JP2006210698A - 歪みシリコンウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶シリコン基板上に格子不整合性のあるエピタキシャル層と歪みSi層の構造を有し、前記シリコン基板の結晶表面が面方位(100)面から結晶方位<100>方向および<0−10>方向に対して0.01°〜0.05°傾斜したオフカット面を用いる。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 結晶表面が面方位(100)面から結晶方位<100>方向および<0−10>方向に対して、0.01°〜0.05°傾斜したオフカット面である単結晶シリコン基板上に、格子不整合性のあるエピタキシャル層と歪みSi層が順次積層されたことを特徴とする歪みシリコンウェーハ。
- 前記格子不整合性のあるエピタキシャル層は、厚さ0.1〜3μmの組成傾斜SiGe層(Si1−xGex層のGe濃度比xがx≦0.5)と、その上に形成された厚さ0.1〜1μmのGe組成比が一定である歪み緩和Si1−xGex層であることを特徴とする請求項1記載の歪みシリコンウェーハ。
- 前記格子不整合性のあるエピタキシャル層は、Si1−xCx(1>x>0.1)、または、Si1−xNx(1>x≧0.1)であることを特徴とする請求項1記載の歪みシリコンウェーハ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9966256B2 (en) | 2014-09-05 | 2018-05-08 | Tokyo Electron Limited | Film forming method and film forming apparatus |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05347256A (ja) * | 1992-06-12 | 1993-12-27 | Toshiba Corp | 半導体装置用基板 |
JP2002356399A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | 半導体基板と電界効果型トランジスタ並びにSiGe層の形成方法及びこれを用いた歪みSi層の形成方法と電界効果型トランジスタの製造方法 |
JP2003158075A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-05-30 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体基板の製造方法及び電界効果型トランジスタの製造方法並びに半導体基板及び電界効果型トランジスタ |
JP2004241507A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体基板及び電界効果型トランジスタ並びにこれらの製造方法 |
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2005
- 2005-01-28 JP JP2005021522A patent/JP2006210698A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05347256A (ja) * | 1992-06-12 | 1993-12-27 | Toshiba Corp | 半導体装置用基板 |
JP2002356399A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | 半導体基板と電界効果型トランジスタ並びにSiGe層の形成方法及びこれを用いた歪みSi層の形成方法と電界効果型トランジスタの製造方法 |
JP2003158075A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-05-30 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体基板の製造方法及び電界効果型トランジスタの製造方法並びに半導体基板及び電界効果型トランジスタ |
JP2004241507A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体基板及び電界効果型トランジスタ並びにこれらの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9966256B2 (en) | 2014-09-05 | 2018-05-08 | Tokyo Electron Limited | Film forming method and film forming apparatus |
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