CN1808058A - 被检查体的外观检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。在基板(2)的外观检查装置上，第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的一面进行扫描。第3摄像单元(30c)及第4摄像单元(30d)配置成夹着基板(2)与第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)对向，通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的另一面进行扫描。基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各单元与基板(2)相对移动。在基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各个单元与基板(2)相对移动的一次的移动工序中，摄像单元(30)的各个单元完成对基板(2)的扫描。

Description

被检查体的外观检查装置

技术领域

本发明涉及被检查体的外观检查技术，特别是涉及具有多个摄像手段的安装基板的外观检查技术。

背景技术

近年来，电子基板几乎安装在所有的设备上。在这些装有电子基板的设备上，小型化、薄型化及降低价格一直是个问题，为此，广泛地进行高集成度设计。在实现这一高集成度设计的要素中，除了要充实各种设计工具、半导体技术的进步外，还可列举高密度安装技术。这一高密度安装的要点在于制造技术及检查技术，曾提出过利用图像识别技术对安装这些零件后的印刷电路基板(以后称‘基板’)进行检查的技术。

为此，例如在专利文献1中提出一种两面安装基板的软钎焊方法：即根据对基极照射X射线所得基板两面的图像判定软钎焊状态。另外，例如在专利文献2中提出一种两面安装基板的检查方法，该检查方法根据只在基板正面安装零件的正面图像数据和在正反面安装零件的两面图像数据的差作为反面图像数据，由实际检查基板的两面图像数据，利用与该反面图像数据的差，判定正面安装状态是否正常。

专利文献1：特開2001-50730号公报

专利文献2：特開2002-158500号公报

发明内容

虽然提出根据基板两面的图像判定基板安装状态是否正常的技术，但是并未提出能对安装零件的基板两面高效地进行摄像并进行解析的技术。对基板进行检查用的图像识别即使在当今，识别高精细的图像仍相当花费时间，所以更加要求缩短检查时间。

本发明为解决上述问题而提出，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。

为了解决上述问题，本发明一种形态的被检查体的外观检查装置，包括：通过与被检查体相对移动，扫描被检查体一面的第1扫描单元；配置成夹着被检查体与第1扫描单元对向，并通过与被检查体的相对移动，扫描被检查体另一面的第2扫描单元；以及使第1扫描单元及第2扫描单元相对移动的移动手段。移动手段在使被检查体与第1扫描单元及第2扫描单元相对移动一次的移动工序中，第1扫描单元及第2扫描单元完成对被检查体的扫描。根据这种实施方式，在一次的移动工序中，能对被检查体两面进行扫描，缩短被检查体的检查时间。还有，例如，将线状传感器等称为‘扫描单元’。

本发明涉及的被检查体的外观检查装置其第1扫描单元和第2扫描单元可以同步进行一个扫描单元的执行。根据这种实施方式能容易地扫描被检查体外观的两面。

第1扫描单元可以有为了对被检查体进行扫描而对被检查体照射光的第1照明手段，第2扫描单元可以有为了对被检查体的进行扫描而对被检查体照射光的第2照明手段，第1照明手段和第2照明手段可以伴随着一个扫描单位的执行，同步进行光的照射。根据这种实施方式容易对扫描被检查体用的光的照射进行控制。

第1照明手段及第2照明手段都可以具有对被检查体照射多个入射角度的光的复合光源。第1照明手段及第2照明手段在同步进行光的照射时，可以同时照射相同入射角度的光。根据这种实施方式，能制止由于光的干扰对另一扫描单元的扫描带来影响。

利用本发明的外观检查装置能缩短基板等被检查体的检查时间。

附图说明

图1为表示第1实施方式涉及的外观检查装置的构成图。

图2为表示第1实施方式涉及的摄像系统的构成图。

图3为表示第1实施方式涉及的照明单元的构成图。

图4为表示第1实施方式涉及的包括检查单元即从属PC在内的外观检查装置的构成图。

图5为表示第1实施方式涉及的外观检查装置的构成示意图。

图6为表示第2实施方式涉及的外观检查装置的构成图。

图7为表示第2实施方式涉及的摄像系统的构成图。

图8为表示第2实施方式涉及的照明单元的构成图。

图9为表示第2实施方式涉及的包括检查单元即从属PC在内的外观检查装置的构成图。

图10为表示第2实施方式涉及的外观检查装置的构成示意图。

图11A为举例表示被检查体即基板正面的俯视图。

图11B为举例表示各摄像单元摄像范围用的模式图。

图11C为说明存储在作为检查手段的各从属PC的存储器中的图像数据用的模式图。

图12为举例表示图6的外观检查装置的显示器上显示的检查结果用的模式图。

图13为举例表示在图6的外观检查装置上检查所得的被检查体用的模式图。

图14为表示图6的外观检查装置的显示器上显示的检查结果的其它例子用的模式图。

图15为第3实施方式的外观检查装置的放大立体图。

图16为表示图15的外观检查装置中的摄像单元的放大立体图。

图17为表示图16的摄像单元中的照明单元的概要构成图。

图18为第3实施方式的外观检查装置的控制方框图。

图19为说明利用第3实施方式的外观检查装置对被检查体进行外观检查的步骤用的流程图。

图20A为举例表示被检查体即基板正面的俯视图。

图20B为举例表示各摄像单元摄像范围用的模式图。

图20C为说明存储在作为检查手段的各从属PC的存储器中的图像数据用的模式图。

图21为举例表示在图15的外观检查装置的显示器上显示的检查结果用的模式图。

图22为举例表示在图15的外观检查装置上检查所得的被检查体用的模式图。

图23为表示图15的外观检查装置中显示器上显示的检查结果的其它例子用的模式图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式(以后称‘实施方式’)进行说明。

实施方式1

图1表示第1实施方式涉及的外观检查装置200的构成。外观检查装置200具有检查台10、基板输送台50、以及摄像系统80等。基板输送台50具有支持机架52及两根输送轨54等。由支持机架52支持输送轨54。

输送轨54具有通过驱动电动机而输送基板2的输送带，将载于输送带上的基板2一直送到检查台10的实质上中央处。在输送轨54的上方检查台的实质上中央处，具有检测基板2输送的图中未示出的使用光学传感器等非接触式传感器的输送传感器，该输送传感器通过检测设置在基板2的端面或基板2上的检测孔，检测出基板2已输送到检查台10实质上中央，使输送带上的基板2停止输送。

具有支持机架52及输送轨54的基板输送台50，具有设置在外观检查装置200下方让支持轴插入通过的插入通过部，通过这样，能支持基板输送台50可沿与输送轨54输送基板2的方向垂直的方向运动。通过利用电动机的驱动，基板输送台50下的滚珠螺杆56旋转移动基板输送台50，将基板2送向摄像系统80。还有，在本图面前一侧的输送轨54上设置从上方按压载于输送轨54上基板2矫正基板2的形状的夹紧装置，输送到检查台10实质上中央的基板2利用该夹紧装置以矫正歪斜变形的状态，将基板2送向摄像系统80。

摄像系统80具有上部摄像系统80a和下部摄像系统80b，上部摄像系统80a由上部照明单元100a、第1摄像单元30a、第2摄像单元30b等构成，下部摄像系统80b由下部照明单元100b、第3摄像单元30c、第2摄像单元30d等构成(以下根据需要将上部照明单元100a和下部照明单元100b记为‘照明单元100’，将第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、第3摄像单元30c、第2摄像单元30d记为‘摄像单元30’)。

当利用基板输送台50将基板2输送到摄像系统80时，由照明单元100对基板2照射光，摄像单元30对基板2的面进行摄像。上部摄像系统80a设置在输送轨54的上部，下部摄像系统80b设置在输送轨54的下部，就象与上部摄像系统80a一起夹着被检查体即基板2一样。上部摄像系统80a和下部摄像系统80b之间基板2的输送、利用照明单元100向基板2照射光、同时控制利用摄像单元30对基板2的面摄像。通过这样，由基板输送台50输送的基板2就能边在上部摄像系统80b和下部摄像系统80b之间输送边能摄像，能在一次的基板输送工序中分别完成上部摄像系统80a对基板2一面的摄像，以及下部摄像系统80b对基板2另一面的面摄像。还有，所谓一次的基板输送工序可以是基板朝一个方向移动的工序，也可以是基板来回移动的工序。

当利用摄像系统80完成对基板2的两面摄像时，通过转动滚珠螺杆56移动基板输送台50直至利用输送轨54输送基板2的位置，并将完成检查的基板2送向下道工序。在有此后要进行检查的基板2时，与前述相同，利用输送轨54输送基板2直至检查台10实质上中央处，同样地对基板2进行摄像。

图2为表示第1实施方式涉及的摄像系统80的构成图。本实施方式中，用线状传感器扫描被检查体、即基板的检查面形成图像，利用图像识别判定零件的安装状态是否正常。向电动机输入控制信号移动基板输送台50，通过与该线状传感器的扫描方向垂直地移动基板2，从而依次获得每条线的图像，以被检查体即基板2作一维空间的运动方式完成扫描。作为外观检查装置的其它型式虽然也有使检查面在二维空间中移动并停止，反复上述动作不断地进行点摄像，但这种场合，通常大多是机械装置结构复杂，检查时间长。在这一点上如本实施方式那样，利用线状传感器的形式则更加有利。

上部摄像系统80a由上部照明单元100a、上部机架36a、上部支持机架38、第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、电动机40、中间透镜42等构成，下部摄像系统80b由下部照明单元100b、下部机架36b、第3摄像单元30c、第4摄像单元30d、中间透镜42等构成。

上部机架36a上放置并固定着第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、中间透镜42。第1摄像单元30a由第1透镜32a、第1线状传感器34a构成。第2摄像单元30b由第2透镜32b、第2线状传感器34b构成。这样，为了对基板一侧的面进行摄像，通过设置多个摄像单元30，首先，由于能利用高清晰度对基板2摄像，所以能提高检查精度。另外由于能将所摄图像的图像处理分散，所以能提高处理速度。

上部机架36a可沿本图中基板2的输送方向滑动地支持在上部支持机架38上，通过电动机40驱动，上部机架36a相对上部支持机架38滑动。控制对基板摄像用的摄像控制单元根据预先输入的基板厚度数据，给出控制信号驱动电动机40，从而使上部机架36a相对上部支持机架38滑动，以便对基板2的上表面进行摄像而对焦。

在上部摄像系统80a中，第1摄像单元30a及第2摄像单元30b须分担对被检查体、即基板2的一个面进行摄像，与基板2的一个面对向并排设置。另外，因对位于第1摄像单元30a及第2摄像单元30b两者摄像范围之间的基板2上的零件进行检查，所以决定分别配置第1透镜32a、第1线状传感器34a、第2透镜32b、第2线状传感器34b及中间透镜42等，使得在两者的摄像范围上具有重复摄像范围。下部摄像系统80b上也一样地，第3摄像单元30c及第4摄像单元30d须分担对被检查体、即基板2的另一个面进行摄像，与基板2的另一个面对向并排设置。另外，决定分别配置第3透镜32c、第3线状传感器34c、第4透镜32d、第2线状传感器34d及中间透镜42等，使得在第3摄像单元30c及第4摄像单元30d两者的摄像范围上有重复摄像范围。第1摄像单元30a及第2摄像单元30b、和第3摄像单元30c及第4摄像单元30d为了和摄像单元30一起通过被检查体即基板2一次相对的移动工序对基板2的两面进行摄像，而配置成夹着被检查体即基板2而对向。

上部照明单元100a为了抑制由于相互间光的干涉造成的图像模糊，配置在比下部照明单元100b更靠近基板输送方向送来的一侧。因此，通过基板输送台50输送基板2，基板2首先移向第1线状传感器34a及第2线状传感器34b的扫描范围的开始位置。以后，利用线状传感器34每对基板扫描一根线便向驱动滚珠螺杆56的电动机给出一次控制信号，基板2就前进一根线。这样通过线状传感器34对基板2输送方向的所有长度进行扫描，能在一道基板输送工序中对基板2进行两面摄像。

图3为表示第1实施方式涉及的照明单元100的构成图。照明单元100由上部照明单元100a及下部照明单元100b构成。上部照明单元100a及下部照明单元100b由第1光源102、第2光源104、第3光源106、半透半反镜110、丙烯酸片等构成。分别配置成第1光源102、第2光源104、第3光源106围着半透半反镜110。

第1光源102由沿线状传感器34的扫描方向排列成大于等于被检查体、即基板2的长度的LED(发光二极管)组构成。第1光源102为了能对基板2照射反射光，线状传感器34配置在将要扫描的基板上的扫描线的正上方，在本实施方式中，第1光源102由设置在与基板2平行设置的基板上的LED组构成。还有，为了有效地向检查中的扫描线投射反射光，可将安装LED组的基板从中央开始分成两块副基板，在各个副基板上构成沿扫描方向排列的LED组。利用第1光源将反射光投向基板2，再利用线状传感器34将其检测出来，从而能判定基板2内零件位置偏离、次品、焊锡渍等。

第2光源104由设置在与基板2平行地配置的两块基板上的，沿线状传感器34的扫描方向排列成大于等于被检查体、即基板2的长度的LED组构成。安装LED的两块基板沿基板输送方向夹着扫描线配置在两侧，使得第1光源不干扰将反射光投向扫描线的光程。

第3光源106也和第2光源104一样，由设置在与基板2平行地配置的两块基板上的，沿线状传感器34的扫描方向排列成大于等于被检查体即基板2的长度的LED组构成。安装LED的两块基板沿基板输送方向夹着扫描线配置在两侧，使得第1光源及第2光源不干扰对扫描线照射光的光程。利用第2光源104向基板2投射侧射光，通过用线状传感器34将其检测出来，从而能判定基板2内有无焊锡搭桥、装错零件、以及极性相反等。

上述光源为，第1光源102照射绿光、第2光源104照射白光、第3光源106照射蓝光，各光源以不同的入射角照射被检查体即基板2。因此，照明单元100作为对被检查体即基板2照射多个入射角度的光的复合光源起作用。之所以选第1光源102为绿色、第3光源106为蓝色是由于近些年LED技术的进步，绿色LED或蓝色LED比白色LED明亮，能获得SN比高的清晰的图像。由于印刷电路布线板大多为绿色，所以为了利用反射光明亮地照射平面，选第1光源为绿色。另外，用激光印在IC或芯片上的文字通过从低的角度照蓝色的光就变得容易辨认，所以第3光源106为蓝色。

来自第1光源102的反射光，通过半透半反110镜向基板2的检查面以近似零的角度投射。在本发明的实施方式中，配置成让第1光源102形成宽度，即使在基板2弯曲时仍旧有入射角为零的反射光分量存在。来自扫描线的反射光在半透半反镜110上反射，通过中间透镜42射向透镜32。

在第2光源104及第3光源106和扫描线之间设置丙烯酸片112。该丙烯酸片将来自第2光源104及第3光源106的光扩散。由于第2光源104及第3光源106为点光源的LED的集合体，所以，如无扩散作用则由于点状的光摄入图像数据有可能会对检查精度带来影响。

本实施方式中，按照第2光源104为白色的光、第1光源为绿色的光、第3光源为蓝色的光的次序各个光源独立地对一根扫描线三次发光，每一次发光都用线状传感器34扫描基板2。通过这样，能得到各光源对基板2照射光后的状态的图像。

由于基板2有时会光从基板2的端部漏向对向的照明单元100，另外，基板2上有时设置孔或有未被焊锡埋没的孔残留等情形存在，所以，从该孔对着对向的照明单元100有漏光的情形存在。当从这样地对向的照明单元100漏出的光由线状传感器34直接扫描时，就产生图像模糊的现象，会给基板2的摄像带来影响。因此，在本实施方式中，上部照明单元100a和下部照明单元100b沿基板的输送方向只偏移长度L进行配置。偏移的长度L从抑制图像模糊的角度考虑最好大于等于50mm。

图4为表示第1实施方式涉及的检查单元即包括从属PC(个人用计算机)在内外观检查装置200的构成图。上部摄像系统80a由第1摄像单元30a及第2摄像单元30b构成，第1摄像单元30a与第1图像处理单元130a及检查单元即第1从属PC140a对应、第2摄像单元30b与第2图像处理单元130b及第2从属PC140b对应。同样，下部摄像系统80b由第3摄像单元30c及第4摄像单元30d构成，第3摄像单元30c与第3图像处理单元130c及第3从属PC140c对应、第4摄像单元30d与第4图像处理单元130d及第4从属PC140d对应(以下，按需将第1图像处理单元130a、第2图像处理单元130b、第3图像处理单元130c、第4图像处理单元130d记为‘图像处理单元130’，将第1从属PC140a、第2从属PC140b、第3从属PC140c、第4从属PC140d称为‘从属PC140’)。

各个从属PC140经交换中心150通过网络与其它从属PC140连接，进行数据的收发。另外，从属PC140也与管理单元、即主PC160连接。主PC160也与LAN(Local Area NetWork局域网)连接，检查结果等也能向连接LAN的其它PC发送。

各摄像单元30的线状传感器34，通过扫描得到的图像送与各摄像单元30对应的图像处理单元130。各图像处理单元130对送来的图像进行图像处理，将图像输入对应的从属PC140。

从属PC140具有输入各图像的图像输入口；存储图像数据等数据的存储器；以及通过进行图像识别对基板2外观进行检查的CPU(Central Processing Unit中央处理单元)等，从各图像处理单元130向对应的图像输入口输入图像。输入图像的各从属PC140将图像存入存储器，通过解析对应的摄像单元扫描过的图像，首先取得识别标志或条形码、作为其它检查所需的数据的公用数据。取得公用数据的从属PC140将这一共用数据向其它所有的从属PC140发送。收到公用数据的各从属PC参照该公用数据对被检查体、即基板2进行检查。通过这样，各从属PC能执行须独自进行的检查。

这一处理和生物细胞的行为一样，所有细胞具有相同的遗传因子，按照某个触动只选与自己有关的指令执行。本实施方式中，与遗传因子相当的为检查数据，细胞相当于从属PC140。以往主PC160要划分检查部位或内容指示多个图像处理口，但现在能如本实施方式那样，各从属PC140具有相同的检查数据，通过只选与自己有关的部位执行，所以能提高检查精度，并缩短检查时间。

图5为第1实施方式涉及的外观检查装置的构成示意图。第1摄像单元30a、第2摄像单元30b为利用线状传感器34的扫描单元，利用这些摄像单元30对基板2扫描，通过使基板2移动一根线反复扫描的动作，能完成对基板2一个面的扫描。另外，第1摄像单元30a及第2摄像单元30b一起夹着被检查体、即基板2，配置成与上述第1摄像单元30a及第2摄像单元30b对向的第3摄像单元30c及第2摄像单元30d也是利用线状传感器34的扫描单元，利用所述摄像单元30对基板2扫描，通过使基板2移动一根线反复扫描的动作，能完成对基板2另一个面的扫描。

第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、第3摄像单元30c、第4摄像单元30d分别具有第1线状传感器34a、第2线状传感器34b、第3线状传感器34c、第4线状传感器34d，利用这些线状传感器34的基板2的扫描由主PC160的扫描控制单元162进行控制。

基板2被照明单元100照射光，在该状态下各线状传感器34对基板2扫描。照明单元100由上部照明单元100a及下部照明单元100b构成，各照明单元100由主PC160的照明控制单元161进行控制。

当1根线的扫描完成时，由基板输送电动机58移动基板输送台50，使基板2移动1根线。该基板输送电动机58的移动由主PC160的移动控制单元163进行控制。

第1线状传感器34a、第2线状传感器34b、第3线状传感器34c、第4线状传感器34d由扫描控制单元162进行控制，同步执行一个扫描单位的基板2的扫描。通过这样，线状传感器34的扫描能一齐进行，在不进行线状传感器34的扫描时由于靠移动控制单元163移动基板2，所以，能高效地对基板2扫描，缩短扫描时间。这里，所谓1个扫描单位是指例如从基板一侧的端部开始至另一侧的端部为止的一次一个方向的扫描、或一次往复扫描等线状传感器34能进行的扫描单位。

另外，上部照明单元100a及下部照明单元100b由照明控制单元161控制成随着一个扫描单位的执行同步进行光的照射。通过这样，就容易控制扫描基板2用的照明。扫描控制单元162控制线状传感器34使其在照明单元100对基板2照射光时同步进行基板2的扫描。

另外，上部照明单元100a及下部照明单元100b在同步进行向基板2照射光时，同时由照明控制单元161进行控制，使其同时向基板2照射相同颜色的光。在本实施方式中，按照第2光源104为白光、第1光源为绿光、第3光源为蓝光的次序另外，上部照明单元100a及下部照明单元100b同时以相同的颜色对基板2照射相同入射角度的光。通过这样，例如即使上部照明单元100a的照射光通过周围零件的摄入，照射下部照明单元100b照射光的基板2的照射面，能将因光的干扰对基板2外观检查带来的影响抑制在最低限度。扫描控制单元162在上部照明单元100a及下部照明单元100b同时对基板2照射第2光源104产生的入射角度的光时与一个扫描单位的扫描同步进行，在同时照射第1光源产生的入射角度的光时又同步进行一个扫描单位的扫描，在同时照射第3光源产生的入射角度的光时又同步进行一个扫描单位的扫描，就这样地控制各线状传感器34。

这样，利用上部照明单元100a及下部照明单元100b对基板2照射光时，第1摄像单元30a通过第1透镜32a利用第1线状传感器34a、而第2摄像单元30b通过第2透镜32b利用第2线状传感器34b对图像进行扫描。另外，利用下部照明单元100b对基板2照射光时，第3摄像单元30c通过第3透镜32c利用第3线状传感器34c、而第4摄像单元30d通过第4透镜32d利用第4线状传感器34d对图像进行扫描。当1根线的图像扫描时，主PC160的移动控制单元163向基板输送电动机58输入控制信号，通过基板输送电动机58移动基板输送台50，使基板2移动1根线。

通过扫描所得的图像，由第1摄像单元30a摄得的图像发送给第1图像处理单元130a、由第2摄像单元30b摄得的图像发送给第2图像处理单元130b、由第3摄像单元30c摄得的图像发送给第3图像处理单元130c、由第4摄像单元30d摄得的图像发送给第4图像处理单元130d。各图像处理单元130对收到的图像进行图像处理，第1图像处理单元130a向第1从属PC140a的存储器141a发送进行图像处理后的图像并进行存储、第2图像处理单元130b向第2从属PC140b的存储器141b发送进行图像处理后的图像并进行存储、第3图像处理单元130c向第3从属PC140c的存储器141c发送进行图像处理后的图像并进行存储、第4图像处理单元130d向第4从属PC140d的存储器141d发送进行图像处理后的图像并进行存储。

各从属PC140的解析单元142在存在各存储器141的图像中，在其它的从属PC140上对检查基板2所需的公用数据进行解析，所谓公用数据是指例如设置在基板2上的，表示基板2的位置的识别标志的位置数据、通过解析设置在基板2上的条形码等的识别标志得到的基板2的系列号或生产年月日等识别数据、跨越第1摄像单元30a及第2摄像单元30b摄得的零件图像、以及其它检查基板2所需的数据。

利用解析单元142解析图像，当取得检查基板2所需的公用数据时，将公用数据存入存储器141，并向其它从属PC140发送公用数据。

接收到公用数据的从属PC140的解析单元142参照收到的公用数据，对存储在存储器141的图像进行解析，根据判定基准存储单元存储的判定基准检查基板2。通过这样，在利用多个摄像单元30对基板2进行摄像，并利用与每一个摄像单元对应设置的从属PC140检查基板2时，由于各从属PC140能共享公用数据，所以能提高基板的检查精度，并能缩短检查时间。

还有，存储在各从属PC的存储器的，拍摄基板2后的图像或识别标志的位置数据等的公用数据等、以及从属PC140进行的基板2的检查结果送主PC160。主PC160根据基板2的图像或基板2的检查结果，按需在基板2的异常部位等画面上进行显示等。

本发明不限于上述各实施方式，作为本发明的实施方式将各实施方式的各要素作适当组合也是有效的。另外，根据从事这项技术的人员的知识也能对各实施方式添加各种设计变更等变形，添加这些变形后的实施方式也能包括在本发明的范围内。以下，列举所述的例子。

摄像单元30可以不是利用线状传感器34扫描基板2，而是利用CCD传感器等依次对规定范围的图像进行拍摄。通过这样，能方便地对基板2的图像进行摄像。

摄像单元30及对应的从属PC140也可以在要检查的基板2的一面的上部及要检查的另一面的下部各配置一个。通过这样，能减少从属PC140的数量，能降低成本。

也可以将基板2固定，移动照明单元100或摄像单元30。通过这样，在对基板2摄像时，以稳定保持基板的状态，实现摄像单元30和基板2的相对移动。

实施方式2

首先，说明与第2实施方式有关的背景技术。近年来，虽然电子基板安装在各种各样的设备上，但在这种装有电子基板的设备上，实现小型化、薄型化始终是个问题，从这一点出发，要求提高电子基板的密度。而且在实现电子基板的高密度安装上，高精度地检查基板上零件的安装状态成为重要的工作，以往，为了高精度地检查零件安装后的印刷电路板(以下称‘基板’)，曾提出利用图像识别技术的检查装置(例如参照专利文献3)。另外，也知道有以下的外观检查系统，该系统利用LAN连接多台外观检查装置和作为管理计算机的PC(个人用计算机)，和该外观检查装置的检查结果一起将其它外观检查装置的检查结果作为最终检查结果存在特定的外观检查装置，将该最终检查结果作为对于同一块基板的单一的最终检查结果，在PC的监视画面上显示(例如参照专利文献4)。再有，以互不相干的方式能同时对基板两面安装的零件进行检查的外观检查装置(例如参照专利文献5)。

专利文献3：特公平7-120421号公报

专利文献4：特開平11-118439号公报

专利文献5：特開2003-99758号公报

但是，成为外观检查装置的检查对象的被检查体，正在年年多样化，即使同一种的被检查体，在摄像方向上厚度或高度尺寸不相同的被检查体也越来越多。因此，在执行高精度的检查上，要构成一种能与被检查体在摄像方向上的尺寸变化对应的外观检查装置。

所以，第2实施方式的目的在于提供一种即使被检查体在摄像方向上尺寸发生变化，仍能高精度地检查的外观检查装置。

下面对于解决与第2实施方式有关的课题用的手段进行说明。本实施例的外观检查装置的特点为：在检查被检查体的外观用的外观检查装置上，具有摄像手段，该手段拥有能对被检查体摄像，根据被检查体在摄像方向上的尺寸不改变图像倍率，对被检查体对焦的对焦机构。

该外观检查装置的摄像手段具有根据被检查体在摄像方向上的尺寸不改变图像倍率对被检查体对焦的对焦机构。因而根据这一外观检查装置，即使被检查体在摄像方向上尺寸发生变化仍能对被检查体对焦获得清晰的被检查体图像，所以，能执行高精度检查。

此时，最好对焦机构根据被检查体厚度相应改变与被检查体间的焦距。所述的构成例如最适于基板等有大约一定厚度的被检查体的检查。

另外，摄像手段包括对被检查体正面摄像的正面一侧摄像手段；以及对被检查体反面摄像的反面一侧摄像手段，最好正面一侧摄像手段和反面一侧摄像手段中至少任何一种手段都具有对焦机构。

即正反两面都成为检查对象的被检查体基本上正面及反面的任何一面相对对应的摄像手段都被定位，所以对焦机构只要对正面一侧摄像手段和反面一侧摄像手段中任何一种手段进行设置即可。

利用本实施方式，即使被检查体在摄像方向上尺寸发生变化，仍能执行高精度的检查。

以下，参照附图对实施本实施方式的最佳形态进行详细说明。

图11为表示第2实施方式的外观检查装置的放大立体图。图中示出的外观检查装置1200包括检查台1010、基板输送台1050、正面一侧摄像装置1080a及反面一侧摄像装置1080b(以下，为方便起见称它们为‘摄像装置1080’)等。基板输送台1050具有支持机架1052及支持在该支持机架1052上的两根输送轨1054等。对于输送轨1054，设置利用图中未示出的电动机驱动并输送作为被检查体的基板1002的输送带(图中未示出)，作为被检查体的基板1002利用该输送带一直输送至检查台1010的实质上中央处。另外输送轨1054的上方设置检测基板1002的输送的光传感器等非接触式传感器即输送传感器(图中未示出)，当利用该输送传感器一旦检测出基板1002端面或设置在基板1002上的检测孔等时，就判断基板1002已输送到检查台1010的实质上中央，停止利用输送带输送基板1002。还有本实施方式的基板1002是安装IC芯片或所谓连接器的各种电子零件的电子基板，其正面一侧称为反流(リフロ-)面，其反面一侧称为DIP面。

另外，基板输送台1050具有设置在外观检查装置1200下方让导向轴插入通过的插入通过部，利用该导向轴支持基板输送台1050可沿与输送轨1054输送基板1002的方向垂直的方向自由移动。再通过利用输送电动机1058驱动基板输送台1050和滚珠螺杆1056结合，通过使该送料螺杆(滚珠螺杆)1056旋转使基板输送台1050移动将基板1002送向摄像装置1080。还有，在图11面前一侧的输送轨1054上设置从上方按压载于其上的基板1002矫正基板1002的形状的图中未示出的夹紧装置。

图12为表示外观检查装置1200中摄像装置1080的放大立体图。如图中所示，在摄像装置1080中包括从上方对被检查体、即基板1002的正面即反流面一侧摄像用的正面一侧摄像装置1080a、和从下方对基板1002的反面即DIP面一侧摄像用的反面一侧摄像装置1080b。如图12所示，正面一侧摄像装置1080a配置在输送轨1054的上方，反面一侧摄像装置1080b配置在在输送轨1054的下方和正面一侧摄像装置1080a一起被检查体、即基板1002夹在其间。

正面一侧摄像装置1080a具有正面照明单元1100a、正面一侧支持机架1036a、基架1038、第1摄像单元1030a、第2摄像单元1030b、调焦电动机1040、中间透镜1042等。另外，反面一侧摄像装置1080b具有反面照明单元1100b、反面一侧支持机架1036b、第3摄像单元1030c、第4摄像单元1030d、中间透镜1042等。以下，为说明方便，将第1摄像单元1030a、第2摄像单元1030b、第3摄像单元1030c、第4摄像单元1030d统称为‘摄像单元1030’，正面一侧照明单元1100a、反面一侧照明单元1100b统称为‘照明单元1100’。

如图12所示，第1摄像单元1030a、第2摄像单元1030b、及中间透镜1042固定在正面一侧支持机架1036a上，第1摄像单元1030a包括第1透镜1032a及第1线状传感器1034a，第2摄像单元1030b包括第2透镜1032b、及第2线状传感器1034b。上述第1摄像单元1030a及第2摄像单元1030b为了对被检查体、即基板1002的正面摄像并排设置在基板1002的上方。另外，第1透镜1032a、第1线状传感器1034a、第2透镜1032b、第2线状传感器1034b、及中间透镜1042的设置部位设定成使第1摄像单元1030a及第2摄像单元1030b的摄像范围重复。这样，通过利用多个摄像单元1030a、1030b，首先能以高清晰度对基板1002的正面摄像，并能提高检查精度。另外，通过利用多个摄像单元1030a、1030b，分散执行所摄图像的处理，也能使检查速度提高。

另外，本实施方式中，正面一侧摄像装置1080a的正面一侧支持机架1036a能沿基板2的输送方向滑动自如地支持在基架1038上，利用调焦电动机1040能使正面一侧支持机架1036a相对基架1038移动。即通过使调焦电动机1040动作，从而能使固定在正面一侧支持机架1036a上的第1摄像单元1030a、第2摄像单元1030b、以及中间透镜1042相对基架1038一体地移动。

另一方面，反面一侧摄像装置1080b的第1摄像单元1030a、第2摄像单元1030b、以及中间透镜1042固定在位于基架1038等下方的反面一侧支持机架1036b上。反面一侧摄像装置1080b的第3摄像单元1030c及第4摄像单元1030d为了对被检查体、即基板1002的反面摄像，并排设置在基板1002的下方。反面一侧摄像装置1080b的第3透镜1032c、第3线状传感器1034c、第4透镜1032d、第4线状传感器1034d及中间透镜1042的设置部位也规定成使第3摄像单元1030c、第4摄像单元1030d的摄像范围重复。

图13为表示摄像单元1080中照明单元1100的概要构成图。照明单元1100包括正面一侧摄像装置1080a的正面一侧照明单元1100a、及反面一侧摄像装置1080b的反面一侧照明单元1100b。正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b分别具有第1光源1102、第2光源1104、第3光源1106、半透半反镜1110、及丙烯酸片1112等，第1光源1102、第2光源1104及第3光源1106设置成包围半透半反镜1110。

第1光源1102由沿对应的第1及第2线状传感器1034a、34b或34c、1034d的扫描方向的绿色LED(发光二极管)组构成，绿色LED组的并排长度大于等于被检查体、即基板1002的宽度。正面一侧照明单元1100a的第1光源1102配置在正面一侧摄像装置1080a的线状传感器1034a、34b的基板1002上的扫描线的正上方，从上向下实质上垂直地对被检查体、即基板1002照射光。与此相反，反面一侧照明单元1100b的第1光源1102配置在反面一侧摄像装置1080b的线状传感器1034C、34d的基板1002上的扫描线的正下方，从下向上实质上垂直地对被检查体即基板1002照射光。

来自第1光源1102的光(反射光)通过半透半反镜1110对基板1002的检查面以近似零的入射角进行投射。本实施方式中，使第1光源1102形成宽度，考虑到即使基板1002弯曲时仍旧有入射角为零那样的反射光分量存在。来自基板1002(扫描线)的反射光在半透半反镜1110上进行反射，通过对应的中间透镜1042射入对应的第1及第2透镜1032a、32b或第3及第4透镜1032c、32d。这样，来自第1光源1102的所有的反射光全部投在基板1002上，通过用线状传感器1034对其检测，从而能判定基板1002内零件位置偏离、次品、焊锡渍等。还有，为了高效地向扫描线照射光，可以在中央将LED组用的基板分成两个副基板，在各个副基板上并排设置LED组。

第2光源1104由沿与对应的第1及第2线状传感器1034a、34b或34c、1034d的扫描方向并排设置的白色LED(发光二极管)组构成，白色LED组的并排设置长度大于等于被检查体、即基板1002的宽度。各照明单元1100a及1100b分别有双体的第2光源1104，这些双体的第2光源1104各自的投射光为了不干扰从第1光源1102射向扫描线的光程，在基板1002的输送方向的扫描线两侧各配置一个体。

第3光源1106由沿与对应的第1及第2线状传感器1034a、34b或34C、1034d的扫描方向并排设置的蓝色LED(发光二极管)组构成，蓝色LED组的并排设置长度大于等于被检查体、即基板1002的宽度。各照明单元1100a及1100b分别有四个体的第3光源1106，这些四个体的第3光源1106各自的投射光为了不干扰从第1光源1102及第2光源1104射向扫描线的光程，在基板1002的输送方向的扫描线两侧各配置两个体。

如上所述，第1光源1102照射绿色的光、第2光源1104照射白色的光、第3光源1106照射蓝色的光。因而，各照明单元1100a、100b作为对被检查体、即基板1002照射多种颜色的光的复合光源起作用。因为绿色LED或蓝色LED能发出比白色LED明亮的光，所以通过选第1光源1102为绿色光源，同时选第3光源1106为蓝色光源，从而能获得SN比高的清晰的图像。另外，由于印刷电路布线板大多着色成绿色，所以，若选第1光源为绿色光源，则利用反射光能明亮地照射平面。再有通过选第3光源1106为蓝色光源，从低的角度对装在基板1002上的IC芯片或连接器等零件照射蓝色的光就能容易地识别零件上激光打印的文字等。

本实施方式中，在第2光源1104及第3光源1106和扫描线之间，设置使第2光源1104及第3光源1106来的光扩散用的丙烯酸片1112。通过这样，作为第2光源1104及第3光源1106即使使用点光源的LED集合体，依旧能利用上述扩散作用，抑制由于点状的光摄入图像数据而影响检查精度。另外，本实施方式中，按照白色光源即第2光源1104、绿色光源即第光源1102、蓝色光源即第3光源1106的次序各光源独立地对一根扫描线发光三次，每一次发光用线状传感器1034对基板1002进行扫描。通过这样，能得到在各光源1102、104及106对基板1002照射光的状态下的图像。

还有，有时也在被检查体即基板1002上设置孔，或焊锡未完全填入应堵塞的孔，在这样的情况下，有时光会从一侧的照明单元1100通过该孔漏向另一侧。而且，从一侧的照明单元1100漏向另一侧的光当利用线状传感器1034直接扫描时，就会产生所谓图像模糊的现象。也会对基板1002的摄像带来不良影响。因此，在本实施方式中，正面一侧照明单元1100a和反面一侧照明单元1100b沿基板的输送方向相互仅偏离距离L进行配置。即，本实施方式中，从图13可知，正面一侧照明单元1100a配置在比反面一侧照明单元1100b更靠近基板输送方向送来的一侧。从抑制图像模糊的角度考虑偏离，长度L最好大于等于50mm。

图14为上述外观检查装置1200的控制方框图。如图中所示，正面一侧摄像装置1080a的第1摄像单元1030a中的第1线状传感器1034a通过第1图像处理单元1130a连接作为检查手段的第1从属PC1140a，正面一侧摄像装置1080a的第2摄像单元1030b中的第2线状传感器1034b通过第2图像处理单元1130b连接第2从属PC1140b。这些第1从属PC1140a及第2从属PC1140b作为与正面一侧摄像装置1080a对应的正面一侧检查手段起作用。

同样，反面一侧摄像装置1080b的第3摄像单元1030c中的第3线状传感器1034c通过第3图像处理单元1130c连接第3从属PC1140c，反面一侧摄像装置1080b的第4摄像单元1030d中的第4线状传感器1034d通过第4图像处理单元1130d连接第4从属PC1140d。这些第3从属PC1140c及第4从属PC1140b作为与反面一侧摄像装置1080b对应的反面一侧检查手段起作用。以下，为便于说明，将第1图像处理单元1130a～第4图像处理单元1130d统称为‘图像处理单元1130’，将第1从属PC1140a～第4从属PC1140d统称为‘从属PC1140’。各图像处理单元1130对利用对应的摄像单元1030拍摄的图像进行处理生成图像数据。

各从属PC1140a～140d除了CPU、ROM、RAM外，还有存储从对应的图像处理单元1130a～1130d送来的图像数据等的存储器1141a～1141d。另外在各从属PC1140a～140d上还构筑利用上述CPU等对存储器1141a～1141d所存的图像数据进行解析及检查的解析单元1142a～1142d。再有，各从属PC1140a～140d还具有作为检查合格与否的判定基准存储解析单元1142a～1142d解析用的检查数据的数据库1143a～1143d、或收发各种数据的收发单元1144a～1144d等。

从属PC1140a～1140d的收发单元1144a～1144d分别通过交换中心1150与其它的从属PC1140连接相互能进行数据通信。另外，从属PC1140a～1140d通过交换中心1150也连接主PC1160，通过这样，主PC1160也能和各从属PC1140a～1140d之间进行数据通信。主PC1160具有CPU、ROM、RAM、存储器、输入输出接口等，作为外观检查装置1200全体的管理手段起作用。主PC1160上利用CPU等构筑焦点控制单元1161、照明控制单元1162、扫描控制单元1163及输送控制单元1164。另外，主PC1160还具有显示控制单元1165、及进行各种数据收发的收发单元1166。如图14所示，利用显示控制单元1165控制显示最终检查结果的显示器1170，收发单元1166连接上述交换中心1150。

焦点控制单元1161控制设置在正面一侧摄像手段1080a的调焦电动机1040。而且，在本实施方式中，利用焦点控制单元1161、调焦电动机1040、及正面一侧支持机架1036a和基架1038间的滑动机构，构成不改变图像倍率对被检查体的基板1002对焦用的对焦机构。另外，照明控制单元1162控制正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b，扫描控制单元1163控制利用正面一侧摄像装置1080a的第1线状传感器1034a及第2线状传感器1034b以及反面一侧摄像装置1080b的第3线状传感器1034c及第4线状传感器1034d对被检查体的扫描。再有，输送控制单元1164控制输送电动机1058，由输送控制单元1164控制放在输送轨1054(输送带)上的被检查体、即基板1002的移动、或基板1002移动1根扫描线等。

还有，主PC1160的收发单元1166也可通过LAN(Local Area NetWork局域网)与其它PC等连接，通过这样，能从主PC1160将检查结果等提供给所述其它PC。另外主PC1160还连接图中未示出的键盘或鼠标等输入手段，通过所述的键盘等用户能进行数据输入、或操作外观检查装置1200。

以下，参照图10～图14说明利用上述外观检查装置1200对被检查体的外观进行检查的步骤。

图10为说明利用上述外观检查装置1200对基板1002的外观进行检查的步骤用的流程图。该图表示同时对经过正面反流工序及反面DIP工序，安装有IC芯片或连接器等零件的基板1002的正反面进行检查的步骤。如图中所示，在检查基板1002时，主PC160的焦点控制单元1161从检查前预先输入的基板信息(检查数据)，取得基板1002的厚度信息(S10)。此外，基板1002的厚度也可以由用户利用键盘或鼠标输入主PC160。当取得基板1002的厚度时，主PC160的焦点控制单元1161从存储在规定存储区域的调焦表中读出与在S10输入的基板1002的厚度信息对应的正面一侧支持机架1036a对于基架1038的移动量(例如0.3～2.0mm左右)，同时控制调焦电动机1040使正面一侧支持机架1036a只移动读出的移动量L(S12)。

如上所述，构成正面一侧摄像装置1080a的摄像系统(光学系统)的第1及第2线状传感器1034a、34b、第1及第2透镜1032a、32b、中间透镜1042等，都定位并固定在正面一侧支持机架1036a上。因而，在S12当正面一侧支持机架1036a相对基架1038移动时，与被检查体、即基板间的焦距，也就是从中间透镜1042的端面至半透半反镜1110的距离x1001，和从半透半反镜1110至基板1002正面的距离x1002之和(参照图12)就变化，所以能不改变图像倍率对基板1002进行对焦。这样，外观检查装置1200具有根据被检查体、即基板1002在摄像方向上的尺寸，即，基板1002的厚度相应改变与基板1002间焦距(x1001十x2)的对焦机构。这一结果，利用外观检查装置1200，即使基板1002的厚度发生变化，依旧能对基板1002的正面对焦获得清晰的图像，所以能进行高精度检查。

如上所述，当S12的对焦处理一结束，主PC160的输送控制单元1164就使基板输送台1050开始向摄像单元1080输送基板1002(S14)。本实施方式中，如上所述，正面一侧照明单元1100a配置在比反面一侧照明单元1100b更靠近基板1002送来的一侧。因此，基板1002首先由基板输送台1050一直移至正面一侧摄像装置1080a的第1线状传感器1034a及第2线状传感器1034b的扫描范围的开始位置。然后，当基板1002输送到正面一侧摄像装置1080a的第1线状传感器1034a及第2线状传感器1034b的扫描范围的开始位置时，主PC1160的照明控制单元1162开始控制正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b对基板1002的照射，主PC1160的扫描控制单元1163开始利用正面一侧摄像装置1080a的第1及第2摄像单元1030a、30b及反面一侧摄像装置1080b的第3及第4摄像单元1030c、30d对基板1002的正反面摄像(S16)。

在S16，当开始用各摄像装置1080a、80b进行摄像时，第1线状传感器1034a、第2线状传感器1034b、第3线状传感器1034c、第4线状传感器1034d由扫描控制单元1163控制，同步进行基板1002的一个扫描单位的扫描。即在利用正面一侧照明单元1100a对基板1002的正面照射光时，第1摄像单元1030a的第1线状传感器1034a通过中间透镜1042及第1透镜1032a，另外，第2摄像单元1030b的第2线状传感器1034b通过中间透镜1042及第2透镜1032b分别对图像扫描。再有，在利用反面一侧照明单元1100b对基板1002的正面照射光时，第3摄像单元1030c的第3线状传感器1034c通过中间透镜1042及第3透镜1032c，另外，第4摄像单元1030d的第4线状传感器1034d通过中间透镜1042及第4透镜1032d分别对图像扫描。这样，通过利用线状传感器1034a～34d，从而能二维地使检查面移动·停止，与反复进行上述动作依次进行点摄像的构成相比，使机构简化，同时还能缩短检查时间。

然后，主PC1160的输送控制单元1164每利用第1～第4线状传感器1034a～34d扫描1根线，就向驱动送料滚珠螺杆56的输送电动机1058给出一次控制信号，使基板1002前进1根线。通过这样，就能利用第1～第4线状传感器1034a～34d一齐进行扫描，在不能利用第1～第4线状传感器1034a～34d进行扫描的时刻由于能利用输送控制单元1164移动基板1002，所以能高效地对基板1002进行扫描，缩短检查时间。还有，所谓一个扫描单位是指例如从基板1002的一端向另一端的一个方向上的一次扫描、或一次来回扫描的线状传感器1034a～34d能执行的扫描单位。

通过这样，当第1～第4线状传感器1034a～34d对基板1002的输送方向上的全长扫描时，就能在一道基板输送工序中对基板1002的正反面摄像。也就是，利用基板输送台1050将基板1002输送到正面一侧摄像装置1080a和反面一侧摄像装置1080b之间，其间，在一道的基板输送工序中分别由正面一侧摄像装置1080a对基板1002的正面摄像，反面一侧摄像装置1080b对基板1002的反面摄像。还有，所谓一道的基板输送工序可以是基板1002在一个方向上的输送工序，也可以是基板1002的来回输送工序。

然而，本实施方式中，在各摄像单元1080a、80b对基板1002的摄像中，照明控制单元1162控制正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b使它们随着一扫描单元的执行同步进行光的照射，扫描控制单元1163控制第1～第4线状传感器1034a～1034d，在正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b对基板1002照射光时使对基板1002的扫描同步进行。

具体地说，照明控制单元1162控制正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b使它们同时对基板1002同步照射同色的光。另外，本实施方式中，例如白色光源的第2光源1104、缘色光源的第1光源1102、蓝色光源的第3光源1106按上述次序动作，正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b按照上述次序对基板1002照射白色光、绿色光、蓝色光。通过这样，例如即使正面一侧照明单元1100a照射的光由于摄入周围零件而漏到反面一侧照明单元1100b照射的基板1002的反面上，仍旧能将光的干扰对检查结果的不良影响抑制在最低限度。

然后，主PC1160的扫描控制单元1163在从正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b的第2光源1104对基板1002同时照射白色光时，使各线状传感器1034a～34d同步进行一个扫描单位的扫描。另外，扫描控制单元1163在从正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b的第1光源1102对基板1002同时照射绿色光时再使各线状传感器1034a～34d同步进行一个扫描单位的扫描，在从正面一侧照明单元1100a及反面一侧照明单元1100b的第3光源1106对基板1002同时照射蓝色光时再使各线状传感器1034a～34d同步进行一个扫描单位的扫描。

如上所述，在利用各摄像单元1080a、80b对基板1002摄像时，利用第1摄像单元1030a的第1线状传感器1034a取得的图像送第1图像处理单元1130a、利用第2摄像单元1030b的第2线状传感器1034b取得的图像送第2图像处理单元1130b、利用第3摄像单元1030c的第3线状传感器1034c取得的图像送第3图像处理单元1130c、利用第4摄像单元1030d的第4线状传感器1034d取得的图像送第4图像处理单元1130d。

各图像处理单元1130a～130d对从对应的线状传感器1034a～34d收到的图像，进行图像处理。然后，第1图像处理单元1130a将图像处理后的图像数据向第1从属PC1140a的存储器1141a发送并进行存储、第2图像处理单元1130b将图像处理后的图像数据向第2从属PC1140b的存储器1141b发送并进行存储、同样第3图像处理单元1130c将图像处理后的图像数据向第3从属PC1140c的存储器1141c发送并进行存储、第4图像处理单元1130d将图像处理后的图像数据向第4从属PC1140d的存储器1141d发送并进行存储。

当利用正面一侧摄像装置1080a及反面一侧摄像装置1080b对基板1002的摄像结束时，主PC1160的输送控制单元1164通过向输送电动机1058提供指令信号，使送料螺杆56旋转，移动基板输送台1056将完成摄像的基板1002输向下道工序。

另一方面，当被检查体、即基板1002的图像数据存入各从属PC1140a～140d的存储器1141a～141d时，各从属PC1140a～140d的解析单元1142a～142d对存入各个存储器1141a～141d的图像数据进行解析，在其它的从属PC1140a～140d上在检查基板1002时进行需要的数据交换(S18)。在S18在从属PC1140a～140d间交换的数据，包括例如：表示作为设置在基板1002上的定位基准的识别标志的位置的数据、解析设置在基板1002上的条形码等识别标志得到的基板1002的系列号或在对有生产年月日等的数据的基板1002检查时在从属PC1140a～140d上应能公用的数据(以下称为‘公用数据’)、或利用第1摄像单元1030a及第2摄像单元1030b、第3摄像单元1030c及第4摄像单元1030d拍摄的零件的图像数据。

以下，边参照图11边对所述的S18中图像数据的解析/交换进行说明。图11A为举例表示被检查体、即基板1002的正面的俯视图，以下，对关于基板1002的正面的图像数据的解析及公用数据的共享进行说明。如图11A所示，在基板1002上形成成为基板1002定位基准的第1识别标志1004a及第2识别标志1004b。另外，在图11A举例示出的基板1002近似中央部位上安装第1零件1006和第2零件1008，使它们跨越正面一侧摄像装置1080a的第1摄像单元1030a的摄像范围和第2摄像单元1030b摄像范围。还有，虽然图中未示出，但在基板1002上设置记录着各种数据的条形码。

从图11A可知：基板1002的图中左边一半的区域由第1摄像单元1030a进行摄像，另一方面，图中右边一半的区域由第2摄像单元1030b进行摄像。因此，基板1002的第1识别标志1004a由第1摄像单元1030a进行摄像，其图像数据存入第1从属PC1140a的存储器1141a。另外，基板1002的第2识别标志1004b由第2摄像单元1030b进行摄像，其图像数据存入第2从属PC1140b的存储器1141b。通过这样，与第1摄像单元1030a对应的从属PC1140a在解析存储在存储器1141a的图像数据时，从识别标志的图像数据取得其位置数据。同样，与第2摄像单元1030b对应的从属PC1140b在解析存储在存储器1141b的图像数据时，从识别标志的图像数据取得其位置数据。然后，第1从属PC1140a将第1识别标志1004a的位置数据作为公用数据，向其它从属PC1140b、140c及140d发送，第2从属PC1140b将第2识别标志1004b的位置数据作为公用数据，向其它从属PC1140a、140c及140d发送。

其结果，在外观检查装置1200上，即使基板1002在输送轨1054上稍微倾斜、或基板1002的位置在扫描方向或输送方向上稍些偏移设置，成为基板1002的定位基准的第1识别标志1004a及第2识别标志1004b的位置数据作为公用数据在各从属PC1140a～140d上共享，所以，各从属PC1140a～140d即使在对应的摄像单元1030a～30d的摄像范围不包括识别标志，或者只包括识别标志的一部分时，仍能掌握基板1002的位置或姿势。

另一方面，从图11A可知：在正面一侧摄像装置1080a上，无论在第1摄像单元1030a和第2摄像单元1030b的任何一个上都象未发生不能摄像的区域那样，规定第1摄像单元1030a的摄像范围和第2摄像单元1030b的摄像范围在图11A上如用双点划线表示那样部分重复。同样，在反面一侧摄像装置1080b上，规定第3摄像单元1030c的摄像范围和第4摄像单元1030d的摄像范围部分重复。这里，试以正面一侧摄像装置1080a为例进行说明，如图11B所示，第1摄像单元1030a的摄像范围，从基板1002的图中左端起至稍过基板1002的扫描方向上的中心线的图中右边为止。与此相反，第2摄像单元1030b的摄像范围，从基板1002的图中右端起至稍过基板1002的扫描方向上的中心线的图中左边为止。

而且，在本实施方式中，对于如在图11A等举例示出的第1零件1006或第2零件1008那样，跨越多个摄像单元1030的摄像范围配置的基板1002上的零件，规定为由与摄像范围内包括该零件中心部位在内的摄像单元1030对应的从属PC1140进行检查。即，从图11A等可知，第1零件1006其中心部位属于第1摄像单元1030a的摄像范围，所以对第1零件1006的检查由与第1摄像单元1030a对应的作为检查单元的第1从属PC1140a执行。与此相反，第2零件1008其中心部位属于第2摄像单元1030b的摄像范围，所以对第2零件1008的检查由与第2摄像单元1030b对应的作为检查单元的第2从属PC1140b执行。

这一情况，从图11B可知：在利用与第1摄像单元1030a对应的第1图像处理单元1130a将图像数据存入从属PC1140a的存储器1141a的时刻，从属PC1140a就不保持其检查对象即第1零件1006的全部图像数据。同样，在利用与第2摄像单元1030b对应的第2图像处理单元1130b将图像数据存入从属PC1140b的存储器1141b的时刻，从属PC1140b就不保持其检查对象即第2零件1008的全部图像数据。

因此，各从属PC1140a～140d在执行图像数据的解析中，当识别未成为自己的检查对象的零件的图像数据时，对承担该零件的检查的从属PC1140a～140d(或其它的所有从属PC1140)发送该图像数据。即，在图11的例子的基础上，第1从属PC1140a的存储器1141a就包含第2零件1008的部分图像数据，所述的第2零件1008的图像数据从第1从属PC1140a送给承担第2零件1008的检查的第2从属PC1140b，第2从属PC1140b将该图像数据存储在存储器1141b。另外，第2从属PC1140a的存储器1141b就包含第1零件1006的部分图像数据，所述的第1零件1006的图像数据从第2从属PC1140b送给承担第1零件1006的检查的第1从属PC1140a，第1从属PC1140a将该图像数据存储在存储器1141a。这样，从属PC1140a及从属PC1140b如图11C所示，取得自己承担检查的零件缺失的图像数据。

如上所述，当结束图像数据的解析/交换时，各从属PC1140a～140d的解析单元1142a～1142d分别利用存在数据库1143a～1143d的检查数据，检查自己承担的基板1002的区域(S20)。这里，外观检查装置1200中，作为检查合格与否的判定基准的检查数据对于装在被检查体、即基板1002上的IC芯片或连接器等各种零件与正面一侧摄像装置1080a和反面一侧摄像装置1080b的摄像方向对应分别准备多个。

也就是说，以往的外观检查装置中，基本上没有对基板正反面同时进行检查，所以在外观检查装置上，不必根据摄像单元的摄像方向相应识别流动(フロ-)、DIP或手工焊接(日文—手付け)等‘焊接形式’。与此相反，本实施方式的外观检查装置1200中，为了同时检查被检查体、即基板1002的正反面，对装在基板1002上的各零件正面用检查数据和反面用检查数据至少准备一个。正面用检查数据和反面用检查数据，由在检查中表示为合格的‘焊接形状’等的图像数据及数值数据组成，分别具有根据与零件对应的焊盘形状，相应识别流动、DIP或手工焊接等‘焊接形式’用的识别符。

关于各零件正面用检查数据，存储在与正面一侧摄像装置1080a对应的从属PC1140a及140b中的、承担该零件的检查的单元的数据库1143a或143b中，关于各零件反面用检查数据，存储在与反面一侧摄像装置1080b对应的从属PC1140c及140d中的、承担该零件的检查的单元的数据库1143c或143d中。但存储在承担基板1002正面检查的从属PC1140a及140b的数据库1143a或143b中的正面用检查数据可以为同一数据。同样，存储在承担基板1002反面检查的从属PC1140c及140d的数据库1143c或143d中的反面用检查数据可以为同一数据。

通过这样，外观检查装置1260中，通过利用这些正面用及反面用检查数据、以及用正面一侧摄像装置1080a和反面一侧摄像装置1080b得到的基板1002的图像数据，能同时从几个方向、即从正面一侧和反面一侧对在正面一侧有反流面同时在反面一侧有DIP面的基板1002高精度地进行检查。还有，上述正面用及反面用检查数据，可以分别逐个地输入各从属PC1140a～140d的数据库1143a～1143d。另外，所有正面用及反面用检查数据，可以一齐输入主PC1160，各从属PC1140a～140d也可以从主PC1160取得自己所要的检查数据。

这样，外观检查装置1200中，各从属PC1140a～140d解析存储在存储器1141a～141d的图像数据，共享该结果得到的识别标志、条形码、或其它检查所要的数据、即公用数据，同时还相互交换检查所需的图像数据。然后，各从属PC1140a～140d利用公用数据、图像数据、及存入各数据库1143a～143d的检查数据分别对被检查体即基板1002进行检查。

上述各从属PC1140a～140d的动作实质上和生物细胞的行为相同，即，所有细胞具有相同的遗传因子，按照某个触动只选与自己有关的指令执行。将该思想用于本实施方式中，上述的公用数据相当于遗传因子，上述的从属PC1140a～140d相当于细胞。而且，本实施方式中，主PC1160将检查部位或内容分配给各从属PC1140a～140d，各从属PC1140自主地处理图像数据进行检查，代替指示。其结果，外观检查装置1200中，将对基板1002的检查分摊给多个从属PC1140a～140d让它们承担，提高对基板1002的检查精度，同时还能缩短检查时间。

当S20的检查完成时，各从属PC1140a～140d应该故相互共享检查结果，向其它的从属PC1140及主PC1160发送表示各自检查结果的数据(S22)。另外，存在各从属PC1140a～140d的存储器1141a～141d中的识别标志的位置数据等公用数据，也发给主PC1160。而且主PC1160的显示控制单元1165按照来自CPU的指令，根据预先输入的基板1002的CAD数据、或从各从属PC1140a～140d收到的数据，将关于被检查体即基板1002的检查结果在显示器1170的画面1171上显示出来(S24)。

图12为举例表示在显示器1170的画面1171上显示的检查结果的模式图。如图中所示，本实施方式的外观检查装置1200中，利用显示控制单元1165能在显示器1170的画面1171上同时显示对被检查体、即基板1002正面的检查结果及对被检查体即基板1002反面的检查结果。另外，显示控制单元1165，如图12所示，能将各从属PC1140a～140d的检查结果、判定为不合格的部位(零件)以能和合格部位明确地识别出来的形式在画面1171上显示。通过这样，用户即使不特意地操作鼠标等，也能同时掌握被检查体正面和反面的检查结果。这样，利用外观检查装置1260在迅速对被检查体、即基板1002的正反两面进行检查后，能同时向用户提供基板1002正面及反面的检查结果，所以更加便于用户的使用。

还有，在被检查体有图13中举例示出的缝纫孔或V形槽1002a等在零件安装后能切断的形式的基板1002A时，各从属PC1140a～140d的检查结果以如图14例示的形式可在显示器1170的画面1171上显示出来。即，如图13所例示，在零件安装后，对分成No.1001～NO.1004四个区域的基板1002A，各从属PC1140a～140d的检查结果，例如在判定区域No.1004的正反面存在不良部位的情况下，主PC1160的显示控制单元1165就在显示器1170的画面1171上只显示包括不良部位在内的区域No.1004的正反面。这样，作为检查手段的各从属PC1140a～140d的检查结果，即使作为显示手段的显示器1170只显示存在不良部位的被检查体、即基板1002A的区域的正反面，仍旧能极大地便于用户的使用。

如上所述，当在显示器1170上显示各从属PC1140a～140d的检查结果时，主PC1160判定是否存在同种的被检查体(S26)，在判断出同种即要检查和检查结束的基板1002相同厚度的基板1002的情况下(S1026中的Yes)，再度进行S1014～S24的处理。另外，主PC1160在判断不存在同种的被检查体的情况下(S1026中的No)，使外观检查装置1200的检查结束。

以上，对实施本实施方式用的合适的实施例进行了说明，但本发明不限于上述的实施例，当然根据从事这项技术的人员的知识可以作各种改进或变更，但这些变形例均包括在本实施方式的范围内。以下，举例表示这些变形例。

即，各摄像单元1030a～1030d可以不是利用线状传感器1034a～34d扫描被检查体、即基板1002，而是利用CCD传感器等依次对规定范围的图像扫描。即使采用这样的构成，也能容易地对基板1002的图像摄像。

另外，可以在基板1002的正面一侧、即基板1002的上方，以及基板1002的反面一侧、即基板1002的下方，各设一组摄像单元1030及与其对应的从属PC1140。通过这样，能减少摄像单元1030及从属PC1140的数量，降低成本。此时，由于上述公用数据在检查基板1002正面的从属PC1140和检查基板1002反面的从属PC1140之间收发，所以，例如即使在基板1002一面的面上没有识别标志等，只要在另一面的面上有识别标志，就能利用其位置数据，通过这样，能简化基板1002的构成。

再有，在将基板1002固定好的状态下，可以移动照明单元1100或包括摄像单元1030在内的摄像装置1080。由此，在对基板1002摄像时，能以稳定地保持基板1002的状态实现摄像装置1080和基板1002间的相对移动。

另外，上述的公用数据从从属PC1140向主PC1160发送后，主PC1160可以向各从属PC1140发送。通过这样，能容易地实现各从属PC1140和主PC1160共享公用数据。

再有，上述实施方式中，只在正面一侧摄像装置1080a上设置对焦机构，但根据被检查体的形状等，可以在正面一侧摄像装置1080a及反面一侧摄像装置1080b上都设置对焦机构。

还有，上述实施方式中，对同时检查被检查体、即基板1002正反面的步骤进行了说明，但也可以在同时显示被检查体正反面检查结果时，在别的工序中取得对被检查体正面检查的结果及对被检查体反面检查的结果。另外，被检查体正面检查的结果及对被检查体反面检查的结果中的任何一个，也可以由别的外观检查装置来取得。

再有，在上述实施方式中，以由用户输入对焦所要的基板厚度的形式进行说明，但不限于此。即可以将基板厚度信息预先做在被检查体、即基板的条形码上，在对该条形码摄像·解析时进行对焦。

而且，上述实施方式涉及的外观检查装置，当然也能用于反流前检查等。

实施方式3

首先对第3实施方式的背景技术进行说明。近年来，虽然电子基板安装在各种各样的设备上，但在这种装有电子基板的设备上，实现小型化、薄型化始终是个问题，从这一点出发，要求提高电子基板的密度。而且在实现电子基板的高密度安装上，高精度地检查基板上零件的安装状态成为重要的工作，以往，为了高精度地检查零件安装后的印刷电路板(以下称‘基板’)，曾提出利用图像识别技术的检查装置(例如参照专利文献6)。另外，也知道有以下的外观检查系统，该系统利用LAN连接多台外观检查装置和作为管理计算机的PC(个人用计算机)，和该外观检查装置的检查结果一起将其它外观检查装置的检查结果作为最终检查结果存在特定的外观检查装置，将该最终检查结果作为对于同一块基板的单一的最终检查结果在PC的监视画面上显示(例如参照专利文献7)。再有，以互不相干的方式能同时对基板两面安装的零件进行检查的外观检查装置(例如参照专利文献8)。

专利文献6：特公平7-120421号公报

专利文献7：特開平11-118439号公报

专利文献8：特開2003-99758号公报

以下，对第3实施方式要解决的课题进行说明。在上述的现有的外观检查装置中，检查结果通常在显示器的画面上进行显示，但此时，由于检查结果的显示形式，用户还是要操作鼠标等直至看见所要的结果。即，从便于用户使用的角度考虑，现有的外观检查装置在检查结果的显示方法上尚有待于改进。尤其是关于被检查体正反面的检查结果的显示上，还要作些改进便于用户掌握。

所以，本实施方式的目的在于提供一种外观检查装置，该装置能以易于掌握被检查体的检查结果的形式进行显示，更便于用户使用。

下面，对解决本实施方式的课题用的手段进行说明。本实施方式的外观检查装置的特点为：在检查被检查体的外观用的外观检查装置上，包括：显示被检查体的检查结果的显示手段；在显示手段上同时显示被检查体正面的检查结果、以及被检查体反面的检查结果的结果显示控制手段。

该外观检查装置中，能同时在显示手段上显示与正反面存在检查对象的被检查体有关的被检查体正面的检查结果、以及被检查体反面的检查结果。通过这样，用户即使不特意地进行操作，仍能同时掌握被检查体正面和反面的检查结果，所以，能更加便于用户的使用。还有被检查体正面的检查结果、以及被检查体反面的检查结果可以在别的工序中取得，也可以实质上同时地取得。另外，被检查体正面的检查结果、以及被检查体反面的检查结果中的任一个也可以利用其它的外观检查装置取得。

另外，还包括：拍摄被检查体正面的正面一侧摄像手段；要与正面一侧摄像手段对应设置，根据利用正面一侧摄像手段得到的被检查体的图像数据对被检查体进行检查的正面一侧检查手段；拍摄被检查体反面的反面一侧摄像手段；以及与反面一侧摄像手段对应设置，根据利用反面一侧摄像手段得到的被检查体的图像数据对被检查体进行检查的反面一侧检查手段，最好结果显示控制手段接受来自正面一侧显示手段及反面一侧显示手段各手段的检查结果，在显示手段上同时显示对正面的检查结果及对反面的检查结果。

采用这样的构成，能利用一台外观检查装置快速地对被检查体的正反两面进行检查，而且通过同时向用户提供被检查体正面和反面的检查结果，从而能便于用户使用。

还有，最好正面一侧摄像手段和反面一侧摄像手段实质上同时地对被检查体进行摄像。

通过这样，能同时对被检查体正反面进行检查，提高检查效率。

利用本实施方式能以易于掌握利用外观检查装置对被检查体进行检查的结果的形式进行显示，能更加便于用户操作。

以下，参照附图对实施本实施方式用的实施例进行说明。

图15为表示本实施方式的外观检查装置放大立体图。图中示出的外观检查装置2200包括检查台2010、基板输送台2050、正面一侧摄像装置2080a及反面一侧摄像装置2080b(以下为便于说明称它们为‘摄像装置2080’)等。基板输送台2050具有支持机架2052及支持在该支持机架2052上的两根输送轨2054等。对于输送轨2054，设置利用图中未示出的电动机驱动并输送作为被检查体的基板2002的输送带(图中未示出)，作为被检查体的基板2002，利用该输送带一直输送至检查台2010的实质上中央处。另外，输送轨2054的上方设置检测基板2002的输送的光传感器等非接触式传感器、即输送传感器(图中未示出)，当利用该输送传感器一旦检测出基板2002端面或设置在基板2002上的检测孔等时，就判断基板2002已输送到检查台2010的实质上中央，停止利用输送带输送基板2002。还有本实施方式的基板2002是安装IC芯片或所谓连接器的各种电子零件的电子基板，其正面一侧称为反流(リフロ-)面，其反面一侧称为DIP面。

另外，基板输送台2050具有设置在外观检查装置2200下方让导向轴插入通过的插入通过部，利用该导向轴支持基板输送台2050可沿与输送轨2054的输送基板2002的方向垂直的方向自由移动。再通过利用输送电动机2058驱动基板输送台2050和滚珠螺杆2056结合，通过使该输送螺杆(滚珠螺杆)2056旋转使基板输送台2050移动将基板2002送向摄像装置2080。还有，在图15面前一侧的输送轨2054上设置从上方按压载于其上的基板2002矫正基板2002的形状的图中未示出的夹紧装置。

图16为表示外观检查装置2200中摄像装置2080的放大立体图。如图中所示，在摄像装置2080中包括从上方对被检查体、即基板2002的正面即反流面一侧摄像用的正面一侧摄像装置2080a、以及从下方对基板1002的反面即DIP面一侧摄像用的反面一侧摄像装置2080b。如图16所示，正面一侧摄像装置2080a配置在输送轨2054的上方，反面一侧摄像装置2080b配置在在输送轨2054的下方和正面一侧摄像装置2080a一起被检查体、即基板2002夹在其间。

正面一侧摄像装置2080a具有正面照明单元2100a、正面一侧支持机架2036a、基架2038、第1摄像单元2030a、第2摄像单元2030b、调焦电动机2040、中间透镜2042等。另外，反面一侧摄像装置2080b具有反面照明单元2100b、反面一侧支持机架2036b、第3摄像单元2030c、第4摄像单元2030d、中间透镜2042等。以下，为说明方便，将第1摄像单元2030a、第2摄像单元2030b、第3摄像单元2030c、第4摄像单元2030d统称为‘摄像单元2030’，正面一侧照明单元2100a、反面一侧照明单元2100b统称为‘照明单元2100’。

如图16所示，第1摄像单元2030a、第2摄像单元2030b、及中间透镜2042固定在正面一侧支持机架2036a上，第1摄像单元2030a包括第1透镜2032a及第1线状传感器2034a，第2摄像单元2030b包括第2透镜2032b、及第2线状传感器2034b。上述第1摄像单元2030a及第2摄像单元2030b为了对被检查体即基板2002的正面摄像并排设置在基板2002的上方。另外，第1透镜2032a、第1线状传感器2034a、第2透镜2032b、第2线状传感器2034b、及中间透镜2042的设置部位设定成使第1摄像单元2030a及第2摄像单元2030b的摄像范围重复。这样，通过利用多个摄像单元2030a、2030b，首先能以高清晰度对基板2002的正面摄像，并能提高检查精度。另外，通过利用多个摄像单元2030a、2030b，也能使检查速度提高。

另外，本实施方式中，正面一侧摄像2080a的正面一侧支持机架2036能沿基板2的输送方向滑动自如地支持在基架2038上，利用调焦电动机2040能使正面一侧支持机架2036a相对基架2038移动。即，通过使调焦电动机2040动作，从而能使固定在正面一侧支持机架2036a上的第1摄像单元2030a、第2摄像单元2030b、以及中间透镜2042相对基架2038一体地移动。

另一方面，反面一侧摄像装置2080b的第1摄像单元2030a、第2摄像单元2030b、以及中间透镜2042固定在位于基架2038等下方的反面一侧支持机架2036b上。反面一侧摄像装置2080b的第3摄像单元2030c及第4摄像单元2030d为了对被检查体、即基板2002的反面摄像，并排设置在基板2002的下方。反面一侧摄像装置2080b的第3透镜2032c、第3线状传感器2034c、第4透镜2032d、第4线状传感器2034d以及中间透镜2042的设置部位，也规定成使第3摄像单元2030c、第4摄像单元2030d的摄像范围重复。

图17为表示摄像装置2080中照明单元2100的概要构成图。照明单元2100包括正面一侧摄像装置2080a的正面一侧照明单元2100a、以及反面一侧摄像装置2080b的反面一侧照明单元2100b。正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b分别具有第1光源2102、第2光源2104、第3光源2106、半透半反镜2110、及丙烯酸片2112等，第1光源2102、第2光源2104及第3光源2106设置成包围半透半反镜2110。

第1光源2102由沿对应的第1及第2线状传感器2034a、34b或34c、2034d的扫描方向的绿色LED(发光二极管)组构成，绿色LED组的并排长度大于等于被检查体、即基板2002的宽度。正面一侧照明单元2100a的第1光源2102配置在正面一侧摄像装置2080a的线状传感器2034a、34b的基板2002上的扫描线的正上方，从上向下实质上垂直地对被检查体、即基板2002照射光。与此相反，反面一侧照明单元2100b的第1光源2102配置在反面一侧摄像装置2080b的线状传感器2034C、34d的基板2002上的扫描线的正下方，从下向上实质上垂直地对被检查体、即基板2002照射光。

来自第1光源2102的光(反射光)，通过半透半反镜2110对基板2002的检查面以近似零的入射角投射。本实施方式中，使第1光源2102形成宽度，考虑成即使基板2002弯曲时仍旧有入射角为零那样的反射光分量存在。来自基板2002(扫描线)的反射光在半透半反镜2110上反射，通过对应的中间透镜2042射入对应的第1及第2透镜2032a、32b或第3及第4透镜2032c、32d。这样，来自第1光源2102的所谓的反射光全部投在基板2002上，通过用线状传感器2034对其检测，从而能判定基板2002内零件位置偏离、次品、焊锡渍等。还有，为了高效地向扫描线照射光，可以在中央将LED组用的基板分成两个副基板，在各个副基板上并排设置LED组。

第2光源2104由沿与对应的第1及第2线状传感器2034a、34b或34c、2034d的扫描方向并排设置的白色LED(发光二极管)组构成，白色LED组的并排设置长度大于等于被检查体、即基板2002的宽度。各照明单元2100a及2100b分别有双体的第2光源2104，这些双体的第2光源2104各自的投射光为了不干扰从第1光源2102射向扫描线的光程，在基板2002的输送方向的扫描线两侧各配置一个体。

第3光源2106由沿与对应的第1及第2线状传感器2034a、34b或34c、2034d的扫描方向并排设置的蓝色LED(发光二极管)组构成，蓝色LED组的并排设置长度大于等于被检查体、即基板2002的宽度。各照明单元2100a及2100b分别有四个体的第3光源2106，这些四个体的第3光源2106各自的投射光为了不干扰从第1光源2102及第2光源2104射向扫描线的光程，在基板2002的输送方向的扫描线两侧各配置两个体。

如上所述，第1光源2102照射绿色的光、第2光源2104照射白色的光、第3光源2106照射蓝色的光。因而，各照明单元2100a、200b作为对被检查体、即基板2002照射多种颜色的光的复合光源起作用。因为绿色LED或蓝色LED能发出比白色LED明亮的光，所以通过选第1光源2102为绿色光源，同时选第3光源2106为蓝色光源，从而能获得SN比高的清晰的图像。另外，由于印刷电路布线板大多着色成绿色，所以，若选第1光源为绿色光源，则利用反射光能明亮地照射平面。再有通过选第3光源为蓝色光源，从低的角度对装在基板2上的IC芯片或连接器等零件照射蓝色的光就能容易地识别零件上用激光打印的文字等。

本实施方式中，在第2光源2104及第3光源2106和扫描线之间，设置使第2光源2104及第3光源2106来的光扩散用的丙烯酸片2112。通过这样，作为第2光源2104及第3光源2106即使使用点光源的LED集合体，也能利用上述扩散作用，抑制由于点状的光摄入图像数据而影响检查精度。另外，本实施方式中，按照白色光源即第2光源2104、绿色光源即第光源2102、蓝色光源即第3光源2106的次序各光源独立地对一根扫描线发光三次，每一次发光用线状传感器2034对基板2002扫描。通过这样，能得到在各光源2102、104及106对基板2002照射光的状态下的图像。

还有，有时也在被检查体、即基板2002上设置孔，或焊锡未完全填入应堵塞的孔，在这样的情况下，有时光会从一侧的照明单元2100通过该孔漏向另一侧。而且，从一侧的照明单元2100漏向另一侧的光、当利用线状传感器2034直接扫描时，就产生图像模糊的现象。也会对基板2002的摄像带来不良影响。因此，在本实施方式中，正面一侧照明单元2100a和反面一侧照明单元2100b沿基板的输送方向相互仅偏离距离L进行配置。即，本实施方式中，从图17可知，正面一侧照明单元2100a配置在比反面一侧照明单元2100b靠接近基板输送方向送来的一侧。从抑制图像模糊的角度考虑偏离长度L最好大于等于50mm。

图18为上述外观检查装置2200的控制方框图。如图中所示，正面一侧摄像装置2080a的第1摄像单元2030a中的第1线状传感器2034a，通过第1图像处理单元2130a连接作为检查手段的第1从属PC2140a，正面一侧摄像装置2080a的第2摄像单元2030b中的第2线状传感器2034b，通过第2图像处理单元2130b连接第2从属PC2140b。这些第1从属PC2140a及第2从属PC2140b作为与正面一侧摄像装置2080a对应的正面一侧检查手段起作用。

同样，反面一侧摄像装置2080b的第3摄像单元2030c中的第3线状传感器2034c，通过第3图像处理单元2130c连接第3从属PC2140c，反面一侧摄像装置2080b的第4摄像单元2030d中的第4线状传感器2034d，通过第4图像处理单元2130d连接第4从属PC2140d。这些第3从属PC2140c及第4从属PC2140b作为与反面一侧摄像装置2080b对应的反面一侧检查手段起作用。以下，为便于说明，将第1图像处理单元2130a～第4图像处理单元2130d统称为‘图像处理单元2130’，将第1从属PC2140a～第4从属PC2140d统称为‘从属PC2140’。各图像处理单元2130对利用对应的摄像单元2030摄得的图像进行处理生成图像数据。

各从属PC2140a～140d除了CPU、ROM、RAM外，还有存储从对应的图像处理单元2130a～130d送来的图像数据等的存储器2141a～141d。另外在各从属PC2140a～140d上，还构筑利用上述CPU等对存储器141a～2141d所存的图像数据进行解析及检查的解析单元2142a～142d。再有，各从属PC2140a～140d还具有作为检查是否合格的判定基准存储解析单元2142a～142d解析用的检查数据的数据库1143a～1143d、或收发各种数据的收发单元2144a～144d等。

从属PC2140a～140d的收发单元2144a～144d分别通过交换中心2150与其它的从属PC2140连接成相互能进行数据通信。另外，从属PC2140a～140d通过交换中心2150也连接主PC2160，通过这样，主PC2160也能和各从属PC2140a～140d之间进行数据通信。主PC2160具有CPU、ROM、RAM、存储器、输入输出接口等，作为外观检查装置2200全体的管理手段起作用。主PC2160中，利用CPU等构筑焦点控制单元2161、照明控制单元2162、扫描控制单元2163以及输送控制单元2164。另外，主PC2160还具有显示控制单元2165、以及进行各种数据收发的收发单元2166。如图18所示，利用显示控制单元2165控制显示最终检查结果的显示器2170，收发单元2166与上述交换中心2150连接。

焦点控制单元1161控制设置在在正面一侧摄像装置2080a的调焦电动机2040。而且，在本实施方式中，利用焦点控制单元2161、调焦电动机2040、以及正面一侧支持机架2036a和基架2038间的滑动机构，构成不改变图像倍率对被检查体的基板2002对焦用的对焦机构。另外，照明控制单元2162控制正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b，扫描控制单元2163控制利用正面一侧摄像装置2080a的第1线状传感器2034a及第2线状传感器2034b以及反面一侧摄像装置2080b的第3线状传感器2034c及第4线状传感器2034d对被检查体的扫描。再有，输送控制单元2164控制输送电动机2058，由输送控制单元2164控制放在输送轨2054(输送带)上的被检查体、即基板2002的移动、或基板2002移动1根扫描线等。

还有，主PC2160的收发单元2166也可通过LAN(Local Area NetWork局域网)与其它PC等连接，通过这样，能从主PC2160将检查结果等给所述其它PC。另外主PC2160还连接图中未示出的键盘或鼠标等输入手段，通过所述的键盘等用户能进行数据输入、或操作外观检查装置2200。

以下，参照图19～图23说明利用上述外观检查装置2200对被检查体的外观进行检查的步骤。

图19为说明利用上述外观检查装置2200对基板2002的外观进行检查的步骤用的流程图。该图表示同时对经过正面反流工序及反面DIP工序安装有IC芯片或连接器等零件的基板2002的正反面进行检查的步骤。如图中所示，在检查基板2002时，主PC2160的焦点控制单元2161，从检查前预先输入的基板信息(检查数据)取得基板2002的厚度信息(S10)。还有基板2002的厚度也可以由用户利用键盘或鼠标输入主PC2160。当取得基板2002的厚度时，主PC2160的焦点控制单元2161从存在规定存储区域的调焦表中读出与在S10输入的基板2002的厚度信息对应的正面一侧支持机架2036a对于基架2038的移动量(例如0.3～2.0mm左右)，同时控制调焦电动机2040使正面一侧支持机架2036a只移动读出的移动量L(S12)。

如上所述，构成正面一侧摄像装置2080a的摄像系统(光学系统)的第1及第2线状传感器2034a、34b、第1及第2透镜2032a、32b、中间透镜2042等都定位并固定在正面一侧支持机架2036a上。因而，在S12当正面一侧支持机架2036a相对基架2038移动时，与被检查体、即基板间的焦距，也就是从中间透镜2042的端面至半透半反镜2110的距离x2001，和从半透半反镜2110至基板2002正面的距离x2002之和(参照图16)就变化，所以能不改变图像倍率对基板2002进行对焦。这样，外观检查装置2200具有根据被检查体、即基板2002在摄像方向上的尺寸，即基板2002的厚度相应改变和基板2002间焦距(x2001+x2)的对焦机构。其结果，利用外观检查装置2200，即使基板2002的厚度发生变化，依旧能对基板2002的正面对焦获得清晰的图像，所以能进行高精度的检查。

如上所述，当S12的对焦处理一结束，主PC2160的输送控制单元2164就使基板输送台2050开始向摄像单元2080输送基板2002(S14)。本实施方式中，如上所述，正面一侧照明单元2100a配置在比反面一侧照明单元2100b更靠近基板2002送来的一侧。因此，基板2002首先利用基板输送台2050一直移至正面一侧摄像装置2080a的第1线状传感器2034a及第2线状传感器2034b的扫描范围的开始位置。然后，当基板2002输送到正面一侧摄像装置2080a的第1线状传感器2034a及第2线状传感器2034b的扫描范围的开始位置时，主PC2160的照明控制单元2162开始控制正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b对基板2002的照射，主PC2160的扫描控制单元1163开始利用正面一侧摄像装置2080a的第1及第2摄像单元2030a、30b及反面一侧摄像装置2080b的第3及第4摄像单元2030c、30d对基板2002的正反面摄像(S16)。

在S16，当开始用各摄像单元2080a、80b进行摄像时，第1线状传感器2034a、第2线状传感器2034b、第3线状传感器2034c、第4线状传感器2034d由扫描控制单元2163控制，使其同步进行基板2002的一个扫描单位的扫描。即在利用正面一侧照明单元2100a对基板2002的正面照射光时，第1摄像单元2030a的第1线状传感器2034a通过中间透镜2042及第1透镜2032a，另外，第2摄像单元2030b的第2线状传感器2034b通过中间透镜2042及第2透镜2032b分别对图像进行扫描。再有，在利用反面一侧照明单元2100b对基板2002的正面照射光时，第3摄像单元2030c的第3线状传感器2034c通过中间透镜2042及第3透镜2032c，另外，第4摄像单元2030d的第4线状传感器2034d通过中间透镜2042及第4透镜2032d分别对图像进行扫描。这样，通过利用线状传感器2034a～34d，从而能二维地使检查面移动·停止，与反复进行上述动作依次进行点摄像的构成相比，使机构简化，同时还能缩短检查时间。

然后，主PC2160的输送控制单元2164每利用第1～第4线状传感器2034a～34d扫描1根线，就向驱动送料螺杆56的输送电动机2058给出一次控制信号，使基板2002前进1根线。通过这样，就能利用第1～第4线状传感器2034a～2034d一齐进行扫描，在不能利用第1～第4线状传感器2034a～2034d进行扫描的时刻由于能利用输送控制单元2164移动基板2002，所以能高效地对基板2002进行扫描，缩短检查时间。还有，所谓一个扫描单位系指例如从基板2002的一端向另一端的一个方向上的一次扫描、或一次来回扫描的线状传感器21034a～34d能执行的扫描的单位。

通过这样，当第1～第4线状传感器2034a～34d对基板2002的输送方向上的全长扫描时，就能在一道基板输送工序中，对基板2002的正反面进行摄像。也就是，利用基板输送台2050将基板2002输送到正面一侧摄像装置2080a和反面一侧摄像装置2080b之间，其间，在一道的基板输送工序中，分别由正面一侧摄像装置2080a对基板2002的正面进行摄像，反面一侧摄像装置2080b对基板2002的反面进行摄像。还有，所谓一道的基板输送工序，可以是基板2002在一个方向上的输送工序，也可以是基板2002的来回输送工序。

然而，本实施方式中，在各摄像装置2080a、80b对基板2002的摄像之中，照明控制单元2162控制正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b使它们随着一个扫描单元的执行同步进行光的照射，扫描控制单元2163控制第1～第4线状传感器2034a～34d，在正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b对基板1002照射光时同步进行基板1002的扫描。

具体地说，照明控制单元2162控制正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b使它们同时对基板2002同步照射同色的光。另外，本实施方式中，例如白色光源的第2光源2104、缘色光源的第1光源2102、蓝色光源的第3光源2106按上述次序动作，正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b按照上述次序对基板2002照射白色光、绿色光、蓝色光。通过这样，例如即使正面一侧照明单元2100a照射的光由于摄入周围的零件而漏到反面一侧照明单元2100b照射的基板2002的反面上，仍旧能将光的干扰对检查结果的不良影响抑制在最低限度。

然后，主PC2160的扫描控制单元2163在从正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b的第2光源2104对基板2002同时照射白色光时，使各线状传感器2034a～34d同步进行一个扫描单位的扫描。另外，扫描控制单元2163在从正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b的第1光源2102对基板2002同时照射绿色光时再使各线状传感器2034a～34d同步进行一个扫描单位的扫描，在从正面一侧照明单元2100a及反面一侧照明单元2100b的第3光源2106对基板2002同时照射蓝色光时，再使各线状传感器2034a～34d同步进行一个扫描单位的扫描。

如上所述，在利用各摄像单元2080a、80b对基板2002摄像时，利用第1摄像单元2030a的第1线状传感器2034a取得的图像，送到第1图像处理单元2130a、利用第2摄像单元2030b的第2线状传感器2034b取得的图像，送到第2图像处理单元2130b、利用第3摄像单元2030c的第3线状传感器2034c取得的图像，送到第3图像处理单元2130c、利用第4摄像单元2030d的第4线状传感器2034d取得的图像，送到第4图像处理单元2130d。

各图像处理单元2130a～130d执行从对应的线状传感器2034a～34d收到的图像的图像处理。然后，第1图像处理单元2130a将图像处理后的图像数据向第1从属PC2140a的存储器2141a发送并进行存储、第2图像处理单元2130b将图像处理后的图像数据向第2从属PC2140b的存储器2141b发送并进行存储、同样第3图像处理单元2130c将图像处理后的图像数据向第3从属PC2140c的存储器2141c发送并进行存储、第4图像处理单元2130d将图像处理后的图像数据向第4从属PC2140d的存储器2141d发送并进行存储。

当利用正面一侧摄像装置2080a及反面一侧摄像装置2080b对基板2002的摄像结束时，主PC2160的输送控制单元2164通过向输送电动机2058提供指令信号使送料螺杆56旋转，从而移动基板输送台2056让完成摄像的基板2002输向下道工序。

另一方面，当被检查体即基板2002的图像数据存入各从属PC2140a～140d的存储器2141a～141d时，各从属PC2140a～140d的解析单元2142a～142d对各个存入存储器2141a～141d的图像数据进行解析，在其它的从属PC2140a～140d上在检查基板2002时进行需要的数据交换(S18)。在S18在从属PC2140a～140d间交换的数据包括例如：表示作为设置在基板2002上的定位基准的识别标志的位置的数据、解析设置在基板2002上的条形码等识别标志得到的基板2002的系列号或在对有生产年月日等的数据的基板2002检查时在从属PC2140a～140d上应能公用的数据(以下称为‘公用数据’)、或利用第1摄像单元2030a及第2摄像单元2030b、第3摄像单元2030c以及第4摄像单元2030d拍摄的零件的图像数据。

以下，边参照图20边对所述的S18中图像数据的解析/交换进行说明。图20A为举例表示被检查体、即基板2002的正面的俯视图，以下对关于基板2002的正面的图像数据的解析及公用数据的共享进行说明。如图20A所示，在基板2002上形成成为基板1002定位基准的第1识别标志2004a及第2识别标志2004b。另外，在图20A举例示出的基板1002近似中央部位上安装第1零件2006和第2零件2008使它们跨越正面一侧摄像装置2080a的第1摄像单元2030a的摄像范围和第2摄像单元2030b摄像范围。还有虽然图中未示出，但在基板2002上设置记录着各种数据的条形码。

从图20A可知：基板2002的图中左边一半的区域由第1摄像单元2030a摄像，另一方面，图中右边一半的区域由第2摄像单元2030b摄像。因此，基板2002的第1识别标志2004a由第1摄像单元2030a摄像，其图像数据存入第1从属PC2140a的存储器2141a。另外，基板2002的第2识别标志2004b由第2摄像单元2030b摄像，其图像数据存入第2从属PC2140b的存储器2141b。通过这样，与第1摄像单元2030a对应的从属PC2140a在解析存储在存储器2141a的图像数据时，从识别标志的图像数据取得其位置数据。同样，与第2摄像单元2030b对应的从属PC2140b在解析存储在存储器2141b的图像数据时，从识别标志的图像数据取得其位置数据。然后，第1从属PC2140a将第1识别标志1004a的位置数据作为公用数据向其它从属PC2140b、140c及140d发送，第2从属PC2140b将第2识别标志2004b的位置数据作为公用数据向其它从属PC2140a、140c及140d发送。

其结果，在外观检查装置2200上，即使基板2002在输送轨2054上稍微倾斜、或基板2002的位置在扫描方向或输送方向上稍些偏移设置，成为基板2002的定位基准的第1识别标志2004a及第2识别标志2004b的位置数据作为公用数据在各从属PC2140a～140d上共享，所以各从属PC2140a～140d即使在对应的摄像单元2030a～30d的摄像范围不包括识别标志，或者只包括识别标志的一部分时，仍能掌握基板2002的位置或姿势。

另一方面，从图20A可知：在正面一侧摄像装置2080a上，无论在第1摄像单元2030a和第2摄像单元2030b的任何一个上，都如未发生不能摄像的区域那样，规定第1摄像单元2030a的摄像范围和第2摄像单元2030b的摄像范围在图20A上，如用双点划线表示的那样部分重复。同样，在反面一侧摄像装置2080b上，规定第3摄像单元2030c的摄像范围和第4摄像单元2030d的摄像范围部分重复。这里，以正面一侧摄像装置2080a为例进行说明，如图20B所示，第1摄像单元2030a的摄像范围从基板2002的图中左端起至稍过基板2002的扫描方向上的中心线的图中右边为止。与此相反，第2摄像单元2030b的摄像范围从基板2002的图中右端起至稍过基板2002的扫描方向上的中心线的图中左边为止。

而且，在本实施方式中，对于如在图20A等举例示出的第1零件2006或第2零件2008那样，跨越多个摄像单元2030的摄像范围配置的基板2002上的零件，规定为由与摄像范围内包括该零件中心部位在内的摄像单元1030对应的从属PC1140进行检查。即由图20A等可知，第1零件2006其中心部位属于第1摄像单元2030a的摄像范围，所以对第1零件2006的检查由与第1摄像单元2030a对应的作为检查单元的第1从属PC2140a执行。与此相反，第2零件2008其中心部位属于第2摄像单元2030b的摄像范围，所以对第2零件2008的检查由与第2摄像单元2030b对应的作为检查单元的第2从属PC2140b执行。

这时，从图20B可知：在利用与第1摄像单元2030a对应的第1图像处理单元2130a将图像数据存入从属PC2140a的存储器2141a的时刻，从属PC2140a就不保持其检查对象即第1零件2006全部图像数据。同样，在利用与第2摄像单元2030b对应的第2图像处理单元2130b将图像数据存入从属PC2140b的存储器2141b的时刻，从属PC2140b就不保持其检查对象即第2零件2008全部图像数据。

因此，各从属PC2140a～140d在执行图像数据的解析中，当识别未成为自己的检查对象的零件的图像数据时，对承担当该零件的检查的从属PC2140a～140d(或其它的所有从属PC2140)发送该图像数据。即，在图20的例子的基础上，第1从属PC2140a的存储器2141a就包含第2零件2008的部分图像数据，所述的第2零件2008的图像数据从第1从属PC2140a送给承担第2零件2008的检查的第2从属PC2140b，第2从属PC2140b将该图像数据存储在存储器2141b。另外，第2从属PC2140a的存储器2141b包含第1零件2006的部分图像数据，所述的第1零件2006的图像数据从第2从属PC2140b送给承担第1零件2006的检查的第1从属PC2140a，第1从属PC2140a将该图像数据存储在存储器2141a。这样，从属PC2140a及从属PC2140b如图20C所示，取得自己承担检查的零件缺失的图像数据。

如上所述，当结束图像数据的解析/交换时，各从属PC2140a～140d的解析单元2142a～1142d分别利用存在数据库2143a～143d的检查数据，检查自己承担的基板2002的区域(S20)。这里，外观检查装置2200中，作为检查是否合格的判定基准的检查数据，对于装在被检查体、即基板2002上的IC芯片或连接器等各种零件与正面一侧摄像装置2080a和反面一侧摄像装置2080b的摄像方向对应分别准备多个。

即，以往的外观检查装置中，基本上没有对基板正反面同时进行检查，所以在外观检查装置上，不必根据摄像单元的摄像方向相应识别流动、DIP或手工焊接等‘焊接形式’。与此相反，本实施方式的外观检查装置2200中，为了同时检查被检查体即基板2002的正反面，对装在基板2002上的各零件正面用检查数据和反面用检查数据至少准备一个。正面用检查数据和反面用检查数据由在检查中表示为合格的‘焊接形状’等的图像数据及数值数据组成，分别具有根据与零件对应的焊盘的形状，相应识别流动、DIP或手工焊接等‘焊接形式’用的识别符。

关于各零件正面用检查数据，存储在与正面一侧摄像装置2080a对应的从属PC2140a及140b中的、承担该零件的检查的单元的数据库2143a或143b中，关于各零件反面用检查数据，存储在与反面一侧摄像装置2080b对应的从属PC2140c及140d中的，承担该零件的检查的单元的数据库2143c或143d中。但存储在承担基板2002正面检查的从属PC2140a及140b的数据库2143a或143b中的正面用检查数据可以为同一数据。同样，存储在承担基板2002反面检查的从属PC2140c及140d的数据库2143c或143d中的反面用检查数据可以为同一数据。

通过这样，外观检查装置2260中，通过利用这些正面用及反面用检查数据、以及正面一侧摄像装置2080a和反面一侧摄像装置2080b得到的基板2002的图像数据，能同时在几个方向上即从正面一侧和反面一侧，对在正面一侧有反流面同时在反面一侧有DIP面的基板2002高精度地进行检查。还有，上述正面用及反面用检查数据，可以分别逐个地输入各从属PC2140a～140d的数据库2143a～143d。另外，所有正面用及反面用检查数据，可以一齐输入主PC2160，各从属PC2140a～140d也可以从主PC2160取得自己所要的检查数据。

这样，外观检查装置2200中，各从属PC2140a～140d解析存储在存储器2141a～141d的图像数据，共享该结果得到的识别标志、条形码、或其它检查所要的数据即公用数据，同时还相互交换检查所需的图像数据。然后，各从属PC2140a～140d利用公用数据、图像数据、及存入各数据库2143a～143d的检查数据分别对被检查体、即基板2002进行检查。

上述各从属PC2140a～140d的动作实质上和生物细胞的行为一样，即所有细胞具有相同的遗传因子，按照某个触动只选与自己有关的指令执行。将该思想用于本实施方式中，上述的公用数据相当于遗传因子，上述的从属PC2140a～140d相当于细胞。而且，本实施方式中，主PC2160将检查部位或内容分配给各从属PC2140a～140d，各从属PC2140自主地处理图像数据进行检查，代替指示。其结果，外观检查装置2200中，将对基板2002的检查分摊给多个从属PC2140a～140d让它们承担，提高对基板2002的检查精度，同时还能缩短检查时间。

当S20的检查完成时，各从属PC2140a～140d应相互共享检查结果，向其它的从属PC2140及主PC2160发送表示各自检查结果的数据(S22)。另外，存在各从属PC2140a～140d的存储器2141a～141d中的识别标志的位置数据等公用数据也发给主PC2160。而且主PC2160的显示控制单元2165按照来自CPU的指令，根据预先输入的基板2002的CAD数据、或从各从属PC2140a～140d收到的数据，将关于被检查体、即基板2002的检查结果在显示器2170的画面2171上显示出来(S24)。

图21为举例表示在显示器2170的画面2171上显示的检查结果的模式图。如图中所示，本实施方式的外观检查装置2200中，利用显示控制单元2165能在显示器2170的画面2171上同时显示对被检查体、即基板2002正面的检查结果及对被检查体、即基板2002反面的检查结果。另外，显示控制单元2165，如图21所示，能将各从属PC2140a～140d的检查结果、判定为不合格的部位(零件)以能和合格部位明确地识别出来的形式在画面2171上显示。通过这样，用户即使不特意地操作鼠标等，也能同时掌握被检查体正面和反面的检查结果。这样，利用外观检查装置2200在快速对被检查体、即基板2002的正反两面进行检查后，能同时向用户提供基板002正面及反面的检查结果，所以更加便于用户的使用。

还有，在被检查体有图22中举例表示的缝纫孔或V形槽2002a等在零件安装后能切断的形式的基板2002A时，各从属PC2140a～140d的检查结果以如图23所例示的形式可在显示器2170的画面2171上显示出来。即，如图22所示，在零件安装后，对分成No.2001～NO.2004四个区域的基板2002A，各从属PC2140a～140d的检查结果例如在判定区域No.2004的正反面存在不良部位的情况下，主PC2160的显示控制单元2165就在显示器2170的画面2171上只显示包括不良部位在内的区域No.2004的正反面。这样，作为检查手段的各从属PC2140a～140d的检查结果，即使作为显示手段的显示器2170只显示存在不良部位的被检查体、即基板2002A的区域的正反面，也能极大地便于用户的使用。

如上所述，当在显示器2170上显示各从属PC2140a～140d的检查结果时，主PC2160判定是否存在同种的被检查体(S26)，在判断出同种即要检查和检查结束的基板2002相同厚度的基板2002的情况下(S2026中的Yes)，再次进行S2014～S24的处理。另外，主PC2160在判断不存在同种的被检查体的情况下(S2026中的No)，使外观检查装置2200的检查结束。

以上，对实施本实施方式用的合适的实施例进行了说明，但本实施方式不限于上述的实施例，当然根据从事这项技术的人员的知识可以作各种改进或变更，但这些变形例均包括在本实施方式的范围内。以下，举例表示这些变形例。

即，各摄像单元2030a～30d可以不是利用线状传感器2034a～34d扫描被检查体即基板2002，而是利用CCD传感器等依次对规定范围的图像扫描。即使采用这样的构成，也能容易地对基板2002的图像摄像。

另外，可以在基板2002的正面一侧、即基板2002的上方，以及基板2002的反面一侧、即基板2002的下方，各设一组摄像单元2030及与其对应的从属PC2140。通过这样，能减少摄像单元2030及从属PC2140的数量，降低成本。此时，由于上述公用数据在检查基板2002正面的从属PC2140和检查基板2002反面的从属PC2140之间收发，所以，例如即使在基板2002一面的面上没有识别标志等，只要在另一面的面上有识别标志，就能利用其位置数据，通过这样，能简化基板2002的构成。

再有，在将基板2002固定好的状态下，可以移动照明单元2100或包括摄像单元2030在内的摄像装置2080。由此，在对基板2002摄像时，能以稳定地保持基板2002的状态实现摄像装置2080和基板2002间的相对移动。

另外，上述的公用数据从从属PC2140发送到主PC2160后，主PC2160也可以向各从属PC2140发送。通过这样，能容易地实现各从属PC2140和主PC2160共享公用数据。

再有，上述实施方式中，只在正面一侧摄像装置2080a上设置对焦机构，但根据被检查体的形状等，可以在正面一侧摄像装置2080a及反面一侧摄像装置2080b上都设置对焦机构。

还有，上述实施方式中，对同时检查被检查体即基板2002正反面的步骤进行了说明，但也可以在同时显示被检查体正反面检查结果时，在别的工序中取得对被检查体正面检查的结果及对被检查体反面检查的结果。另外，被检查体正面检查的结果及对被检查体反面检查的结果中的任何一个，也可以由别的外观检查装置来取得。

再有，在上述实施方式中，以由用户输入对焦所要的基板厚度的形式进行说明，但不限于此。即可以将基板厚度信息预先做在被检查体、即基板的条形码上，在对该条形码摄像·解析时进行对焦。

而且，上述实施方式涉及的外观检查装置当然也能用于反流前检查等。

Claims (10)

1.一种被检查体的外观检查装置，其特征在于，包括：

通过与被检查体相对移动，扫描被检查体一面的第1扫描单元；

配置成夹着被检查体与第1扫描单元对向，并通过与被检查体的相对移动，扫描被检查体另一面的第2扫描单元；以及

使所述第1扫描单元及所述第2扫描单元与被检查体相对移动的移动手段，

所述移动手段在使被检查体与所述第1扫描单元及所述第2扫描单元相对移动一次的移动工序中，所述第1扫描单元及所述第2扫描单元完成对被检查体的扫描。

2.如权利要求1所述的被检查体的外观检查装置，其特征在于，

所述第1扫描单元及所述第2扫描单元同步进行一个扫描单位的执行。

3.如权利要求1或2所述的被检查体的外观检查装置，其特征在于，包括：

为了所述第1扫描单元对被检查体进行扫描而对被检查体照射光的第1照明手段；

为了所述第2扫描单元对被检查体进行扫描而对被检查体照射光的第2照明手段，

所述第1照明手段及所述第2照明手段伴随着一个扫描单位的执行，同步进行光的照射。

4.如权利要求3所述的被检查体的外观检查装置，其特征在于，

所述第1照明手段及第2照明手段都具有对被检查体照射多个入射角度的光的复合光源，

所述第1照明手段及第2照明手段同步进行光的照射时，还同时照射相同入射角度的光。

5.一种外观检查装置，用于检查被检查体的外观，其特征在于，

包括摄像手段，该摄像手段具有能对所述被检查体进行摄像，根据所述被检查体摄像方向的尺寸不改变图像倍率并对所述被检查体进行对焦的对焦机构。

6.如权利要求5所述的外观检查装置，其特征在于，

所述对焦机构根据所述被检查体的厚度，相应改变与所述被检查体间的焦距。

7.如权利要求5或6所述的外观检查装置，其特征在于，

所述摄像手段包括：

对所述被检查体的正面进行摄像的正面一侧摄像手段；以及

对所述被检查体的进行反面摄像的反面一侧摄像手段，

所述正面一侧摄像手段和所述反面一侧摄像手段中，至少任一个手段具有所述对焦机构。

8.一种外观检查装置，用于检查被检查体的外观，其特征在于，包括：

显示对所述被检查体的检查结果的显示手段；以及

在所述显示手段上同时显示对所述被检查体正面的检查结果与对所述被检查体反面的检查结果的结果显示控制手段。

9.如权利要求8所述的外观检查装置，其特征在于，还包括：

对所述被检查体的正面进行摄像的正面一侧摄像手段；

与所述正面一侧摄像手段对应设置，并根据利用所述正面一侧摄像手段得到的所述被检查体的图像数据，对被检查体进行检查的正面一侧检查手段；

对所述被检查体的反面进行摄像的反面一侧摄像手段；以及

与所述反面一侧摄像手段对应设置，并根据利用所述反面一侧摄像手段得到的所述被检查体的图像数据，对被检查体进行检查的反面一侧检查手段，

所述结果显示控制手段从所述正面一侧检查手段及反面一侧检查手段的各手段接受检查结果，在所述显示手段上同时显示对所述正面的检查结果和对所述反面的检查结果。

10.如权利要求9所述的外观检查装置，其特征在于，

所述正面一侧摄像手段和所述反面一侧摄像手段能实质上同时地对所述被检查体进行摄像。

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