JP2006190897A - 半導体デバイス、その製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に半導体膜が形成された半導体デバイスであって、該半導体膜は横方向成長結晶を有し、かつ、該横方向成長結晶の端部において表面突起高さが前記半導体膜の膜厚より低いことを特徴とする半導体デバイス、および当該半導体デバイスを製造する方法、製造装置。
【選択図】 図1
Description
(1)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射において用いる、
(2)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射から数段階前の照射より用いる、
(3)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射の位置において用いる。
(1)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射において用いる、
(2)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射から数段階前の照射より用いる、
(3)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射の位置において用いる。
(1)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射において用いる、
(2)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射から数段階前の照射より用いる、
(3)半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射の位置において用いる。
Claims (18)
- 基板上に半導体膜が形成された半導体デバイスであって、該半導体膜は横方向成長結晶を有し、かつ、該横方向成長結晶の端部において表面突起高さが前記半導体膜の膜厚より低いことを特徴とする半導体デバイス。
- 前記横方向成長結晶は、前記半導体膜にレーザ照射することにより結晶成長された結晶であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記横方向成長結晶は、前記レーザ照射を、レーザ照射により横方向に結晶成長した部分を引き継ぐように半導体膜の面方向に段階的に移動して、前記部分の結晶を引き継ぐことにより、結晶成長が拡大された領域であることを特徴とする、請求項2に記載の半導体デバイス。
- 横方向結晶成長の端部における表面突起高さは、回折限界以下のスリットもしくはパターンを通過した光を利用することにより、前記横方向成長結晶を形成するための前記レーザのエネルギよりも低いエネルギを有するレーザを照射することにより、半導体膜の膜厚よりも低くされたことを特徴とする、請求項2または3に記載の半導体デバイス。
- 前記横方向成長結晶を形成するための前記レーザのエネルギよりも低いエネルギを有するレーザを、前記半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射において用いることを特徴とする、請求項4に記載の半導体デバイス。
- 前記横方向成長結晶を形成するための前記レーザのエネルギよりも低いエネルギを有するレーザを、前記半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射から数段階前の照射より用いることを特徴とする、請求項4に記載の半導体デバイス。
- 前記横方向成長結晶を形成するための前記レーザのエネルギよりも低いエネルギを有するレーザを、前記半導体デバイスに段階的にレーザ照射する際の最終照射の位置において用いることを特徴とする、請求項4に記載の半導体デバイス。
- 基板上に形成された半導体膜にレーザを照射して該半導体膜において横方向に結晶成長させるステップと、前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザを照射して前記横方向の成長結晶の端部における表面突起高さを前記半導体膜の膜厚よりも低くするステップとを含む、半導体デバイスの製造方法。
- 前記半導体膜において横方向に結晶成長させるレーザ照射を、結晶成長した半導体膜の部分を引き継ぐように段階的に移動させて行うことを特徴とする、請求項8に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザ照射を、レーザを段階的に移動させて照射するステップにおける最終照射に用いることを特徴とする、請求項9に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザ照射を、レーザを段階的に移動させて照射するステップにおける最終照射から数段階前の照射より用いることを特徴とする、請求項9に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザ照射を、レーザを段階的に移動させて照射するステップにおける最終照射の位置において用いることを特徴とする、請求項9に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザ照射を行うために、回折限界以下のスリットもしくはパターンを有するマスクを利用してエネルギ照射量を制御することを特徴とする、請求項8〜12のいずれかに記載の半導体デバイスの製造方法。
- 請求項8〜13のいずれかに記載の半導体デバイスの製造方法に用いる半導体デバイスの製造装置であって、
第一のレーザ発振器と、第二のレーザ発振器と、これら2つのレーザ発振器を制御するコントローラとを備える、半導体デバイスの製造装置。 - 第二のレーザ発振器から発生するレーザのエネルギが、第一のレーザ発振器から発生するレーザのエネルギよりも低いことを特徴とする、請求項14に記載の半導体デバイスの製造装置。
- 第一のレーザ発振器から発生するレーザの波長が、半導体膜に吸収されやすい波長であり、第二のレーザ発振器から発生するレーザの波長が、基板または溶融状態の半導体膜に吸収されやすい波長であることを特徴とする、請求項14または15に記載の半導体デバイスの製造装置。
- 基板上に形成された半導体膜にレーザを照射して該半導体膜において横方向に結晶成長させ、前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザを照射して前記横方向の成長結晶の端部における表面突起高さを前記半導体膜の膜厚よりも低くする半導体デバイスの製造方法において、横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザ照射を行うために用いられるマスクであって、
回折限界以下のスリットもしくはパターンを有することを特徴とするマスク。 - 基板上に形成された半導体膜にレーザを照射して該半導体膜において横方向に結晶成長させ、前記横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザを照射して前記横方向の成長結晶の端部における表面突起高さを前記半導体膜の膜厚よりも低くする半導体デバイスの製造方法において、横方向に結晶成長させたレーザより低いエネルギのレーザ照射を行うために用いられる製造装置であって、
回折限界以下のスリットもしくはパターンを有するマスクを備えることを特徴とする製造装置。
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