JP2006186225A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 106
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 claims description 17
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 claims description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
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- H01L29/66234—Bipolar junction transistors [BJT]
- H01L29/66272—Silicon vertical transistors
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/08—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/0821—Collector regions of bipolar transistors
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/73—Bipolar junction transistors
- H01L29/732—Vertical transistors
- H01L29/7322—Vertical transistors having emitter-base and base-collector junctions leaving at the same surface of the body, e.g. planar transistor
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Abstract
【課題】 トランジスタを含む半導体装置において、トランジスタ動作後の耐圧を向上させる。
【解決手段】 半導体装置100は、N型コレクタ領域118と同じ導電型の第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を介して電流が流れるトランジスタを含む。半導体装置100において、N型コレクタ領域118と第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108とを含む経路上に、トランジスタが動作状態となったときに、インパクトイオン化により第二導電型領域を形成する部位であるN型接続領域107が設けられる。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体装置100は、N型コレクタ領域118と同じ導電型の第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を介して電流が流れるトランジスタを含む。半導体装置100において、N型コレクタ領域118と第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108とを含む経路上に、トランジスタが動作状態となったときに、インパクトイオン化により第二導電型領域を形成する部位であるN型接続領域107が設けられる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。
図19は、基板上にバイポーラトランジスタが形成された従来の半導体装置の構造を示す断面図である。
半導体装置10は、P型基板12と、その上に形成されたN型領域14と、P型基板12とN型領域14との間に形成されたN型埋込領域16と、N型領域14に形成されたP型ベース領域18と、P型ベース領域18に形成されたN型エミッタ領域20およびP型ベース引出領域22と、N型領域14に形成されたN型コレクタ領域24と、を含む。ここで、N型エミッタ領域20、P型ベース領域18、およびN型コレクタ領域24とでNPNトランジスタが構成される。
半導体装置10は、P型基板12と、その上に形成されたN型領域14と、P型基板12とN型領域14との間に形成されたN型埋込領域16と、N型領域14に形成されたP型ベース領域18と、P型ベース領域18に形成されたN型エミッタ領域20およびP型ベース引出領域22と、N型領域14に形成されたN型コレクタ領域24と、を含む。ここで、N型エミッタ領域20、P型ベース領域18、およびN型コレクタ領域24とでNPNトランジスタが構成される。
図20は、このようなNPNトランジスタのコレクタの電圧Vcとコレクタに流れる電流Icとの関係を示す図である。コレクタの電圧Vcがコレクタ−ベース間のアバランシェブレークダウン耐圧Vbに達すると、バイポーラトランジスタはブレークダウンを起こし、コレクタからP型ベース領域18を介してベースに電流Ibdが流れ始める。この電流Ibdが増加すると、P型ベース領域18の抵抗成分Rbにより、N型エミッタ領域20直下の電位VbeがIbd×Rb分上昇する。この電位Vbeにより、エミッタ−ベース間のジャンクションがオンし、ベースからエミッタに電流が流れるようになる。このときの電圧がVtとなる。これにより、NPNトランジスタが動作し、電流Icが流れるようになる。NPNトランジスタが動作を開始し、電流Icが流れるようになるにつれ、N型エミッタ領域20からP型ベース領域18に注入される電子が増加し、これに伴いホール密度も増加し、実効的なベース幅が増加し始める。これにより、コレクタ−ベース間の空乏層幅が狭められることになり、耐圧が低下し始める。さらに電流Icが増加すると、ベース幅も増加するが、下方向にはN型埋込領域16が形成されているため、ベース幅の広がりが抑えられ、空乏層幅の縮小も制限され、耐圧の低下も抑えられる。この電圧がVholdとなる。
特許文献1には、半導体基板上に埋め込み拡散層が形成され、その上に形成されたウェル領域にMOSトランジスタが形成された半導体素子が記載されている。
特開2003−197908号公報
ところで、Vholdが電源電圧よりも低いと、パルス等の入力によりバイポーラトランジスタが一度スナップバックを起こしたら、その原因がなくなってももとの状態に戻らず、電流が流れ続けるおそれがある。そのため、Vholdを高くすることが好ましい。しかし、従来、スナップバック後の電圧Vholdは、電流経路上の濃度が大きく変化する箇所(N型埋込領域16とN型領域14との境界(C))の濃度プロファイルで決定される。そのため、耐圧の大幅な向上を容易に実現することは困難であった。
本発明によれば、コレクタまたはドレイン領域と同じ第一導電型の埋込領域を介して電流が流れるトランジスタを含み、前記コレクタまたはドレイン領域と前記埋込領域とを含む経路上に、前記トランジスタが動作状態となったときに、インパクトイオン化により第二導電型領域を形成する部位が設けられたことを特徴とする半導体装置が提供される。
このような構成とすることにより、トランジスタが動作してスナップバックを起こした後には、上記経路上に第二のトランジスタが形成されたのと同様の構成とすることができ、スナップバック後のVholdを向上させることができる。これにより、トランジスタの耐圧を向上することができる。また、このような構成とすることにより、スナップバック後に半導体装置における電界の集中点を複数に分散させることができるので、個々の点でのストレスを緩和することも可能であり、デバイスの耐久性も良好に保つことができる。
また、本発明の半導体装置において、トランジスタが動作状態となる前は、従来と同様のトランジスタ特性を示すように構成される。これにより、トランジスタをESD保護回路として用いた場合に、保護対象の素子を破壊することなく、保護することができる。
ここで、コレクタ(またはドレイン領域)および埋込領域を含む領域を、前記経路上において電流方向に対し垂直に複数に分割することができ、前記部位は、分割された箇所に形成することができる。
本発明によれば、トランジスタを含む半導体装置であって、半導体基板と、前記半導体基板上に形成された第一導電型のドリフト領域と、前記半導体基板と前記ドリフト領域との間に形成されるとともに、前記ドリフト領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の埋込領域と、前記ドリフト領域の主面に形成された第一導電型のコレクタまたはドレイン領域、第二導電型のベースまたはボディ領域、および第一導電型のエミッタまたはソース領域と、を含み、前記コレクタまたはドレイン領域と前記埋込領域と含む経路上に、これらの領域よりも不純物濃度が低く、前記ドリフト領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の接続領域が形成されたことを特徴とする半導体装置が提供される。
このような構成とすることにより、トランジスタが動作してスナップバックを起こした後にも大電流が接続領域上を流れるようにすることができ、コレクタまたはドレイン領域と埋込領域よりも濃度の低い接続領域でインパクトイオン化が生じ、これらの領域を第二のトランジスタとして機能させることができる。
ここで、トランジスタのスナップバック後に接続領域でインパクトイオン化を生じさせ、コレクタまたはドレイン領域と埋込領域と接続領域とを第二のトランジスタとして機能させるためには、これらの領域における不純物の濃度や経路上の電流方向の接続領域の幅等を好適に制御する必要がある。
本発明によれば、トランジスタを含む半導体装置において、トランジスタ動作後の耐圧を向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
本実施の形態において、半導体装置は、コレクタまたはドレイン領域と同じ第一導電型の埋込領域を介して電流が流れるトランジスタを含む。半導体装置において、コレクタまたはドレイン領域と埋込領域とを含む経路上に、トランジスタが動作状態となったときに、インパクトイオン化により第二導電型領域として機能する部位である接続領域が設けられる。
以下の実施の形態において、トランジスタは、ESD保護回路として用いられる。また、以下の実施の形態において、第一導電型がN型、第二導電型がP型である場合を例として説明する。
(第一の実施の形態)
図1は、本実施の形態における半導体装置の構成を模式的に示す図である。本実施の形態において、半導体装置は、NPNバイポーラトランジスタ(以下、トランジスタQ1という)を含む。
図1は、本実施の形態における半導体装置の構成を模式的に示す図である。本実施の形態において、半導体装置は、NPNバイポーラトランジスタ(以下、トランジスタQ1という)を含む。
半導体装置100は、P型基板102と、P型基板102上に形成されたP型エピタキシャル成長層104と、P型エピタキシャル成長層104内に形成されたN型ドリフト領域110と、P型基板102とN型ドリフト領域110との間に形成された第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108と、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の間に形成されたN型接続領域107と、N型ドリフト領域110内に形成されたP型ベース領域112と、P型ベース領域112上に形成されたN型エミッタ領域114およびP型ベース引出領域116と、第一のN型埋込領域106上に形成されたN型コレクタ領域118と、P型エピタキシャル成長層104上に形成された絶縁酸化膜120とを含む。第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108にかけては、N型不純物が連続して拡散されている。
図2は、図1の矢印に沿って切断した面における不純物濃度を示す図である。第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108との間のN型接続領域107(図中Aと表示)では、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108よりも不純物濃度が低くなっている。また、第二のN型埋込領域108とN型ドリフト領域110との境界(図中Bと表示)でも、不純物濃度差が生じている。
ここで、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108は、実質的に同じ不純物濃度を有する。また、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108は、実質的に同じ不純物のプロファイルを有する。第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の不純物のピーク濃度は、たとえば1×1018cm−3以上とすることができる。これにより、電流が第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を流れる際の抵抗を低くすることができる。また、トランジスタQ1動作時の実効的なP型ベース領域112の広がりを第二のN型埋込領域108により阻止することもできる。なお、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の不純物のピーク濃度は、とくに制限されないが、たとえば1×1020cm−3以下とすることができる。
N型接続領域107は、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108よりも不純物濃度が低くなるように形成される。これにより、トランジスタQ1動作時に、インパクトイオン化によりN型接続領域107にP型領域として振舞う部位が形成されるようにすることができる。また、N型接続領域107は、N型ドリフト領域110よりも不純物濃度が高くなるように形成される。これにより、電流がN型接続領域107を優先的に流れるようになる。
次に、図3を参照して、本実施の形態における半導体装置100の動作を説明する。
まず、コレクタの電圧を上げていくと、ベースとコレクタ間の空乏層が広がる。コレクタの電圧Vcがコレクタ−ベース間のアバランシェブレークダウン耐圧Vbに達すると、トランジスタQ1はブレークダウンを起こし、コレクタからP型ベース領域112を経由してベースに電流Ibdが流れ始める。電流Ibdが増加すると、P型ベース領域112の抵抗成分Rbにより、N型エミッタ領域114直下の電位VbeがIbd×Rb分上昇する。この電位Vbeにより、エミッタ−ベース間のジャンクションがオンし、ベースからエミッタに電流が流れるようになる。これにより、トランジスタQ1が動作し、電流Icが流れるようになる。このとき、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間のN型接続領域107は、抵抗R1として働き、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108間では、Ic×R1分の電圧降下が起こる(図3(a))。
まず、コレクタの電圧を上げていくと、ベースとコレクタ間の空乏層が広がる。コレクタの電圧Vcがコレクタ−ベース間のアバランシェブレークダウン耐圧Vbに達すると、トランジスタQ1はブレークダウンを起こし、コレクタからP型ベース領域112を経由してベースに電流Ibdが流れ始める。電流Ibdが増加すると、P型ベース領域112の抵抗成分Rbにより、N型エミッタ領域114直下の電位VbeがIbd×Rb分上昇する。この電位Vbeにより、エミッタ−ベース間のジャンクションがオンし、ベースからエミッタに電流が流れるようになる。これにより、トランジスタQ1が動作し、電流Icが流れるようになる。このとき、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間のN型接続領域107は、抵抗R1として働き、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108間では、Ic×R1分の電圧降下が起こる(図3(a))。
トランジスタQ1が動作し、電流Icが増加するにつれ、N型エミッタ領域114からP型ベース領域112に注入される電子が増加し、これに伴いホール密度も増加し、実効的なベース幅が増加し始める。これにより、コレクタ−ベース間の空乏層幅が狭められることになり、耐圧が低下し始める。
図4は、トランジスタQ1動作時における実効的ベース領域112'を示す図である。電流Icがさらに増加すると、ベース幅も増加するが、下方向には第二のN型埋込領域108が形成されているため、ベース幅の広がりが抑えられ、空乏層幅の縮小も制限される。これにより耐圧の低下も抑えられる。
本実施の形態において、電流Icの増加に伴い、第二のN型埋込領域108、N型接続領域107、および第一のN型埋込領域106における電子密度が増加し、N型接続領域107では電子濃度がN型の不純物濃度よりも高くなる。そうすると、N型接続領域107と第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108との境界領域でインパクトイオン化が生じ、ホールが生成され始める。ここで生成されたホールは、負電位側(第一のN型埋込領域106から第二のN型埋込領域108の方向)に流れる。さらに電流Icが増加すると、N型接続領域107のホール密度がさらに上昇する。この状態を図5(a)に示す。これにより、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108は、実質的に、N型接続領域107をベース、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108をそれぞれコレクタおよびエミッタとし、ホール電流をベース電流としたNPNトランジスタ(以下、トランジスタQ2という)として機能するようになる(図3(b))。そのため、第一のN型埋込領域106とN型接続領域107、およびN型接続領域107と第二のN型埋込領域108の間で空乏層が急激に広がるようになり、N型接続領域107には電界が集中し(図5(b))、電位差を生じる(図5(c))。
図6は、図1の矢印に沿って切断した面における電位差を示す図である。本実施の形態における半導体装置100は、AとBの2カ所(図1参照)で電位差を大きく生じるようになる。このため、トランジスタQ1動作後のスナップバック後の耐圧の低下を抑えることができる。
図7は、本実施の形態における半導体装置100の回路図である。
図7(a)は、N型接続領域107が抵抗R1として機能している状態を示す図である。図7(b)は、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107および第二のN型埋込領域108がトランジスタQ2として機能している状態を示す図である。このように、本実施の形態における半導体装置100は、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108に高電流が流れる際には、二つのNPNトランジスタが直列に接続されたのと同等の回路構成を形成する。
図7(a)は、N型接続領域107が抵抗R1として機能している状態を示す図である。図7(b)は、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107および第二のN型埋込領域108がトランジスタQ2として機能している状態を示す図である。このように、本実施の形態における半導体装置100は、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108に高電流が流れる際には、二つのNPNトランジスタが直列に接続されたのと同等の回路構成を形成する。
図8は、本実施の形態における半導体装置100において、コレクタの電圧Vcとコレクタに流れる電流Icとの関係を示す図である。ここでは、参考として図19に示した従来の半導体装置におけるコレクタの電圧Vcとコレクタに流れる電流Icとの関係も破線で示す。
本実施の形態における半導体装置100は、コレクタの電圧VcがVtに達してトランジスタQ1が動作するまでは、従来の半導体装置と同様の特性を有する。一方、トランジスタQ1が動作すると、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108によりトランジスタQ2が構成されることになり、Vholdが上昇する。これにより、スナップバック後もVholdが電源電圧より高くなるようにすることができるため電流が流れ続けるのを阻止することができる。
また、本実施の形態における半導体装置100によれば、耐圧を高めることができるとともに、電流が上昇しても電圧がVt以上にならないようにすることが可能である。そのため、トランジスタQ1をESD保護回路として用いた場合に、保護対象の素子を破壊することなく、保護することができる。
図9は、本実施の形態における半導体装置100の製造手順の一部を示す工程断面図である。
まず、P型基板102上にAsやSb等のN型不純物をイオン注入して第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を形成する(図9(a))。このとき、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の打ち込み領域および不純物濃度を制御することにより、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間に形成されるN型接続領域107の不純物濃度を適切に制御することができる。これにより、N型接続領域107において好適にインパクトイオン化を生じさせることができる。
まず、P型基板102上にAsやSb等のN型不純物をイオン注入して第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を形成する(図9(a))。このとき、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の打ち込み領域および不純物濃度を制御することにより、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間に形成されるN型接続領域107の不純物濃度を適切に制御することができる。これにより、N型接続領域107において好適にインパクトイオン化を生じさせることができる。
つづいて、押し込み処理により、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の不純物を拡散させる(図9(b))。
次いで、たとえば常圧下で1050℃程度の比較的低温状態でP型基板102上にP型エピタキシャル成長層104を形成する(図9(c))。これにより第一の埋込領域106および第二の埋込領域108からのN型不純物のオートドープが抑制され、N型接続域領域107の濃度のコントロールが容易となる。またこのとき、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の不純物はさらに拡散し、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間にN型接続領域107が形成される。
その後、不純物のイオン注入を行い、N型ドリフト領域110、N型コレクタ領域118、P型ベース領域112、N型エミッタ領域114、およびP型ベース引出領域116を形成する。これにより、図1に示した構成の半導体装置100が得られる。
このように、本実施の形態における半導体装置100の製造手順によれば、複雑な工程を追加することなく、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を形成し、これらをこれらよりも不純物濃度の低いN型接続領域107で接続することができる。
図10は、半導体装置100の上面模式図である。
ここでは、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、第二のN型埋込領域108、P型ベース領域112、N型エミッタ領域114、P型ベース引出領域116、およびN型コレクタ領域118の配置を模式的に示している。N型接続領域107は、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間に形成される。
ここでは、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、第二のN型埋込領域108、P型ベース領域112、N型エミッタ領域114、P型ベース引出領域116、およびN型コレクタ領域118の配置を模式的に示している。N型接続領域107は、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間に形成される。
次に、半導体装置100の好ましい構成を説明する。
トランジスタQ1が動作状態となり、N型コレクタ領域118からN型エミッタ領域114に大電流が流れる際に、インパクトイオン化によりN型接続領域107にP型領域が形成されるようにするためには、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の距離やN型接続領域107の濃度等を好適に制御する必要がある。
トランジスタQ1が動作状態となり、N型コレクタ領域118からN型エミッタ領域114に大電流が流れる際に、インパクトイオン化によりN型接続領域107にP型領域が形成されるようにするためには、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の距離やN型接続領域107の濃度等を好適に制御する必要がある。
また、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の分割領域であるN型接続領域107は、トランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112’(図4参照)と第一のN型埋込領域106とが接しない位置に形成される。ここで、実効的ベース領域112’とは、トランジスタQ1の高電流下においてカーク効果によりP型ベース領域112が実効的に広がった領域のことである。この時、ほとんどの電流が第二のN型埋込領域108から実効的ベース領域112’を通ってN型エミッタ領域114及びP型ベース引出領域116に流れる。もしトランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112’と第一のN型埋込領域106が接していると、電流が第一のN型埋込領域106から実効的ベース領域112’に直接流れてしまい、電流がN型接続領域107を流れないようになり、N型接続領域107において上述したようなインパクトイオン化が生じなくなってしまう。
たとえば、トランジスタQ1が非動作状態のときのP型ベース領域112とN型接続領域107との横方向における間隔は、トランジスタQ1が非動作状態のときのP型ベース領域112と第二のN型埋込領域108との積層方向における間隔よりも広くなるようにすることができる。トランジスタQ1が動作状態になって、実効的ベース領域112'が広がっても、積層方向において、実効的ベース領域112'の広がりが第二のN型埋込領域108により抑えられる。それと同時に横方向の広がりも同程度の距離で抑えられる。そのため、P型ベース領域112とN型接続領域107との間隔をP型ベース領域112と第二のN型埋込領域108との間隔よりも広くすることにより、トランジスタQ1が動作時においても、実効的ベース領域112'と第一のN型埋込領域106とが接しないようにすることができる。
また、トランジスタQ1に電流が流れる際に、N型接続領域107に流れる電子濃度と、N型接続領域107の不純物濃度とにより、N型接続領域107の機能特性が決定される。N型接続領域107のN型不純物濃度が電子濃度よりも高いときには、N型接続領域107は通常の導体として機能し、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、第二のN型埋込領域108間で電位差がほとんど生じない。一方、N型接続領域107のN型不純物濃度が電子濃度よりも低くなると、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、第二のN型埋込領域108間に電位差が生じるようになる。
そのため、N型接続領域107のN型不純物濃度が低すぎると、容易に電子濃度がN型不純物濃度よりも高くなり、早い段階で電位差が生じ、トランジスタQ1のVtが上昇してしまう。そのような状態になると、トランジスタQ1が、ESD保護回路として機能しなくなってしまう。このような観点から、N型接続領域107の不純物濃度は、たとえば5×1015cm−3以上とすることができる。一方、N型接続領域107のN型不純物濃度が高すぎると、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、第二のN型埋込領域108間に容易に電位差が生じないため、これらの領域がトランジスタQ1のスナップバック後にトランジスタQ2として機能しなくなってしまう。このような観点から、N型接続領域107の不純物濃度は、たとえば1×1017cm−3以下とすることができる。さらに、第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108は、それぞれの不純物のテールが上記濃度のN型接続領域107で接続された構成とすることができる。
ここで、N型接続領域107部でインパクトイオン化を起こすためには接続部におけるN型不純物の最低濃度と第一のN型埋込領域106および第二N型埋込領域108のピーク濃度の濃度差が所定以上であることが必要となる。N型接続領域107の最低不純物濃度をCa、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の不純物ピーク濃度をCbとするとCb/Ca≧10となるようにすることが好ましい。
半導体装置100は、たとえば以下の構成とすることができる。このような構成とすることにより、トランジスタQ1が動作する前には、N型接続領域107が抵抗として機能し、トランジスタQ1の動作後には、第一のN型埋込領域106、N型接続領域107および第二のN型埋込領域108がトランジスタQ2として機能するようになり、Vholdを高く保つことができるようになる。
第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108の不純物ピーク濃度:7×1018cm−3;
N型接続領域107の不純物濃度:1.5×1016cm−3;
不純物打ち込み時の第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間隔:12μm;
P型エピタキシャル成長層104の厚さ:10μm
トランジスタQ1非動作時のP型ベース領域112の幅:横方向7μm
トランジスタQ1動作時に実効的に働くP型ベース領域112の幅:横方向11μm
N型接続領域107の不純物濃度:1.5×1016cm−3;
不純物打ち込み時の第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108の間隔:12μm;
P型エピタキシャル成長層104の厚さ:10μm
トランジスタQ1非動作時のP型ベース領域112の幅:横方向7μm
トランジスタQ1動作時に実効的に働くP型ベース領域112の幅:横方向11μm
図11は、図1に示した半導体装置100の他の例を示す断面図である。
以上では、N型不純物のイオン注入により第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を形成し、これらの領域の不純物を拡散させることによりN型接続領域107を形成する例を示した。他の例において、N型接続領域107は、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108のイオン注入を行った後に、別途N型接続領域107の形成領域にイオン注入を行うことにより形成することができる。この場合の第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108における好ましい不純物の濃度範囲や形成領域等も上述したのと同様となる。
以上では、N型不純物のイオン注入により第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108を形成し、これらの領域の不純物を拡散させることによりN型接続領域107を形成する例を示した。他の例において、N型接続領域107は、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108のイオン注入を行った後に、別途N型接続領域107の形成領域にイオン注入を行うことにより形成することができる。この場合の第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108における好ましい不純物の濃度範囲や形成領域等も上述したのと同様となる。
(第二の実施の形態)
本実施の形態において、半導体装置100は、N型接続領域107とP型ベース領域112との間に形成され、P型ベース領域112の広がりを阻止する阻止領域をさらに含む。このような構成とすることにより、トランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112'が広がるような場合でも、横方向の広がりを阻止領域により阻止することができる。これにより、P型ベース領域112とN型接続領域107とを比較的近い位置に配置しても、N型コレクタ領域118からN型エミッタ領域114に大電流が流れる際に、電流がN型接続領域107を流れるので、N型接続領域107においてインパクトイオン化が生じる。
本実施の形態において、半導体装置100は、N型接続領域107とP型ベース領域112との間に形成され、P型ベース領域112の広がりを阻止する阻止領域をさらに含む。このような構成とすることにより、トランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112'が広がるような場合でも、横方向の広がりを阻止領域により阻止することができる。これにより、P型ベース領域112とN型接続領域107とを比較的近い位置に配置しても、N型コレクタ領域118からN型エミッタ領域114に大電流が流れる際に、電流がN型接続領域107を流れるので、N型接続領域107においてインパクトイオン化が生じる。
図12は、本実施の形態における半導体装置100の構成を示す図である。図12(a)は、断面図、図12(b)は、上面模式図を示す。
半導体装置100は、第一の実施の形態において、図1を参照して説明した構成に加えて、絶縁分離部122をさらに含む。絶縁分離部122は、N型接続領域107とP型ベース領域112との間に分割溝を形成し、その分割溝を絶縁材料で埋め込むことにより形成される。
半導体装置100は、第一の実施の形態において、図1を参照して説明した構成に加えて、絶縁分離部122をさらに含む。絶縁分離部122は、N型接続領域107とP型ベース領域112との間に分割溝を形成し、その分割溝を絶縁材料で埋め込むことにより形成される。
これにより、トランジスタQ1動作時の実効的ベース領域112'の広がりを考慮せずにN型接続領域107の形成位置を決定することができる。そのため、半導体装置100を小型化することができる。
図13は、絶縁分離部122の他の構成を示す図である。図13(a)は、断面図、図13(b)は、上面模式図を示す。このように、絶縁分離部122でP型ベース領域112を囲むような構成としても、トランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112'が広がるのを阻止することができ、実効的ベース領域112'と第一のN型埋込領域106とが接するのを防ぐことができる。
図14は、絶縁分離部122の他の構成を示す図である。図14(a)は、断面図、図14(b)は、上面模式図を示す。このように、絶縁分離部122でN型接続領域107および第一のN型埋込領域106を囲むような構成としても、トランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112'が広がるのを阻止することができ、実効的ベース領域112'と第一のN型埋込領域106とが接するのを防ぐことができる。
図15は、絶縁分離部122の他の構成を示す図である。図15(a)は、断面図、図15(b)は、上面模式図を示す。このように、第一の絶縁分離部122aおよび第二の絶縁分離部122bでP型ベース領域112、ならびにN型接続領域107および第一のN型埋込領域106を分離して囲むような構成としても、トランジスタQ1動作時に実効的ベース領域112'が広がるのを阻止することができ、実効的ベース領域112'と第一のN型埋込領域106とが接するのを防ぐことができる。
図16は、本実施の形態における半導体装置100の他の例を示す断面図である。
ここでは、半導体装置100は、図12(a)に示した絶縁分離部122にかえて分離用N型領域109を有する。ここでは、分離用N型領域109は、第二のN型埋込領域108に達する深さに形成された例を示す。分離用N型領域109は、N型コレクタ領域118と同時にイオン注入により形成することができる。これにより、トランジスタQ1動作時の実効的ベース領域112'の広がりを考慮せずにN型接続領域107の形成位置を決定することができる。そのため、半導体装置100を小型化することができる。
ここでは、半導体装置100は、図12(a)に示した絶縁分離部122にかえて分離用N型領域109を有する。ここでは、分離用N型領域109は、第二のN型埋込領域108に達する深さに形成された例を示す。分離用N型領域109は、N型コレクタ領域118と同時にイオン注入により形成することができる。これにより、トランジスタQ1動作時の実効的ベース領域112'の広がりを考慮せずにN型接続領域107の形成位置を決定することができる。そのため、半導体装置100を小型化することができる。
また、分離用N型領域109は、N型コレクタ領域118よりも浅く、第二のN型埋込領域108まで達しない深さに形成することもできる。そのような構成としても、トランジスタQ1動作時の実効的ベース領域112'の広がりを阻止することができる。これにより、半導体装置100を小型化することができる。
(第三の実施の形態)
図17は、本実施の形態における半導体装置の構成を示す断面図である。
第一の実施の形態および第二の実施の形態においては、P型基板102とN型ドリフト領域110の間に形成された埋込領域が第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108とに分割されており、これらの間にN型接続領域107が形成される形態を説明した。本実施の形態において、半導体装置100は、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108にかえてN型埋込領域105を有する。また、N型接続領域107は、N型コレクタ領域118とN型埋込領域105の間に形成される。
図17は、本実施の形態における半導体装置の構成を示す断面図である。
第一の実施の形態および第二の実施の形態においては、P型基板102とN型ドリフト領域110の間に形成された埋込領域が第一のN型埋込領域106と第二のN型埋込領域108とに分割されており、これらの間にN型接続領域107が形成される形態を説明した。本実施の形態において、半導体装置100は、第一のN型埋込領域106および第二のN型埋込領域108にかえてN型埋込領域105を有する。また、N型接続領域107は、N型コレクタ領域118とN型埋込領域105の間に形成される。
このような構成としても、トランジスタQ1動作時にN型コレクタ領域118からN型エミッタ領域114に大電流が流れる際に、電流がN型接続領域107を流れ、N型接続領域107においてインパクトイオン化が生じる。これにより、第一の実施の形態で説明したのと同様の効果が得られる。
N型接続領域107は、たとえばイオン注入によりN型ドリフト領域110の表面にN型拡散層を形成した後に、このN型拡散層をN型ドリフト領域110中に拡散しN型コレクタ領域118を形成する。この時N型埋込領域105も拡散するが、拡散条件をコントロールすることでN型接続領域107を形成することができる。
また、本実施の形態においても、第二の実施の形態で説明したのと同様、P型ベース領域112とN型コレクタ領域118の間に絶縁分離部122や分離用N型領域109等の阻止領域を形成することができる。これにより、第二の実施の形態と同様の効果が得られる。
(第四の実施の形態)
図18は、本実施の形態における半導体装置の構成を示す断面図である。本実施の形態において、半導体装置は、VDMOS(Vertical Double-diffused MOS)トランジスタ(以下、トランジスタQ1という)を含む。
図18は、本実施の形態における半導体装置の構成を示す断面図である。本実施の形態において、半導体装置は、VDMOS(Vertical Double-diffused MOS)トランジスタ(以下、トランジスタQ1という)を含む。
半導体装置150は、P型基板152と、P型基板152上に形成されたP型エピタキシャル成長層154と、P型エピタキシャル成長層154内に形成されたN型ドリフト領域160と、P型基板152とN型ドリフト領域160との間に形成された第一のN型埋込領域156および第二のN型埋込領域158と、第一のN型埋込領域156および第二のN型埋込領域158の間に形成されたN型接続領域157と、N型ドリフト領域160内に形成されたP型ボディ領域162と、P型ボディ領域162上に形成されたP型ボディ引出領域164、N型ソース領域166a、およびN型ソース領域166bと、第一のN型埋込領域156上に形成されたN型ドレイン領域168と、N型ドレイン領域168上に形成されたN型ドレイン引出領域170と、P型エピタキシャル成長層154上に形成された絶縁酸化膜172とを含む。また、半導体装置150は、P型エピタキシャル成長層154の表面に形成されたゲート絶縁膜174aおよびゲート電極176b、ならびにゲート絶縁膜174aおよびゲート電極176b上にそれぞれ形成されたゲート電極176aおよびゲート電極176bをさらに含む。第一のN型埋込領域156、N型接続領域157、および第二のN型埋込領域158にかけては、N型不純物が連続して拡散されている。
本実施の形態において、第一のN型埋込領域156、N型接続領域157、および第二のN型埋込領域158は、それぞれ、第一の実施の形態で説明した第一のN型埋込領域106、N型接続領域107、および第二のN型埋込領域108と同様の不純物濃度のプロファイルを有する。
次に、本実施の形態における半導体装置150の動作を説明する。
トランジスタQ1の通常の動作時には、ゲート電圧によりゲート直下のP型ボディ領域162表面が反転し、ソースからP型ボディ領域162を通り、N型ドリフト領域160に電子が流れる。N型ドリフト領域160に入った電子は抵抗が小さい第二のN型埋込領域158に流れ込み、これがドレイン電流となりMOSトランジスタとして動作する。ところで、本実施の形態におけるトランジスタQ1は、N型ソース領域166aまたはN型ソース領域166b/P型ボディ領域162/N型ドリフト領域160により構成される寄生NPNトランジスタを有している。ドレイン電圧を上げていくと、N型ドリフト領域160とP型ボディ領域162との間でブレークダウンを起こす。その結果、ドレイン電流は、P型ボディ領域162からP型ボディ引出領域164に流れるが、抵抗成分の影響で、N型ソース領域166aまたはN型ソース領域166b直下の電位が上昇し、寄生NPNトランジスタが動作を開始する。
トランジスタQ1の通常の動作時には、ゲート電圧によりゲート直下のP型ボディ領域162表面が反転し、ソースからP型ボディ領域162を通り、N型ドリフト領域160に電子が流れる。N型ドリフト領域160に入った電子は抵抗が小さい第二のN型埋込領域158に流れ込み、これがドレイン電流となりMOSトランジスタとして動作する。ところで、本実施の形態におけるトランジスタQ1は、N型ソース領域166aまたはN型ソース領域166b/P型ボディ領域162/N型ドリフト領域160により構成される寄生NPNトランジスタを有している。ドレイン電圧を上げていくと、N型ドリフト領域160とP型ボディ領域162との間でブレークダウンを起こす。その結果、ドレイン電流は、P型ボディ領域162からP型ボディ引出領域164に流れるが、抵抗成分の影響で、N型ソース領域166aまたはN型ソース領域166b直下の電位が上昇し、寄生NPNトランジスタが動作を開始する。
この後、N型ドレイン領域168からN型ソース領域166aまたはN型ソース領域166bに大電流が流れる際に、電流がN型接続領域157を流れ、N型接続領域157においてインパクトイオン化が生じる。これにより、第一の実施の形態で説明したのと同様に、トランジスタQ1のVholdを上昇させることができ、同様の効果が得られる。
以上、本発明を実施の形態をもとに説明した。実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
以上の実施の形態では、コレクタまたはドレイン領域と埋込領域とを含む経路上の領域が1カ所で分割された例を示したが、この経路上の領域を複数に分割した構成とすることもできる。つまり、この経路上に複数のN型接続領域107が形成された構成とすることができる。分割数を増やすことにより、半導体装置100Vholdは、経路上の各点の電位差の積算となるので、分割数を増やすことで、Vholdをさらに向上することができる。
100 半導体装置
102 P型基板
104 P型エピタキシャル成長層
105 N型埋込領域
106 第一のN型埋込領域
107 N型接続領域
108 第二のN型埋込領域
110 N型ドリフト領域
112 P型ベース領域
112' 実効的ベース領域
114 N型エミッタ領域
116 P型ベース引出領域
118 N型コレクタ領域
119 N型コレクタ領域
120 絶縁酸化膜
122 絶縁分離部
150 半導体装置
152 P型基板
154 P型エピタキシャル成長層
156 第一のN型埋込領域
158 第二のN型埋込領域
160 N型ドリフト領域
162 P型ボディ領域
164 P型ボディ引出領域
166a N型ソース領域
166b N型ソース領域
168 N型ドレイン領域
170 N型ドレイン引出領域
172 絶縁酸化膜
174a ゲート絶縁膜
174b ゲート絶縁膜
176a ゲート電極
176b ゲート電極
102 P型基板
104 P型エピタキシャル成長層
105 N型埋込領域
106 第一のN型埋込領域
107 N型接続領域
108 第二のN型埋込領域
110 N型ドリフト領域
112 P型ベース領域
112' 実効的ベース領域
114 N型エミッタ領域
116 P型ベース引出領域
118 N型コレクタ領域
119 N型コレクタ領域
120 絶縁酸化膜
122 絶縁分離部
150 半導体装置
152 P型基板
154 P型エピタキシャル成長層
156 第一のN型埋込領域
158 第二のN型埋込領域
160 N型ドリフト領域
162 P型ボディ領域
164 P型ボディ引出領域
166a N型ソース領域
166b N型ソース領域
168 N型ドレイン領域
170 N型ドレイン引出領域
172 絶縁酸化膜
174a ゲート絶縁膜
174b ゲート絶縁膜
176a ゲート電極
176b ゲート電極
Claims (17)
- コレクタまたはドレイン領域と同じ第一導電型の埋込領域を介して電流が流れるトランジスタを含み、前記コレクタまたはドレイン領域と前記埋込領域とを含む経路上に、前記トランジスタが動作状態となったときに、インパクトイオン化により第二導電型領域として機能する部位が設けられたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の半導体装置において、
前記埋込領域は、前記経路上において複数に分割して形成され、前記部位は、分割された複数の前記埋込領域間に形成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記部位は、前記埋込領域の不純物ピーク濃度よりも不純物濃度が低い第一導電型の低濃度領域により構成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記低濃度領域の不純物濃度をCa、前記埋込領域の不純物ピーク濃度をCbとすると、Cb/Ca≧10であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3または4に記載の半導体装置において、
前記トランジスタのベースまたはボディ領域と、前記埋込領域との間には、第一導電型のドリフト領域が形成され、
前記低濃度領域は、前記ドリフト領域よりも不純物濃度が高いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の半導体装置において、
前記低濃度領域の不純物濃度は、5×1015cm−3以上1×1017cm−3以下であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至6いずれかに記載の半導体装置において、
前記部位は、前記トランジスタが動作状態となったときに、実効的に働くベースまたはボディ領域と接しない位置に形成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至7いずれかに記載の半導体装置において、
前記トランジスタが非動作状態のときの前記ベースまたは前記ボディ領域と前記部位との横方向における間隔は、前記トランジスタが非動作状態のときの前記ベースまたは前記ボディ領域と前記埋込領域との積層方向における間隔よりも広いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至8いずれかに記載の半導体装置において、
前記部位と前記トランジスタのベースまたはボディ領域との間に形成され、前記ベースまたはボディ領域の広がりを阻止する阻止領域をさらに含むことを特徴とする半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記阻止領域は、絶縁材料により構成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記阻止領域は、第一導電型不純物材料により構成されたことを特徴とする半導体装置。 - トランジスタを含む半導体装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された第一導電型のドリフト領域と、
前記半導体基板と前記ドリフト領域との間に形成されるとともに、前記ドリフト領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の埋込領域と、
前記ドリフト領域の主面に形成された第一導電型のコレクタまたはドレイン領域、第二導電型のベースまたはボディ領域、および第一導電型のエミッタまたはソース領域と、
を含み、
前記コレクタまたはドレイン領域と前記埋込領域と含む経路上に、これらの領域よりも不純物濃度が低く、前記ドリフト領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の接続領域が形成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項12に記載の半導体装置において、
前記接続領域の不純物濃度をCc、前記埋込領域の不純物ピーク濃度をCdとすると、Cd/Cc≧10であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項12または13に記載の半導体装置において、
前記接続領域の不純物濃度は、5×1015cm−3以上1×1017cm−3以下であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項12乃至14いずれかに記載の半導体装置において、
前記埋込領域は、前記経路上において複数に分割して形成され、前記接続領域は、分割された複数の前記埋込領域間に形成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項12乃至15いずれかに記載の半導体装置において、
前記接続領域は、前記トランジスタが動作状態となったときに、実効的に働くベースまたはボディ領域と接しない位置に形成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至16いずれかに記載の半導体装置において、
前記トランジスタは、ESD保護回路であることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004380350A JP2006186225A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 半導体装置 |
US11/302,399 US20060091497A1 (en) | 2004-01-01 | 2005-12-14 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004380350A JP2006186225A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186225A true JP2006186225A (ja) | 2006-07-13 |
Family
ID=36260846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004380350A Withdrawn JP2006186225A (ja) | 2004-01-01 | 2004-12-28 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060091497A1 (ja) |
JP (1) | JP2006186225A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013073991A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Semiconductor Components Industries Llc | 半導体装置 |
JP2013517633A (ja) * | 2010-01-20 | 2013-05-16 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | Esd保護デバイスおよび方法 |
JP2015015288A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 新日本無線株式会社 | 静電破壊保護回路 |
US9543420B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-01-10 | Nxp Usa, Inc. | Protection device and related fabrication methods |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090090981A1 (en) * | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Kazuhiro Natsuaki | Semiconductor device |
US9520486B2 (en) * | 2009-11-04 | 2016-12-13 | Analog Devices, Inc. | Electrostatic protection device |
US10199482B2 (en) | 2010-11-29 | 2019-02-05 | Analog Devices, Inc. | Apparatus for electrostatic discharge protection |
US9099489B2 (en) * | 2012-07-10 | 2015-08-04 | Freescale Semiconductor Inc. | Bipolar transistor with high breakdown voltage |
US9484739B2 (en) | 2014-09-25 | 2016-11-01 | Analog Devices Global | Overvoltage protection device and method |
US10181719B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-01-15 | Analog Devices Global | Overvoltage blocking protection device |
US10211058B2 (en) * | 2015-04-07 | 2019-02-19 | Nxp Usa, Inc. | ESD protection device |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3569800A (en) * | 1968-09-04 | 1971-03-09 | Ibm | Resistively isolated integrated current switch |
US3916431A (en) * | 1974-06-21 | 1975-10-28 | Rca Corp | Bipolar integrated circuit transistor with lightly doped subcollector core |
US4079408A (en) * | 1975-12-31 | 1978-03-14 | International Business Machines Corporation | Semiconductor structure with annular collector/subcollector region |
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-
2004
- 2004-12-28 JP JP2004380350A patent/JP2006186225A/ja not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-12-14 US US11/302,399 patent/US20060091497A1/en not_active Abandoned
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JP2013073991A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Semiconductor Components Industries Llc | 半導体装置 |
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US9543420B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-01-10 | Nxp Usa, Inc. | Protection device and related fabrication methods |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060091497A1 (en) | 2006-05-04 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070914 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
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