JP2005209798A - 画像露光方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 照射された光を各々変調する多数の微小ミラーが2次元状に配列されてなるDMD50と、このDMD50に光Bを照射する光源66と、DMDの各微小ミラーからの光Bをそれぞれ集光するマイクロレンズ55aがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイ55とを備えた画像露光装置において、マイクロレンズ55aの焦点位置近傍に、上記微小ミラーの反射面の歪みに起因する迷光の離散パターンに対応して配置されて各々該迷光を遮断する、互いに離れた複数のマスク59aを配設する。
【選択図】 図5
Description
先に述べたように、複数の矩形の微小ミラーが2次元状に配列されてなり、入射した光を各微小ミラー毎に空間変調するDMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)と、
このDMDに光を照射する光源と、
前記DMDの各微小ミラーからの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記DMDにより変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えた画像露光装置において、
前記マイクロレンズの焦点位置近傍に、前記微小ミラーの反射面の歪みに起因する迷光の離散パターンに対応して配置されて各々該迷光を遮断する、互いに離れた複数のマスクが配設されていることを特徴とするものである。
この画像露光装置は、図1に示すように、シート状の感光材料150を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ152を備えている。4本の脚部154に支持された厚い板状の設置台156の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた2本のガイド158が設置されている。ステージ152は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド158によって往復移動可能に支持されている。なお、この画像露光装置には、副走査手段としてのステージ152をガイド158に沿って駆動する後述のステージ駆動装置304(図15参照)が設けられている。
次に、上記画像露光装置の動作について説明する。スキャナ162の各露光ヘッド166において、ファイバアレイ光源66の合波レーザ光源を構成するGaN系半導体レーザLD1〜LD7(図11参照)の各々から発散光状態で出射したレーザ光B1,B2,B3,B4,B5,B6,およびB7の各々は、対応するコリメータレンズ11〜17によって平行光化される。平行光化されたレーザ光B1〜B7は、集光レンズ20によって集光され、マルチモード光ファイバ30のコア30aの入射端面上で収束する。
30、31 マルチモード光ファイバ
50 デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)
51 拡大結像光学系
53、54 第1結像光学系のレンズ
55 マイクロレンズアレイ
57、58 第2結像光学系のレンズ
59 マスク板
59a マスク
66 レーザモジュール
66 ファイバアレイ光源
68 レーザ出射部
72 ロッドインテグレータ
150 感光材料
152 ステージ
162 スキャナ
166 露光ヘッド
168 露光エリア
170 露光済み領域
Claims (4)
- 複数の矩形の微小ミラーが2次元状に配列されてなり、入射した光を各微小ミラー毎に空間変調するDMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)と、
このDMDに光を照射する光源と、
前記DMDの各微小ミラーからの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記DMDにより変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えた画像露光装置において、
前記マイクロレンズの焦点位置近傍に、前記微小ミラーの反射面の歪みに起因する迷光の離散パターンに対応して配置されて各々該迷光を遮断する、互いに離れた複数のマスクが配設されていることを特徴とする画像露光装置。 - 前記マスクが、前記マイクロレンズにより集光された光の外側において、略等角度間隔で4個配設されていることを特徴とする請求項1記載の画像露光装置。
- 前記マスクが、前記マイクロレンズにより集光された光の外側において、略等角度間隔で2個配設されていることを特徴とする請求項1記載の画像露光装置。
- 請求項1から3いずれか1項記載の画像露光装置を用いて所定のパターンを感光材料に露光することを特徴とする画像露光方法。
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JP2006191119A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Asml Holding Nv | マルチslmマスクレスリソグラフィにおける散乱光を最小化する方法および装置 |
JP2007258691A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-10-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の作製方法 |
KR100993539B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2010-11-10 | 오에프티 주식회사 | 노광기용 광원장치 |
JP2010262000A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Orc Mfg Co Ltd | 描画装置 |
CN103399463A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-11-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 投影光刻机照明装置和使用方法 |
KR20210070388A (ko) * | 2018-11-07 | 2021-06-14 | 웨이모 엘엘씨 | 광 가이드 엘리먼트들을 제조하기 위해 각진 포토리소그래피를 이용하는 시스템들 및 방법들 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006191119A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Asml Holding Nv | マルチslmマスクレスリソグラフィにおける散乱光を最小化する方法および装置 |
JP2007258691A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-10-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の作製方法 |
KR100993539B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2010-11-10 | 오에프티 주식회사 | 노광기용 광원장치 |
JP2010262000A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Orc Mfg Co Ltd | 描画装置 |
CN103399463A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-11-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 投影光刻机照明装置和使用方法 |
KR20210070388A (ko) * | 2018-11-07 | 2021-06-14 | 웨이모 엘엘씨 | 광 가이드 엘리먼트들을 제조하기 위해 각진 포토리소그래피를 이용하는 시스템들 및 방법들 |
KR102596861B1 (ko) * | 2018-11-07 | 2023-11-02 | 웨이모 엘엘씨 | 광 가이드 엘리먼트들을 제조하기 위해 각진 포토리소그래피를 이용하는 시스템들 및 방법들 |
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