JP2006177888A - 被検査体の外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板2の外観検査装置において、第1撮像部30aおよび第2撮像部30bは、基板2と相対的に移動することにより、基板2の一面を走査する。第3撮像部30cおよび第4撮像部30dは、基板2を挟んで第1撮像部30aおよび第2撮像部30bと対向するよう配置され、基板2と相対的に移動することにより、基板2の他の一面を走査する。基板搬送モータ58は、撮像部30の各々と基板2とを相対的に移動させる。基板搬送モータ58が基板2と撮像部30の各々とを相対的に移動させる一回の移動工程において、撮像部30の各々が基板2の走査を完了する。
【選択図】 図5
Description
Claims (4)
- 被検査体と相対的に移動することにより、被検査体の一面を走査する第1走査部と、
被検査体を挟んで第1走査部と対向するよう配置され、被検査体と相対的に移動することにより、被検査体の他の一面を走査する第2走査部と、
前記第1走査部および前記第2走査部と被検査体とを相対的に移動させる移動手段と、を有し、
前記移動手段が被検査体と前記第1走査部および前記第2走査部とを相対的に移動させる一回の移動工程において、前記第1走査部および前記第2走査部が被検査体の走査を完了することを特徴とする被検査体の外観検査装置。 - 前記第1走査部と前記第2走査部は、一走査単位の実行を同期して行うことを特徴とする請求項1に記載の被検査体の外観検査装置。
- 前記第1走査部が被検査体の走査を行うために被検査体に光を照射する第1照明手段と、
前記第2走査部が被検査体の走査を行うために被検査体に光を照射する第2照明手段と、を有し、
前記第1照明手段と前記第2照明手段は、一走査単位の実行に伴う光の照射を同期して行うことを特徴とする請求項1または2に記載の被検査体の外観検査装置。 - 前記第1照明手段および第2照明手段はともに、被検査体に複数の入射角度の光を照射する複合光源を備え、
前記第1照明手段と前記第2照明手段は、光の照射を同期して行う際、同時に同じ入射角度の光を照射することを特徴とする請求項3に記載の被検査体の外観検査装置。
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP6450700B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2019-01-09 | Ckd株式会社 | 基板検査装置 |
CN109900248A (zh) * | 2017-12-07 | 2019-06-18 | 英业达科技有限公司 | 用于流水线的电路板元件检测的检测装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219631A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Achilles Corp | 模様パネルの製造方法 |
JPH03122556A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-24 | Nikka Densoku Kk | 半透明シート状物の検査方法および装置 |
JPH06241739A (ja) * | 1993-02-16 | 1994-09-02 | Todaka Seisakusho:Kk | Icの外観検査装置 |
JP2001050730A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 両面実装基板の半田付け検査方法およびその装置 |
JP2001266127A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | プリント配線板の検査装置 |
JP2002055060A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-02-20 | Saki Corp:Kk | 走査ヘッドおよびそれを利用可能な外観検査方法および装置 |
JP2002062122A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置 |
JP2002158500A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-31 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 両面実装基板検査方法およびその装置 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219631A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Achilles Corp | 模様パネルの製造方法 |
JPH03122556A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-24 | Nikka Densoku Kk | 半透明シート状物の検査方法および装置 |
JPH06241739A (ja) * | 1993-02-16 | 1994-09-02 | Todaka Seisakusho:Kk | Icの外観検査装置 |
JP2001050730A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 両面実装基板の半田付け検査方法およびその装置 |
JP2001266127A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | プリント配線板の検査装置 |
JP2002055060A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-02-20 | Saki Corp:Kk | 走査ヘッドおよびそれを利用可能な外観検査方法および装置 |
JP2002062122A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置 |
JP2002158500A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-31 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 両面実装基板検査方法およびその装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016221456A (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-28 | 住友金属鉱山株式会社 | テーブル比重選鉱システムにおける照明装置 |
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