JP2006186053A - 積層型半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 複数の半導体素子を、各半導体素子間にスペーサを介在させて積層した積層型半導体装置において、ボンディングワイヤに伴う電気的特性を改善し、且つ狭いピッチ化を実現する。
【解決手段】 配線基板(1)上に固着した下段半導体素子(2)と、該下段半導体素子上に固着された絶縁スペーサ(4)と、該絶縁スペーサ上に固着された、上面の全面又は部分的にグランド用導体面を有するグランド付スペーサ(10)と、該グランド付スペーサ上に固着された上段半導体素子(5)と、前記下段半導体素子と前記配線基板と間、前記上段半導体素子と前記配線基板と間、及び前記グランド付スペーサのグランド用導体面と前記配線基板のグランド用端子との間をそれぞれ電気的に接続するボンディングワイヤ(3,6,12)と、これらを封止する封止樹脂(7)とからなる。
【選択図】 図3
【解決手段】 配線基板(1)上に固着した下段半導体素子(2)と、該下段半導体素子上に固着された絶縁スペーサ(4)と、該絶縁スペーサ上に固着された、上面の全面又は部分的にグランド用導体面を有するグランド付スペーサ(10)と、該グランド付スペーサ上に固着された上段半導体素子(5)と、前記下段半導体素子と前記配線基板と間、前記上段半導体素子と前記配線基板と間、及び前記グランド付スペーサのグランド用導体面と前記配線基板のグランド用端子との間をそれぞれ電気的に接続するボンディングワイヤ(3,6,12)と、これらを封止する封止樹脂(7)とからなる。
【選択図】 図3
Description
本発明は、複数の半導体素子が積層された積層型半導体装置に関する。より詳細には、積層型半導体装置において、各半導体素子を接続するためのボンディングワイヤが長くなって電気的特性を低下させるのを防止し、積層型半導体装置の信頼性を向上させるのに有利な技術に関する。
従来、配線基板上に複数の半導体素子が積み重ねられた半導体装置は、積層型半導体装置又はスタック型半導体装置と呼ばれている(以下、本明細書では「積層型半導体装置」と称する)。この種の積層型半導体装置は、例えば、制御用のチップとメモリ用のチップ等の異なる機能を有する複数の半導体素子を混在させる場合、半導体装置のメモリ容量を増加させる場合等に、配線基板上に複数の半導体素子を積み重ねて1つの複合型半導体装置として構成したものである。
この種の積層型半導体装置は、小型で高密度な電子機器、例えば、携帯電話、デジタルカメラ等の電子機器、光学機器等の電子部品として好適に使用されている。
図1及び図2に従来の積層型半導体装置を示す。配線基板1の上面に下段半導体素子2を搭載し、この下段半導体素子2と配線基板1との間でボンディングワイヤ3により必要な電気的接続を行い、下段半導体素子2の上面にスペーサ4を配置し、このスペーサ3上に上段半導体素子5を搭載し、この上段半導体素子5と配線基板1との間でボンディングワイヤ6により必要な電気的接続を行った後、半導体素子2、5、スペーサ4、ボンディングワイヤ3、6、等をモールド樹脂7で封止して、積層型半導体装置を完成させる。
本発明に関連する先行技術として、特許文献1には、積層型半導体装置において、ボンディングワイヤ同士が短絡する危険性を低減するために、配線中継部材を用いている。
即ち、特許文献1に開示されている積層型半導体装置は、配線基板の上に下段半導体素子を固着し、その上に配線中継部材を固着し、更にその上に上段半導体素子を固着している。そして、配線基板と下段半導体素子とを第1ボンディングワイヤで接続し、上段半導体素子と配線中継部材とを第2ボンディングワイヤで接続し、更に配線中継部材と配線基板とを第3ボンディングワイヤで接続し、これらの第1〜第3ボンディングワイヤを樹脂で封止している。
他の関連する先行技術として、特許文献2には、半導体素子を複数個積み重ねて、1つの半導体パッケージに封入する構造を有し、少なくとも1つの半導体素子がワイヤボンディングによる金線を介して、半導体素子間及び半導体パッケージ外部と接続されている積層型半導体装置の製造方法が開示されている。これによると、金線により接続された半導体素子の入出力端子及びワイヤボンディング干渉区域を除いた半導体素子機能面全面に金線のループの最高点よりも、高さのあるスペーサが形成されている。
上述のように、図1及び図2に示した従来の積層型半導体装置、或いは特許文献1及び2に開示されている積層型半導体装置においては、積み重ねる複数の半導体素子同士の間にスペーサ或いは配線中継部材を介在させることにより、半導体素子相互間、或いはボンディングワイヤ相互間の交錯等による短絡の危険性を回避するようにしている。
しかしながら、図1及び図2に示した従来技術或いは特許文献1又は2に開示されている先行技術に係る積層型半導体装置では、半導体素子同士の間にスペーサや配線中継部材を配置しているので、ボンディングワイヤの交錯等による短絡の危険性を低下させることができるものの、各半導体素子を接続するためのボンディングワイヤが長くなって、必要なボンディングワイヤをグランド用の接続端子等に接続させるための配線引き回し等が煩雑となり、また、ボンディングワイヤによる電気的特性を向上するのが難しいという問題があった。
そこで、本発明では、複数の半導体素子を、各半導体素子間にスペーサを介在させて積層した積層型半導体装置において、ボンディングワイヤに伴う電気的特性を改善し、且つ狭いピッチ化を実現することのできる積層型半導体装置を提供することを課題とする。
上記の課題を達成するために、本発明によれば、配線基板と、該配線基板上に固着した下段半導体素子と、該下段半導体素子上に固着された絶縁スペーサと、該絶縁スペーサ上に固着された、少なくとも上面の全面又は一部の領域にグランド用導体面を有するグランド付スペーサと、該グランド付スペーサ上に固着された上段半導体素子と、前記下段半導体素子と前記配線基板と間を電気的に接続する第1ボンディングワイヤと、前記上段半導体素子と前記配線基板と間を電気的に接続する第2ボンディングワイヤと、前記グランド付スペーサのグランド用導体面と前記配線基板のグランド用端子との間を電気的に接続する第3ボンディングワイヤと、前記第1〜第3ボンディングワイヤを封止する封止樹脂と、からなる積層型半導体装置が提供される。
本発明では、このように、積層型半導体装置において、配線基板上に積層する複数の半導体素子の間にスペーサを介在させるだけでなく、グランド付スペーサをも介在させ、グランド付スペーサのグランド用導体面と配線基板のグランド用端子との間を第3ボンディングワイヤによって電気的な接続を行っているので、スペーサによって下段半導体素子と上段半導体素子との間隔を確保してボンディングワイヤの引き回しスペースを確保できると共に、上段半導体素子と最も下の位置にある配線基板との間を電気的に接続する第2ボンディングワイヤの本数を減らすことができ、全体としてボンディングワイヤの長さを減少させることができ、また、ボンディングワイヤ相互間の短絡の危険性を減少することができ、ボンディングワイヤによる接続に伴う電気的特性の向上を図ることができる。
前記グランド付スペーサは、絶縁板の表面に互いに分離された複数の金属面が形成され、これらの複数の金属面は前記グランド用導体面の他に、電源用導体パターンを含み、前記上段半導体素子の電源端子と該グランド付スペーサの電源用導体パターンとの間を第4ボンディングワイヤにて電気的に接続し、前記グランド付スペーサの電源用導体パターンと前記配線基板の電源用端子との間を第5ボンディングワイヤにて電気的に接続することを特徴とする。
このように、第4ボンディングワイヤ及び第5ボンディングワイヤにより、上段半導体素子の電源端子とグランド付スペーサ上の電源用導体パターンとの間、及びこのグランド付スペーサ上の電源用導体パターンと配線基板の電源用端子との間をそれぞれ電気的に接続することにより、前述の第2ボンディングワイヤの本数を更に減らすことができ、全体としてのボンディングワイヤの長さを更に減少させ、電気的特性の向上に寄与することができる。
更に、前記グランド付スペーサは、更に、信号用導体パターンを含み、前記上段半導体素子の信号端子と該グランド付スペーサの信号用導体パターンとの間を第6ボンディングワイヤにて電気的に接続し、前記グランド付スペーサの信号用導体パターンと前記配線基板の信号用端子との間を第7ボンディングワイヤにて電気的に接続する。
このように、第6ボンディングワイヤ及び第7ボンディングワイヤにより、上段半導体素子の信号端子とグランド付スペーサ上の信号用導体パターンとの間、及びこのグランド付スペーサ上の信号用導体パターンと配線基板の信号用端子との間をそれぞれ電気的に接続することにより、前述の場合と同様、第2ボンディングワイヤの本数を更に減らすことができ、全体としてのボンディングワイヤの長さを更に減少させ、電気的特性の向上に寄与することができる。
更に、前記グランド付スペーサは、セラミック材料からなる板状体に金属導体面が形成されたものであることを特徴とする。
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
図3及び図4は本発明の第1実施形態に係る積層型半導体装置を示す。配線基板1の上面の素子搭載領域に例えば接着剤8等を使用して下段半導体素子2が固着され、この下段半導体素子2と配線基板1との間でボンディングワイヤ3により必要な電気的接続が行われる。
この下段半導体素子2の信号用等の電極や端子類は、半導体素子2の上面の周囲領域に集中的に配置されており、半導体素子2の上面の中央領域に、ボンディングワイヤ3のループ等の間隔を確保するためのセラミック等の絶縁材料からなるスペーサ4が固着される。したがって、このスペーサ4は下段半導体素子2の平面状領域面積より小さい面積の矩形板状体で、このスペーサ4上に搭載するものが上述のボンディングワイヤ3のループと干渉させない程度の厚さを有する。
このスペーサ4上には板状のグランド付スペーサ10が固着される。このグランド付スペーサ10は、セラミック等の絶縁材料からなる板状体の表面にグランド用導体面が形成されたものである。この第1実施形態では、グランド付スペーサ10の上面に全面にわたってグランド導体面10aが形成されている。
グランド付スペーサ10の上面には、上段半導体素子5が固着される。この半導体素子5は裏面にグランド用接続部を有するもので、半導体素子5がグランド付スペーサ10上に導電性の接着剤等(図示せず))を使用して搭載されると同時に、半導体素子5がグランド付スペーサ10上のグランド導体面10aに電気的に接続され、半導体素子5の接地を確保することができる。
一方、上段半導体素子5はその信号用の電極端子等がボンディングワイヤ6により配線基板1の信号用パッド等の端子にとの間の必要な電気的接続が行われる。また、グランド付スペーサ10の上面のグランド導体面10aと配線基板1のグランド用端子部との間はボンディングワイヤ12により電気的に接続され、接地が確保される。この場合において、ボンディングワイヤ12はグランド導体面10aの縁部からその直ぐ下方にある配線基板1の部分に接続することができるので、比較的短い長さとすることができる。
その後、半導体素子2、5、スペーサ4、グランド付スペーサ10及びボンディングワイヤ3、6、12がモールド樹脂7により一体的に封止されて、第1実施形態に係る積層型半導体装置が完成される。
図5及び図6は本発明の第2実施形態に係る積層型半導体装置を示す。第1実施形態と相違する点のみを説明すると、第1実施形態では、グランド付スペーサ10の上面が全面にわたってグランド導体面10aが形成されていたが、この第2実施形態では、グランド付スペーサ10の上面に、複数の金属導体面が形成されている。
即ち、図6の平面図において、グランド付スペーサ10の上面は、上段半導体素子5の搭載領域5aを含む大部分の領域(斜線で示す)にグランド導体面10aが形成され、上段半導体素子5の搭載領域5aの両側に導体が形成されていない領域14があり、これらの領域の内部に、必要の本数の信号用導体パターン10bが形成されている。
そして、グランド付スペーサ10の上面に固着された上段半導体素子5の信号用電極とグランド付スペーサ10の信号用導体パターン10bとの間がボンディングワイヤ16により電気的に接続される。更に、これらのグランド付スペーサ10の信号用導体パターン10bと配線基板1の信号用端子部との間がボンディングワイヤ18により電気的に接続され、信号線の接続回路が確保される。この場合において、ボンディングワイヤ16は上段半導体素子5の周辺部に設けられた信号用電極とその直ぐ下方の位置にあるグランド付スペーサ10の信号用導体パターン10bとの間で接続され、ボンディングワイヤ16はグランド付スペーサ10の信号用導体パターン10bの縁部とその直ぐ下方の位置にある配線基板1の信号用端子との間で接続することができるので、これらのボンディングワイヤの長さを比較的短くすることができる。
なお、上段半導体素子5の電源用の電極、或いは他の信号用電極は、第1実施形態の場合と同様、上段半導体素子5から直接ボンディングワイヤ6を介して回路基板1側と電気的な接続が行われる。
これらの半導体素子2、5、スペーサ4、グランド付スペーサ10及びボンディングワイヤ3、6、12、16、18がモールド樹脂7により一体的に封止される点は第1実施形態に係る積層型半導体装置の場合と同様である。
なお、第2実施形態においては、グランド付スペーサ10の上面にグランド用導体面10aに加えて、信号用の導体パターン10bを形成しておき、上段半導体素子5の信号用電極との電気的接続をこれらの導体パターン10bを介して行ったが、これらの信号用の導体パターン10bの代わりに、又はこれらのこれらの信号用の導体パターン10bに更に加えて、グランド付スペーサ10の上面に電源用の導体パターンを形成しておき、上段半導体素子5の電源用端子との電気的接続をこれらの導体パターンを介して行うことも可能である。
以上添付図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内において種々の形態、変形、修正等が可能である。
以上説明したように、本発明によれば、積層型半導体装置において、配線基板上に積層する複数の半導体素子の間にスペーサを介在させるだけでなく、グランド付スペーサをも介在させ、グランド付スペーサのグランド用導体面と配線基板のグランド用端子との間を別のボンディングワイヤによって電気的な接続を行っているので、スペーサによって下段半導体素子と上段半導体素子との間隔を確保してボンディングワイヤの引き回しスペースを確保できるだけでなく、全体としてボンディングワイヤの長さを減少させ、ボンディングワイヤ同士の短絡の危険性を減少し、電気的特性の向上した積層型半導体素子を得ることができる。
1 配線基板
2 下段半導体素子
3、6 ボンディングワイヤ
4 スペーサ
5 上段半導体素子
7 封止樹脂
10 グランド付スペーサ
12、14、16、18 ボンディングワイヤ
2 下段半導体素子
3、6 ボンディングワイヤ
4 スペーサ
5 上段半導体素子
7 封止樹脂
10 グランド付スペーサ
12、14、16、18 ボンディングワイヤ
Claims (4)
- 配線基板と、該配線基板上に固着した下段半導体素子と、該下段半導体素子上に固着された絶縁スペーサと、該絶縁スペーサ上に固着された、少なくとも上面の全面又は一部の領域にグランド用導体面を有するグランド付スペーサと、該グランド付スペーサ上に固着された上段半導体素子と、前記下段半導体素子と前記配線基板と間を電気的に接続する第1ボンディングワイヤと、前記上段半導体素子と前記配線基板と間を電気的に接続する第2ボンディングワイヤと、前記グランド付スペーサのグランド用導体面と前記配線基板のグランド用端子との間を電気的に接続する第3ボンディングワイヤと、前記第1〜第3ボンディングワイヤを封止する封止樹脂と、からなる積層型半導体装置。
- グランド付スペーサは、絶縁板の表面に互いに分離された複数の金属面が形成され、これらの複数の金属面は前記グランド用導体面の他に、電源用導体パターンを含み、前記上段半導体素子の電源端子と該グランド付スペーサの電源用導体パターンとの間を第4ボンディングワイヤにて電気的に接続し、前記グランド付スペーサの電源用導体パターンと前記配線基板の電源用端子との間を第5ボンディングワイヤにて電気的に接続することを特徴とする請求項1に記載の積層型半導体装置。
- グランド付スペーサは、更に、信号用導体パターンを含み、前記上段半導体素子の信号端子と該グランド付スペーサの信号用導体パターンとの間を第6ボンディングワイヤにて電気的に接続し、前記グランド付スペーサの信号用導体パターンと前記配線基板の信号用端子との間を第7ボンディングワイヤにて電気的に接続することを特徴とする請求項1又は2に記載の積層型半導体装置。
- グランド付スペーサは、セラミック材料からなる板状体に金属導体面が形成されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の積層型半導体装置。
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