JP2006216749A - 化学気相成長法によるpzt成膜用の原料溶液およびpzt膜の形成方法 - Google Patents
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- 239000002994 raw material Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title claims description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 title abstract 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 62
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 19
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 claims abstract description 12
- -1 alkyl acetate Chemical compound 0.000 claims abstract description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims abstract description 11
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 29
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 20
- JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N isopropanol acetate Natural products CC(C)OC(C)=O JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical group CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229940011051 isopropyl acetate Drugs 0.000 claims description 2
- GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid Chemical group CC(C)CC(O)=O GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 8
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000005809 transesterification reaction Methods 0.000 description 5
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 5
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 1
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 231100000053 low toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002618 waking effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
【解決手段】 (アルコキシ)トリス(β−ジケトナト)ジルコニウムの有機溶媒溶液において、前記有機溶媒が酢酸アルキルであり、そのアルキル基が(アルコキシ)トリス(β−ジケトナト)ジルコニウムのアルコキシル基のアルキル部分と同じである原料溶液を用いて、化学気相成長法によるPZT膜の形成を行う。
【選択図】 なし
Description
Pb源として毒性の低いビス(β−ジケトナト)鉛、例えば、ビス(ジピバロイルメタナト)鉛(以下、Pb(dpm)2と表す。)は、蒸気圧が低く、150℃で0.2Torrしかない。そのため、そのまま気化して供給する方式よりも、有機溶媒に溶解した溶液として気化供給する方式の方が、大量のPb源を供給できるため、PZT薄膜の大量生産に好都合である。
したがって、上記のような溶液気化においては、Pb,Zr,Tiの各々の原料溶液を気化器直前で混合し、一つの気化器で気化供給する方式や、Pb,Zr,Tiを含んだ一溶液を原料として、気化供給する方式等が採用されている。
前記Pb,Zr,Tiの化合物は、さらに、堆積温度特性、溶媒への溶解性も考慮して選択され、以下のような化合物が用いられている。
以下、Oi-C3H7をOiPr、On-C4H9をOnBu、Ot-C4H9をOtBu、OC2H5をOEt、C9H15O2(ジイソブチリルメタナト)をdibm、C11H19O2(ジピバロイルメタナト)をdpm、OCOCH3(アセトキシ)をAcOで表す。
例えば、特許文献1には、Zr(OiPr)(dpm)3は、Zr(dpm)4より低温で堆積し、Zrの膜への取り込みが多いため、Zr化合物として有望であることが開示されている。
また、Zr化合物として、Zr(OnBu)(dpm)3を用いたPZT成膜に関しては、以下のような従来例がある。
前記溶液を70℃のオイルバス加熱で溶媒を減圧留去回収し、釜残を分け、TG−DTA測定を行い、出発原料の原体と比較した。一方、回収液の組成は、ガスクロマトグラフで調べた。
ここで、原体とは、溶媒に溶解する前のZr,Pb,Tiの化合物のことである。
Zr(OiPr)(dpm)3 + AcOnBu
→ Zr(OnBu)(dpm)3 + AcOiPr …(1)
このエステル交換は、室温、数時間で完結することから、調液してからCVDを行なうまでの時間内で完結し、成膜条件や膜特性には、実質的な変化はない。
また、前記原料溶液は、非常に高純度のZr化合物で、低温堆積に優れており、PZT膜の量産に有効である。
本発明において用いられるZr(OiPr)(dpm)3は、特許文献1に開示されている反応、すなわち、式(2)の反応により製造することができる。
Zr(OiPr)4 + 3dpmH
→ Zr(OiPr)(dpm)3 + iPrOH …(2)
Zr(OnBu)4 + 3dpmH
→ Zr(OnBu)(dpm)3 + nBuOH …(3)
したがって、PbとTiの化合物の溶媒は、Zr化合物の溶媒に合わせればよい。
[実施例1]Zr(OiPr)(dpm)3のAcOiPr溶液
以下、すべての操作は、露点−80℃以下の純N2または純Ar雰囲気中で行った。
水分5ppm、脱酸素した精製AcOiPrに、Zr(OiPr)(dpm)3を溶解し、0.2モル/L溶液を調製した。
調製7日後に、この溶液10mlを抜き取り、撹拌子入り100mlフラスコに入れ、加熱オイルバス温度70℃で溶媒を減圧留去回収した。回収液は、ガスクロマトグラフで、AcOiPr、AcOnBuの割合を調べ、釜残は、Ar1atmでのTG−DTA測定を行った。
調製1ヶ月後、3ヶ月後にも、該溶液10mlを抜き取り、上記と同じ操作を行った。
また、釜残のTG−DTA測定では、いずれも、原体のZr(OiPr)(dpm)3と全く同様の気化挙動を示した。
以上から、調製3ヶ月後でも、Zr化合物は原体のまま溶液中に存在することを確認することができた。
実施例1において、AcOiPrをAcOnBuに代え、それ以外については、同様の操作を行った。
7日後の回収液のガスクロマトグラフに、AcOiPrが見られ、その割合から、エステル交換が完全に起こり、Zr化合物が、完全にZr(OnBu)(dpm)3に変化していることが認められた。
比較例1において、Zr(OiPr)(dpm)3をZr(OnBu)(dpm)3に代え、それ以外については、同様の操作を行った。
その結果、回収液は、ガスクロマトグラフから、AcOnBu100%であり、調製7日後、1ヶ月後、3ヶ月後での変化はなかった。
また、釜残のTG−DTA測定では、いずれも、原体のZr(OnBu)(dpm)3と全く同様の気化挙動を示した。
以上から、調製3ヶ月後でも、Zr化合物は原体のまま溶液中に存在することを確認することができた。
比較例1において、Zr(OiPr)(dpm)3をTi(OiPr)2(dpm)2に代え、それ以外は、同様の操作を行った。
3ヶ月後の回収液のガスクロマトグラフに、AcOiPrがわずかに見られ、その割合から、Ti(OnBu)2(dpm)2へのエステル交換率は、わずか1.9%であり、ほとんどエステル交換反応は起きていなかった。これは、ZrよりTiのイオン半径が小さく、配位数が小さいため、立体障害で交換反応が非常に起こりにくいためであると推測される。
また、釜残のTG−DTA測定においては、融点157℃であり、原体の159℃とは誤差範囲であり、同じであった。
以上の結果から、Tiは原体のまま溶液中に存在することが認められた。
濃度0.2モル/Lで調液したZr(OiPr)(dpm)3のAcOiPr溶液、Ti(OiPr)2(dpm)2のAcOiPr溶液およびPb(dpm)2のAcOiPr溶液の3種の溶液を用いて、気化器直前で混合して気化させ、CVDによりPZT成膜を行ったところ、安定して成膜することができた。
濃度0.2モル/Lで調液したZr(OnBu)(dpm)3のAcOnBu溶液、Ti(OiPr)2(dpm)2のAcOnBu溶液およびPb(dpm)2のAcOnBu溶液の3種の溶液を用いて、気化器直前で混合して気化させ、CVDによりPZT成膜を行ったところ、安定して成膜することができた。
Claims (4)
- 溶液気化供給の化学気相成長法によりPZT膜を形成するための(アルコキシ)トリス(β−ジケトナト)ジルコニウムの有機溶媒溶液であって、前記有機溶媒が酢酸アルキルであり、そのアルキル基が(アルコキシ)トリス(β−ジケトナト)ジルコニウムのアルコキシル基のアルキル部分と同じであることを特徴とする化学気相成長法によるPZT成膜用の原料溶液。
- 前記(アルコキシ)トリス(β−ジケトナト)ジルコニウムがイソプロポキシトリス(ジピバロイルメタナト)ジルコニウムであり、前記有機溶媒が酢酸イソプロピルであることを特徴とする請求項1記載の化学気相成長法によるPZT成膜用の原料溶液。
- 前記(アルコキシ)トリス(β−ジケトナト)ジルコニウムがノルマルブトキシトリス(ジピバロイルメタナト)ジルコニウムであり、前記有機溶媒が酢酸ノルマルブチルであることを特徴とする請求項1記載の化学気相成長法によるPZT成膜用の原料溶液。
- 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の原料溶液と、同じ溶媒に溶解したビス(β−ジケトナト)鉛の酢酸アルキル溶液と、同じ溶媒に溶解した(アルコキシ)ビス(β−ジケトナト)チタンの酢酸アルキル溶液を用いることを特徴とするPZT膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027405A JP5030127B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 化学気相成長法によるpzt成膜用の原料溶液およびpzt膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027405A JP5030127B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 化学気相成長法によるpzt成膜用の原料溶液およびpzt膜の形成方法 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006216749A true JP2006216749A (ja) | 2006-08-17 |
JP5030127B2 JP5030127B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=36979707
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---|---|---|---|
JP2005027405A Active JP5030127B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 化学気相成長法によるpzt成膜用の原料溶液およびpzt膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5030127B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001151782A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-06-05 | Kojundo Chem Lab Co Ltd | ジルコニウムアルコキシトリス(β−ジケトネート)とその製造方法およびPZT膜形成用液体組成物 |
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JP2004207713A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-22 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
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- 2005-02-03 JP JP2005027405A patent/JP5030127B2/ja active Active
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JP2001151782A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-06-05 | Kojundo Chem Lab Co Ltd | ジルコニウムアルコキシトリス(β−ジケトネート)とその製造方法およびPZT膜形成用液体組成物 |
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JP2005129723A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Japan Pionics Co Ltd | 気化供給方法 |
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