JP2006153605A - 検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査装置には複数のCCDカメラ20〜21が設置され、検査装置は、一台の前記CCDカメラが検査を担うワーク10の領域および一台の前記CCDカメラがワーク10をスキャンする回数・幅が、CCDカメラ20〜21で均等になるように演算し、前記CCDカメラの位置をプリセットする。異なるサイズの検査対象物を検査する場合でも、検査時にはすべての前記CCDカメラが使用されるために効率よく検査でき、かつ前記CCDカメラが処理する画像量を均一化することで、前記CCDカメラが撮像した画像の処理効率を高めることができる。
【選択図】 図1
Description
20〜22 CCDカメラ
30 コンピュータ
40 シーケンサ
50 ワークステージ
60 ベースステージ
61 モータ
62 ボールネジ
70 リニアガイド
80〜82 リニアステージ
100 ワーク検査部
110 画像処理手段
120 カメラ
130 ワーク移動手段
140 カメラ移動手段
200 カメラプリセット部
210 カメラ位置設定手段
220 カメラ位置演算手段
230 ワーク寸法入力手段
300 制御部
Claims (6)
- 複数のカメラを用いて、少なくとも一つの検査対象物の欠陥を光学的に検査する検査方法であって、前記検査対象物の全体を検査する幅寸法である検査幅に基づいて、一台の前記カメラが検査を担う幅寸法であるカメラ検査幅が均等になるように演算するカメラ検査幅演算工程と、前記カメラ検査幅演算工程で演算した前記カメラ検査幅すべてを、一台の前記カメラが検査するために要するスキャン回数とスキャン幅とを含むスキャン条件を演算するスキャン条件演算工程と、前記スキャン条件演算工程で演算された前記スキャン条件から検査開始前の前記カメラの位置条件を演算し、演算した前記位置条件に各々の前記カメラを設定するカメラプリセット工程と、前記スキャン条件演算工程で演算された前記スキャン条件に基づいて、前記カメラまたは前記検査対象物を移動させながら、前記検査対象物を光学的に検査する検査工程とから成ることを特徴とする検査方法。
- 請求項1に記載の検査方法であって、前記スキャン条件演算工程は、前記カメラがスキャンできる最大の前記スキャン幅である最大スキャン幅と前記カメラ検査幅とからスキャン回数を演算するステップと、最後のスキャンを除くすべてスキャン時のスキャン幅を前記最大スキャン幅とし、前記カメラがスキャンする幅が前記カメラ検査幅と一致するように、最後のスキャン時のスキャン幅を演算で求めるステップを含むことを特徴とする検査方法。
- 請求項1に記載の検査方法であって、前記スキャン条件演算工程は、前記カメラ検査幅と前記最大スキャン幅とから前記スキャン回数が最小となる最小スキャン回数を演算するステップと、前記カメラ検査幅と前記最小スキャン回数とから、すべてのスキャン時の前記スキャン幅が均等になるよう演算されるステップを含むことを特徴とする検査方法。
- 複数のカメラを用いて、少なくとも一つの検査対象物の欠陥を光学的に検査する検査方法であって、前記検査対象物の全体を検査する幅寸法である検査幅に基づいて、一台の前記カメラが検査を担う幅寸法である検査するカメラ検査幅が均等になるように演算するカメラ検査幅演算手段と、前記カメラ検査幅演算手段で演算した前記カメラ検査幅すべてを一台の前記カメラが検査するために要するスキャン回数と、スキャン幅とを含むスキャン条件を演算するスキャン条件演算手段と、前記スキャン条件演算手段で演算された前記スキャン条件から検査開始前の前記カメラの位置条件を演算し、演算した前記位置条件に各々の前記カメラを設定する機構を有するカメラプリセット工程と、前記スキャン条件演算手段で演算された前記スキャン条件に基づいて、前記カメラまたは前記検査対象物を移動させる機構を有し、前記検査対象物を光学的に検査する検査手段とから成ることを特徴とする検査装置。
- 請求項4に記載の検査装置であって、前記スキャン条件演算手段は、前記スキャン回数は前記カメラがスキャンできる最大の前記スキャン幅である最大スキャン幅と前記カメラ検査幅とから演算し、最後を除くすべての前記スキャン幅を前記最大スキャン幅とし、前記カメラがスキャンする幅が前記カメラ検査幅と一致するように、最後のスキャン時のスキャン幅を演算で求める手段であることを特徴とする検査装置。
- 請求項4に記載の検査装置であって、前記スキャン条件演算手段は、前記カメラ検査幅と前記最大スキャン幅とから前記スキャン回数が最小となる最小スキャン回数を演算し、前記カメラ検査幅と前記最小スキャン回数とから、すべてのスキャン時の前記スキャン幅が均等になるように前記スキャン幅を演算する手段であることを特徴とする検査装置。
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WO2008013188A1 (fr) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Procédé d'inspection, système de traitement d'inspection, dispositif de traitement, dispositif d'inspection, dispositif de fabrication/inspection, et procédé de fabrication/inspection |
JP2008032564A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査方法、検査装置、検査処理システム及び処理装置 |
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2004
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008014767A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
WO2008013188A1 (fr) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Procédé d'inspection, système de traitement d'inspection, dispositif de traitement, dispositif d'inspection, dispositif de fabrication/inspection, et procédé de fabrication/inspection |
US8358339B2 (en) | 2006-07-27 | 2013-01-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd | Testing method, testing and processing system, processing device, testing device, manufacturing/testing device, and manufacturing/testing method |
JP2008032564A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査方法、検査装置、検査処理システム及び処理装置 |
JP2020003228A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 株式会社キーレックス | プレス部品用検査装置及びプレス部品の検査方法 |
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