JP2006156184A - イオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 後段エネルギー分析装置を備えるイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、後段エネルギー分析装置を、偏向電極24及び偏向磁石22により構成し、これらを切り換えて使用できるようにする。偏向磁石は略四角形状で,その中央に空間部を有する。偏向電極は、偏向磁石の空間部内に配置された真空チャンバー23内に、サプレッション電極31とともに設置される。偏向電極は偏向磁石に対して、磁場によるビームの偏向軌道と、電場によるビームの偏向軌道とが重なるように設置される。
【選択図】 図2
Description
12 質量分析磁石装置
13 ビーム整形装置
14 偏向走査装置
15 P−レンズ
16 加速/減速電極
17 角度エネルギーフィルター
18 プロセスチャンバー
18−1 ビームストッパ
18−2 エネルギースリット
19 ウェハ
21−1,21−2 磁気シールド
22 偏向磁石
22−1 上部ヨーク
22−2 下部ヨーク
22−3,22−4 コイル
23 AEFチャンバー
24−1,24−2 偏向電極
25−1,25−2 支持ボルト
26 支え棒
31−1,31−2 サプレッション電極
32−1〜32−4 グランド電極
33 ビームダンプ
36 スライドレール
41 電場によって偏向させたビームの軌道
42 磁場によって偏向させたビームの軌道
50 AEFユニット
51 上部サポート
52 下部サポート
53 フロントプレート
54 リアプレート
55、56 マウントプレート
57 碍子
58−1,58−2 補助サポート
61 第1のコア
62 第2のコア
63 基台
64−1〜64−3 支柱
65 第1のリニアガイド
66 第2のリニアガイド
67 外部接続端子
71 高電圧供給用貫通穴
Claims (16)
- ビーム整形装置により整形されたビーム断面が円形あるいは一方向に長い長円形もしくは楕円形のイオンビーム/荷電粒子ビーム、またはビームの連続断面が一方向に長い長円形状もしくは楕円形状となるよう前段の質量分析装置ならびにビーム整形装置により整形されたのち偏向走査されたイオンビーム/荷電粒子ビームを、ビームの長手方向において全体に均一な角度で屈曲させるように構成した後段エネルギー分析装置によりエネルギー分析を行った後、基板に照射されるよう構成したイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記後段エネルギー分析装置を、偏向電極及び偏向磁石により構成し、前記偏向電極または前記偏向磁石の切り換え装置を設けて、イオンビーム/荷電粒子ビームの特性に応じて切り換えるようにしたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向電極は、前記偏向磁石のヨークの空間部のビームラインガイド内部に配置されていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向磁石のヨークは、中央に空間部のある略四角形状に構成し、その空間部をビームラインが通るように構成し、
前記ヨークの空間部にビームラインガイドを設け、前記偏向電極を該ビームラインガイド内部に配置したことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項2または3に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向磁石のヨークは、上部ヨーク側がビーム進行方向に長く、下部ヨーク側がビーム進行方向と垂直な方向に長い、面角のない略扇形の形状に構成されていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項2、3または4に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記ビームラインガイドは、真空チャンバーを構成し、前記偏向磁石の下流側に配置されたプロセスチャンバーに固定支持されていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項5に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記ビームラインガイドは、その上流側が支え棒により支えられていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項2乃至6のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記ビームラインガイド内部の前記偏向電極の前後にサプレッション電極を配置し、前記偏向電極に高電圧を印加するようにしたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項2乃至7のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向電極をユニット化し、前記ビームラインガイドに対してレールにより押し入れ/引き出し可能とする構成としたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項8に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向電極の押し入れ/引き出しを可能とするために、前記偏向磁石の磁極をヨークから分離して動かせるように支持したことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向磁石の磁極に貫通孔を設け、当該貫通孔を通して前記偏向電極への電源供給を行うようにしたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1乃至10にいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向電極の形状は、ビームの曲率半径に合わせたカーブを付けた形状であることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記後段エネルギー分析装置は、中性化したビームや、エネルギー及び/又は電荷数の異なるビームを受け止めるためのビームダンプを備えることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 質量分析されたイオンビーム/荷電粒子ビームを、偏向走査電極または偏向走査磁石に導入し、一方向の偏向走査を行うとともに、電極または磁場による平行ビーム化装置を通過させるとともに加速または減速して、ビームの長手方向において全体に均一な角度で屈曲させるよう構成した後段エネルギー分析装置によりエネルギー分析を行なった後、基板に照射されるよう構成したイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記後段エネルギー分析装置を、偏向電極および偏向磁石により構成し、前記偏向電極または前記偏向磁石の切り換え装置を設けて、イオンビームまたは荷電粒子ビームの特性に応じて切り換え可能に構成するとともに、前記偏向電極または前記偏向磁石によるエネルギー分析時のイオンビーム/荷電粒子ビームの軌道が同じ軌道となるよう、偏向磁石に対して偏向電極を配置したことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項13に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向電極または前記偏向磁石によるエネルギー分析時のイオンビーム/荷電粒子ビームの軌道が、前記後段エネルギー分析装置の入射側と出射側とで重なるようにしたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - ビーム断面が一方向に長い長円形もしくは楕円形の質量分析されたイオンビーム/荷電粒子ビームを、ビームの長手方向において全体に均一な角度で屈曲させるように構成した後段エネルギー分析装置によりエネルギー分析を行った後、基板に照射されるよう構成したイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記後段エネルギー分析装置を、偏向電極および偏向磁石により構成し、前記偏向電極または前記偏向磁石の切り換え装置を設けて、イオンビーム/荷電粒子ビームの特性に応じて切り換え可能に構成するとともに、前記偏向電極または前記偏向磁石によるエネルギーの分析時のイオンビーム/荷電粒子ビームの軌道が同じ軌道となるよう、前記偏向磁石に対して前記偏向電極を配置するようにしたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項15に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向電極または前記偏向磁石によるエネルギー分析時のイオンビーム/荷電粒子ビームの軌道が、前記後段エネルギー分析装置の入射側と出射側とで重なるようにしたことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。
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