JP2005081685A - プラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、スクリーン版印刷方法及び印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 所望の導電層あるいは絶縁層をスクリーン版印刷技術により形成する場合に、スクリーン版上に印刷に寄与しない余分のペーストを堆積させない。
【解決手段】 開示されるスクリーン版印刷装置１０は、矩形枠状のスクリーン版枠１と、スクリーン版枠１の内側に配置された網状のスクリーン版２と、スクリーン版２上に供給されたペーストを一定の厚さに均らすためのペースト戻し動作を行うスクレッパ４と、一定の厚さのペーストを圧接してスクリーン版２を通じて被印刷物９上に印刷するための印刷動作を行うスキージ３とを備える構成において、スクレッパ４によるペースト戻し動作あるいはスキージ３による印刷動作の動作範囲の領域からはみ出したペースト８ａを、ペースト戻し動作あるいは印刷動作の動作範囲の領域内に戻すためのペーストかき寄せ手段６を設ける。
【選択図】図１

Description

この発明は、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel:以下、ＰＤＰとも称する）の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、スクリーン版印刷方法及び印刷装置に係り、詳しくは、所望の導電層あるいは絶縁層をスクリーン版印刷技術により形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、スクリーン版印刷方法及び印刷装置に関する。

一般に、ＰＤＰを主要部として構成されているプラズマ表示装置は、従来から広く用いられているＣＲＴ(Cathode Ray Tube:陰極線管)、あるいはＬＣＤ(Liquid Crystal Device:液晶表示装置)等の表示装置と比較して、ちらつきが少なく表示コントラスト比が大きいこと、薄型で大画面が可能であること、応答速度が速いこと等の多くの利点を有しているので、近年コンピュータのような情報処理機器の表示装置として利用されてる。

このプラズマ表示装置は、動作方式により、電極が誘電体層で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものとに略大別されるが、特に前者は比較的簡単な構造で上述したような大画面化が容易に実現できるので広く用いられている。そのようなＡＣ型プラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰは、ガラス等の透明材料から成る前面基板（第１の基板）と背面基板（第２の基板）とが対向するように配置されて、両基板間にプラズマを発生させる放電ガス空間が形成される基本的な構成を有している。

また、ＡＣ型プラズマ表示装置の中でも、ＰＤＰの放電セル（以下、単にセルとも称する）を形成する上述したような一対の基板の内の一方の基板である前面基板の内面に、水平方向（行方向）に沿って互いに平行に走査電極と維持電極（共通電極）とから成る一対の行電極を配置すると共に、他方の基板である背面基板の内面に、上記行電極と直交するように垂直方向（列方向）に沿ってデータ電極（アドレス電極）から成る列電極を配置した３電極面放電型の構成のものは、前面基板における面放電時に発生する高エネルギのイオンによる影響を抑えることができるので、長寿命化が図れるため最も広く採用されている。

上述の３電極面放電型のＡＣ型プラズマ表示装置（以下、プラズマ表示装置と称する）は、背面基板のデータ電極と前面基板の走査電極との間で表示（発光）すべきセルを選択する書き込み放電を行い、続いて前面基板の走査電極と維持電極との間で選択したセルの面放電による維持放電（表示放電）を行うように構成されている。また、そのようなＰＤＰにおいて、背面基板の内面に赤色、緑色及び青色の各蛍光体層を配置するように構成して多色発光を可能にしたカラープラズマディスプレイ装置が提供されている。

上述のプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰは、図９に示すように、前面基板１０１と、背面基板１０２とが対向するように配置されて、両基板１０１、１０２間に放電ガス空間１０３が形成される基本的な構成を有している。
ここで、前面基板１０１は、ガラス等の透明材料から成る第１の絶縁基板１０４と、第１の絶縁基板１０４の内面に行方向に沿って互いに平行に形成されたＩＴＯ(Indium Tin Oxide)等の透明電極１０５Ａ、１０６Ａ及びこれら透明電極１０５Ａ、１０６Ａの一部にそれぞれ抵抗を小さくするために形成されたＡｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）等のバス電極（トレース電極）１０５Ｂ、１０６Ｂから成る走査電極１０５及び維持電極（共通電極）１０６と、走査電極１０５及び維持電極１０６を被覆するＰｂＯ（酸化鉛）のような低融点ガラス等から成る透明誘電体層１０７と、透明誘電体層１０７を放電から保護するＭｇＯ（酸化マグネシウム）から成る保護膜１０８とを備えている。

一方、背面基板１０２は、ガラス等の透明材料から成る第２の絶縁基板１１１と、第２の絶縁基板１１１の内面に列方向に沿って形成されたＡｌ、Ｃｕ、Ａｇ等から成るデータ電極（アドレス電極）１１２と、データ電極１１２を覆う白色誘電体層１１３と、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上述放電ガス空間１０３を確保するとともに、個々の放電セルを区切るために垂直方向に沿って形成された低融点ガラス等から成る隔壁（リブ）１１４と、隔壁１１４の底面及び壁面を覆う位置に形成された放電用ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層に塗り分けられた蛍光体層１１５とを備えている。なお、図９においては便宜上、走査電極１０５及び維持電極１０６とデータ電極１１２とは同一方向に配置されているように示したが、実際には前述したように、走査電極１０５及び維持電極１０６とデータ電極１１３とは互いに直交する方向に延在して配置されている。

ここで、上述したような構成のプラズマ表示装置を製造するには、前面基板１０１においては、バス電極１０５Ｂ、１０６Ｂ、透明誘電体層１０７等を、また背面基板１０２においては、隔壁１１４、蛍光体層１１５等の各導電層あるいは絶縁層を、スクリーン版印刷装置を用いてスクリーン版印刷法により形成することが一般に行われている。このように、プラズマ表示装置を製造するには、スクリーン版印刷装置を用いたスクリーン版印刷法が欠かせない技術となっている。

次に、図１０及び図１１を参照して、従来のスクリーン版印刷装置を用いたスクリーン版印刷法を工程順に説明する。なお、図１０及び図１１において、（ａ）〜（ｅ）はスクリーン版印刷時の概略構成を示す上面図、（Ａ）〜（Ｅ）は（ａ）〜（ｅ）に対応した概略構成を示す側面図である。
まず、図１０（ａ）及び（Ａ）に示すように、スクリーン版印刷装置５０を用意する。従来のスクリーン版印刷装置５０は、矩形枠状のスクリーン版枠５１と、スクリーン版枠５１の内側に配置された網状のスクリーン版５２と、スクリーン版枠５２上を印刷方向Ｐに沿って移動可能でスキージ５３とスクレッパ５４とが．一体化された印刷ユニット５５とから構成されている。ここで、スクレッパ５４はスクリーン版５２上に供給されたペーストを一定の厚さに均す役割を担い、またスキージ５３は一定の厚さのペーストを圧接して被印刷物上に印刷する役割を担っている。そして、スクリーン版印刷装置５０を被印刷物５６（前述の前面基板１０１あるいは背面基板１０２等）上に配置し、図示しないペースト供給手段により、導電材料あるいは絶縁材料を含んだペースト５７をスクリーン版５２上に塊状に供給した後、印刷ユニット５５を例えば右側端部（印刷終了位置Ｅ）に位置させる。次に、スクレッパ５４をペースト５７に接する高さまで下降させた後、スクレッパ５４を図示右側端部から、図１０（ｂ）及び（Ｂ）に示すように、図示左側端部の印刷開始位置Ｓまで移動させてペースト戻し動作を行って、スクリーン版５２上に一定の厚さのペースト５７ａをコートする。

次に、図１０（ｃ）及び（Ｃ）に示すように、スクレッパ５４を上昇させる一方、スキージ５３をペースト５７ａに接する高さまで下降させた後、図１１（ｄ）及び（Ｄ）に示すように、スキージ５３をペースト５７ａを圧接しながら印刷終了位置Ｅまで移動させて、ペースト５７ａをスクリーン版５２を通じて被印刷物５６上に印刷する。次に、図１１（ｅ）及び（Ｅ）に示すように、スキージ５３を上昇させた後、スクリーン版５２上に新たなペースト５７を供給する。以下、図１０（ａ）及び（Ａ）の工程に戻って同様な動作を繰り返すことにより、連続してペーストの印刷作業を行う。

ところで、上述のようなペーストの連続印刷を行う場合、スクレッパ５４によるペースト戻し動作及びスキージ５３による印刷動作の動作範囲からはみ出したペースト５７ｂは、図１０（ｂ）及び（Ｂ）〜図１１（ｅ）及び（Ｅ）に示すように、スキージ５３の印刷開始位置Ｓや印刷終了位置Ｅに多く堆積するようになる。すなわち、ペースト５７は、上述のようなペースト戻し動作時及び印刷動作時にスキージ５３及びスクレッパ５４の動作に伴って移動し、かつスキージ５３及びスクレッパ５４の動作方向（印刷方向Ｐ）の両側に広がることにより、あるいはスキージ５３及びスクレッパ５４の動作により押されてその慣性力によって動作方向に流れ広がる等が原因で、はみ出したペースト５７ｂが生ずる。ここで、印刷ユニット５５のスキージ５３とスクレッパ５４との先端部間の距離は１００〜１５０ｍｍに設定され、この距離を越えて上述のような慣性力によって動作方向に流れ広がったものが、印刷に寄与しないペースト５７ｂとなる。

このように印刷に寄与しないペースト５７ｂが印刷動作の繰り返しにより徐々にスクリーン版５２上に堆積してくると、スクリーン版５２のテンションバランスが崩れてくるので、印刷ズレや印刷膜厚ムラが発生する原因となる。また、スクリーン版５２上に供給するペースト５７は、印刷により消費される量に加えて、印刷に寄与しないペースト５７ｂの量も供給することになるので、供給量が増加する原因となる。したがって、通常は、印刷に寄与しないペースト５７ｂを、人手によりペーストヘラ等を用いて回収するか、印刷終了位置Ｅに戻す作業を行っている。しかしながら、これらの作業は効率が悪いので、印刷に寄与しない余分のペースト５７ｂをスクリーン版５２上に堆積させないようにする根本的な改善策が望まれている。

そのような印刷に寄与しない余分なペーストを容易に回収するようにしたスクリーン印刷機のインク回収装置（ペースト回収装置）が、例えば特許文献１に開示されている。同ペースト回収装置は、図１２に示すように、矩形枠状のスキージ取付フレーム１２１と、スキージ取付フレーム１２１の内側に配置された矩形の版枠１２２と、版枠１２２の下部に張設されたスクリーン１２３と、スキージ取付フレーム１２１にスクリーン１２３上を摺動するように設けられたスキージ１２４とから構成され、版枠１２２は中空のパイプ材１２２ａ〜１２２ｄから成り、スキージ１２４の移動方向Ｓ両側のパイプ材１２２ａ、１２２ｃの枠内側面にはスクリーン版１２３の上面近傍に開口する複数のペースト吸引孔１２２Ａが形成されている。そして、ペースト吸引孔１２２Ａを各パイプ材１２２ａ〜１２２ｄの内部、継手管１２５等を介してペースト吸引器１２６に連絡することにより、スクリーン１２３上の余分のペーストを吸引することにより、回収するようにしている。
特開平７−２０５４０１号公報

ところで、特許文献１記載の従来のペースト回収装置では、印刷に寄与しない余分のペーストを回収することができるものの、余分のペーストをスクリーン版上に堆積させないようにすることができない、という問題がある。
すなわち、図１２に示した従来のペースト回収装置では、版枠１２２を構成しているスキージ１２４の移動方向Ｓ両側のパイプ材１２２ａ、１２２ｃの枠内側面に形成したペースト吸引孔１２２Ａを利用して、ペースト吸引器１２６の吸引力によりスクリーン１２３上の余分のペーストを吸引するようにしているが、単に余分のペーストを回収するだけなので、印刷に寄与しない余分のペーストを堆積させないという根本的な改善策にはならない。

この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、所望の導電層あるいは絶縁層をスクリーン版印刷技術により形成する場合に、スクリーン版上に印刷に寄与しない余分のペーストを堆積させないことができるようにしたプラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、スクリーン版印刷方法及び印刷装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、矩形枠状のスクリーン版枠と、該スクリーン版枠の内側に配置された網状のスクリーン版と、該スクリーン版上に供給されたペーストを一定の厚さに均らすためのペースト戻し動作を行うスクレッパと、該一定の厚さのペーストを圧接して上記スクリーン版を通じて被印刷物上に印刷するための印刷動作を行うスキージとを備えるスクリーン版印刷装置に係り、上記スクレッパによる上記ペースト戻し動作あるいは上記スキージによる上記印刷動作の動作範囲の領域からはみ出したペーストを、上記ペースト戻し動作あるいは上記印刷動作の動作範囲の領域内に戻すためのペーストかき寄せ手段を設けたことを特徴としている。

また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のスクリーン版印刷装置に係り、上記スクレッパは、上記スクリーン版上の印刷終了位置から印刷開始位置に向かって上記ペースト戻し動作を行う一方、上記スキージは、上記スクリーン版上の印刷開始位置から印刷終了位置に向かって上記印刷動作を行うことを特徴としている。

また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のスクリーン版印刷装置に係り、上記スクレッパの上記ペースト戻し動作の方向と直交する幅寸法が、上記スキージの上記印刷動作の方向と直交する幅寸法よりも大きいことを特徴としている。

また、請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載のスクリーン版印刷装置に係り、上記ペーストかき寄せ手段を、上記印刷開始位置の近傍に設けることを特徴としている。

また、請求項５記載の発明は、請求項２、３又は４記載のスクリーン版印刷装置に係り、上記スクレッパによる上記ペースト戻し動作の開始位置を、上記スキージの上記印刷終了位置から外側に最大で略２００ｍｍだけ隔てた位置に設定することを特徴としている。

また、請求項６記載の発明は、請求項２乃至５のいずれか１に記載のスクリーン版印刷装置に係り、上記スキージによる上記印刷動作の開始位置を、上記スクレッパの上記ペースト戻し動作の終了位置から外側に最大で略２００ｍｍだけ隔てた位置に設定することを特徴としている。

また、請求項７記載の発明は、スクリーン版印刷方法に係り、請求項１乃至６のいずれか１に記載のスクリーン版印刷装置を用いて、被印刷物上に所望の導電層あるいは絶縁層を形成することを特徴としている。

また、請求項８記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、請求項１乃至６のいずれか１に記載のスクリーン版印刷装置を用いて、互いに平行に走査電極と維持電極とから成る行電極が内面に配置された前面基板上に、あるいは上記行電極と直交するデータ電極から成る列電極が内面に配置された背面基板上に所望の導電層あるいは絶縁層を形成することを特徴としている。

また、請求項９記載の発明は、プラズマ表示装置の製造方法に係り、請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに上記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォマット変換を行い、上記モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを備えることを特徴としている。

この発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、スクリーン版印刷方法及び印刷装置によれば、スクレッパによるペースト戻し動作あるいはスキージによる印刷動作の動作範囲の領域からはみ出したペーストを、ペースト戻し動作あるいは印刷動作の動作範囲の領域内に戻すようにしたので、所望の導電層あるいは絶縁層をスクリーン版印刷技術により形成する場合に、スクリーン版上に印刷に寄与しない余分のペーストを堆積させないことができる。

矩形枠状のスクリーン版枠と、スクリーン版枠の内側に配置された網状のスクリーン版と、スクリーン版上に供給されたペーストを一定の厚さに均らすためのペースト戻し動作を行うスクレッパと、一定の厚さのペーストを圧接してスクリーン版を通じて被印刷物上に印刷するための印刷動作を行うスキージとを備えるスクリーン版印刷装置において、スクレッパによるペースト戻し動作あるいはスキージによる印刷動作の動作範囲の領域からはみ出したペーストを、ペースト戻し動作あるいは印刷動作の動作範囲の領域内に戻すためのペーストかき寄せ手段を設ける。

図１は、この発明の実施例１であるスクリーン版印刷装置の概略構成を示す上面図、図２及び図３は同スクリーン版印刷装置を用いた第１のスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図、図４及び図５は同スクリーン版印刷装置を用いた第２のスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。
この例のスクリーン版印刷装置１０は、図１に示すように、矩形枠状のスクリーン版枠１と、スクリーン版枠１の内側に配置された絶縁材料、金属材料等から成る網状のスクリーン版２と、スクリーン版２上を印刷方向Ｐに沿って移動可能でスキージ３とスクレッパ４とが一体化された印刷ユニット５と、スクリーン版２上の印刷開始位置Ｓの近傍に配置され、スクリーン版２上に堆積された印刷に寄与しない余分のペーストをかき寄せるペーストかき寄せ機構（ペーストかき寄せ手段）６と、ペーストかき寄せ機構６の動作を制御する制御部７とから構成されている。ここで、スクレッパ４はスクリーン版２上に供給されたペーストを一定の厚さに均す役割を担い、またスキージ３は一定の厚さのペーストを圧接して被印刷物上に印刷する役割を担っている。

上述の印刷ユニット５を構成しているスキージ３とスクレッパ４との先端部間の距離は１００〜１５０ｍｍに設定され、スクリーン版印刷装置１０を被印刷物上に配置し、印刷ユニット５を印刷終了位置Ｅに位置させた状態で、予めスクリーン版２上に供給されたペースト８をスクレッパ４により一定の厚さに均すように構成されている。また、印刷ユニット５を印刷開始位置Ｓに位置させた状態で、スキージ３により一定の厚さのペースト８を印刷方向Ｐに沿って圧接することによって、スクリーン版２を通じて被印刷物上に印刷するように構成されている。

この例では、印刷方向Ｐに直交するスクレッパ４の幅寸法はスキージ３のそれよりも大きくなるように選ばれている。これによって、ペーストの連続印刷を行う場合、印刷方向Ｐに沿ったスクレッパ４によるペースト戻し動作により、印刷方向Ｐの両側にペーストが拡がるのを防止している。このペースト戻し動作により、印刷に寄与しない余分のペーストは、印刷開始位置Ｓの近傍にのみ点在されるように堆積することになる。しかしながら、堆積したこれらのペーストは、後述するようにペーストかき寄せ機構６の作用により、印刷開始位置Ｓの近傍のスクリーン版２の中央部にかき寄せられて、印刷に寄与するペーストとして用いられるようになる。

ペーストかき寄せ機構６は、一対のかき寄せ片６ａ、６ｂを有し、スキージ３による印刷動作終了後に、制御部７の制御に基づいて一対のかき寄せ片６ａ、６ｂが矢印で示すように、互いに接近する方向（印刷方向Ｐと直交する方向）に移動する。この結果、上述のように印刷開始位置Ｓの近傍のスクリーン版２の中央部にかき寄せられることになる。

また、印刷開始位置Ｓまで移動してペースト戻し動作を行うスクレッパ４の戻し動作の開始位置は、スキージ３の印刷終了位置Ｅから外側に１５０〜２００ｍｍだけ隔てた位置に設定可能に構成される。同様にして、印刷動作を行うスキージ３の印刷動作の開始位置は、スクレッパ４のペースト戻しの終了位置（すなわち、印刷開始位置Ｓ）から外側に１５０〜２００ｍｍだけ隔てた位置に設定可能に構成される。これら戻し動作開始位置及び印刷動作開始位置をそれぞれ外側に隔てさせるのは、印刷終了位置Ｅ及び印刷開始位置Ｓよりも外側に流れだしたペーストを確実に印刷に寄与するペーストとして用いるための配慮である。これは特に粘度が低いペーストに適用して効果的となる。そして、特に上記の範囲だけスクレッパ４によるペースト戻し動作の開始位置を、あるいはスキージ３による印刷動作の開始位置を隔てて外側に設定することにより、ほとんどのサイズの被印刷物に対して印刷に寄与しない余分のペーストの発生を避けることができる。

次に、図２及び図３を参照して、同スクリーン版印刷装置を用いた第１のスクリーン版印刷方法を工程順に説明する。なお、図２及び図３において、（ａ）〜（ｆ）はスクリーン版印刷時の概略構成を示す上面図、（Ａ）〜（Ｆ）は（ａ）〜（ｆ）に対応した概略構成を示す側面図である。なお、この印刷方法では、粘度として５０Pa・s(Pascal・second)のペーストを用いる例で説明する。
まず、図２（ａ）及び（Ａ）に示すように、スクリーン版印刷装置１０を用いて、被印刷物９（前述の前面基板１０１あるいは背面基板１０２等）上に配置し、図示しないペースト供給手段により、導電材料あるいは絶縁材料を含んだペースト８をスクリーン版２上に塊状に供給した後、印刷ユニット５を右側端部（印刷終了位置Ｅ）に位置させる。次に、スクレッパ４をペースト８に接する高さまで下降させた後、スクレッパ４を印刷終了位置Ｅから、図２（ｂ）及び（Ｂ）に示すように、図示左側端部の印刷開始位置Ｓまで移動させてペースト戻し動作を行って、スクリーン版２上に一定の厚さのペースト８ａをコートする。このとき、スクレッパ４の幅寸法はスキージ３よりも大きく選ばれているので、スクレッパ４によるペースト戻し動作後には、従来のように印刷終了位置Ｅの近傍にはみ出したペーストは生じない。

次に、図２（ｃ）及び（Ｃ）に示すように、スクレッパ４を上昇させる一方、スキージ３をペースト８ａに接する高さまで下降させた後、図３（ｄ）及び（Ｄ）に示すように、スキージ３をペースト８ａを４０Ｋｇの圧力で圧接しながら印刷終了位置Ｅまで移動させて、ペースト８ａをスクリーン版２を通じて被印刷物９上に印刷する。このとき、印刷開始位置Ｓの近傍にはスクレッパ４の幅寸法とスキージ３の幅寸法との差に相当した領域に、余分のペースト８ｂが堆積する。

次に、図３（ｅ）及び（Ｅ）に示すように、スキージ３を上昇させた後、制御部７による制御の基にペーストかき寄せ機構６を構成している一対のかき寄せ片６ａ、６ｂを互いに接近する方向に移動させる。この結果、堆積している余分のペースト８ａは、印刷開始位置Ｓの近傍のスクリーン版２の中央部にかき寄せられることになる。余分のペースト８ａがかき寄せられたこの領域は、スキージ３によりカバーされる領域となる。この後、図３（ｆ）及び（Ｆ）に示すように、一対のかき寄せ片６ａ、６ｂは制御部７により基の位置に戻される。以下、図２（ａ）及び（Ａ）の工程に戻って同様な動作を繰り返すことにより、連続してペーストの印刷作業を行う。図３（ｅ）及び（Ｅ）の工程でかき寄せられた余分のペースト８ｂは、次に印刷動作で印刷に寄与するペーストとして用いられることになる。

次に、図４及び図５を参照して、同スクリーン版印刷装置を用いた第２のスクリーン版印刷方法を工程順に説明する。なお、図４及び図５において、（ａ）〜（ｆ−２）はスクリーン版印刷時の概略構成を示す上面図、（Ａ）〜（Ｆ−２）は（ａ）〜（ｆ−２）に対応した概略構成を示す側面図である。なお、この印刷方法では、粘度として１０Pa・sのペーストを用いる例で説明する。
まず、図４（ａ）及び（Ａ）に示すように、図示しないペースト供給手段により、導電材料あるいは絶縁材料を含んだペースト８をスクリーン版２上に塊状に供給する。次に、スクリーン版印刷装置１０を被印刷物９上に配置し、印刷ユニット５を印刷終了位置Ｅに位置させる。次に、スクレッパ４をペースト８に接する高さまで下降させた後、スクレッパ４を印刷終了位置Ｅから、図４（ｂ−１）及び（Ｂ−１）に示すように、印刷開始位置Ｓまで移動させてペースト戻し動作を行って、スクリーン版２上に一定の厚さのペースト８ａをコートする。このとき、スクレッパ４の幅寸法はスキージ３よりも大きく選ばれているので、スクレッパ４によるペースト戻し動作後には、従来のように印刷終了位置Ｅの近傍にはみ出したペーストは生じない。

次に、図４（ｂ−２）及び（Ｂ−２）に示すように、スクレッパ４を上昇させた後、スクレッパ４をさらに、ペースト戻し動作の終了位置（すなわち、印刷開始位置Ｓ）から矢印で示すように外側に移動させる。この移動距離は、スクレッパ４の停止位置からスキージ３の下降位置が２００ｍｍになる位置に選んだ。この第２の印刷方法では、例えばスキージ３を７０°に傾けたときのスキージ３とスクレッパ４との距離が１００ｍｍなので、スクレッパ４を上昇させた後のスキージ３とスクレッパ４とで構成される印刷ユニット５の移動距離を１００ｍｍに選んだ。これにより、スクレッパ４の停止位置からのスキージ３の下降位置を２００ｍｍに設定した。

次に、図４（ｃ）及び（Ｃ）に示すように、スキージ３をペースト８ａに接する高さまで下降させた後、図５（ｄ）及び（Ｄ）に示すように、スキージ３をペースト８ａを４０Ｋｇの圧力で圧接しながら印刷終了位置Ｅまで移動させて、ペースト８ａをスクリーン版２を通じて被印刷物９上に印刷する。このとき、印刷開始位置Ｓの近傍にはスクレッパ４の幅寸法とスキージ３の幅寸法との差に相当した領域に、余分のペースト８ｂが堆積する。

次に、図５（ｅ）及び（Ｅ）に示すように、スキージ３を上昇させた後、制御部７による制御の基にペーストかき寄せ機構６を構成している一対のかき寄せ片６ａ、６ｂを互いに接近する方向に移動させる。この結果、堆積している余分のペースト８ａは、印刷開始位置Ｓの近傍のスクリーン版２の中央部にかき寄せられることになる。余分のペースト８ａがかき寄せられたこの領域は、スキージ３によりカバーされる領域となる。次に、スキージ３を上昇させた後、図５（ｆ−１）及び（Ｆ−１）に示すように、一対のかき寄せ片６ａ、６ｂは制御部７により基の位置に戻される。

次に、図５（ｆ−２）及び（Ｆ−２）に示すように、スキージ３を上昇させた後、スキージ３をさらに矢印で示すように外側に移動させる。この移動距離は、スキージ３の停止位置からスクレッパ４の下降位置が２００ｍｍになる位置に選んだ。この第２の印刷方法では、図４（ｂ−２）及び（Ｂ−２）の工程でスキージの下降位置が２００ｍｍになる位置に選ぶとともに、図５（ｆ−２）及び（Ｆ−２）の工程でスクレッパ４の下降位置が２００ｍｍになる位置に選ぶのは、用いたペースト８の粘度が低いことに対する対応である。すなわち、低い粘度のペーストがそれぞれ右側端部及び左側端部から流れ出たとしても、上述したようにスキージ３及びスクレッパ４をそれぞれ外側に移動させることにより、そのペーストを印刷に寄与するペーストとして用いることができるようになる。以下、図４（ａ）及び（Ａ）の工程に戻って同様な動作を繰り返すことにより、連続してペーストの印刷作業を行う。図５（ｆ−１）及び（Ｆ−１）の工程でかき寄せられた余分のペースト８ｂは、次に印刷動作で印刷に寄与するペーストとして用いられることになる。

このように、この例のスクリーン版印刷装置１０によれば、矩形枠状のスクリーン版枠１と、スクリーン版枠１の内側に配置された網状のスクリーン版２と、スクリーン版２上に供給されたペーストを一定の厚さに均らすためのペースト戻し動作を行うスクレッパ４と、一定の厚さのペーストを圧接してスクリーン版２を通じて被印刷物９上に印刷するための印刷動作を行うスキージ３とを備える構成において、スクレッパ４によるペースト戻し動作あるいはスキージ３による印刷動作の動作範囲の領域からはみ出したペースト８ａを、ペースト戻し動作あるいは印刷動作の動作範囲の領域内に戻すためのペーストかき寄せ手段６を設けるようにしたので、かき寄せたペーストを印刷に寄与させることができる。
また、この例のスクリーン版印刷装置１０を用いてスクリーン版印刷方法によれば、スクリーン版印刷装置１０を用いて被印刷物９上に所望の導電層あるいは絶縁層を形成することができるので、ペーストの利用率を向上させることができる。
したがって、所望の導電層あるいは絶縁層をスクリーン版印刷技術により形成する場合に、スクリーン版上に印刷に寄与しない余分のペーストを堆積させないことができるようになる。

図６は、この発明の実施例２であるＰＤＰの製造方法により製造されたＰＤＰの概略構成を示す斜視図、図７は同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す工程図である。この例のＰＤＰの製造方法は、実施例１のスクリーン版印刷装置１０を用いて所望の導電層あるいは絶縁層を形成する点に特徴を有している。
この例のＰＤＰ７０は、図６に示すように、前面基板７１と、背面基板７２とが対向するように配置されて、両基板７１、７２間に放電ガス空間７３が形成される基本的な構成を有している。

ここで、前面基板７１は、図６に示すように、ガラス等の透明材料から成る第１の絶縁基板７４と、第１の絶縁基板７４の内面に水平方向Ｈに沿って平行に形成されたＩＴＯ等の透明電極７５Ａ、７６Ａ及びこれら透明電極７５Ａ、７６Ａの一部にそれぞれ抵抗を小さくするために形成されたＡｌ、Ｃｕ、Ａｇ等から成るバス電極（トレース電極）７５Ｂ、７６Ｂから成る走査電極７５及び維持電極（共通電極）７６と、走査電極７５及び維持電極７６を被覆するＰｂＯのような低融点ガラス等から成る透明誘電体層７７と、透明誘電体層７７を放電から保護するＭｇＯ等から成る保護膜７８とを備えている。ここで、保護膜７８は、実施例１のＰＤＰの成膜装置１０を用いて形成される。

一方、背面基板７２は、図６に示すように、ガラス等の透明材料から成る第２の絶縁基板８１と、第２の絶縁基板８１の内面に水平方向Ｈと直交する垂直方向Ｖに沿って形成されたＡｌ、Ｃｕ、Ａｇ等から成るデータ電極（アドレス電極）８３と、データ電極８３を覆う白色誘電体層８４と、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｘｅ等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填される上述の放電ガス空間７３を確保するとともに、個々の放電セルを区切るために垂直方向Ｖに沿って形成された低融点ガラス等から成る隔壁（リブ）８５と、隔壁８５の底面及び壁面を覆う位置に形成された放電用ガスの放電により発生擦る紫外線を可視光に変換する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層に塗り分けられた蛍光体層８６とを備えている。

この例のＰＤＰの製造方法は、図７に示したような製造工程によって製造される。
まず、工程ａにおいて第１の絶縁基板７４としての前面ガラス基板を用意し、次に工程ｂにおいて基板７４の内面にスパッタ法等によりＩＴＯ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして各透明電極７５Ａ、７６Ａを形成し、次に工程ｃにおいて各透明電極７５Ａ、７６Ａ上にスパッタ法等によりＡｌ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングし、て各バス電極７５Ｂ、７６Ｂを形成して走査電極７５及び維持電極７６を完成させる。次に工程ｄにおいて走査電極７５及び維持電極７６を覆うようにスクリーン印刷法等によりＰｂＯ等の透明誘電体層７７を形成し、次に工程ｅにおいてブラックマスク（図６には図示していない）を形成し、次に工程ｆにおいてＥＢ蒸着法によりＭｇＯ膜から成る保護膜７８を形成して前面基板７１を完成させる。

一方、工程ｇにおいて第２の絶縁基板８１としての背面ガラス基板を用意し、次に工程ｈにおいて基板８１の内面にスパッタ法等によりＡｌ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングしてデータ電極８４を形成し、次に工程ｉにおいてデータ電極８４を覆うようにスクリーン印刷法等により白色誘電体層８４を形成する。次に工程ｊにおいてデータ電極８４上にスクリーン印刷法等により隔壁８５を形成し、次に工程ｋにおいて白色誘電体層８４及び隔壁８５を覆うように蛍光体層８６を形成し、次に工程ｌにおいてスクリーン印刷法等によりシールフリット（図６には図示していない）を形成して背面基板面７２を完成させる。

次に工程ｍにおいて、前面基板７１及び背面基板７２を用いて、２００μｍ程度のギャップを隔てて対向した状態で固定して組み立てる。次に工程ｎにおいて、両基板７１、７２の周辺部をシールフリット（封着材）により機密封止する。次に工程ｏにおいて、両基板７１、７２間の空間を排気してガス封入を行う。背面基板７２を構成している第２の絶縁基板８１には適当な個所に通気孔が形成されており、この絶縁基板８１の外側表面には、図６では省略しているが、通気孔に位置合わせした状態で、通気管が密封状態の下で取り付けられている。背面基板７１に取り付けられている端部とは反対側の通気管の端部は、当初の状態においては開口されており、この端部を介して通気管が排気・ガス充填装置に接続される。

まず、排気・ガス充填装置によって、放電ガス空間が真空に排気された後、放電ガス空間に放電ガスが充填される。放電ガスの充填が終了した後、通気管は過熱によりチップオンされ、開口端部が閉塞される。このようにして、放電ガス空間には放電ガスが充填され、ＰＤＰ７０が完成する。

このように、この例のＰＤＰの製造方法によれば、前面基板７１の内面に実施例１のスクリーン版印刷装置１０を用いて被印刷物上に所望の導電層あるいは絶縁層を形成することができるので、ペーストの利用率を向上させることができ、コストアップを避けてＰＤＰを製造することができる。

図８は、この発明の実施例３であるプラズマ表示装置の製造方法により製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。この例のプラズマ表示装置の製造方法は、実施例２により製造されたＰＤＰを用いて構成した点に特徴を有している。
この例のプラズマ表示装置６０は、図８に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインタフェース（以下、ＩＦ）２０とＰＤＰモジュール３０とにより構成されている。

アナログＩＦ２０は、図８に示すように、クロマ・デコータを備えるＹ／Ｃ分離回路２１と、Ａ／Ｄ変換回路２２と、ＰＬＬ回路を備える同期信号制御回路２３と、画像フォーマット変換回路２４と、逆γ（ガンマ）変換回路２５と、システム・コントロール回路２６と、ＰＬＥ制御回路２７とから構成されている。

概略的には、アナログＩＦ２０は、受信したアナログ映像信号をディジタル映像信号に変換した後、そのディジタル映像信号をＰＤＰモジュール３０に供給する。例えばテレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はＹ／Ｃ分離回路２１においてＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後、Ａ／Ｄ変換回路２２においてディジタル信号に変換される。その後、ＰＤＰモジュール３０の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路２４において必要な画像フォーマットの変換が行われる。ＰＤＰの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はＣＲＴの特性に合わせて、予め補正（γ変換）されている。このため、Ａ／Ｄ変換回路２２において映像信号のＡ／Ｄ変換を行った後、逆γ変換回路２５において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このディジタル映像信号はＲＧＢ映像信号としてＰＤＰモジュール３０に出力される。

アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路２３に内蔵されているＰＬＬ回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、ＰＤＰモジュール３０に出力する。アナログＩＦ２０のＰＬＥ制御回路２７は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を越える場合には表示輝度を低下させる。

システム・コントロール回路２６は、各種制御信号をＰＤＰモジュール３０に対して出力する。ＰＤＰモジュール３０は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路３１と、パネル部３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路３３と、から構成されている。ディジタル信号処理・制御回路３１は、入力ＩＦ信号処理回路３４と、フレームメモリ３５と、メモリ制御回路３６と、ドライバ制御回路３７とから構成されている。

例えば、入力ＩＦ信号処理回路３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力ＩＦ信号処理回路３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示せず）により計算され、例えば、５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定し、入力ＩＦ信号処理回路３４内の輝度レベル制御回路（図示せず）に入力する。

ディジタル信号処理・制御回路３１は、入力ＩＦ信号処理回路３４において、これらの各種信号を処理した後、制御回路をパネル部３２に送信する。同時に、メモリ制御回路３６及びドライバ制御回路３７はメモリ制御回路及びドライバ制御信号をパネル部３２に送信する。

パネル部３２は、実施例２により製造されたＰＤＰ７０と、走査電極を駆動する走査ドライバ３８と、データ電極を駆動するデータドライバ３９と、ＰＤＰ７０及び走査ドライバ３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路４０と、高圧パルス回路４０からの余剰電力を回収する電力回収回路４１とから構成されている。

ＰＤＰ７０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ７０においては、走査ドライバ３８が走査電極を制御し、データドライバ３９がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がディジタル信号処理・制御回路３１及びパネル部３２にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路３３は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部３２に供給している。

以下、この例のプラズマ表示装置６０の製造方法を概略的に説明する。
まず、実施例２により製造したＰＤＰ７０と、走査ドライバ３８と、データドライバ３９と、高圧パルス回路４０と、電力回収回路４１とを一基板上に配置し、パネル部３２を形成する。さらに、パネル部３２とは別個にディジタル信号処理・ディジタル回路３１を形成する。

このようにして形成されたパネル部３２及びディジタル信号処理・制御回路３１とモジュール内電源回路３３とを一つのモジュールとして組み立て、ＰＤＰモジュール３０を形成する。さらに、ＰＤＰモジュール３０とは別個にアナログＩＦ２０を形成する。
このように、ＰＤＰモジュール３０をアナログＩＦ２０とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図８に示したプラズマ表示装置６０が完成する。

このように、プラズマ表示装置６０をモジュール化することにより、プラズマ表示装置を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置６０を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置６０が故障した場合には、ＰＤＰモジュール３０毎交換することにより、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。

このように、この例のプラズマ表示装置の製造方法によれば、プラズマ表示装置６０をモジュール化することにより、故障したような場合に、ＰＤＰモジュール３０毎交換することができ、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。

以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、実施例１ではスクレッパの幅寸法をスキージのそれよりも大きく選んだ例で説明したが、これに限らずスキージの幅寸法をスクレッパのそれよりも大きく選ぶことができる。この場合には、当然ながらペーストかき寄せ機構は、ペースト戻し動作の開始位置である印刷終了位置の近傍に設けるようにする。

この発明の実施例では、ＰＤＰの製造に適用した例で示したが、各種電子部品を製造する場合でも、特に膜厚の厚い導電層あるいは絶縁層の形成時に利用することが可能である。

この発明の実施例１であるスクリーン版印刷装置の概略構成を示す上面図である。 同スクリーン版印刷装置を用いた第１のスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。 同スクリーン版印刷装置を用いた第１のスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。 同スクリーン版印刷装置を用いた第２のスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。 同スクリーン版印刷装置を用いた第２のスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。 この発明の実施例２であるＰＤＰの製造方法により製造されたＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。 同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す工程図である。 この発明の実施例３であるプラズマ表示装置の製造方法により製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。 プラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰの概略構成を示す断面図である。 従来のスクリーン版印刷装置を用いたスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。 従来のスクリーン版印刷装置を用いたスクリーン版印刷方法を工程順に示す工程図である。 従来のスクリーン版印刷装置の一例の概略構成を示す斜視図である。

符号の説明

１ スクリーン版枠
２ スクリーン版
３ スキージ
４ スクレッパ
５ 印刷ユニット
６ ペーストかき寄せ機構（ペーストかき寄せ手段）
６ａ、６ｂ かき寄せ片
７ 制御部
８ 供給直後のペースト
８ａ 一定の厚さのペースト
８ｂ はみ出した余分のペースト
９ 被印刷物
１０ スクリーン版印刷装置
２０ アナログインタフェース（ＩＦ）
２８Ａ、２８Ｂ、２９Ａ、２９Ｂ 駆動源
３０ ＰＤＰモジュール
３１ ディジタル信号処理・制御回路
３２ パネル部
５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａ、５２Ｂ ゲージ（計測手段）
６０ プラズマ表示装置
７０ ＰＤＰ

Claims (9)

1. 矩形枠状のスクリーン版枠と、該スクリーン版枠の内側に配置された網状のスクリーン版と、該スクリーン版上に供給されたペーストを一定の厚さに均らすためのペースト戻し動作を行うスクレッパと、該一定の厚さのペーストを圧接して前記スクリーン版を通じて被印刷物上に印刷するための印刷動作を行うスキージとを備えるスクリーン版印刷装置であって、
   前記スクレッパによる前記ペースト戻し動作あるいは前記スキージによる前記印刷動作の動作範囲の領域からはみ出したペーストを、前記ペースト戻し動作あるいは前記印刷動作の動作範囲の領域内に戻すためのペーストかき寄せ手段を設けたことを特徴とするスクリーン版印刷装置。
2. 前記スクレッパは、前記スクリーン版上の印刷終了位置から印刷開始位置に向かって前記ペースト戻し動作を行う一方、前記スキージは、前記スクリーン版上の印刷開始位置から印刷終了位置に向かって前記印刷動作を行うことを特徴とする請求項１記載のスクリーン版印刷装置。
3. 前記スクレッパの前記ペースト戻し動作の方向と直交する幅寸法が、前記スキージの前記印刷動作の方向と直交する幅寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１又は２記載のスクリーン版印刷装置。
4. 前記ペーストかき寄せ手段を、前記印刷開始位置の近傍に設けることを特徴とする請求項２又は３記載のスクリーン版印刷装置。
5. 前記スクレッパによる前記ペースト戻し動作の開始位置を、前記スキージの前記印刷終了位置から外側に最大で略２００ｍｍだけ隔てた位置に設定することを特徴とする請求項２、３又は４記載のスクリーン版印刷装置。
6. 前記スキージによる前記印刷動作の開始位置を、前記スクレッパの前記ペースト戻し動作の終了位置から外側に最大で略２００ｍｍだけ隔てた位置に設定することを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１に記載のスクリーン版印刷装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか１に記載のスクリーン版印刷装置を用いて、被印刷物上に所望の導電層あるいは絶縁層を形成することを特徴とするスクリーン版印刷方法。
8. 請求項１乃至６のいずれか１に記載のスクリーン版印刷装置を用いて、互いに平行に走査電極と維持電極とから成る行電極が内面に配置された前面基板上に、あるいは前記行電極と直交するデータ電極から成る列電極が内面に配置された背面基板上に所望の導電層あるいは絶縁層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
9. 請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、
   前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに前記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、
   画像信号のフォマット変換を行い、前記モジュールに送信するインタフェースを前記モジュールに電気的に接続する第３の工程と、
   を備えることを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
   

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