JP2006162663A5 - - Google Patents

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US12/659,975 US8049394B2 (en) 2004-12-02 2010-03-26 Micro oscillating comb tooth element with two interesecting oscillation axes

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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4138736B2 (ja) * 2004-12-02 2008-08-27 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
JP4365308B2 (ja) * 2004-12-02 2009-11-18 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
JP4477659B2 (ja) 2007-06-29 2010-06-09 富士通株式会社 マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ
JP5240203B2 (ja) * 2007-10-31 2013-07-17 富士通株式会社 マイクロ可動素子およびマイクロ可動素子アレイ
JP2009113128A (ja) * 2007-11-02 2009-05-28 Fujitsu Ltd マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子製造方法
JP5223381B2 (ja) 2008-03-04 2013-06-26 富士通株式会社 マイクロ可動素子、光スイッチング装置、およびマイクロ可動素子製造方法
JP2009258631A (ja) * 2008-03-26 2009-11-05 Fujitsu Ltd 電極およびミラー駆動装置
DE102008001058A1 (de) * 2008-04-08 2009-10-15 Robert Bosch Gmbh Mikromechanische Elektrodenstruktur, entsprechendes Herstellungsverfahren und Mikroaktuatorvorrichtung
JP5056633B2 (ja) * 2008-07-14 2012-10-24 富士通株式会社 マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置
JP5029551B2 (ja) * 2008-09-18 2012-09-19 富士通株式会社 マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置
DE102008043796B4 (de) * 2008-11-17 2023-12-21 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor
JP5444746B2 (ja) 2009-02-13 2014-03-19 富士通株式会社 マイクロ可動素子および光干渉計
DE102009026507A1 (de) * 2009-05-27 2010-12-02 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
DE102009028924A1 (de) * 2009-08-27 2011-03-03 Robert Bosch Gmbh Kapazitiver Sensor und Aktor
JP2011180534A (ja) * 2010-03-03 2011-09-15 Furukawa Electric Co Ltd:The Ｍｅｍｓ素子、可動式ミラー、および光スイッチ装置
JP5560806B2 (ja) 2010-03-19 2014-07-30 セイコーエプソン株式会社 ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器
DE102013225364A1 (de) * 2013-12-10 2015-06-11 Robert Bosch Gmbh Kammantrieb mit einem verschwenkbaren Spiegelelement
CN105712288B (zh) * 2014-12-02 2017-10-27 无锡华润上华半导体有限公司 Mems扭转式静电驱动器的制作方法
US10523134B2 (en) * 2015-03-12 2019-12-31 Mems Drive, Inc. Comb drive with non-parallel overlapping comb fingers
CN107188108B (zh) * 2017-05-23 2023-07-21 深迪半导体(绍兴)有限公司 一种mems器件及其防吸附方法
US10895713B2 (en) * 2018-10-18 2021-01-19 Microsoft Technology Licensing, Llc Actuator frame for scanning mirror
DE102019210020A1 (de) * 2019-07-08 2021-01-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mems-aktuator-element und mems-aktuator-array mit einer mehrzahl von mems-aktuator-elementen

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04325882A (ja) * 1991-04-24 1992-11-16 Ricoh Co Ltd アクチュエータ
JPH11515092A (ja) * 1995-07-20 1999-12-21 コーネル・リサーチ・ファンデーション・インコーポレイテッド 高感度力検出のための超小型化ねじれキャンティレバー
JPH09146032A (ja) 1995-11-24 1997-06-06 Toshiba Corp ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置
US5740150A (en) * 1995-11-24 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Galvanomirror and optical disk drive using the same
JP3560709B2 (ja) 1995-11-24 2004-09-02 株式会社東芝 ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置
JP3514349B2 (ja) * 1996-02-13 2004-03-31 株式会社日立国際電気 マイクロパッケージ構造
JPH10190007A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Mitsubishi Materials Corp 半導体慣性センサの製造方法
JPH10270714A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Mitsubishi Materials Corp 半導体慣性センサの製造方法
JP3011144B2 (ja) * 1997-07-31 2000-02-21 日本電気株式会社 光スキャナとその駆動方法
US6287885B1 (en) * 1998-05-08 2001-09-11 Denso Corporation Method for manufacturing semiconductor dynamic quantity sensor
JP4265016B2 (ja) 1998-05-08 2009-05-20 株式会社デンソー 半導体力学量センサの製造方法
US6449406B1 (en) * 1999-05-28 2002-09-10 Omm, Inc. Micromachined optomechanical switching devices
WO2001021187A1 (fr) * 1999-09-17 2001-03-29 Takeda Chemical Industries, Ltd. Procede de production d'une poudre proteique
WO2001053872A1 (en) * 2000-01-18 2001-07-26 Cornell Research Foundation, Inc. Single crystal silicon micromirror and array
US6612029B2 (en) * 2000-03-24 2003-09-02 Onix Microsystems Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods
US6330102B1 (en) * 2000-03-24 2001-12-11 Onix Microsystems Apparatus and method for 2-dimensional steered-beam NxM optical switch using single-axis mirror arrays and relay optics
DK1291405T3 (da) * 2000-05-19 2006-07-10 Toshio Komuro Sammensætning til fjerninfraröd stråling med fortrinlige antistatiske egenskaber og fiber- og tekstilprodukt begge indeholdende denne
US6831765B2 (en) * 2001-02-22 2004-12-14 Canon Kabushiki Kaisha Tiltable-body apparatus, and method of fabricating the same
JP4102037B2 (ja) * 2001-04-26 2008-06-18 富士通株式会社 マイクロミラー素子およびその製造方法
US6671078B2 (en) * 2001-05-23 2003-12-30 Axsun Technologies, Inc. Electrostatic zipper actuator optical beam switching system and method of operation
JP4140816B2 (ja) * 2002-05-24 2008-08-27 富士通株式会社 マイクロミラー素子
JP3987382B2 (ja) * 2002-06-11 2007-10-10 富士通株式会社 マイクロミラー素子およびその製造方法
JP2004082288A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Matsushita Electric Works Ltd 静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ
JP4337511B2 (ja) * 2003-02-12 2009-09-30 株式会社デンソー 静電アクチュエータおよびその製造方法
JP2005088188A (ja) * 2003-08-12 2005-04-07 Fujitsu Ltd マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子駆動方法
JP4464186B2 (ja) * 2004-04-20 2010-05-19 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
US7239774B1 (en) * 2004-08-13 2007-07-03 Lightconnect, Inc. Optical steering element and method
JP4138736B2 (ja) * 2004-12-02 2008-08-27 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
JP4365308B2 (ja) * 2004-12-02 2009-11-18 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
JP4573676B2 (ja) * 2005-03-11 2010-11-04 富士通株式会社 櫛歯電極対形成方法
JP4598795B2 (ja) * 2007-03-30 2010-12-15 富士通株式会社 マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ
JP4477659B2 (ja) * 2007-06-29 2010-06-09 富士通株式会社 マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ
JP2009113128A (ja) * 2007-11-02 2009-05-28 Fujitsu Ltd マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子製造方法
JP5223381B2 (ja) * 2008-03-04 2013-06-26 富士通株式会社 マイクロ可動素子、光スイッチング装置、およびマイクロ可動素子製造方法
JP5056633B2 (ja) * 2008-07-14 2012-10-24 富士通株式会社 マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置
JP5029551B2 (ja) * 2008-09-18 2012-09-19 富士通株式会社 マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置
JP5176146B2 (ja) * 2008-10-08 2013-04-03 富士通株式会社 マイクロ可動素子および光スイッチング装置
JP5239722B2 (ja) * 2008-10-10 2013-07-17 富士通株式会社 マイクロ可動素子および光スイッチング装置

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