JP6358527B2

JP6358527B2 - 検査装置

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Publication number: JP6358527B2
Application number: JP2013236634A
Authority: JP
Inventors: 敏之豊福; 国利長友
Original assignee: Saki Corp
Current assignee: Saki Corp
Priority date: 2013-11-15
Filing date: 2013-11-15
Publication date: 2018-07-18
Anticipated expiration: 2033-11-15
Also published as: JP2015096816A

Description

本発明は、被検査体の外観を検査する検査装置に関する。

近年では、様々な機器に電子基板が実装されるようになってきているが、この種の電子基板が実装される機器においては、小型化、薄型化等が常に課題になっており、この点から、電子基板の高密度化を図ることが要求されている。そして、電子基板における高密度実装を実現する上では、基板における部品の実装状態を高精度に検査することが重要となり、従来、部品実装後のプリント基板（以下「基板」という）を高精度に検査するために、画像認識技術を用いた検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特公平７−１２０４２１号公報

しかしながら、このような検査装置では、検査後の被検査体の取り出し位置を所定の条件に応じて切り替えることができないという課題があった。例えば、検査装置での検査結果に基づいて、この被検査体を次工程に送るか、再検査や調整等を行うかの判断をしなければならないが、作業者は、ディスプレイ等に表示された検査結果に基づき、この判断を行わなければならず、作業が繁雑になってしまう。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、検査が終了した被検査体を、検査に関する情報に基づいて複数の待機位置のいずれかに移動させるように構成された検査装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために、本発明に係る検査装置は、被検査体の画像データを取得する撮像部と、この撮像部で取得された画像データに基づき被検査体の検査を行う検査部と、作業者によって載置された被検査体を撮像部に対して相対移動させる搬送部と、を備えた検査装置であって、搬送部を撮像部で被検査体を走査する方向に相対移動させることにより、この被検査体を搬送部に載置する待機位置と、被検査体の画像データを取得する検査位置とを含む所定の位置に移動させる制御部を有する。また、待機位置は、搬送部上の、撮像部が被検査体を走査する方向と略直交する方向のいずれか一方に位置する第１の待機位置と、他方に位置する第２の待機位置と、第１の待機位置と第２の待機位置との間に位置する第３の待機位置と、を含む。そして、制御部は、検査に関する情報である被検査体の情報に基づき、搬送部により搬送部に載置された被検査体を検査位置から、第１の待機位置、第２の待機位置及び第３の待機位置のいずれかの待機位置に移動させるように構成されている。

また、このような検査装置において、撮像部は、被検査体の複数面の画像データを同時に取得するように構成され、検査部は、複数面の画像データに基づいて被検査体の複数面を同時に検査するように構成されていることが好ましい。

また、このような検査装置において、搬送部は、この搬送部に載置された被検査体を保持しない状態で、被検査体を走査する方向と略直交する方向に移動させるように構成されていることが好ましい。

また、このような検査装置において、撮像部は、画像データを取得するためのラインセンサを有していることが好ましい。

また、このような検査装置において、制御部は、検査位置において、撮像部に対して被検査体を走査する方向に１回移動させることで当該被検査体の画像データを取得するように構成されていることが好ましい。

本発明によれば、検査が終了した被検査体を、検査に関する情報に基づいて複数の待機位置のいずれかに移動させるように構成された検査装置を提供することができる。

本実施形態に係る検査装置の構成を示す説明図である。上記検査装置に含まれる撮像ユニットを示す説明図である。上記撮像ユニットに含まれる照明ユニットを示す説明図である。上記検査装置の制御ブロックを示す説明図である。上記検査装置により被検査体の外観検査を行う処理のフローチャートである。待機位置における被検査体の位置決めを説明するための説明図であって、（ａ）は固定ストッパに被検査体が当接している状態を示し、（ｂ）は被検査体が中央に位置している状態を示す。第１の実施形態における基板位置決め処理のフローチャートである。第１の実施形態における基板取り出し処理のフローチャートである。スレーブＰＣ間での画像データの交換を説明するための説明図であって、（ａ）は被検査体である基板の表面を示し、（ｂ）は各撮像ユニットの撮像範囲を示し、（ｃ）は各スレーブＰＣのメモリに格納される画像データを示す。第２の実施形態における基板位置決め処理のフローチャートである。被検査体である基板の撮像方向（Ｘ軸方向）長さを算出する方法を説明するための説明図である。第３の実施形態における基板位置決め処理のフローチャートである。第４の実施形態における基板取り出し処理のフローチャートである。撮像ユニットの撮像範囲よりも大きい被検査体を検査する方法を説明するための説明図であって、（ａ）は被検査体が右端側に位置する場合を示し、（ｂ）は被検査体が左端側に位置する場合を示す。第５の実施形態において被検査対の外観検査を行う処理のフローチャートである。

以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１〜図３を用いて、本実施形態に係る検査装置の構成について説明する。この検査措置２００は、図１に示すように、検査テーブル１０、基板搬送テーブル５０、及び、撮像ユニット８０を有して構成されている。なお、以降の説明において、検査装置２００で検査される被検査体は、ＩＣチップやコネクタといった各種電子部品が実装された電子基板（以下、「基板２」と称する）であるものとして説明するが、本発明の検査対象がこのような電子基板に限定されることはない。また、被検査体としての基板２を移動させて撮像ユニット８０により画像を取得する方向（走査方向）をＹ軸とし、検査テーブル１０に略平行な平面において、このＹ軸と直交するする方向（後述する走査ラインが延びる撮像方向）をＸ軸とする。

この検査装置２００において、基板搬送テーブル５０は、検査テーブル１０の下方に配置された支持プレート５２、及び、この支持プレート５２上に支持され、検査テーブル１０の上方に配置されてＸ軸方向に略平行に延びる２本の搬送レール５４を有している。また、この搬送レール５４に対しては、位置決めモータ５６ａ、及び、この位置決めモータ５６ａにより搬送レール５４上の基板２をＸ軸方向に移動させる搬送ベルト５６ｂからなる位置決め機構５６が設けられている。この位置決め機構５６は、搬送レール５４（搬送ベルト５６ｂ）上に載置された基板２のＸ軸方向の位置決めをするものであり、その動作については後述する。なお、本実施形態における基板２は、表面側がいわゆるリフロー面とされ、裏面側がいわゆるＤＩＰ面とされている。

また、基板搬送テーブル５０は、検査装置２００の下方に設けられ、Ｙ軸方向に延びるガイドシャフト（図示せず）が挿通される挿通部を有している。そして、当該ガイドシャフトには、搬送モータ５８ａ（図４に図示）により駆動される送りねじ（ボールねじ）５８ｂが螺合しており、この送りねじ５８ｂを回転させることにより、基板搬送テーブル５０をＹ軸方向に移動させて、基板２を撮像ユニット８０へと移動させる（搬送する）ことができる。

また、図２に示すように、撮像ユニット８０には、基板２の表面側、すなわちリフロー面側を上方から撮像するための表面側撮像ユニット８０ａ、及び、基板２の裏面側、すなわちＤＩＰ面側を下方から撮像するための裏面側撮像ユニット８０ｂを有して構成されている。ここで、表面側撮像ユニット８０ａは、搬送レール５４の上方に配置され、裏面側撮像ユニット８０ｂは、表面側撮像ユニット８０ａとともに基板２を挟むように搬送レール５４の下方に配置されている。

表面側撮像ユニット８０ａは、表面側照明ユニット１００ａ、表面側支持フレーム３６ａ、ベースフレーム３８、第１撮像部３０ａ、第２撮像部３０ｂ、焦点調整モータ４０、第１中間レンズ４２ａ、第２中間レンズ４２ｂ等を有する。また、裏面側撮像ユニット８０ｂは、裏面側照明ユニット１００ｂ、裏面側支持フレーム３６ｂ、第３撮像部３０ｃ、第４撮像部３０ｄ、第３中間レンズ４２ｃ、第４中間レンズ４２ｄ等を有する。以下、適宜、第１撮像部３０ａ、第２撮像部３０ｂ、第３撮像部３０ｃ及び第４撮像部３０ｄを「撮像部３０」と呼び、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂを「照明ユニット１００」と呼ぶ。

表面側支持フレーム３６ａには、第１撮像部３０ａ、第２撮像部３０ｂ、第１中間レンズ４２ａ及び第２中間レンズ４２ｂが取り付けられている。ここで、第１撮像部３０ａは、第１レンズ３２ａ及び第１ラインセンサ３４ａを含み、第２撮像部３０ｂは、第２レンズ３２ｂ及び第２ラインセンサ３４ｂを含む。これらの第１撮像部３０ａ及び第２撮像部３０ｂは、基板２の表面側を撮像するために、この基板２の上方にＸ軸方向に並んで配置されている。なお、第１レンズ３２ａ及び第１中間レンズ４２ａからなる光学系、並びに、第２レンズ３２ｂ及び第２中間レンズ４２ｂからなる光学系の光軸は、後述する表面側照明ユニット１００ａのハーフミラー１１０ａにより折り曲げられており、第１ラインセンサ３４ａ及び第２ラインセンサ３４ｂ側はＹ軸方向に延び、基板２に対しては略垂直方向（検査テーブル１０の平面（Ｘ軸及びＹ軸を含む平面）に略直交する方向（図１に示すＺ軸方向））に延びるように構成されている。また、第１レンズ３２ａ、第１ラインセンサ３４ａ、第１中間レンズ４２ａ、第２レンズ３２ｂ、第２ラインセンサ３４ｂ、及び、第２中間レンズ４２ｂは、第１撮像部３０ａ及び第２撮像部３０ｂの撮像範囲（後述する走査ライン）の少なくとも一部が重なるように配置されている。このように、複数の撮像部３０ａ，３０ｂを用いることにより、基板２の表面をＸ軸方向に並ぶ２つの領域に分割してそれぞれの撮像部３０ａ，３０ｂでそれぞれの領域を撮像するため、高い解像度で基板２の表面を撮像可能となり、検査精度を向上させることができる。また、複数の撮像部３０ａ，３０ｂを用いることにより、撮像した画像の処理を分散して実行できることから、検査速度を向上させることが可能となる。

また、本実施形態では、表面側撮像ユニット８０ａの表面側支持フレーム３６ａが、ベースフレーム３８上に基板２の走査方向（Ｙ軸方向）に摺動自在に支持されており、表面側支持フレーム３６ａは、焦点調整モータ４０によってベースフレーム３８に対して移動させられる。すなわち、焦点調整モータ４０を作動させることにより、表面側支持フレーム３６ａに固定されている第１撮像部３０ａ、第２撮像部３０ｂ、第１中間レンズ４２ａ及び第２中間レンズ４２ｂをベースフレーム３８に対してＹ軸方向に一体に移動させることができる。

一方、裏面側撮像ユニット８０ｂの第３撮像部３０ｃは、第３レンズ３２ｃ及び第３ラインセンサ３４ｃを含み、第４撮像部３０ｄは、第４レンズ３２ｄ及び第４ラインセンサ３４ｄを含む。そして、裏面側撮像ユニット８０ｂの第３撮像部３０ｃ、第４撮像部３０ｄ、第３中間レンズ４２ｃ及び第４中間レンズ４２ｄは、ベースフレーム３８等の下方に位置決めされている裏面側支持フレーム３６ｂ上に取り付けられている。この裏面側撮像ユニット８０ｂの第３撮像部３０ｃ及び第４撮像部３０ｄは、基板２の裏面側を撮像するために、基板２の下方にＸ軸方向に並んで配置されている。なお、第３レンズ３２ｃ及び第３中間レンズ４２ｃからなる光学系、並びに、第４レンズ３２ｄ及び第４中間レンズ４２ｄからなる光学系の光軸は、後述する裏面側照明ユニット１００ｂのハーフミラー１１０ｂにより折り曲げられており、第３ラインセンサ３４ｃ及び第４ラインセンサ３４ｄ側はＹ軸方向に延び、基板２に対しては略垂直方向（Ｚ軸方向）に延びるように構成されている。また、第３レンズ３２ｃ、第３ラインセンサ３４ｃ、第３中間レンズ４２ｃ、第４レンズ３２ｄ、第４ラインセンサ３４ｄ、及び、第４中間レンズ４２ｄは、第３撮像部３０ｃ及び第４撮像部３０ｄの撮像範囲（後述する走査ライン）の少なくとも一部が重なるように配置されている。この裏面側撮像ユニット８０ｂも、複数の撮像部３０ｃ，３０ｄを用いることにより、高い解像度で基板２の裏面を撮像可能となり、検査精度を向上させることができる。また、複数の撮像部３０ｃ，３０ｄを用いることにより、撮像した画像の処理を分散して実行できることから、検査速度を向上させることが可能となる。

図１及び図２から明らかなように表面側撮像ユニット８０ａの第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂはＸ軸方向に並んで配置されており、基板２上の第１及び第２レンズ３２ａ，３２ｂ並びに第１及び第２中間レンズ４２ａ，４２ｂからなる光学系による第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂと共役な位置の像をこれらのラインセンサ３４ａ，３４ｂで撮像することができる。また同様に、裏面側撮像ユニット８０ｂの第３及び第４ラインセンサ３４ｃ，３４ｄもＸ軸方向に並んで配置されており、基板２上の第３及び第４レンズ３２ｃ，３２ｄ並びに第３及び第４中間レンズ４２ｃ，４２ｄからなる光学系による第３及び第４ラインセンサ３４ｃ，３４ｄと共役な位置の像をこれらのラインセンサ３４ｃ，３４ｄで撮像することができる。以下、基板２上の撮像位置（撮像範囲）を「走査ライン」と呼ぶ。この走査ラインは、基板２を撮像ユニット８０により走査する方向（Ｙ軸方向）に対して略直交する方向（Ｘ軸方向）に延びている。すなわち、基板２を走査方向（Ｙ軸方向）に移動させて撮像ユニット８０で基板２の表裏面を走査する（走査ライン上の画像を取得する）ことにより、被検査体である基板２の表裏面全体の画像を取得することができる。

また、図３に示すように、照明ユニット１００は、表面側撮像ユニット８０ａにより基板２の表面を撮像するための照明光を照射する表面側照明ユニット１００ａと、裏面側撮像ユニット８０ｂにより基板２の裏面を撮像するための照明光を照射する裏面側照明ユニット１００ｂと、から構成されている。また、表面側照明ユニット１００ａは、第１光源１０２ａ、２つの第２光源１０４ａ，１０４ｂ、２つの第３光源１０６ａ，１０６ｂ、ハーフミラー１１０ａ、及び、２つのアクリルシート１１２ａ，１１２ｂ等を有しており、第１光源１０２ａはハーフミラー１１０ａの上方に配置され、第２光源１０４ａ，１０４ｂ及び第３光源１０６ａ，１０６ｂは、ハーフミラー１１０ａを挟むように配置されている。また、裏面側照明ユニット１００ｂは、第４光源１０２ｂ、２つの第５光源１０４ｃ，１０４ｄ、２つの第６光源１０６ｃ，１０６ｄ、ハーフミラー１１０ｂ、及び、２つのアクリルシート１１２ｃ，１１２ｄ等を有しており、第４光源１０２ｂはハーフミラー１１０ｂの下方に配置され、第５光源１０４ｃ，１０４ｄ及び第６光源１０６ｃ，１０６ｄは、ハーフミラー１１０ｂを挟むように配置されている。

表面側照明ユニット１００ａの第１光源１０２ａは、対応する第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂの走査ラインが延びる方向（Ｘ軸方向）に並設された緑色ＬＥＤ（発光ダイオード）群により構成され、この緑色ＬＥＤ群の並設長さは、被検査体である基板２の幅以上とされている。この第１光源１０２ａは、表面側撮像ユニット８０ａの走査ラインの真上に配置されており、ハーフミラー１１０ａを透過して、基板２の走査ライン上に対して照明光を上から下に概ね垂直に照射するように構成されている。同様に、裏面側照明ユニット１００ｂの第４光源１０２ｂも、Ｘ軸方向に並設された緑色ＬＥＤ群により構成されており、その並設長さは、基板２の幅以上とされている。この第４光源１０４ｂは、裏面側撮像ユニット８０ｂの走査ラインの真下に配置されており、ハーフミラー１１０ｂを透過して、基板２の走査ライン上に対して照明光を下から上に概ね垂直に照射するように構成されている。このように、第１光源１０２ａ及び第４光源１０２ｂからの照明光（落射光）は、ハーフミラー１１０ａ，１１０ｂを透過して基板２の検査面（走査ライン）に対して入射角がほぼゼロとなるように照射される。本実施形態においては、第１光源１０２ａ及び第４光源１０２ｂに幅（Ｙ軸方向長さ）を持たせてあり、基板２が反っている場合であっても入射角がゼロになるような落射光成分が存在するように構成されている。

基板２の表面（走査ライン上の表面）からの反射光は、ハーフミラー１１０ａで反射し、第１及び第２中間レンズ４２ａ，４２ｂ並びに第１及び第２レンズ３２ａ，３２ｂで集光されて第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂで検出される。また、基板２の裏面（走査ライン上の裏面）からの反射光は、ハーフミラー１１０ｂで反射し、第３及び第４中間レンズ４２ｃ，４２ｄ並びに第３及び第４レンズ３２ｃ，３２ｄで集光されて第３及び第４ラインセンサ３４ｃ，３４ｄで検出される。

このように、第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂからいわゆる落射光を基板２に照射し、これを第１〜第４ラインセンサ３４ａ〜３４ｄで検出することにより、基板２内の部品の位置ずれ、欠品、はんだのヌレの判定などを行うことが可能となる。なお、効率的に走査ラインへ照明光を照射するためには、ＬＥＤ群のための基板を中央で２つのサブ基板に分割し、それぞれのサブ基板にＬＥＤ群を並設してもよい。

表面側照明ユニット１００ａの第２光源１０４ａ，１０４ｂは、対応する第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂの走査ラインが延びる方向（Ｘ軸方向）に並設された白色ＬＥＤ群により構成され、その並設長さは基板２の幅以上とされている。２つの第２光源１０４ａ，１０４ｂは、それぞれの照明光が第１光源１０２ａから走査ラインへの光路と干渉しないように、第１光源１０２ａを挟んで走査ラインの両側に１体ずつ配置されている。そのため、これらの第２光源１０４ａ，１０４ｂからの照明光は、基板２の走査ラインに対して斜めに入射する偏射光となっている。同様に、裏面側照明ユニット１００ｂの第５光源１０４ｃ，１０４ｄは、対応する第３及び第４ラインセンサ３４ｃ，３４ｄの走査ラインが延びる方向（Ｘ軸方向）に並設された白色ＬＥＤ群により構成され、その並設長さは基板２の幅以上とされている。２つの第５光源１０４ｃ，１０４ｄは、それぞれの照明光が第４光源１０２ｂから走査ラインへの光路と干渉しないように、第４光源１０２ｂを挟んで走査ラインの両側に１体ずつ配置されている。そのため、これらの第５光源１０４ｃ，１０４ｄからの照明光も、基板２の走査ラインに対して斜めに入射する偏射光となっている。

また、表面側照明ユニット１００ａの第３光源１０６ａ，１０６ｂは、対応する第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂの走査ラインが延びる方向（Ｘ軸方向）に並設された青色ＬＥＤ群により構成され、その並設長さは基板２の幅以上とされている。２つの第３光源１０６ａ，１０６ｂは、それぞれの照明光が第１光源１０２ａから走査ラインへの光路と干渉しないように、第１光源１０２ａを挟んで走査ラインの第２光源１０４ａ，１０４ｂのさらに外側の両側に１体ずつ配置されている。そのため、これらの第３光源１０６ａ，１０６ｂからの照明光も、基板２の走査ラインに対して斜めに入射する偏射光となっている。同様に、裏面側照明ユニット１００ｂの第６光源１０６ｃ，１０６ｄは、対応する第３及び第４ラインセンサ３４ｃ，３４ｄの走査ラインが延びる方向（Ｘ軸方向）に並設された青色ＬＥＤ群により構成され、その並設長さは基板２の幅以上とされている。２つの第６光源１０６ｃ，１０６ｄは、それぞれの照明光が第４光源１０２ｂから走査ラインへの光路と干渉しないように、第４光源１０２ｂを挟んで走査ラインの第５光源１０４ｃ，１０４ｄのさらに外側の両側に１体ずつ配置されている。そのため、これらの第６光源１０６ｃ，１０６ｄからの照明光も、基板２の走査ラインに対して斜めに入射する偏射光となっている。

上述したように、本実施形態においては、第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂは緑色の照明光を照射し、第２及び第５光源１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃ，１０４ｄは白色の照明光を照射し、第３及び第６光源１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄは青色の照明光を照射する。従って、各照明ユニット１００ａ，１００ｂは被検査体である基板２に対して複数の色の光を照射する複合光源として機能する。緑色ＬＥＤや青色ＬＥＤは、白色ＬＥＤよりも明るい光を発することから、第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂを緑色光源とすると共に第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄを青色光源とすることにより、ＳＮ比のよいクリアな画像を得ることができる。また、プリント基板は一般に緑色に着色されていることが多いので、第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂを緑色光源とすれば、落射光により平面を明るく照射することができる。更に、第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄを青色光源とすることにより、基板２に実装されたＩＣチップやコネクタ等の部品に低い角度から青い光を照射して部品にレーザー印字された文字等を良好に認識することが可能となる。

また、本実施形態では、第２及び第５光源１０４ａ〜１０４ｄ並びに第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄと走査ラインとの間に、これらの光源１０４ａ〜１０４ｄ，１０６ａ〜１０６ｄからの光を拡散するアクリルシート１１２ａ〜１１２ｄが配置されている。これにより、第２及び第５光源１０４ａ〜１０４ｄ並びに第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄとして点光源であるＬＥＤの集合体を用いても、アクリルシート１１２ａ〜１１２ｄの拡散作用により、スポット的な光が画像データに写り込んで検査精度を損なうことを抑制できる。また、本実施形態においては、白色光源である第２及び第５光源１０４ａ〜１０４ｄ、緑色光源である第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂ、青色光源である第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄの順に、それぞれの光源が独立に一つの走査ラインについて３回点灯され、１回の点灯ごとにラインセンサ３４ａ〜３４ｄで基板２の表裏を撮像する。これにより、基板２に各光源１０２，１０４及び１０６が照明光を照射した状態での画像を得ることができる（白色光が照射された基板２の表裏面全体の画像、緑色光が照射された基板２の表裏面全体の画像及び青色光が照射された基板２の表裏面全体の画像をそれぞれ独立して取得することができる）。

なお、被検査体である基板２に孔が設けられていたり、塞がれるべき孔がはんだで完全に充填されなかったりすることもあり、これらの場合、当該孔を介して一方の照明ユニット１００から他方側に光が漏れるおそれがある。そして、一方の照明ユニット１００から他方側に漏れた光がラインセンサ３４により直接検出されると、いわゆるブルーミングという現象が生じてしまい、基板２の撮像に悪影響が及ぼされてしまうおそれもある。このため、本実施形態において、表面側照明ユニット１００ａと裏面側照明ユニット１００ｂとは、基板の搬送方向（Ｙ軸方向）に距離Ｌだけ互いにオフセットして配置される。すなわち、本実施形態では、図３からわかるように、表面側照明ユニット１００ａが裏面側照明ユニット１００ｂよりも基板２の走査方向上流側に配置されている。オフセット長Ｌは、ブルーミング抑制の観点から５０ｍｍ以上とされると好ましい。

以上のように、本実施形態に係る検査装置２００において、撮像ユニット８０は、被検査体の画像データを取得する撮像部としての機能を有し、基板搬送テーブル５０は、作業者によって載置された被検査体を撮像部である撮像ユニット８０により画像が取得される位置（検査位置）に移動させるとともに、この検査位置において被検査体を撮像部に対して走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動させて被検査体を走査するための搬送部としての機能を有している。

図４は、上述の検査装置２００の制御ブロック図である。同図に示されるように、表面側撮像ユニット８０ａの第１撮像部３０ａに含まれる第１ラインセンサ３４ａは、第１画像処理部１３０ａを介して第１スレーブＰＣ１４０ａに接続されており、表面側撮像ユニット８０ａの第２撮像部３０ｂに含まれる第２ラインセンサ３４ｂは、第２画像処理部１３０ｂを介して第２スレーブＰＣ１４０ｂに接続されている。これらの第１スレーブＰＣ１４０ａ及び第２スレーブＰＣ１４０ｂは、表面側撮像ユニット８０ａに対応した表面側の検査部として機能する。

同様に、裏面側撮像ユニット８０ｂの第３撮像部３０ｃに含まれる第３ラインセンサ３４ｃは、第３画像処理部１３０ｃを介して第３スレーブＰＣ１４０ｃに接続されており、裏面側撮像ユニット８０ｂの第４撮像部３０ｄに含まれる第４ラインセンサ３４ｄは、第４画像処理部１３０ｄを介して第４スレーブＰＣ１４０ｄに接続されている。これらの第３スレーブＰＣ１４０ｃ及び第４スレーブＰＣ１４０ｄは、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応した裏面側の検査部として機能する。以下、適宜、第１画像処理部１３０ａ〜第４画像処理部１３０ｄを「画像処理部１３０」と呼び、第１スレーブＰＣ１４０ａ〜第４スレーブＰＣ１４０ｄを「スレーブＰＣ１４０」と呼ぶ。各画像処理部１３０は、対応する撮像部３０によって撮像された画像を処理して画像データを生成するものである。

各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等に加えて、対応する画像処理部１３０ａ〜１３０ｄから送られる画像データ等を格納するメモリ１４１ａ〜１４１ｄを有する。また、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄには、上述のＣＰＵ等により、メモリ１４１ａ〜１４１ｄに格納された画像データの解析及び検査を実行する解析部１４２ａ〜１４２ｄが構築されている。更に、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、検査の合否の判定基準として解析部１４２ａ〜１４２ｄによる解析に用いられる検査データを格納したライブラリ１４３ａ〜１４３ｄや、各種データの送受信を行う送受信部１４４ａ〜１４４ｄ等を有している。

スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄの送受信部１４４ａ〜１４４ｄは、それぞれスイッチングハブ１５０を介して他のスレーブＰＣ１４０と相互にデータ通信可能に接続されている。また、スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、スイッチングハブ１５０を介してマスタＰＣ１６０にも接続されており、これにより、マスタＰＣ１６０と各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄとの間のデータ通信も可能とされている。マスタＰＣ１６０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ、メモリ、入出力インターフェース等を有するものであり、検査装置２００全体の管理手段として機能する。マスタＰＣ１６０には、ＣＰＵ等により、焦点制御部１６１、照明制御部１６２、走査制御部１６３及び搬送制御部１６４が構築されている。また、マスタＰＣ１６０は、表示制御部１６５と、各種データの送受信を行う送受信部１６６とを有している。図４に示されるように、表示制御部１６５により、最終的な検査結果を表示させるディスプレイ１７０が制御され、送受信部１６６は、上述のスイッチングハブ１５０に接続されている。

焦点制御部１６１は、表面側撮像ユニット８０ａに設けられている焦点調整モータ４０の作動を制御するものである。そして、本実施形態においては、焦点制御部１６１、焦点調整モータ４０、及び表面側支持フレーム３６ａとベースフレーム３８との摺動機構等により、像倍率を変えることなく被検査体である基板２に焦点を合わせるための焦点合わせ機構が構成される。また、照明制御部１６２は、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂの点灯・消灯を制御するものであり、走査制御部１６３は、表面側撮像ユニット８０ａの第１ラインセンサ３４ａ及び第２ラインセンサ３４ｂ並びに裏面側撮像ユニット８０ｂの第３ラインセンサ３４ｃ及び第４ラインセンサ３４ｄによる被検査体の走査（撮像）を制御する。更に、搬送制御部１６４は、位置決めモータ５６ａ及び搬送モータ５８ａの作動を制御するものであり、搬送レール５４（搬送ベルト５６ｂ）上にセットされた被検査体である基板２の位置決め方向（Ｘ軸方向）への移動や、基板２の走査方向（若しくは、撮像ユニット８０に対する基板２の搬送方向であるＹ軸方向）への１ライン分の移動等は、搬送制御部１６４により制御される。

なお、マスタＰＣ１６０の送受信部１６６は、ＬＡＮ（ＬｏｃａｌＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ）を介して他のＰＣ等に接続されてもよく、これにより、マスタＰＣ１６０から当該他ＰＣに検査結果等を与えることが可能となる。また、マスタＰＣ１６０には、図示されないキーボードやマウスといった入力手段が接続され、これらのキーボード等を介して、ユーザは、データ入力や、検査装置２００の操作を実行することができる。

［第１の実施形態］
次に、図５〜図９を参照しながら、上述の検査装置２００による被検査体の外観検査の手順について説明する。図５に示すフローチャートは、表面のリフロー工程と裏面のＤＩＰ工程とを経てＩＣチップやコネクタ等の部品が実装された基板２の表裏面を同時に検査する手順を示すものである。まず、図５に示すように、基板２の検査を実行するに際して、作業者が待機位置にある搬送レール５４の搬送ベルト５６ｂの上に、基板２を載置し、この検査装置２００のマスタＰＣ１６０に検査の開始を指示すると、このマスタＰＣ１６０は、搬送制御部１６４により、基板２の搬送レール５４上のＸ軸方向の位置決め、すなわち、撮像ユニット８０の撮像範囲内を基板２が通過するための位置決めを行う（ステップＳ１０）。ここで、「待機位置」とは、搬送レール５４が、この検査装置２００の最も基板２の走査方向上流側にあるときの位置を示し、作業者がこの待機位置にある搬送レール５４に対して基板２の載置及び取り出し（着脱）を行うように構成されている。なお、マスタＰＣ１６０に対する検査の開始の指示は、作業者がこのマスタＰＣ１６０に接続されているキーボード等の入力手段から入力するように構成してもよいし、センサ等により搬送レール５４上に基板２が載置されたことを検出することで、マスタＰＣ１６０がこの検出を検査の開始の指示と判断するように構成してもよい。

ここで、本実施形態においては、待機位置にある搬送レール５４上に載置されている基板２のＸ軸方向の位置を検出するセンサとして、図６（ａ）に示すように、基板２の走査方向上流側から見たときに左端に配置されている左センサ６０ａ、及び、右端に配置されている右センサ６０ｂを有している。これらのセンサ６０ａ，６０ｂは、検査テーブル１０上に配置されている。なお、センサ６０ａ，６０ｂとしては、その上方に基板２があるか否かを検出できるものであればよいので、接触型のセンサを用いてもよいし、非接触型のセンサ（光学的、磁気的センサ）を用いてもよい。また、搬送レール５４のＸ軸方向の一方の端部（図６においては右端側の端部）には、基板２の移動を制限して少なくとも当該方向の基板２の端部を撮像ユニット８０の撮像範囲内に位置させるための固定ストッパ５６ｃが設けられている。すなわち、基板２の端部（右側端部）をこの固定ストッパ５６ｃに当接させて搬送レール５４上に載置すると、基板２が撮像範囲内に位置決めされるように構成されている。

マスタＰＣ１６０の搬送制御部１６４は、図７に示すように、まず、右センサ６０ｂがオンであるか否か、すなわち、搬送レール５４上の基板２が右センサ６０ｂの上方に位置するか否かを判断する（ステップＳ１０１）。搬送制御部１６４は、右センサ６０ｂがオンであると判断すると、位置決めモータ５６ａを作動させ、搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させる（ステップＳ１０２）。そして、搬送制御部１６４は、左センサ６０ａがオンであるか否か、すなわち、搬送レール５４上の基板２が左センサ６０ａの上方に位置するか否かを判断し（ステップＳ１０３）、左センサ６０ａがオンでないと判断すると、さらに、搬送ベルト５６ｂの移動量が所定の閾値Ｘａ以上であるか否かを判断し（ステップＳ１０４）、移動量が閾値Ｘａより小さいときは、ステップＳ１０２に戻る。ここで、閾値Ｘａは、この検査装置２００に予め設定されている設計値である。そして、搬送制御部１６４は、ステップＳ１０３で左センサ６０ａがオンになったと判断するか、ステップＳ１０４で搬送ベルト５６ｂの移動量が閾値Ｘａ以上となったと判断すると、位置決めモータ５６ａによる搬送ベルト５６ｂの移動を停止させる（ステップＳ１０５）。なお、ステップＳ１０４で搬送ベルト５６ｂの移動量が閾値Ｘａ以上になったときは、搬送レール５４上に基板２が載置されていない可能性があるため、ステップＳ１０２に戻らずに、検査処理を終了するように構成してもよい。また、ステップＳ１０４で、基板２の移動量が所定の閾値Ｘａ以上であるか否かを判断する代わりに、基板２の移動時間が所定の閾値以上であるか否かで判断するように構成してもよい。また、閾値Ｘａは、検査前に予め入力されている基板２の情報（検査データ）から決定するように構成してもよいし、キーボード等の入力手段から入力するように構成してもよい。

次に、搬送制御部１６４は、ステップＳ１０５で搬送ベルト５６ｂの移動を停止させたとき、または、ステップＳ１０１で右センサ６０ｂがオンでないと判断したときに、位置決めモータ５６ａを作動させ、搬送ベルト５６ｂにより基板２を右方向に移動させる（ステップＳ１０６）。また、この搬送制御部１６４は、右センサ６０ｂがオンであるか否かを判断し（ステップＳ１０７）、右センサ６０ｂがオンになるまでステップＳ１０６を繰り返す。そして、右センサ６０ｂがオンになったと判断すると、搬送制御部１６４は、搬送ベルト５６ｂの移動速度を減速してさらに距離Ｘｂだけ右方向に基板２を移動させ（ステップＳ１０８）、搬送ベルト５６ｂを停止させて（ステップＳ１０９）、基板位置決め処理Ｓ１０を終了する。ここで、距離Ｘｂは、図６（ｂ）に示すように、右センサ６０ｂと固定ストッパ５６ｃとの位置関係に依存する値であり、基板２の右端側が右センサ６０ｂ上に位置したときからこの距離Ｘｂだけ移動させることにより、この基板２の右端を固定ストッパ５６ｃに当接させることができる。

このように、第１の実施形態では、搬送レール５４上に載置された基板２を一旦左方向に移動させ、この基板２の左端を左センサ６０ａで検出し、さらに、基板２を右方向に移動させることにより、基板２の右端を固定ストッパ５６ｃに当接させることができるので（図６（ａ）の状態）、作業者が搬送レール５４上のどの位置に基板２を載置しても、撮像ユニット８０の撮像範囲内にあるようにこの基板２の位置決めをすることができる。また、右センサ６０ｂで基板２の右端側を検出したときは、搬送ベルト５６ｂの移動量を減速させるため、固定ストッパ５６ｃに対して基板２をゆっくりと当接させることができるので、この固定ストッパ５６ｃによる基板２の損傷を防止することができる。ここで、本実施形態においては、位置決め機構５６を構成する搬送レール５４（搬送ベルト５６ｂ）上に基板２を載置した状態（この位置決め機構５６により基板２を保持しない状態）で、Ｘ軸方向の位置決めを可能にしているため、この位置決め機構５６及びその位置決めの動作を簡単な構成で実現することができ、さらに、基板２の載置及び取り出し作業も容易になる。なお、「位置決め機構５６により基板２を保持しない状態」とは、搬送部である位置決め機構５６に載置された被検査体である基板２を、図示しない保持機構（既存のクランプ、バックアップ機構等）により位置決め機構５６に対して固定しない状態を含むものとし、位置決め後に、当該保持機構により基板２を固定するか否かは、基板２に応じて適宜選択し得るものとする。また、以上の説明では、右端側に固定ストッパ５６ｃが取り付けられている場合について説明したが、この固定ストッパ５６ｃを左端側に取り付けてもよい。その場合、図７に示す処理のセンサ６０ａ，６０ｂの役割や搬送ベルト５６ｂの移動方向は逆になる（以降の実施形態においても同様である）。

図５に戻り、マスタＰＣ１６０の焦点制御部１６１は、検査前に予め入力されている基板２の情報（検査データ）から被検査体である基板２の厚さ情報を取得する（ステップＳ１２）。なお、基板２の厚さは、キーボードやマウス等の入力手段を用いてユーザによってマスタＰＣ１６０に入力されてもよい。基板２の厚さを取得すると、マスタＰＣ１６０の焦点制御部１６１は、所定の記憶領域に格納されている焦点調整テーブルから、ステップＳ１２にて入力された基板２の厚さ情報に応じたベースフレーム３８に対する表面側支持フレーム３６ａの移動量（例えば、０．３〜２．０ｍｍ程度）を読み出すと共に、読み出した移動量だけ表面側支持フレーム３６ａが移動するように焦点調整モータ４０を制御する（ステップＳ１４）。

上述のように、表面側撮像ユニット８０ａの撮像系（光学系）を構成する第１及び第２ラインセンサ３４ａ，３４ｂ、第１及び第２レンズ３２ａ，３２ｂ、第１及び第２中間レンズ４２ａ，４２ｂ等は、何れも表面側支持フレーム３６ａ上に位置決め固定されている。従って、ステップＳ１４にて表面側支持フレーム３６ａがベースフレーム３８に対して移動させられると、被検査体である基板２との焦点距離、すなわち、第１及び第２中間レンズ４２ａ，４２ｂの端面からハーフミラー１１０ａまでの距離Ｌ１と、ハーフミラー１１０ａから基板２の表面までの距離Ｌ２との合計（図２参照）が変化することになるので、像倍率を変えることなく基板２の表面側に焦点を合わせることができる。このように、検査装置２００は、被検査体である基板２の撮像方向における寸法、すなわち、基板２の厚さに応じて基板２との焦点距離（Ｌ１＋Ｌ２）を変化させる焦点合わせ機構を有している。この結果、本実施形態に係る検査装置２００によれば、基板２の厚さが変化しても、この基板２の表面に焦点を合わせて鮮明な画像を得ることができるので、精度のよい検査を実行することが可能となる。

上述のようにして、ステップＳ１４における焦点合わせ処理が完了すると、マスタＰＣ１６０の搬送制御部１６４は、基板搬送テーブル５０を走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、この基板搬送テーブル５０による撮像ユニット８０への（検査位置への）基板２の移動を開始させる（ステップＳ１６）。本実施形態では、上述のように、表面側照明ユニット１００ａが裏面側照明ユニット１００ｂよりも基板２の走査方向上流側に配置されている。このため、基板２は、基板搬送テーブル５０により、まず、表面側撮像ユニット８０ａの第１ラインセンサ３４ａ及び第２ラインセンサ３４ｂによる撮像範囲であるスタート位置（走査ライン）まで移動される。そして、基板２が表面側撮像ユニット８０ａの第１ラインセンサ３４ａ及び第２ラインセンサ３４ｂによる走査範囲であるスタート位置まで搬送されると、マスタＰＣ１６０の照明制御部１６２が、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂにより基板２への照明光の照射を開始させ、マスタＰＣ１６０の走査制御部１６３が、表面側撮像ユニット８０ａの第１及び第２撮像部３０ａ，３０ｂ及び裏面側撮像ユニット８０ｂの第３及び第４撮像部３０ｃ，３０ｄによる基板２の表裏面の撮像を開始させる（ステップＳ１８）。

ステップＳ１８にて各撮像ユニット８０ａ，８０ｂによる撮像が開始されると、第１ラインセンサ３４ａ、第２ラインセンサ３４ｂ、第３ラインセンサ３４ｃ、第４ラインセンサ３４ｄは、一走査単位の基板２の走査（撮像）を同期して行うように走査制御部１６３により制御される。すなわち、表面側照明ユニット１００ａによって基板２の表面に照明光が照射された際に、第１撮像部３０ａの第１ラインセンサ３４ａは、第１中間レンズ４２ａ及び第１レンズ３２ａを介して、また、第２撮像部３０ｂの第２ラインセンサ３４ｂは、第２中間レンズ４２ｂ及び第２レンズ３２ｂを介して、それぞれ走査ライン上の画像を取得する。更に、裏面側照明ユニット１００ｂによって基板２の裏面に照明光が照射された際に、第３撮像部３０ｃの第３ラインセンサ３４ｃは、第３中間レンズ４２ｃ及び第３レンズ３２ｃを介して、また、第４撮像部３０ｄの第４ラインセンサ３４ｄは、第４中間レンズ４２ｄ及び第４レンズ３２ｄを介して、それぞれ走査ライン上の画像を取得する。このように、ラインセンサ３４ａ〜３４ｄを用いることにより、エリアセンサを用いて検査面を二次元的に移動・停止させ、これをくり返して順次スポット撮像をする構成に比較して、機構を単純化すると共に、検査時間を短縮化することが可能となる。

そして、マスタＰＣ１６０の搬送制御部１６４は、基板２が第１〜第４ラインセンサ３４ａ〜３４ｄにより１ラインの走査（撮像）がされるたびに、送りねじ５８ｂを駆動する搬送モータ５８ａに制御信号を与え、基板２を１ライン分進行させる。これにより、第１〜第４ラインセンサ３４ａ〜３４ｄによる走査（撮像）を一括して実行可能となり、第１〜第４ラインセンサ３４ａ〜３４ｄによる走査（撮像）が実行されないタイミングで搬送制御部１６４によって基板２が移動させられるので、効率よく基板２の走査を行って検査時間を短縮可能となる。なお、一走査単位とは、例えば基板２の一端から他端までの一方向における１回の走査、あるいは１回の往復走査といったラインセンサ３４ａ〜３４ｂが実行し得る走査の単位をいう。

このようにして、第１〜第４ラインセンサ３４ａ〜３４ｄが基板２の走査方向（Ｙ軸方向）における全長について走査すると、基板２の表裏面の撮像が１回の基板搬送工程中で実行されることになる。すなわち、基板２は、基板搬送テーブル５０により、表面側撮像ユニット８０ａと裏面側撮像ユニット８０ｂとの間を走査方向（Ｙ軸方向）に移動させられ、この間、表面側撮像ユニット８０ａは基板２の表面を、裏面側撮像ユニット８０ｂは基板２の裏面を、それぞれ１回の基板搬送工程の中で撮像する。なお、１回の基板搬送工程とは、基板２の一方向における搬送工程でもよく、基板２の往復搬送工程であってもよい。

ところで、本実施形態において、各撮像ユニット８０ａ，８０ｂによる基板２の撮像中、照明制御部１６２は、一走査単位の実行に伴う照明光の照射が同期して行われるように表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂを制御し、走査制御部１６３は、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂが基板２に照明光を照射したときに基板２の走査（撮像）が同期して行われるように第１〜第４ラインセンサ３４ａ〜３４ｂを制御する。

具体的には、照明制御部１６２は、同時に同色の光を基板２に対して同期して照射するように表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂを制御する。また、本実施形態では、例えば、白色光源である第２及び第５光源１０４ａ〜１０４ｄ、緑色光源である第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂ、青色光源である第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄがこの順番で作動され、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂは、１ライン毎に、白色光、緑色光、青色光をこの順番で基板２に照射する。これにより、例えば表面側照明ユニット１００ａにより照射された照明光が、周辺の部品による写り込み等によって裏面側照明ユニット１００ｂによって照射されている基板２の裏面に漏洩してしまったとしても、光の干渉の検査結果への悪影響を最小限に抑制することが可能となる。

そして、マスタＰＣ１６０の走査制御部１６３は、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂの第２及び第５光源１０４ａ〜１０４ｄから基板２に対して白色光が同時に照射されたときに、各ラインセンサ３４ａ〜３４ｄに一走査単位の走査（撮像）を同期して実行させる。また、走査制御部１６３は、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂの第１及び第４光源１０２ａ，１０２ｂから緑色光が同時に照射されたときに、各ラインセンサ３４ａ〜３４ｄに更に一走査単位の走査（撮像）を同期して実行させ、表面側照明ユニット１００ａ及び裏面側照明ユニット１００ｂの第３及び第６光源１０６ａ〜１０６ｄから青色光が同時に照射されたときに、各ラインセンサ３４ａ〜３４ｄに更に一走査単位の走査（撮像）を同期して実行させる。

上述のようにして各撮像ユニット８０ａ，８０ｂによって基板２が撮像される際、第１撮像部３０ａの第１ラインセンサ３４ａによって取得された画像は第１画像処理部１３０ａに、第２撮像部３０ｂの第２ラインセンサ３４ｂによって取得された画像は第２画像処理部１３０ｂに、第３撮像部３０ｃの第３ラインセンサ３４ｃによって取得された画像は第３画像処理部１３０ｃに、第４撮像部３０ｄの第３ラインセンサ３４ｄによって取得された画像は第４画像処理部１３０ｄに、それぞれ送信される。

各画像処理部１３０ａ〜１３０ｄは、対応するラインセンサ３４ａ〜３４ｄから受け取った画像の画像処理を実行する。そして、第１画像処理部１３０ａは第１スレーブＰＣ１４０ａのメモリ１４１ａに画像処理後の画像データを送信・格納し、第２画像処理部１３０ｂは第２スレーブＰＣ１４０ｂのメモリ１４１ｂに画像処理後の画像データを送信・格納する。同様に、第３画像処理部１３０ｃは第３スレーブＰＣ１４０ｃのメモリ１４１ｃに画像処理後の画像データを送信・格納し、第４画像処理部１３０ｄは第４スレーブＰＣ１４０ｄのメモリ１４１ｄに画像処理後の画像データを送信・格納する。

表面側撮像ユニット８０ａ及び裏面側撮像ユニット８０ｂによる基板２の撮像が完了すると、マスタＰＣ１６０の搬送制御部１６４は、搬送モータ５８ａに指令信号を与えて送りねじ５８ｂを回転させることにより、基板搬送テーブル５０を検査位置から待機位置に移動させて撮像が終了した基板２を次の工程へと搬出できるようにする（ステップＳ２０）。具体的には、図８に示すように、搬送制御部１６４は、基板搬送テーブル５０を待機位置に移動させ（ステップＳ２０１）、作業者が基板２を取り出す位置がＸ軸方向の左端、中央及び右端のいずれかであるかを判断する（ステップＳ２０２）。この取り出し位置は、作業者等がマスタＰＣ１６０のキーボード等の入力手段を用いて、予め設定するように構成してもよい。あるいは、被検査体である基板２の情報（例えば、この基板２に実装されている部品の配置情報）に基づいて決定してもよい。

搬送制御部１６４は、ステップＳ２０２で取り出し位置が左端であると判断すると、位置決めモータ５６ａを作動させ、搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させ（ステップＳ２０３）、左センサ６０ａがオンになったと判断すると（ステップＳ２０４）、搬送ベルト５６ｂを停止させ（ステップＳ２０５）、基板取り出し処理Ｓ２０を終了する。

また、搬送制御部１６４は、ステップＳ２０２で取り出し位置が中央であると判断すると、位置決めモータ５６ａを作動させ、搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させ（ステップＳ２０６）、左センサ６０ａがオンになったと判断する（ステップＳ２０７）か、搬送ベルト５６ｂの移動量が閾値Ｘｃになったと判断する（ステップＳ２０８）と、搬送ベルト５６ｂを停止させ（ステップＳ２０９）、基板取り出し処理Ｓ２０を終了する。ここで、移動量の閾値Ｘｃは、Ｘ軸方向の基板２の大きさに依存する値である。この閾値Ｘｃは、検査開始前に、作業者が基板２の撮像方向（Ｘ軸方向）の大きさ（長さ）を設定することにより、自動的に計算することができる。具体的には、図６（ｂ）に示すように、この検査装置２００の基板２を挿入する空間のＸ軸方向の長さをｂとし、この空間の右端から固定ストッパ５６ｃが基板２と当接する面（左端面）までの長さをａとし、基板２のＸ軸方向の長さをＸ０としたとき、Ｘｃ＝（ｂ−Ｘ０）／２−ａで求めることができる。

また、搬送制御部１６４は、ステップＳ２０２で取り出し位置が右端であると判断すると、そのまま基板取り出し処理Ｓ２０を終了する。上述したように、ステップＳ１０において、基板２は搬送レール５４の右端側（固定ストッパ５６ｃに当接した状態）に位置しているからである。

このように、マスタＰＣ１６０の搬送制御部１６４は、搬送部である基板搬送テーブル５０を撮像部である撮像ユニット８０で被検査体を走査する方向に相対移動させることにより、この被検査体を搬送部に載置する待機位置と、被検査体の画像データを取得する検査位置とを含む所定の位置に移動させる制御部としての機能を有しており、また、本実施形態では、検査開始時に基板２を搬送レール５４上のどの位置に載置したとしても、待機位置における搬送レール５４上の指定された位置から取り出すことができる。

図５に戻って、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄのメモリ１４１ａ〜１４１ｄに被検査体である基板２の画像データが格納されると、各々のスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄの解析部１４２ａ〜１４２ｄは、それぞれのメモリ１４１ａ〜１４１ｄに格納された画像データの解析を行い、他のスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄにおいて基板２の検査に際して必要なデータの交換を行う（ステップＳ２２）。このステップＳ２２においてスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄ間で交換されるデータには、例えば基板２に設けられた位置決め基準としての認識マークの位置を示すデータや、基板２に設けられたバーコード等の識別マークを解析して得られる基板２のシリアルナンバーや製造年月日等のデータといった基板２の検査に際してスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄにおいて共用されるべきデータ（以下「共用データ」という）や、第１撮像部３０ａ及び第２撮像部３０ｂ、並びに、第３撮像部３０ｃ及び第３撮像部３０ｄにより撮像された部品の画像データが含まれる。

このステップＳ２２における画像データの解析／交換について、図９を参照しながら説明する。図９（ａ）は、被検査体である基板２の表面を例示する上面図であり、以下、基板２の表面についての画像データの解析及び共用データの共有化について説明する。図９（ａ）に示されるように、基板２には、この基板２の位置決め基準となる第１認識マーク４ａ及び第２認識マーク４ｂが形成されている。また、図９（ａ）に例示される基板２の略中央部には、表面側撮像ユニット８０ａの第１撮像部３０ａの撮像範囲と第２撮像部３０ｂの撮像範囲にまたがるように第１部品６と第２部品８とが実装されている。なお、図示を省略するが、基板２には、各種データが記録されたバーコードが設けられている。

図９（ａ）からわかるように、基板２の図中左側半分の領域は、第１撮像部３０ａによって撮像され、図中右側半分は第２撮像部３０ｂにより撮像される。従って、基板２の第１認識マーク４ａは、第１撮像部３０ａにより撮像され、その画像データは、第１スレーブＰＣ１４０ａのメモリ１４１ａに格納される。また、基板２の第２認識マーク４ｂは、第２撮像部３０ｂにより撮像され、その画像データは、第２スレーブＰＣ１４０ｂのメモリ１４１ｂに格納される。これにより、第１撮像部３０ａに対応するスレーブＰＣ１４０ａは、メモリ１４１ａに格納された画像データの解析時に、第１認識マーク４ａの画像データからその位置データを取得する。同様に、第２撮像部３０ｂに対応するスレーブＰＣ１４０ｂは、メモリ１４１ｂに格納された画像データの解析時に、第２認識マーク４ｂの画像データからその位置データを取得する。そして、第１スレーブＰＣ１４０ａは、第１認識マーク４ａの位置データを共用データとして他のスレーブＰＣ１４０ｂ，１４０ｃ及び１４０ｄに送信し、第２スレーブＰＣ１４０ｂは、第２認識マーク４ｂの位置データを共用データとして他のスレーブＰＣ１４０ａ，１４０ｃ及び１４０ｄに送信する。

この結果、検査装置２００では、基板２が搬送レール５４上で僅かに傾いていたり、基板２の位置が撮像方向（走査ラインが延びるＸ軸方向）や走査方向（Ｙ軸方向）において若干ずれてセットされていたりしていても、基板２の位置決め基準としての第１認識マーク４ａ及び第２認識マーク４ｂの位置データが共用データとして各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄにおいて共有されることから、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、対応する撮像部３０ａ〜３０ｄの撮像範囲に認識マークが含まれておらず、あるいは認識マークの一部しか含まれていないような場合であっても、基板２の位置や姿勢を把握することができる。

一方、図９（ａ）からわかるように、表面側撮像ユニット８０ａにおいては、第１撮像部３０ａと第２撮像部３０ｂとの何れにおいても撮像されない領域が発生しないように、第１撮像部３０ａの撮像範囲と第２撮像部３０ｂの撮像範囲とが、図９（ａ）において二点鎖線で示されるように一部重複するように定められている。同様に、裏面側撮像ユニット８０ｂにおいても、第３撮像部３０ｃの撮像範囲と第４撮像部３０ｄの撮像範囲とが、一部重複するように定められている。ここで、表面側撮像ユニット８０ａを例に取って説明すると、図９（ｂ）に示されるように、第１撮像部３０ａの撮像範囲は、基板２の図中左端から、基板２の撮像方向（Ｘ軸方向）における中心線よりも多少図中右側にまで及ぶ。これに対して、第２撮像部３０ｂの撮像範囲は、基板２の図中右端から、基板２の撮像方向（Ｘ軸方向）における中心線よりも多少図中左側にまで及ぶ。

そして、本実施形態においては、図９（ａ）に例示された第１部品６や第２部品８のように、複数の撮像部３０の撮像範囲にまたがって配置されている基板２上の部品については、当該部品の中心部を撮像範囲内に含む撮像部３０に対応したスレーブＰＣ１４０が検査を行うように定められている。すなわち、図９（ａ）からわかるように、第１部品６は、その中心部が第１撮像部３０ａの撮像範囲に属するので、第１部品６の検査は、第１撮像部３０ａに対応した検査部としての第１スレーブＰＣ１４０ａにより実行される。これに対して、第２部品８は、その中心部が第２撮像部３０ｂの撮像範囲に属することから、第２部品８の検査は、第２撮像部３０ｂに対応した検査部としての第２スレーブＰＣ１４０ｂにより実行される。

この場合、図９（ｂ）からわかるように、第１撮像部３０ａに対応した第１画像処理部１３０ａによってスレーブＰＣ１４０ａのメモリ１４１ａに画像データが格納された時点では、スレーブＰＣ１４０ａは、その検査対象である第１部品６の画像データのすべてを保持していないことになる。同様に、第２撮像部３０ｂに対応した第２画像処理部１３０ｂによってスレーブＰＣ１４０ｂのメモリ１４１ｂに画像データが格納された時点では、スレーブＰＣ１４０ｂは、その検査対象である第２部品８の画像データのすべてを保持していないことになる。

このため、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、画像データの解析の実行中に、自らの検査対象となっていない部品の画像データを認識すると、当該部品の検査を担うスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄ（あるいは、他のスレーブＰＣ１４０のすべて）に対して当該画像データを送信する。すなわち、図９の例のもとでは、第１スレーブＰＣ１４０ａのメモリ１４１ａには、第２部品８の画像データの一部が含まれることになるが、かかる第２部品８の画像データは、第１スレーブＰＣ１４０ａから第２部品８の検査を担う第２スレーブＰＣ１４０ｂに送られ、第２スレーブＰＣ１４０ｂは、その画像データをメモリ１４１ｂに格納する。また、第２スレーブＰＣ１４０ｂのメモリ１４１ｂには、第１部品６の画像データの一部が含まれることになるが、かかる第１部品６の画像データは、第２スレーブＰＣ１４０ｂから第１部品６の検査を担う第１スレーブＰＣ１４０ａに送られ、第１スレーブＰＣ１４０ａは、その画像データをメモリ１４１ａに格納する。こうして、スレーブＰＣ１４０ａ及びスレーブＰＣ１４０ｂは、図９（ｃ）に示されるように、自らが検査を担う部品の欠落している画像データを取得する。

上述のようにして、画像データの解析／交換を完了させると、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄの解析部１４２ａ〜１４２ｄは、それぞれ、ライブラリ１４３ａ〜１４３ｄに格納されている検査データを用いて自らが担う基板２の領域の検査を実行する（ステップＳ２４）。ここで、検査装置２００では、検査合否の判定基準としての検査データが、被検査体である基板２に実装されたＩＣチップやコネクタといった各部品について、表面側撮像ユニット８０ａと裏面側撮像ユニット８０ｂの撮像面（表面又は裏面）に対応させてそれぞれ複数用意されている。

すなわち、従来の検査装置では、基本的に基板の表裏面の検査が同時に行われることがなかったため、検査装置において撮像ユニットの撮像面に応じてフロー、ＤＩＰあるいは手付けといった「はんだ形式」を識別する必要はなかった。これに対して、本発明による検査装置２００では、被検査体である基板２の表裏面が同時に検査できるようにするために、基板２に実装された各部品について、表面側検査データと裏面側検査データとが少なくとも１つ用意されている。表面側検査データ及び裏面側検査データは、検査において合格とされる「はんだ形状」等を示す画像データ及び数値データからなり、部品に対応したはんだパッドの形状に応じたフロー、ＤＩＰあるいは手付けといった「はんだ形式」を識別するための識別子をそれぞれ有している。

各部品についての表面側検査データは、表面側撮像ユニット８０ａに対応したスレーブＰＣ１４０ａ，１４０ｂのうち、当該部品の検査を担うもののライブラリ１４３ａ，１４３ｂに、各部品についての裏面側検査データは、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応したスレーブＰＣ１４０ｃ，１４０ｄのうち、当該部品の検査を担うもののライブラリ１４３ｃ，１４３ｄに、それぞれ格納されている。ただし、基板２の表面の検査を行うスレーブＰＣ１４０ａ，１４０ｂのライブラリ１４３ａ，１４３ｂに格納される表面側検査データは、互いに同一のものとされてもよい。同様に、基板２の裏面の検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃ，１４０ｄのライブラリ１４３ｃ，１４３ｄに格納される表面側検査データは、互いに同一のものとされてもよい。

これにより、検査装置２００では、これらの表面側及び裏面側検査データと、表面側撮像ユニット８０ａ及び裏面側撮像ユニット８０ｂを用いて得られる基板２の画像データと用いることにより、表面側にリフロー面を有すると共に裏面側にＤＩＰ面を有する基板２を同時に複数の方向、すなわち、表面側と裏面側とから精度よく検査することが可能となる。なお、上述の表面側及び裏面側検査データは、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄのライブラリ１４３ａ〜１４３ｄにそれぞれ個別に入力されてもよい。また、マスタＰＣ１６０にすべての表面側及び裏面側検査データを一括して入力し、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄが、自らが必要とする検査データをマスタＰＣ１６０から取得するようにしてもよい。

このように、検査装置２００では、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄが、メモリ１４１ａ〜１４１ｄに格納された画像データを解析し、その結果得られる認識マークやバーコード、その他検査に必要なデータである共用データを共有すると共に、検査に必要な画像データを相互に交換し合う。そして、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、共用データ、画像データ及びそれぞれのライブラリ１４３ａ〜１４３ｄに格納された検査データを用いて被検査体である基板２の検査をそれぞれ実行する。

このような各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｂの動作は、実質的に、生物の細胞の動きと同様のものである。すなわち、すべての細胞は同じ遺伝子を持ち、あるトリガに従って自らに関係する指令のみを選択して実行するが、これを本実施形態に当てはめると、上述の共用データが遺伝子に相当し、上述のスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄが細胞に相当する。そして、本実施形態では、マスタＰＣ１６０が各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｂに検査箇所や内容を割り当て、指示する代わりに、各スレーブＰＣ１４０が自律的に画像データを処理し、検査を実行する。この結果、検査装置２００では、基板２の検査を複数のスレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄに分担させて、基板２の検査の精度を向上させると共に、検査時間を短縮化することが可能となる。

ステップＳ２４における検査が終了すると、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、互いに検査結果を共有すべく、他のスレーブＰＣ１４０及びマスタＰＣ１６０にそれぞれの検査結果を示すデータを送信する（ステップＳ２６）。また、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄのメモリ１４１ａ〜１４１ｄに格納されている認識マークの位置データ等の共用データも、マスタＰＣ１６０に送信される。そして、マスタＰＣ１６０の表示制御部１６５は、ＣＰＵからの指令に応じて、予め入力されている基板２のＣＡＤデータや各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄから受け取ったデータに基づいて、被検査体である基板２についての検査結果をディスプレイ１７０の画面１７１に表示させる（ステップＳ２８）。本実施形態の検査装置２００では、表示制御部１６５によって、被検査体である基板２の表面についての検査結果と、基板２の裏面についての検査結果とがディスプレイ１７０の画面１７１上に同時に表示される。また、表示制御部１６５は、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄによる検査の結果、不良であると判定された箇所（部品）を合格箇所と明確に識別し得る形式で検査結果を画面１７１上に表示させる。これにより、ユーザは、特にマウス等を操作しなくても、被検査体である基板２の表面と裏面との検査結果を同時に把握することができる。このように、検査装置２００によれば、被検査体である基板２の表裏面双方について速やかに検査が実行された後、ユーザに対して基板２の表面と裏面との検査結果が同時に提供されることから、ユーザの使い勝手を大幅に向上させることができる。

なお、撮像部３０及びそれに対応するスレーブＰＣ１４０は、基板２の表面側すなわち基板２の上方と、基板２の裏面側すなわち基板２の下方とにそれぞれ１組ずつ設けられてもよい。これにより、撮像部３０やスレーブＰＣ１４０の数を削減でき、コストを低減化することができる。この場合、上述の共用データは基板２の表面を検査するスレーブＰＣ１４０と裏面を検査するスレーブＰＣ１４０との間で送受信されることから、例えば基板２の一方の面に識別マーク等が無くても、他方の面に識別マークがあれば、その位置データを利用可能となる。これにより、基板２の構成を簡素化することができる。

また、基板２を固定した状態で、照明ユニット１００や撮像部３０を含む撮像ユニット８０を移動させてもよい。これにより、基板２の撮像時に、基板２を安定して保持した状態で撮像ユニット８０と基板２との相対的移動を実現することができる。

また、上述の共用データは、スレーブＰＣ１４０からマスタＰＣ１６０に送信された後、マスタＰＣ１６０が各スレーブＰＣ１４０に送信するようにしてもよい。これにより、各スレーブＰＣ１４０とマスタＰＣ１６０との共有データの共有を容易に実現することができる。

更に、上述の実施形態では、表面側撮像ユニット８０ａにのみ、焦点合わせ機構が設けられているが、被検査体の形状等に応じて、表面側撮像ユニット８０ａ及び裏面側撮像ユニット８０ｂの双方に焦点合わせ機構が設けられてもよい。

また、上述の実施形態においては、被検査体である基板２の表裏面を同時に検査する手順が説明されたが、被検査体の表裏面についての検査結果を同時に表示させるに際し、被検査体の表面についての検査結果及び被検査体の裏面についての検査結果は、別工程で取得されたものであってもよい。また、被検査体の表面についての検査結果及び被検査体の裏面についての検査結果の何れか一方は、他の検査装置によるものであってもよい。

更に、上述の実施形態においては、焦点合わせに必要となる基板厚さの入力がユーザにより実行されるものとして説明されたが、これに限られるものではない。すなわち、被検査体である基板のバーコード等に基板厚さ情報をもたせておき、このバーコードが撮像・解析された時点で焦点合わせが実行されてもよい。

［第２の実施形態］
上述した第１の実施形態では、ステップＳ２０の基板取り出し処理において基板２を所定の取り出し位置に移動するために、検査開始前、基板２の撮像方向（Ｘ軸方向）の大きさ（長さ）等を予め設定するように構成した場合について説明したが、この第２実施形態では、基板位置決め処理Ｓ１０において自動的に算出するように構成した場合について図１０及び図１１を合わせて用いて説明する。なお、ここでは、基板位置決め処理Ｓ１０の処理だけを説明するが、その他の処理は第１の実施形態の処理を用いることができる。

図１０に示すように、基板位置決め処理Ｓ１０が開始されると、搬送制御部１６４は、位置決めモータ５６ａを作動させて搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させ（ステップＳ１１１）、左センサ６０ａがオンになったと判断すると（ステップＳ１１２）、搬送ベルト５６ｂを停止させる（ステップＳ１１３）。次に、搬送制御部１６４は、位置決めモータ５６ａを作動させて搬送ベルト５６ｂにより基板２を右方向に移動させるとともに（ステップＳ１１４）、その移動量ｎをカウントし（ステップＳ１１５）、右センサ６０ｂがオンになるまでこのステップＳ１１４，Ｓ１１５を繰り返す（ステップＳ１１６）。そして、搬送制御部１６４は、右センサ６０ｂがオンになったと判断すると、移動量ｎを用いて、基板２の撮像方向（Ｘ軸方向）の長さＸ０と、基板取り出し処理Ｓ２０における搬送ベルト５６ｂの移動量Ｘｃとを計算により算出する（ステップＳ１１７）。具体的には、基板２のＸ軸方向の長さＸ０は、図１１に示すように、検査装置２００の基板２を挿入する空間のＸ軸方向の長さｂ、基板２の左端が左センサ６０ａで検出されたときの、この空間の左端から基板２の左端までの距離ｃ、及び、基板２の右端が右センサ６０ｂで検出されたときの、この空間の右端から基板２の右端までの距離ｄは、既知の値であるため、Ｘ０＝ｂ−ｃ−ｄ−ｎにより求めることができる。また、移動量Ｘｃは、図６（ｂ）に示すように、Ｘｃ＝（ｂ−Ｘ０）／２−ａで求めることができる。

最後に、搬送制御部１６４は、搬送ベルト５６ｂの移動速度を減速し、さらに距離Ｘｂだけ右方向に基板２を移動させ（ステップＳ１０８）、搬送ベルト５６ｂを停止させて基板２の右端を固定ストッパ５６ｃに当接させ（ステップＳ１０９）、基板位置決め処理Ｓ１０を終了する。

この第２の実施形態のように構成すると、基板２のＸ軸方向長さＸ０は、基板位置決め処理Ｓ１０で基板２の位置決めをする際に自動的に算出することができるので、作業者が予め設定する必要が無く、検査作業を効率化することができる。

［第３の実施形態］
上述した第１及び第２の実施形態では、基板位置決め処理Ｓ１０において、搬送レール５４上に載置された基板２を、一旦左方向に移動させた後、右方向に移動させてこの基板２の右端を固定ストッパ５６ｃに当接させるように構成した場合について説明したが、このような構成の場合、作業者が、搬送レール５４の同じ位置に基板２を繰り返し載置した場合、搬送ベルト５６ｂの基板２が載置される箇所が同じ位置になる確率が高くなり、この搬送ベルト５６ｂの摩耗する位置（基板２との接触や位置決めモータ５６ａ又はプーリとの接触による摩耗）が偏ってしまい、寿命が短くなる可能性がある。そこで、図１２に示すように、位置決め処理Ｓ１０が開示されると、搬送制御部１６４は、位置決めモータ５６ａを作動させて搬送ベルト５６ｂにより基板２を右方向に移動させ（ステップＳ１２１）、移動量が所定量Ｘｄになったと判断すると（ステップＳ１２２）、搬送ベルト５６ｂを停止させ（ステップＳ１２３）、この位置決め処理Ｓ１０を終了させるように構成してもよい。この場合、左右センサ６０ａ，６０ｂは不要である。なお、移動量Ｘｄは、搬送レール５４上に載置された基板２が固定ストッパ５６ｃに当接するための設計上の距離である。この移動量Ｘｄは、搬送ベルト５６ｂを移動させる時間（位置決めモータ５６ａを駆動させる時間）で置き換えてもよい（例えば、０．１ｍ秒）。

［第４の実施形態］
上述した第１の実施形態では、基板取り出し処理Ｓ２０において、搬送レール５４上の予め設定された位置（Ｘ軸方向の左端、中央、右端のいずれか）から基板２が取り出し可能に構成した場合について説明したが、この取り出し位置を検査結果に応じて決定するように構成することも可能である。なお、この場合、上述したステップＳ２２〜２８が実行された後に、基板取り出し処理Ｓ２０が実行されることになる。

具体的には、図１３に示すように、検査結果が表示されると、搬送制御部１６４は、基板搬送テーブル５０を検査位置から待機位置に移動させ（ステップＳ２１１）、検査結果が良品であるか不良品であるかを判断する（ステップＳ２１２）。この判断の結果、良品であると判断すると、搬送制御部１６４は、位置決めモータ５６ａを作動させ、搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させ（ステップＳ２１３）、左センサ６０ａがオンになったと判断すると（ステップＳ２１４）、搬送ベルト５６ｂを停止させ（ステップＳ２１５）、基板取り出し処理Ｓ２０を終了する。一方、不良品であると判断すると、搬送制御部１６４は、そのまま基板取り出し処理Ｓ２０を終了する。上述したように、ステップＳ１０において、基板２は搬送レール５４の右端側（固定ストッパ５６ｃに当接した状態）に位置しているからである。なお、良品のときは右端から取り出し、不良品のときは左端から取り出すように構成してもよい。このように構成すると、作業者は検査結果を取り出し位置で判断することができ、その後の仕分け等の作業（検査された基板２を次の工程に送るか、再検査等の工程に送るかの判断等）が容易になる。

なお、第１の実施形態で説明したように、検査が終了した基板２を、検査結果に応じて、待機位置における左端、中央、右端のいずれかに移動させるようにしてもよい。例えば、２種類の基板２を検査する場合、良品のうち、第１の種類の基板２は右端に移動させ、第２の種類の基板は中央に移動させ、不良品は左端に移動させるように構成してもよい。この基板の種類は、基板２上の部品の配置や基板２上に表示されたバーコード等を読み取って決定してもよいし、マスタＰＣ１６０の入力手段から作業者が入力してもよい。

［第５の実施形態］
以上の説明では、図６（ａ）に示すように、基板２の撮像方向（Ｘ軸方向）全体が、撮像ユニット８０の撮像範囲内に入る場合について説明した。この第５の実施形態では、図１４に示すように、基板２のＸ軸方向全体の長さが撮像ユニット８０の撮像範囲より広く、複数回に亘って走査方向（Ｙ軸方向）に移動させて撮像する（走査する）場合について説明する。なお、ここでは、基板２の大きさが、撮像ユニット８０の撮像範囲の半分より大きい場合であって、２回の走査で基板２の全体を撮像する場合について説明する。また、図１４に示すように、搬送リール５４の左端側にも固定ストッパ５６ｄが取り付けられているものとする。

基板２の検査を実行するに際して、作業者が待機位置にある搬送レール５４の搬送ベルト５６ｂの上に基板２を載置し、この検査装置２００のマスタＰＣ１６０に検査の開始を指示すると、マスタＰＣ１６０は、搬送制御部１６４により、基板２の搬送レール５４上のＸ軸方向の位置決め、すなわち、撮像ユニット８０の撮像範囲内を基板２が通過するための位置決め（上述したステップＳ１０に相当する処理）を行う。

まず、マスタＰＣ１６０の搬送制御部１６４は、図１５に示すように、左センサ６０ａがオンであるか否かを判断し（ステップＳ１３１）、左センサ６０ａがオンでないときは、さらに、右センサ６０ｂがオンであるか否かを判断し（ステップＳ１３２）、右センサ６０ｂがオンであるときは、位置決めモータ５６ａを作動させて搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させ（ステップＳ１３３）、左センサ６０ａがオンになったと判断すると（ステップＳ１３４）、搬送ベルト５６ｂを停止させる（ステップＳ１３５）。次に、ステップＳ１３１で左センサ６０ａがオンであると判断したとき、ステップＳ１３２で右センサ６０ｂがオンでないと判断したとき、及び、ステップＳ１３５で搬送ベルト５６ｂを停止させたときは、搬送制御部１６４は、位置決めモータ５６ａを作動させて搬送ベルト５６ｂにより基板２を右方向に移動させ（ステップＳ１３６）、右センサ６０ｂがオンになったと判断すると（ステップＳ１３７）、搬送ベルト５６ｂの移動速度を減速し、さらに所定の距離だけ右方向に基板２を移動させて基板２の右端を固定ストッパ５６ｃに当接させ（ステップＳ１３８）、搬送ベルト５６ｂを停止させる（ステップＳ１３９）。なお、減速後の搬送ベルト５６ｂの移動量は、第１の実施形態で説明した通りである。

以上の処理を実行すると、図１４（ａ）に示すように基板２の右端が固定ストッパ５６ｃに当接している状態であり、撮像ユニット８０の撮像範囲内に、この基板２の左半分が入っている状態となる。この状態で、上述したステップＳ１２〜Ｓ１８を実行することにより、基板２の左半分の画像を取得することができる。

次に、搬送制御手段１６４は、搬送レール５４を待機位置に移動させ（ステップＳ１４０）、さらに、位置決めモータ５６ａを作動させて搬送ベルト５６ｂにより基板２を左方向に移動させ（ステップＳ１４１）、左センサ６０ａがオンになったと判断すると（ステップＳ１４２）、搬送ベルト５６ｂの移動速度を減速し、さらに所定の距離だけ左方向に基板２を移動させて基板２の左端を固定ストッパ５６ｄに当接させ（ステップＳ１４３）、搬送ベルト５６ｂを停止させる（ステップＳ１４４）。これらの処理により、図１４（ｂ）に示すように、基板２の左端が固定ストッパ５６ｄに当選している状態となり、撮像ユニット８０の撮像範囲内に、基板２の右半分が入っている状態となる。この状態で、上述したステップＳ１２〜Ｓ１８を実行することにより、基板２の右半分の画像を取得することができる。

最後に、上述した基板取り出し処理Ｓ２０を実行し、また、ステップＳ２２〜Ｓ２８の検査処理を実行することにより、基板２の検査を行うことができる。ここで、基板２の左半分の画像と右半分の画像とを結合する処理は、上述した、画像処理を応用することで実現することが可能である。

なお、以上の説明では、基板２の左半分を撮像した後、右半分を撮像する場合について説明したが、右半分から撮像するように構成してもよい。また、基板２を２分割して撮像する場合について説明したが、３以上に分割して撮像することも可能である（例えば、左端側、中央側、右端側に３分割する場合は、基板取り出し処理Ｓ２０で説明したように、基板２を中央に位置決めする方法を用いることができる）。

このように、この第５の実施形態の構成によれば、撮像ユニット８０の撮像範囲より大きい基板２であっても、簡単な処理で全体の画像を撮像して検査をすることができる。

２基板（被検査体）
５０基板搬送テーブル（搬送部）
８０撮像ユニット（撮像部）
１４０（１４０ａ〜１４０ｄ）スレーブＰＣ（検査部）
１６０マスタＰＣ（制御部）
２００検査装置

Claims

被検査体の画像データを取得する撮像部と、
前記撮像部で取得された前記画像データに基づき前記被検査体の検査を行う検査部と、
作業者によって載置された前記被検査体を前記撮像部に対して相対移動させる搬送部と、を備えた検査装置であって、
前記搬送部を前記撮像部で前記被検査体を走査する方向に相対移動させることにより、前記被検査体を前記搬送部に載置する待機位置と、前記被検査体の前記画像データを取得する検査位置とを含む所定の位置に移動させる制御部を有し、
前記待機位置は、前記搬送部上の、前記撮像部が前記被検査体を走査する方向と略直交する方向のいずれか一方に位置する第１の待機位置と、他方に位置する第２の待機位置と、前記第１の待機位置と前記第２の待機位置との間に位置する第３の待機位置と、を含み、
前記制御部は、検査に関する情報である前記被検査体の情報に基づき、前記搬送部により前記搬送部に載置された前記被検査体を前記検査位置から、前記第１の待機位置、前記第２の待機位置及び前記第３の待機位置のいずれかの待機位置に移動させるように構成されていることを特徴とする検査装置。
前記撮像部は、前記被検査体の複数面の画像データを同時に取得するように構成され、
前記検査部は、前記複数面の画像データに基づいて前記被検査体の複数面を同時に検査するように構成されていることを特徴する請求項１に記載の検査装置。
前記搬送部は、当該搬送部に載置された前記被検査体を保持しない状態で、前記被検査体を前記走査する方向と略直交する方向に移動させるように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
前記撮像部は、前記画像データを取得するためのラインセンサを有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査装置。
前記制御部は、前記検査位置において、前記撮像部に対して前記被検査体を前記走査する方向に１回移動させることで当該被検査体の画像データを取得するように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。