の製造が可能な有機EL表示装置の製造方法を提供することができる。
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、上記基本波は1064nmに限らず、1032nmないし1096nmの波長であれば、9μm2以下のサイズの異物100にレーザを1回照射することで滅点の画素を効率的に良点化することができる。
異物100のサイズが9μm2を超える場合、第2高調波に限らず、基本波の3倍の波長である第3高調波等、基本波の整数倍の波長のレーザを1回または複数回照射して滅点の画素を良点化しても良い。なお、異物100のサイズが9μm2を超える場合、基本波のレーザを1回または複数回照射して滅点の画素を良点化しても良い。
陽極27が透光性を有するITOで形成されている場合は、有機EL素子12の上方、すなわち封止基板2の外面側からレーザを照射して滅点の画素を良点化しても良い。滅点の画素を良点化する際は、異物100の少なくとも一部を除去すると良い。滅点の画素を良点化する際の処理対象は有機EL表示パネルに限らず、貼り合せる前のアレイ基板1でも良い。
本発明は、基板と、基板上に配置され、第1電極、第1電極に対向した第2電極、並びに第1電極及び第2電極間に狭持された遮蔽層をそれぞれ有した複数の素子と、を備えたアレイ基板の製造方法に適用することもできる。この場合、まず、第1電極及び第2電極間に存在するとともにこれら第1電極及び第2電極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、異物のサイズに基づいて異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、設定されたレーザを異物に照射し、これにより、前記異物の少なくとも一部を除去すれば良い。
1…アレイ基板、2…封止基板、12…有機EL素子、25…陰極、26…有機活性層、27…陽極、100…異物。
Claims (7)
- 基板と、前記基板上に配置され、第1電極、前記第1電極に対向した第2電極、並びに前記第1電極及び第2電極間に狭持された遮蔽層をそれぞれ有した複数の素子と、を備えたアレイ基板の製造方法において、
前記第1電極及び第2電極間に存在するとともにこれら第1電極及び第2電極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、
前記異物のサイズに基づいて前記異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、
前記設定されたレーザを前記異物に照射し、前記異物の少なくとも一部を除去することを特徴とするアレイ基板の製造方法。 - 前記異物のサイズが9μm2以下であるかどうか測定し、
前記異物のサイズが9μm2以下である場合、前記異物に基本波のレーザを照射することを特徴とする請求項1に記載のアレイ基板の製造方法。 - 前記異物に、1032nmないし1096nmの基本波のレーザを照射することを特徴とする請求項2に記載のアレイ基板の製造方法。
- 基板と、前記基板上に配置され、陰極、前記陰極に対向した陽極、並びに前記陰極及び陽極間に狭持されているとともに発光体となる有機活性層をそれぞれ有した複数の素子と、を有したアレイ基板と、前記アレイ基板の前記複数の素子が形成された面に対向しているとともに前記アレイ基板との間の雰囲気を気密に保持した封止基板と、を備えた有機EL表示装置の製造方法において、
前記陰極及び陽極間に存在するとともにこれら陰極及び陽極の短絡に寄与する異物のサイズを測定し、
前記異物のサイズに基づいて前記異物に照射するレーザの波長及び照射回数を設定し、
前記設定されたレーザを前記異物に照射し、前記異物の少なくとも一部を除去することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記異物のサイズが9μm2以下であるかどうか測定し、
前記異物のサイズが9μm2以下である場合、前記異物に基本波のレーザを照射することを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示装置の製造方法。 - 前記異物に、1032nmないし1096nmの基本波のレーザを照射することを特徴とする請求項5に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記アレイ基板前記複数の素子が形成された面の反対の面側から前記レーザを照射することを特徴とする請求項4ないし6のいずれか1項に記載の有機EL表示装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005034810A JP2006221982A (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | アレイ基板の製造方法及び有機el表示装置の製造方法 |
US11/346,321 US7507590B2 (en) | 2005-02-10 | 2006-02-03 | Method of manufacturing array substrate and method of manufacturing organic EL display device |
TW095104374A TWI309896B (en) | 2005-02-10 | 2006-02-09 | Method of manufacturing array substrate and method of manufacturing organic el display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005034810A JP2006221982A (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | アレイ基板の製造方法及び有機el表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006221982A true JP2006221982A (ja) | 2006-08-24 |
Family
ID=36780549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005034810A Abandoned JP2006221982A (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | アレイ基板の製造方法及び有機el表示装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7507590B2 (ja) |
JP (1) | JP2006221982A (ja) |
TW (1) | TWI309896B (ja) |
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-
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- 2006-02-03 US US11/346,321 patent/US7507590B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060178072A1 (en) | 2006-08-10 |
TW200637049A (en) | 2006-10-16 |
TWI309896B (en) | 2009-05-11 |
US7507590B2 (en) | 2009-03-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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