JP2006167992A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 印刷ペーストをスクリーン印刷版上に均一に展開することが可能で、スクリーン印刷版の主要領域において、均一で精度の高いスクリーン印刷を行うことが可能なスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】被印刷物が載置される印刷テーブル１１と、印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版２と、スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペースト４をスクリーン印刷版上に展開する（引き伸ばす）第１スクレーパ１ａと、スクリーン印刷版上を、第１スクレーパの移動方向と直交する方向に移動して、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを展開する第２スクレーパ１ｂとを備えた構成とする。
【選択図】図１

Description

本願発明は、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関し、詳しくは、スクリーン印刷版上への、印刷ペーストの展開の均一性の向上を図ったスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関する。

例えば、積層セラミック電子部品の製造工程において、積層されるセラミックグリーンシートに内部電極を形成するような場合に、所定の図形パターン（印刷図形）を得る方法として、スクリーン印刷方法が広く用いられている。

図７は長尺シート状の被印刷体（セラミックグリーンシート）に、長手方向に所定の間隔をおいて、印刷ペーストを繰り返して印刷する、従来のスクリーン印刷方法の一例を示す図であり、(ａ)はスクレーパにより、印刷ペーストをスクリーン印刷版の印刷図形上に展開する工程を示す図、(ｂ)はスキージにより印刷ペーストを被印刷体上に印刷する工程を示す図である。

このスクリーン印刷方法においては、まず、図７(ａ)に示すように、スクレーパ５１を、スクリーン印刷版５２の印刷図形部分５３を含む領域上を、被印刷物５６（図７(ｂ)）の搬送方向（矢印Ａの方向）と同一の方向に移動させることにより、印刷ペースト５４をスクリーン印刷版５２の印刷図形部分５３に展開した後、図７(ｂ)に示すように、その位置でスクレーパ５１を上昇させるとともに、スキージ５５を降下させ、所定の圧力でスキージ５５をスクリーン印刷版５２に押圧しながら、印刷図形部分５３の他方の端部にまで、被印刷物５６の搬送方向と逆側の方向（矢印Ｂの方向）に移動させることにより、印刷ペースト５４を被印刷物５６に印刷するようにしている（特許文献１の段落０００２〜０００４参照）。なお、この例では、スクレーパ５１とスキージ５５は、１つの移動ヘッド５７により保持されており、移動ヘッド５７が移動した場合にも、両者の平面位置関係は一定に保たれるように構成されている。

また、図８(ａ)，(ｂ)，(ｃ)に示すように、スクリーン６１上に供給した印刷ペーストをスクレーパ６２により拡張し、スキージ６３によりスクリーン６１に形成された開口部を介して、被印刷物６４の所定位置に印刷ペーストを押し出して印刷するようにしたスクリーン印刷装置において、スキージ６３およびスクレーパ６２と離れて位置し、スキージ６３およびスクレーパ６２の長さ方向に直角に設けられた一対のペースト掻き寄せ手段６５ａ，６５ｂを備えたスクリーン印刷装置が提案されている（特許文献２）。

また、図９に示すように、スキージヘッド７０をマスクプレート７１上で摺動させるスキージング時に、スキージヘッド７０を構成しスクリーン印刷時にマスクプレート７１に当接する掻き取り部材７３の端面線ｅ２を、マスクプレート７１のパターン孔７４のスキージング方向と直交する方向の端面線ｅ１に対して所定角度αに傾斜させた状態でスキージヘッド７０を水平移動させるようにしたスクリーン印刷方法が提案されている（特許文献３）。

さらに、図１０に示すように、往復スキージング方式（ダブルスキージ方式）の印刷装置において、往復動する方向（矢印Ａの方向）に対して所定の角度θを持たせて斜めにした一対のスキージ８１ａ，８１ｂを往復動させることにより、スクリーン印刷版８２の印刷パターン８３から印刷ペーストを押し出して印刷するようにしたスクリーン印刷装置が提案されている（特許文献４）。

しかしながら、上記特許文献１のスクリーン印刷方法の場合、スキージ５５がその長手方向に直交する方向に動作するとともに、スクレーパ５１もスキージ５５によるスキージングと逆方向に動作するだけで、印刷ペースト５４の展開状態を十分に均一にすることができない場合があり、スクリーン印刷版５２の全域で高精度のスクリーン印刷を行うことができない場合が生じるという問題点がある。

また、上記特許文献２のスクリーン印刷装置は、一対のペースト掻き寄せ手段６５ａ，６５ｂにより、印刷ペーストをスキージ６３の中央部に掻き寄せる目的の機構であるため、スキージ６３の長手方向（幅方向）全域において印刷ペーストを均一に展開させることができない場合があり、スクリーン６１の全域で高精度のスクリーン印刷を行うことができない場合が生じるという問題点がある。

また、上記特許文献３のスクリーン印刷方法においては、掻き取り部材７３の端面線ｅ２を、マスクプレート７１のパターン孔７４のスキージング方向と直交する方向の端面線ｅ１に対して所定角度αに傾斜させた状態でスキージヘッド７０を水平移動させるようにしているが、角度αは基本的にショット毎に変更されることはなく固定されているため、スキージヘッド７０の長手方向（幅方向）全域において印刷ペーストを均一混合することは困難であり、均一な状態を維持しようとすると、常にフレッシュな印刷ペーストをスクレーピング中のペーストの流れの上流から供給することが必要になり、大量の印刷ペーストが必要になったり、印刷ペースト循環装置が必要になったりするという問題点がある。

また、上記特許文献４のスクリーン印刷装置は、往復スキージング方式の印刷装置において、往復動する方向（矢印Ａの方向）に所定の角度θを持たせて斜めにした一対のスキージ８１ａ，８１ｂを往復動させることにより、印刷ペーストを印刷するようにしているが、スクリーン印刷方法においては、スキージの長手方向（幅方向）とスキージング方向が直交した状態でないと正確な印刷をすることができないことから、スクリーン印刷法にはそのまま適用することができないのが実情である。
特開２００２−５９５３４号公報 特開２００３−３１１９２１号公報 特開２００１−２５３０４８号公報 特開２０００−１０８３０４号公報

本願発明は上記課題を解決するものであり、印刷ペーストをスクリーン印刷版上に均一に展開することが可能で、スクリーン印刷版の主要領域において、均一で精度の高いスクリーン印刷を行うことが可能なスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）のスクリーン印刷装置は、
被印刷物が載置される印刷テーブルと、
印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版と、
スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、スクリーン印刷版に形成された前記印刷パターンを構成する開口部から被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージと、
スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開する第１スクレーパと、
スクリーン印刷版上を、前記第１スクレーパの移動方向と直交する方向に移動して、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを展開する第２スクレーパと、
を具備することを特徴としている。

また、請求項２のスクリーン印刷装置は、請求項１記載のスクリーン印刷装置の構成において、前記第１スクレーパが、前記スキージの移動方向と同軸で逆方向に移動して、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを展開するように構成されていることを特徴としている。

また、請求項３のスクリーン印刷装置は、請求項１または２記載のスクリーン印刷装置の構成において、前記第１スクレーパと前記第２スクレーパが、前記スクリーン印刷版上をスクリーン印刷版と接触することなく、所定の間隔をおいて移動するように構成されており、かつ、前記第１スクレーパと前記スクリーン印刷版との間隔より、前記第２スクレーパと前記スクリーン印刷版との間隔が大きくなるように構成されていることを特徴としている。

また、本願発明（請求項４）のスクリーン印刷装置は、
被印刷物が載置される印刷テーブルと、
印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版と、
スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、スクリーン印刷版に形成された前記印刷パターンを構成する開口部から、被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージと
平面視した場合に、長手方向が、スキージの移動方向に対して所定の角度を有するように回転させることが可能で、長手方向がスキージの移動方向に対して所定の角度を有する状態で、スクリーン印刷版上をスキージの移動方向と同軸でかつ逆方向に移動させることにより、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーパと
を具備することを特徴としている。

また、本願発明（請求項５）のスクリーン印刷方法は、
印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクレーパにより展開し、スクリーン印刷版上を所定の方向に移動するスキージにより、スクリーン印刷版に形成された印刷パターンを構成する開口部から被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスクリーン印刷方法において、
スクリーン印刷版上に印刷ペーストを供給する工程と、
スクレーパを、スキージの移動方向と同一方向および直交する方向に移動させて、供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程と、
スキージを所定の方向に移動させて、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、印刷パターンを構成する開口部から被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージング工程と
を具備することを特徴としている。

また、請求項６のスクリーン印刷方法は、請求項５記載のスクリーン印刷方法の構成において、
前記印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程が、
(ａ)第１スクレーパを、前記スキージング工程でスキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させて印刷ペーストを展開する第１スクレーピング工程と、
(ｂ)第２スクレーパを、前記スキージング工程でスキージを移動させる方向と直交する方向に移動させて印刷ペーストを展開する第２スクレーピング工程と
を備えていることを特徴としている。

また、請求項７のスクリーン印刷方法は、請求項５記載のスクリーン印刷方法の構成において、
前記印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程が、
(ａ)平面視した場合に、スキージの移動方向に対して所定の角度αを持たせたスクレーパを、スキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させる工程と、
(ｂ)前記スキージの移動方向に対して、前記角度αとは異なる角度βを持たせたスクレーパを、スキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させる工程と
を交互に行うように構成されていることを特徴としている。

本願発明（請求項１）のスクリーン印刷装置は、スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開する（引き伸ばす）第１スクレーパと、スクリーン印刷版上を、第１スクレーパの移動方向と直交する方向に移動して、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを展開する第２スクレーパとを具備しているので、第１スクレーパにより印刷ペーストを所定の方向に展開させることが可能になるとともに、第２スクレーパにより、第１スクレーパの移動方向と直交する方向に印刷ペーストを展開させることが可能になり、印刷ペーストをスクリーン印刷版のほぼ全域に均一に効率よく展開することが可能になり、その後にスキージにより、印刷ペーストを被印刷物上の所定位置に押し出して印刷することにより、スクリーン印刷版のほぼ全域において、均一で高精度の印刷を効率よく行うことが可能になる。

なお、印刷ペーストのスクリーン印刷版上への供給位置は、通常固定されており、スクレーパによりスクリーン印刷版上に一定の厚みとなるように展開した後、スキージにより印刷ペーストをスキージングすることによりスクリーン印刷が行われるが、印刷ペースト供給位置を固定すると印刷を繰り返すにともない、スキージの長手方向（幅方向）に印刷ペースト粘度の分布が生じ、均一な印刷を行うことが困難になるという問題点がある。また、これを解消するために印刷ペースト吐出位置をシリンダなどで移動させる方式も提案されているが、印刷ペーストの供給位置を移動式にした場合、供給位置の均等化を図ろうとすると、印刷ペーストの供給位置の制御が複雑になるという問題点がある。
これに対し、本願発明によれば、ペースト供給位置の影響を低減することが可能になるとともに、印刷ペーストの粘度の経時変化により生じるスキージの長手方向（幅方向）の印刷ペーストの粘度分布を解消し、均一な印刷を行うことが可能になる。

また、請求項２のスクリーン印刷装置のように、請求項１記載のスクリーン印刷装置の構成において、第１スクレーパを、スキージの移動方向と同軸で逆方向に移動させることにより、スキージングの後に残る印刷ペーストを、印刷開始位置にあるスキージのスキージング方向に向かって前方の領域に集めることが可能になり、印刷ペーストの供給頻度を減らして、連続してスキージング（印刷）を行うことが可能になり、精度の高いスクリーン印刷を効率よく行うことが可能になる。

また、請求項３のスクリーン印刷装置のように、請求項１または２記載のスクリーン印刷装置の構成において、第１スクレーパと第２スクレーパを、スクリーン印刷版上をスクリーン印刷版と接触させることなく、所定の間隔をおいて移動させるとともに、第１スクレーパとスクリーン印刷版との間隔より、第２スクレーパとスクリーン印刷版との間隔が大きくなるようにした場合、第２スクレーパでスクレーピングした後に、第１スクレーパによるスクレーピング代が残るため、例えば、スキージング（印刷）する前に、第１スクレーパでスクレーピングを行い、スキージング後に第２スクレーパでスクレーピングを行った後、再び第１スクレーパによるスクレーピングを行う（すなわち、スキージング（印刷）→第２スクレーパによるスクレーピング→第１スクレーパによるスクレーピングを行う）ようにした場合に、スキージング前に印刷ペーストを所定の位置に集めたり、均一に展開したりすることが可能になり、印刷ペーストの供給頻度が高くなることを抑制して、連続してスキージング（印刷）を行うことが可能になり、効率よく、精度の高いスクリーン印刷を行うことが可能になる。

また、本願発明（請求項４）のスクリーン印刷装置は、平面視した場合に、長手方向がスキージの移動方向に対して所定の角度を有するように回転させることが可能で、長手方向がスキージの移動方向に対して所定の角度を有する状態で、スクリーン印刷版上をスキージの移動方向と同軸でかつ逆方向に移動させることにより、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーパを備えているので、一つのスクレーパで、スキージング前に印刷ペーストを所定の位置に集めたり、均一に展開したりすることが可能になり、印刷ペーストの供給頻度を高くすることなく、印刷ペーストをスクリーン印刷版上に確実に展開することが可能になる。したがって、連続してスキージング（印刷）を行って、効率よく、精度の高いスクリーン印刷を行うことが可能になる。
また、一つのスクレーパで印刷ペーストを効率よく展開することが可能になるため、機構、制御を簡易化することが可能になり、この面からも高速サイクルのスクリーン印刷を行うことが可能になる。

また、本願発明（請求項５）のスクリーン印刷方法は、スクリーン印刷版上に印刷ペーストを供給する工程と、スクレーパを、スキージの移動方向と同一方向および直交する方向に移動させて、供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程と、スキージを所定の方向に移動させて、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、印刷パターンを構成する開口部から、被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージング工程とを備えているので、印刷ペーストをスクリーン印刷版上に均一に展開することが可能になり、その後にスキージにより、印刷ペーストを被印刷物上の所定位置に押し出して印刷することにより、スクリーン印刷版のほぼ全域において、高精度の印刷を効率よく行うことが可能になる。
また、印刷ペーストの供給位置の影響、印刷ペースト粘度経時変化によるスキージ幅方向にできるペースト粘度分布を解消し、均一な印刷を行うことが可能になる。

また、請求項６のスクリーン印刷方法のように、印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程を、(ａ)第１スクレーパを、スキージング工程でスキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させて印刷ペーストを展開する第１スクレーピング工程と、(ｂ)第２スクレーパを、スキージング工程でスキージを移動させる方向と直交する方向に移動させて印刷ペーストを展開する第２スクレーピング工程とを備えた構成とした場合、印刷ペーストをスキージの移動方向の前方（すなわち、印刷開始位置にあるスキージのスキージング方向に向かって前方の領域）に確実に集めることが可能になり、印刷ペーストの供給頻度を減らして、連続してスキージング（印刷）を行うことが可能になり、精度の高いスクリーン印刷を効率よく行うことが可能になる。

また、請求項７のスクリーン印刷方法のように、印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程を、(ａ)平面視した場合に、スキージの移動方向に対して所定の角度αを持たせたスクレーパを、スキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させる工程と、(ｂ)スキージの移動方向に対して、角度αとは異なる角度βを持たせたスクレーパを、スキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させる工程とを交互に行うように構成することにより、一つのスクレーパで、スキージング前に印刷ペーストを所定の位置に集めたり、均一に展開したりすることが可能になり、印刷ペーストの供給頻度を高くすることなく、印刷ペーストをスクリーン印刷版上に確実に展開することが可能になる。したがって、連続してスキージング（印刷）を行って、効率よく、精度の高いスクリーン印刷を行うことが可能になる。
また、一つのスクレーパで印刷ペーストを効率よく展開することが可能になるため、機構、制御を簡易化することが可能になり、この面からも高速サイクルのスクリーン印刷を行うことが可能になる。

以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。

図１は本願発明の一実施例（実施例１）にかかるスクリーン印刷装置の概略構成を示す図である。
このスクリーン印刷装置は、被印刷物であるセラミックグリーンシート６が載置（吸引保持）される印刷テーブル１１と、少なくともスクリーン印刷版２の印刷パターン（印刷図形部分）３を含む領域上を移動することにより、印刷ペースト４をスクリーン印刷版２の印刷パターン（印刷図形部分）３に展開するスクレーパ１と、スクリーン印刷版２に押圧された状態で、印刷パターン３上を移動することにより印刷ペースト４をセラミックグリーンシート６に印刷するスキージ５と、上記スクレーパ１やスキージ５などを制御する制御手段１２を備えている。

そして、この実施例１のスクリーン印刷装置においては、スクレーパ１として、図１および図２に示すように、スクリーン印刷版２上を、スキージ５の移動方向と同軸方向に移動して、スクリーン印刷版２上に供給された印刷ペースト４をスクリーン印刷版２上に展開する第１スクレーパ１（１ａ）と、スクリーン印刷版２上を、第１スクレーパ１ａの移動方向と直交する方向に移動して、スクリーン印刷版２上の印刷ペースト４を展開させる第２スクレーパ１（１ｂ）（図２）とを備えている。

また、この実施例１では、機構が簡潔で、制御面やコスト面で有利なことを考慮して、スキージ５と第１スクレーパ１ａは同一駆動機構（移動ヘッド）７に一定距離をおいて搭載されている。なお、スキージ５と第１スクレーパ１ａを同軸方向に移動できるようにするための構成としては、ボールネジとモーターによる駆動機構などの種々の構成のものを利用することが可能である。ただし、スキージ５と第１スクレーパ１ａを独立して移動できるよう別々の駆動装置を設けることも可能である。

また、スキージ５と第１スクレーパ１ａは独立して上下動することができるように構成されている。独立して上下動させるための構成としては、シリンダやボールネジと、モーターの組み合わせなど、公知の種々の方法を用いることが可能である。

なお、第１スクレーパ１ａは、平板状の構造としてもよいが、スクレーピング時に印刷領域外に印刷ペーストが広がることを防止する見地からは、幅方向両端が進行方向側に突出し、印刷ペーストを囲い込むことができるような形状（例えば、コ字状やＵ字状の形状）にしておくことが好ましい。ただし、両端側の突出部の辺の長さはそれほど大きくする必要はない。

また、スキージ５はゴムなどの弾性体から構成することが望ましい。ただし、金属や樹脂の芯が入ったものを用いることも可能である。また、スキージ５で加圧する際の圧力は例えば、シリンダ圧などにより調整することが可能である。
また、スキージ５とスクリーン印刷版２の上面のなす角度の調節機構を設けることも可能である。

第２スクレーパ１ｂは、図２に示すように、スキージ５および第１スクレーパ１ａの移動方向（Ｘ方向，Ｙ方向）と直交する方向に往復移動させることができるように構成されている。第２スクレーパ１ｂを、第１スクレーパ１ａの移動方向と直交する方向に往復移動させる方法としては、例えば、シリンダやボールネジと、モーターの組み合わせなど、公知の種々の方法を用いることが可能である。

なお、第２スクレーパ１ｂの印刷ペースト掻き取り部にはテーパーを設ける（すなわち、第２スクレーパ１ｂの、移動方向の前方にある印刷ペーストと接する面とスクリーン印刷版２の上面のなす角度が鋭角になるようにテーパーを設ける）ことにより、第２スクレーパ移動時に印刷ペーストをローリングさせることが好ましい。なお、テーパーは第２スクレーパ１ｂが往復移動するように構成されている場合には、第２スクレーパ１ｂの両面にテーパーを持たせた構成とすることが望ましい。ただし、第２スクレーパ１ｂはテーパーを設けない平板状の構成とすることも可能である。

また、第２スクレーパ１ｂは、高さを固定してもよいが、印刷ペーストを印刷領域に戻して、印刷ペーストの供給量を減らす見地からは上下移動できるようにすることが望ましい。
また、第２スクレーパの下死点（スクリーン印刷版２の上面との距離）は第１スクレーパの下死点（スクリーン印刷版２の上面との距離）より高く設定されており、この高さの差が、その後の第１スクレーパ１ａによるスクレーピング工程におけるスクレーピング代となる。なお、この実施例１では第１スクレーパ１ａの下死点：０．５mm、第２スクレーパ２ｂの下死点：１．５mmとした。
なお、第１スクレーパの下死点は０．５〜１mmの範囲、第２スクレーパの下死点は１〜２mmの範囲とすることが好ましい。

また、印刷ペースト４の供給位置（すなわち、ディスペンサの供給口（図示せず）の位置）は、スキージ５の長手方向（幅方向）の所定の位置（実施例１ではスキージ幅方向中央１箇所および左右の２箇所の合計３箇所）に固定した。なお、印刷ペースト４の供給位置は１箇所とすることも可能である。
また、この実施例１のスクリーン印刷装置においては、スクリーン印刷の印刷ショット数が５〜１０ショットに達するごとに、自動的にスキージ５（および第１スクレーパ１ａ）の前方に印刷ペースト４（例えば、一回の印刷ペーストの供給量は１〜３ｃｃ程度）を供給するようにした。
なお、手動で任意のタイミングで印刷ペーストを供給するように構成することも可能である。

次に、上記スクリーン印刷装置を用いて、セラミックグリーンシートに印刷ペースト（内部電極形成用の導電ペースト）を印刷する方法について、図１〜図３を参照しつつ説明する。

(１)まず、印刷テーブル１１にセラミックグリーンシート６を吸引固定するとともに、スクリーン印刷版２、スキージ５、第１スクレーパ１ａ、第２スクレーパ１ｂを所定の位置にセットする。
なお、この実施例１では、スクリーン印刷版２とセラミックグリーンシート６の間に０．５mm〜５．０mmの隙間が形成されるようにスクリーン印刷版２をセットするようにした。

(２)それから、図２に示すように、スキージング終了位置にスキージ５がある状態（スキージ５が上死点、第２スクレーパ１ｂが下死点位置にある状態）で、印刷ペースト４の適量をスキージ５と第１スクレーパ１ａの間に初期供給する。

(３)それから、下死点位置にある第２スクレーパ１ｂを、図２に示すように、スキージ５の端部Ａ側から端部Ｂ側に向かって移動させることにより印刷ペーストを掻き集める。

(４)それから、掻き集めた印刷ペーストに接触しないように、第２スクレーパ１ｂを上死点位置に上昇させた後、さらに端部Ｂ側に移動させ、その後、第２スクレーパ１ｂを下死点位置に下降させる。

(５)次に、スキージ５の端部Ｂ側から端部Ａ側まで、下死点位置にある第２スクレーパ１ｂを移動させる。それから、掻き集めた印刷ペーストに接触しないように、第２スクレーパ１ｂを上死点位置に上昇させた後、さらに端部Ａ側に移動させた後、第２スクレーパ１ｂを下死点位置に下降させる。
そして、上記(３)〜(５)を繰り返してスキージ幅方向に均一に印刷ペースト４を展開する。

なお、この実施例１では、第２スクレーパ１ｂの移動距離をスキージ５の幅（長手方向の長さ）よりも長くする一方、第１スクレーパ１ａの長さよりも短くした。これは、スキージ５の幅方向全域で印刷ペースト４の展開の均一化を図るとともに、第１スクレーパ１ａのスクレーピング領域の外側へ印刷ペーストをはみ出させないようにすることにより、印刷に寄与しない無駄な印刷ペーストの量を減らすためである。

また、第２スクレーパ１ｂを移動させるにあたっては、スキージ５の長手方向の片道のみを移動させてもよく、また、往復動させてもよい。さらには、スキージ５の長手方向の端部まで移動させる途中で上死点に上昇させることも可能である。すなわち、第２スクレーパ１ｂは、スキージ５の長手方向に印刷ペーストを移動させて、第１スクレーパ１ａによるスクレーピングを効果的に行うことができればよいので、それが可能である限りにおいて、その動作態様に特別の制約はない。

また、スキージ５の一方端側から他方瑞側まで、第２スクレーパ１ｂを移動させることにより掻き集めた印刷ペーストを越えるように、第２スクレーパ１ｂを上下に移動させることが好ましいが、第２スクレーパ１ｂを下死点に固定するようにした場合にも、本願発明の基本的な効果を得ることは可能である。

(６)それから、図１に示すように、下死点位置にある第１スクレーパ１ａを、Ｘ方向（スキージング開始位置方向）に移動させる。このとき、スキージ５は、上死点位置にある状態で、スキージング開始位置に移動する。

(７)そして、第１スクレーパ１ａを上死点位置に上昇させた後、スキージ５を下降させて所定の印圧をかける（図３）。

(８)それから、図３に示すように、スキージ５をＹ方向に移動させてスキージングすることにより印刷を行った後、スキージ５を上死点位置に上昇させる。
なお、図３では、理解を容易にするために、スクリーン印刷版２と、被印刷物であるセラミックグリーンシート６の間隔を大きくしているが、通常、スクリーン印刷版２は、被印刷物であるセラミックグリーンシート６との間に２mm程度の間隔をおいてセットされる。そして、印刷時にスキージ５をスクリーン印刷版２に押圧して移動させる際に、スクリーン印刷版２が２mm程度たわんで、その下面がセラミックグリーンシート６に接触することにより印刷が行われる。

(９)次に、セラミックグリーンシート６を取り出し、次のセラミックグリーンシート６をセットする。

(10)そして、第１スクレーパ１ａを下死点位置に下降させるとともに、スキージ５と第１スクレーパ１ａの間に位置する第２スクレーパ１ｂを下死点位置にして、スキージ５の一方の端部（例えば端部Ｂ側）から、他方の端部（例えば端部Ａ側）まで移動させる。なお、上記(９)のセラミックグリーンシート６の入れ替えは、この第２スクレーパ１ｂのスクレーピング中に行うことも可能である。

(11)その後、(６)〜(９)を繰り返し、スクリーン印刷を行う。
上記の方法によれば、印刷ペーストを効率よくスクリーン印刷版上に展開して、印刷ペースト供給位置の影響や、印刷ペースト粘度経時変化によるスキージ幅方向にできるペースト粘度分布を解消し、均一で高精度のスクリーン印刷を行うことが可能になる。また、印刷ペーストがスキージの進行方向の前方に集められるので、印刷ペーストの供給頻度を低減することが可能になり、印刷ペースト供給の間隔を大きくして、連続印刷を行うことが可能になる。

図４および図５は、本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるスクリーン印刷装置の要部構成を示す図である。
上記実施例１では、スクレーパとして、第１スクレーパと第２スクレーパの２つのスクレーパを用いる場合を例にとって説明したが、この実施例２のスクリーン印刷装置においては、図５に示すように、平面視した場合に、長手方向の中央部を回転中心として任意の角度だけ往復回転させることができるように構成された一つのスクレーパ（回転スクレーパ）１を用いている。

この実施例２のスクリーン印刷装置においても、スクレーパ（回転スクレーパ）１は、機構が簡潔になること、制御面やコスト面で有利なことを考慮して、一定距離をおいてスキージ５と同一駆動機構（移動ヘッド）７に搭載されている。なお、スキージ５とスクレーパ（回転スクレーパ）１を同軸方向に移動できるようにするための構成としては、ボールネジとモーターによる駆動機構などの種々の構成のものを利用することが可能である。ただし、スキージ５とスクレーパ（回転スクレーパ）１を独立して移動できるよう別々の駆動装置を設けることも可能である。

スクレーパ（回転スクレーパ）１は、平面視した場合に、長手方向の中央部を回転の中心として任意の角度だけ往復回転させることができるように構成されている。
なお、スクレーパ（回転スクレーパ）１を回転させるための機構としては、ロータリーアクチュエータや、モータとギアを組み合わせた構成のものなどが例示されるが、スクレーパ（回転スクレーパ）１を回転させるための構成に特別の制約はなく、その他の種々の機構を適用することが可能である。
実施例２のスクリーン印刷装置のその他の構成は上記実施例１のスクリーン印刷装置の場合と同様であることから、重複を避けるため、ここでは説明を省略する。なお、図４において、図１と同一の符号を付した部分は同一または相当する部分を示している。

次に、このスクリーン印刷装置を用いて、セラミックグリーンシートに印刷ペースト（内部電極形成用の導電ペースト）を印刷する方法について図４〜図６を参照しつつ説明する。

(１)まず、図４に示すように、印刷テーブル１１にセラミックグリーンシート６を吸引固定するとともに、スクリーン印刷版２、スキージ５、スクレーパ（回転スクレーパ）１を所定の位置にセットする。

(２)それから、図４に示すように、スキージング終了位置にスキージ５がある状態（スキージ５が上死点、スクレーパ１が下死点位置にあり、かつ、スキージ５に対して平行（すなわち、スキージ５の長手方向に対して角度０°）の状態）で、印刷ペースト４の適量をスキージ５と回転スクレーパ１の間に初期供給する。

(３)それから、スクレーパ１を下死点位置にして、図４に示すように、スクレーピング方向（スキージング開始位置方向（図４のＸ方向）に移動させる。

(４)次いで、スクレーパ１を上死点位置に上昇させた後、スキージ５を下降させて所定の印圧をかける（図６）。

(５)それから、図６に示すように、スキージ５をＹ方向に移動させてスキージングすることにより印刷を行った後、スキージ５を上死点位置に上昇させる。

(６)次に、セラミックグリーンシート６を取り出し、次のセラミックグリーンシート６をセットする。

(７)それから、スクレーパ１を下死点位置に下降させ、スキージ５の長手方向に対して角度１５〜４５゜の角度を持たせた状態で、スクレーピング方向（スキージ開始位置方向）に移動させる。なお、上記(６)のセラミックグリーンシート６の入れ替えは、このスクレーパ１のスクレーピング中に行うことも可能である。

(８)上記(４)〜(７)を繰り返す。なお、繰り返す際に、各繰り返しごとに上記(７)の工程におけるスクレーパ１の角度を前回の角度と異なる角度としてスクレーピングを行う。

この実施例２の方法によれば、一つのスクレーパで、スキージング前に印刷ペーストを所定の位置に集めたり、均一に展開したりすることが可能になり、印刷ペーストの供給頻度が高くなることを抑制して、連続してスキージング（印刷）を行うことが可能になり、効率よく、精度の高いスクリーン印刷を行うことができる。

なお、本願発明は上記実施例に限定されるものではなく、スキージおよびスクレーパの具体的な形状や材質、スクレーパを回転させる際の角度、スクリーン印刷版の具体的な構成、具体的な印刷パターンなどに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

上述のように、本願発明のスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置によれば、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを均一に展開させることが可能になり、ペースト供給位置の影響を低減させるとともに、印刷ペーストの粘度の経時変化によるスキージの長手方向（幅方向）に生じる印刷ペーストの粘度分布を解消して、均一で高精度のスクリーン印刷を効率よく行うことが可能になる。
したがって、本願発明は、積層セラミック電子部品の製造工程において、積層されるセラミックグリーンシートに内部電極を印刷するような場合に、広く用いることが可能である。

本願発明の一実施例（実施例１）にかかるスクリーン印刷装置の要部を示す図であって、印刷ペーストの展開工程を実施している状態を示す図である。 本願発明の実施例１のスクリーン印刷装置において用いられている第１スクレーパ，第２スクレーパ、スキージなどの配設態様を示す平面図である。 本願発明の実施例１のスクリーン印刷装置の要部を示す図であって、印刷ペーストを印刷している状態を示す図である。 本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるスクリーン印刷装置の要部を示す図であって、印刷ペーストの展開工程を実施している状態を示す図である。 本願発明の実施例２のスクリーン印刷装置において用いられているスクレーパ（回転スクレーパ）、スキージなどの配設態様を示す平面図である。 本願発明の実施例２のスクリーン印刷装置の要部を示す図であって、印刷ペーストを印刷している状態を示す図である。 (ａ)，(ｂ)は従来のスクリーン印刷方法を説明する図である。 (ａ)，(ｂ)，(ｃ)は従来の他のスクリーン印刷装置の一例を示す図である。 従来の他のスクリーン印刷方法を説明する図である。 従来のさらに他のスクリーン印刷方法を説明する図である。

符号の説明

１ スクレーパ
１（１ａ） 第１スクレーパ
１（１ｂ） 第２スクレーパ
２ スクリーン印刷版
３ 印刷パターン（印刷図形部分）
４ 印刷ペースト
５ スキージ
６ セラミックグリーンシート
７ 同一駆動機構（移動ヘッド）
１１ 印刷テーブル
１２ 制御手段
Ａ、Ｂ スキージの端部

Claims (7)

1. 被印刷物が載置される印刷テーブルと、
   印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版と、
   スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、スクリーン印刷版に形成された前記印刷パターンを構成する開口部から被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージと、
   スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開する第１スクレーパと、
   スクリーン印刷版上を、前記第１スクレーパの移動方向と直交する方向に移動して、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを展開する第２スクレーパと、
   を具備することを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. 前記第１スクレーパが、前記スキージの移動方向と同軸で逆方向に移動して、スクリーン印刷版上の印刷ペーストを展開するように構成されていることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
3. 前記第１スクレーパと前記第２スクレーパが、前記スクリーン印刷版上をスクリーン印刷版と接触することなく、所定の間隔をおいて移動するように構成されており、かつ、前記第１スクレーパと前記スクリーン印刷版との間隔より、前記第２スクレーパと前記スクリーン印刷版との間隔が大きくなるように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のスクリーン印刷装置。
4. 被印刷物が載置される印刷テーブルと、
   印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版と、
   スクリーン印刷版上を一軸方向に移動して、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、スクリーン印刷版に形成された前記印刷パターンを構成する開口部から、被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージと
   平面視した場合に、長手方向がスキージの移動方向に対して所定の角度を有するように回転させることが可能で、長手方向がスキージの移動方向に対して所定の角度を有する状態で、スクリーン印刷版上をスキージの移動方向と同軸でかつ逆方向に移動させることにより、スクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーパと
   を具備することを特徴とするスクリーン印刷装置。
5. 印刷すべき図形パターンに対応する印刷パターンが形成されたスクリーン印刷版上に供給された印刷ペーストをスクレーパにより展開し、スクリーン印刷版上を所定の方向に移動するスキージにより、スクリーン印刷版に形成された印刷パターンを構成する開口部から被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスクリーン印刷方法において、
   スクリーン印刷版上に印刷ペーストを供給する工程と、
   スクレーパを、スキージの移動方向と同一方向および直交する方向に移動させて、供給された印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程と、
   スキージを所定の方向に移動させて、スクリーン印刷版上に展開された印刷ペーストを、印刷パターンを構成する開口部から被印刷物上の所定位置に押し出して印刷するスキージング工程と
   を具備することを特徴とするスクリーン印刷方法。
6. 前記印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程が、
   (ａ)第１スクレーパを、前記スキージング工程でスキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させて印刷ペーストを展開する第１スクレーピング工程と、
   (ｂ)第２スクレーパを、前記スキージング工程でスキージを移動させる方向と直交する方向に移動させて印刷ペーストを展開する第２スクレーピング工程と
   を備えていることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷方法。
7. 前記印刷ペーストをスクリーン印刷版上に展開するスクレーピング工程が、
   (ａ)平面視した場合に、スキージの移動方向に対して所定の角度αを持たせたスクレーパを、スキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させる工程と、
   (ｂ)前記スキージの移動方向に対して、前記角度αとは異なる角度βを持たせたスクレーパを、スキージを移動させる方向と同軸でかつ逆方向に移動させる工程と
   を交互に行うように構成されていることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷方法。

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