JP2006191119A - マルチslmマスクレスリソグラフィにおける散乱光を最小化する方法および装置 - Google Patents
マルチslmマスクレスリソグラフィにおける散乱光を最小化する方法および装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】複数のパターン生成装置を備えたパターンジェネレータ104と、パターンジェネレータ104からの光を配向する投影システム108と、対象物ウィンドウ210のところにまたはその近くに配置されたアパーチャが設けられている。このアパーチャは、パターン生成装置の構造とマッチしたプロフィルを有している。
【選択図】図2
Description
リソグラフィシステムは、多様な製造用途においてフィーチャをプリントするために使用される。ホトリソグラフィシステムは、フィーチャを対象物体に露光させるためにマスクまたはレチクルを使用する。半導体製造においてたとえば、露光ビームによってレチクルが露光される。この場合、光学システムはレチクルの縮小像をシリコンウェハに投影する。これにより回路フィーチャを半導体基板上にプリントすることができる。
本発明は、SLMのようなパターン生成装置からの散乱光をウェハまたはディスプレイのような対象物体に対し阻止するリソグラフィシステムに係わるものである。このシステムには、1つまたは複数のパターン生成装置を備えたパターンジェネレータと、パターンジェネレータからの光を配向する投影システムと、対象物ウィンドウのところにまたはその近くに配置されたアパーチャが設けられている。このアパーチャは、パターン生成装置の構造とマッチしたプロフィルを有している。さらに本発明は、複数のパターン生成装置を使用したリソグラフィシステムにおいて散乱光を阻止する方法にも係わる。
以下、本発明について特定の用途に関する例示的な実施形態を参照しながら説明するけれども、本発明はそれらに限定されるものではない。以下の説明を参照するならば当業者は、本発明の範囲内で補足的な変形、用途、実施形態について思いつくであろうし、本発明が有用となるさらに別の分野について考えることができるであろう。
これまで本発明の実施形態について説明してきた。本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。これらの実施形態は例示目的でここに示したものであって、限定のためではない。本明細書の説明に基づき、当業者であれば代案(ここで述べたものと等価の形態、拡張形態、変形実施形態、それらとは異なる形態等を含む)を考えることができる。このような代案も本発明の範囲ならびに着想に含まれるものである。
Claims (17)
- パターン生成構造をもつ1つまたは複数のパターン生成装置と、
該1つまたは複数のパターン生成装置からの光を基板または被加工面に配向するための投影光学系と、
前記パターン生成構造にマッチしたプロフィルをもち前記投影光学系内に配置されたアパーチャが設けられていることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記1つまたは複数のパターン生成装置は空間光変調器であることを特徴とする装置。 - 請求項2記載の装置において、
前記空間光変調器はディジタルマイクロミラーディバイスであることを特徴とする装置。 - 請求項2記載の装置において、
前記空間光変調器は透過型液晶ライトバルブであることを特徴とする装置。 - 請求項2記載の装置において、
前記空間光変調器は格子型ライトバルブであることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記アパーチャはアパーチャプレートであることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記アパーチャは、前記投影光学系の対象物平面近くのウィンドウ上にエッチングされていることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記アパーチャは、前記投影光学系の像平面近くのウィンドウ上にエッチングされていることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記アパーチャは、前記投影光学系内のレンズにエッチングされていることを特徴とする装置。 - パターン生成構造をもつ1つまたは複数のパターン生成装置を用いた用途のための投影光学系において、
光を配向するための1つまたは複数の光学素子と、アパーチャが設けられており、
該アパーチャは、1つまたは複数のパターン生成装置の位置に対応する開口部を備えたプロフィルを有することを特徴とする投影光学系。 - 請求項10記載の投影光学系において、
前記アパーチャは、該投影光学系の対象物平面近くのウィンドウ上にエッチングされていることを特徴とする投影光学系。 - 請求項10記載の投影光学系において、
前記アパーチャは、該投影光学系の像平面近くのウィンドウ上にエッチングされていることを特徴とする投影光学系。 - 請求項10記載の投影光学系において、
前記アパーチャは、該投影光学系内のレンズ上にエッチングされていることを特徴とする投影光学系。 - a)放射ビームを生成するステップと、
b)該放射ビームの一部分をパターニングするステップと、
c)該パターニングされた放射ビームを基板に向けて投影するステップと、
d)前記放射ビームによる散乱光を基板に対し阻止するステップ
を有することを特徴とする方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記基板としてディスプレイディバイスを用いることを特徴とする方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記基板としてウェハを用いることを特徴とする方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記基板としてカメラを用いることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/029724 | 2005-01-06 | ||
US11/029,724 US7567368B2 (en) | 2005-01-06 | 2005-01-06 | Systems and methods for minimizing scattered light in multi-SLM maskless lithography |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006191119A true JP2006191119A (ja) | 2006-07-20 |
JP4740742B2 JP4740742B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=36640020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006001391A Expired - Fee Related JP4740742B2 (ja) | 2005-01-06 | 2006-01-06 | マルチslmマスクレスリソグラフィにおける散乱光を最小化する方法、投影光学系および装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7567368B2 (ja) |
JP (1) | JP4740742B2 (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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