JP4954465B2 - イオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置 - Google Patents
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Description
12 質量分析磁石装置
13 ビーム整形装置
14 偏向走査装置
15 P−レンズ
16 加速/減速電極
17 角度エネルギーフィルター
18 プロセスチャンバー
18−1 ビームストッパ
19 ウェハ
21 分析電磁石
22 AEFビームラインチャンバー
23,24 磁気シールド
31 空間部(開口)
32 コア
33 上部ヨーク
34 下部ヨーク
41 側面
51 プラズマシャワー装置
Claims (6)
- ビーム整形装置により整形されたビーム断面が円形あるいは一方向に長い長円形または楕円形のイオンビーム/荷電粒子ビーム、またはビームの連続断面が一方向に長い長円形状もしくは楕円形状となるよう前段の質量分析装置ならびにビーム整形装置により整形されたのち偏向走査されるとともにP−レンズにより再平行化されたイオンビーム/荷電粒子ビームを、後段エネルギー分析装置によりエネルギー分析を行った後、基板に照射されるよう構成したイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記後段エネルギー分析装置は、偏向磁石を含み、
前記偏向磁石は、前記イオンビーム/荷電粒子ビームを通過させる空間部をその中央に有する略四角形状のヨークから構成されるコアと、該ヨークの上部ヨーク及び下部ヨークにそれぞれ巻回される主コイル及び副コイルと、前記上部ヨーク及び下部ヨークの両外側の側部のヨーク部にそれぞれ巻回された漏れ磁場キャンセル用補正コイルとを有し、
前記主コイル及び前記副コイルを制御して、前記空間部に前記イオンビーム/荷電粒子ビームの前記一方向に関して均一な磁場を生じさせて、前記偏向磁石の磁場分布の広がりを制御しつつ、前記偏向走査されるとともに再平行化されたイオンビーム/荷電粒子ビームを前記一方向に関して偏向走査の範囲にわたってビームの通過位置によらず全体に均一な角度で屈曲させるようにするとともに、前記主コイル及び前記副コイルならびに前記漏れ磁場キャンセル用補正コイルは同じ向きに巻回され、前記漏れ磁場キャンセル用補正コイルは漏洩磁場を打ち消すように前記主コイル及び副コイルとは逆向きの電流を流すコイルとして構成し、前記漏れ磁場キャンセル用補正コイルを制御して前記偏向磁石の漏洩磁場を抑えるようにして、前記後段エネルギー分析装置を構成したことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向磁石は、前記主コイル、前記副コイル及び前記漏れ磁場キャンセル用補正コイルに流す電流のバランスでBL積の一様性を出すように構成されていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項2に記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記偏向磁石の前後に配設した磁気シールドの開口形状により前記BL積の一様性を出すように構成したことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置おいて、
前記偏向磁石のヨークは、ビーム屈曲の外側をビーム進行方向に長く、ビーム屈曲の内側をビーム進行方向に直交する方向に長く構成され、前記偏向磁石が略扇形の分析磁石となるように構成されていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
前記漏れ磁場キャンセル用補正コイルは、前記ヨークの両側部を覆うよう配置されていることを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載のイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置において、
偏向磁石のビームライン下流側にプラズマシャワーを設けるよう構成したことを特徴とするイオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置。
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