JP2005535097A - 質量分析されたリボン型イオンビームを発生させるための対称ビームライン装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】比較的大きなアスペクト比を有するリボンビームが質量分析されかつコリメートされ、1つ以上の加工物をイオン注入するのに用いる質量分析されたリボンビームを形成する。このビームライン装置12は、2つの類似の磁石22,24を含み、第1磁石22はリボンビームを質量分析して中間質量の分析されたイオンビームを与え、第2磁石24は中間質量のビームをコリメートして均一に質量分析されたリボンビームをエンドステーション18に供給する。この対称型システムは、細長いビーム幅をイオンが横切る等距離のビーム軌道41,43を与え、システムを通るビーム輸送における非線形性を和らげて、その結果として生じる質量分析されたビームが大いに均一化される。
Description
。更に、「含む」、「含んでいる」、「有する」、「有している」及びそれらの変形が詳細な説明か特許請求の範囲のいずれかで使用されている限り、これらの用語は、用語の「構成されている」と同様に内包的であると理解すべきである。
4 イオン源
6、6'、16 イオンビーム
10 引出装置
12 ビームライン装置
14 質量分析器
18 エンドステーション
22,24 磁石
26 分析開口
30 ビームガイド
32 入口端
34 出口端
41,42,43 軌道
80 電磁石
80a、80b 磁石
82 磁界
Claims (29)
- イオンビームによって1つ以上の加工物を注入するためのイオン注入システムであって、
長手方向のビーム経路に沿って細長いイオンビームを発生させ、該イオンビームが横断幅と横断高さを有する第1アスペクト比を形成し、この第1アスペクト比は横断幅と横断高さの比からなり、前記横断幅が横断高さよりも大きくなる、イオン源と、
このイオン源から前記ビーム経路に沿う下流側に配置されて前記細長いイオンビームを受け入れる質量分析器を含み、この質量分析器が、前記ビーム経路を横切る磁界を与えて、前記イオンビームからイオンを所望質量のイオンを含む質量分析された細長いイオンビームを供給するために質量に従って変化する軌道でイオンを偏向させ、前記質量分析されたイオンビームが前記第1アスペクト比と類似の第2アスペクト比を有するように構成したビームライン装置と、
前記質量分析されたイオンビームを前記ビームライン装置から受け入れ、かつ前記質量分析されたイオンビームを用いてイオン注入するために、前記ビーム経路に沿って少なくとも1つの加工物を支持するエンドステーションと、を含んでいることを特徴とするイオン注入システム。 - 前記ビームライン装置は、
前記イオン源からの細長いイオンビームに第1磁界を与える第1磁石と、
前記ビーム経路に沿って前記第1磁石の下流に配置され、前記第1磁石とエンドステーションとの間の前記ビーム経路に沿って所望質量のイオンに対して第2磁界を与える第2磁石とを含み、
前記第1磁界は、前記ビーム経路に沿って所望質量の各イオンを指向させ、かつ不要な質量のイオンを前記ビーム経路から離れるように指向させるように働き、
前記第2磁界は、前記質量分析された細長いイオンビームが前記第1アスペクト比と類似の第2アスペクト比からなるように、前記エンドステーションに向けて所望質量の各イオンを指向させるように働くことを特徴とする請求項1記載のイオン注入システム。 - 前記第1、第2磁石は、前記第1、第2磁界を形成して、所望質量の各イオンを前記イオン源でのイオンビームの幅を横切って前記エンドステーションに導き、前記所望質量の前記各イオンが前記イオン源と前記エンドステーションの間でほぼ等しい距離を移動することを特徴とする請求項2記載のイオン注入システム。
- 前記第1磁石は質量分析磁石からなり、前記第2磁石はコリメータ磁石からなることを特徴とする請求項2記載のイオン注入システム。
- 前記第1、第2磁石は、互いに類似していることを特徴とする請求項2記載のイオン注入システム。
- 前記細長いイオンビームの横断幅は、前記イオン源の近くで約400mmであり、前記質量分析された細長いイオンビームは、エンドステーションの近くで約400mmの横断幅を有することを特徴とする請求項3記載のイオン注入システム。
- 前記細長いイオンビームの横断幅は、前記イオン源の近くで約400mmであり、前記質量分析された細長いイオンビームは、エンドステーションの近くで約400mmの横断幅を有することを特徴とする請求項1記載のイオン注入システム。
- 前記質量分析器は、前記ビーム経路に沿って配置されたビームガイドを含み、このビームガイドは、ビームキャビティを形成し、このビームキャビティを通って、前記イオンビームが、入口端から出口端を移動し、そこで、前記質量分析器は、前記ビームガイドの少なくとも一部分を通り前記ビーム経路を横切る磁界を与え、所望質量の各イオンを前記入口端でのイオンビームの幅を横切って前記ビームガイドを介して前記出口端へ導き、前記所望質量の各イオンが、前記ビームガイドの入口端と出口端との間でほぼ等しい距離を移動することを特徴とする請求項1記載のイオン注入システム。
- 前記質量分析器は、第1、第2磁石と、前記ビーム経路に沿う前記第1、第2磁石間の分析開口を有するビームガイドとを含み、
前記第1磁石は、前記ビームガイドの入口端近くに配置され、前記入口端と前記分析開口の間のビーム経路に沿う第1磁界を形成し、質量に従って変化する軌道でイオンビームからイオンを偏向させ、前記第1磁界が、所望質量の各イオンを前記ビーム経路に沿って前記分析開口を通るように指向させ、かつ不要な質量のイオンを前記分析開口から離れるように偏向させる働きをし、
前記分析開口は、前記ビーム経路に沿う前記第1磁石の下流に配置され、分析開口を形成する横断幅と横断高さを有し、前記第1、第2アスペクト比と異なる分析開口のアスペクト比を有しており、
前記第2磁石は、前記ビーム経路に沿うビームガイドの出口端の近くに配置され、前記分析開口を通って移動する所望質量のイオンを受入れ、前記分析開口と前記出口端の間のビーム経路に沿って第2磁界を形成しており、前記第2磁界は、所望質量の各イオンを前記ビーム経路に沿って前記分析開口から前記出口端へ指向させ、前記第1アスペクト比に類似の第2アスペクト比を有する前記質量分析したイオンビームを供給するように働きをすることを特徴とする請求項8記載のイオン注入システム。 - 前記第1、第2磁石は、前記第1、第2磁界を形成して、所望質量の各イオンを前記イオン源でのイオンビームの幅を横切って前記エンドステーションに導き、前記所望質量の前記各イオンが前記イオン源と前記エンドステーションの間でほぼ等しい距離を移動することを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- 前記第1磁石は質量分析磁石からなり、前記第2磁石はコリメータ磁石からなることをことを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- 前記第1、第2磁石は、互いに類似していることを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- 前記細長いイオンビームの横断幅は、前記イオン源の近くで約400mmであり、前記質量分析された細長いイオンビームは、エンドステーションの近くで約400mmの横断幅を有することを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- エンドステーションは、さらに前記質量分析された細長いイオンビームに関連した密度プロファイルを検出するビームプロファイル検出器を含み、前記イオン源は、質量分析された細長いイオンビームに関連して前記エンドステーションで検出された密度プロファイルに従って、前記イオン源近くの細長いイオンビームに関連した密度プロファイルを調整するように操作可能なビームプロファイル制御装置を含むことを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- 前記ビームプロファイル検出器は、前記エンドステーションに配置された複数のファラデーカップからなり、質量分析された細長いイオンビームに関連した実際の密度プロファイルを検出することを特徴とする請求項14記載のイオン注入システム。
- 前記複数のファラデーカップは、イオン注入される加工物に近接して配置されることを特徴とする請求項15記載のイオン注入システム。
- 前記ビームライン装置は、さらに、前記分析開口に近接して配置された複数の四極子磁石を含み、これらの四極子磁石は、前記ビーム経路に沿ってビームウエスト位置を調整することを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- 前記ビームガイドは、さらに、前記分析開口近くのビームガイド内のビーム経路に沿ってビームを閉じ込めるためのビーム経路の少なくとも一部分に、マルチ−カスプド磁界を形成する複数の磁石を含んでいることを特徴とする請求項9記載のイオン注入システム。
- 前記ビームガイドは、さらに、前記分析開口に近接する導波管と、この導波管に接続されたマイクロ波パワー源を含み、このマイクロ波パワー源は、前記分析開口近くのビームガイド内のビーム経路に沿ってビームを閉じ込めるための導波管にマイクロ波出力を供給することを特徴とする請求項18記載のイオン注入システム。
- マイクロ波出力とマルチ−カスプド磁界は、前記ビームガイド内で相互に作用し、前記分析開口近くのビームガイド内のビーム経路に沿ってビームを閉じ込めるために、電子サイクロトロン共振を与えることを特徴とする請求項19記載のイオン注入システム。
- イオン注入システムにおいて、エンドステーションに質量分析された細長いイオンビームを供給するためのビームライン装置であって、
ビーム経路に沿って第1アスペクト比を有する細長いイオンビームを受け入れ、前記細長いイオンビームに作用する第1磁界を形成し、所望質量の各イオンを前記ビーム経路に沿って指向させ、かつ不要な質量のイオンを前記ビーム経路から離れるように偏向させる、質量分析器に設けた第1磁石と、
前記ビーム経路に沿って前記第1磁石の下流に配置され、前記第1磁石と前記エンドステーションとの間のビーム経路に沿って所望質量のイオンに対して第2磁界を形成し、前記第1アスペクト比に類似の第2アスペクト比を有する質量分析された細長いイオンビームの形で、前記エンドステーションに所望質量の各イオンを指向させるための第2磁石と、を含んでいることを特徴とするビームライン装置。 - 入口端と出口端を有し、前記第1磁石が、前記入口端近くで細長いイオンビームを受け入れ、前記第2磁石が出口近くで質量分析された細長いイオンビームを形成し、そして、前記第1、第2磁石が第1、第2磁界を形成して、前記イオン源でのイオンビームの幅を横切って所望質量の各イオンを出口端に導き、これらの所望質量の各イオンが前記入口端と出口端の間でほぼ等しい距離を移動することを特徴とする請求項21記載のビームライン装置。
- 前記第1、第2磁石は、互いに類似していることを特徴とする請求項21記載のビームライン装置。
- 前記ビーム経路に沿って配置されたビームガイドをさらに含み、このビームガイドは、ビームキャビティを形成し、このビームキャビティを通って、細長いイオンビームが、入口端から出口端を移動し、そこで、前記第1、第2磁石が、前記ビームガイドの第1、第2の一部分を通るビーム経路を横切る第1、第2磁界を与え、所望質量の各イオンを前記入口端でのイオンビームの幅を横切って前記ビームガイドを介して前記出口端へ導き、前記所望質量の各イオンが、前記ビームガイドの入口端と出口端との間でほぼ等しい距離を移動することを特徴とする請求項21記載のビームライン装置。
- さらに、前記ビーム経路に沿って前記第1、第2磁石間に配置された分析開口を含み、
前記第1磁石は、前記ビームガイドの入口端近くに配置され、前記入口端と前記分析開口の間のビーム経路に沿う第1磁界を形成し、質量に従って変化する軌道で細長いイオンビームからイオンを偏向させ、前記第1磁界が、所望質量の各イオンを前記ビーム経路に沿って前記分析開口を通るように指向させ、かつ不要な質量のイオンを前記分析開口から離れるように偏向させる働きをし、
前記分析開口は、前記ビーム経路に沿う前記第1磁石の下流に配置され、分析開口を形成する横断幅と横断高さを有し、前記第1、第2アスペクト比と異なる分析開口のアスペクト比を有しており、
前記第2磁石は、前記ビーム経路に沿うビームガイドの出口端の近くに配置され、前記分析開口を通って移動する所望質量のイオンを受入れ、前記分析開口と前記出口端の間のビーム経路に沿って第2磁界を形成しており、前記第2磁界は、所望質量の各イオンを前記ビーム経路に沿って前記分析開口から前記出口端へ指向させ、前記第1アスペクト比に類似の第2アスペクト比を有する前記質量分析したイオンビームを供給するように働くことを特徴とする請求項24記載のビームライン装置。 - イオン注入システムにおいて、イオンビームを用いて加工物をイオン注入する方法であって、
第1アスペクト比を有する細長いイオンビームを作り出し、
第1磁界を用いて細長いイオンビームを質量分析し、
第2磁界を用いて前記イオンビームをコリメートして、前記第1アスペクト比と類似の第2アスペクト比を有する、前記質量分析された細長いイオンビームを供給し、
前記質量分析された細長いイオンビームの少なくとも一部分を少なくとも1つの加工物に与え、前記質量分析されたイオンビームからのイオンを用いて少なくとも1つの加工物にイオン注入する、各ステップを含んでいることを特徴とする加工物をイオン注入する方法。 - 細長いイオンビームを質量分析及びコリメートするステップは、前記第1、第2磁界を与えてイオン源から少なくとも1つの加工物へ所望質量のイオンを指向させ、前記所望質量の各イオンが、前記イオン源と少なくとも1つの加工物との間でほぼ等しい距離を移動することを特徴とする請求項26記載の方法。
- イオンビームを用いて加工物にイオンを注入するためのイオン注入システムであって、
第1アスペクト比を有する細長いイオンビームを作り出す手段と、
第1磁界を用いて前記細長いイオンビームを質量分析する手段と、
前記第1アスペクト比にほぼ同一の第2アスペクト比を有する質量分析された細長いイオンビームを供給するために、前記第2磁界を用いて前記イオンビームをコリメートする手段と、
少なくとも1つの加工物に質量分析された細長いイオンビームの少なくとも一部分を供給し、質量分析された細長いイオンビームからイオンを用いて少なくとも1つの加工物にイオン注入するための手段と、を含んでいることを特徴とするイオン注入システム。 - 細長いイオンビームを質量分析する手段が第1磁石を含み、イオンビームをコリメートするための手段が前記第1磁石に類似する第2磁石を含み、前記第1、第2磁石が、それぞれ類似する第1、第2磁界を形成することを特徴とする請求項28記載のイオン注入システム。
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