JP2006145316A - 圧力センサおよびその組み付け構造 - Google Patents
圧力センサおよびその組み付け構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006145316A JP2006145316A JP2004334062A JP2004334062A JP2006145316A JP 2006145316 A JP2006145316 A JP 2006145316A JP 2004334062 A JP2004334062 A JP 2004334062A JP 2004334062 A JP2004334062 A JP 2004334062A JP 2006145316 A JP2006145316 A JP 2006145316A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensor chip
- sensor
- intermediate member
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】 一面側にセンシング部21が設けられてなるセンサチップ20と、センサチップ20を収納するケース10とを備え、センサチップ20とケース10とが接着剤50を介して固定されてなる圧力センサ100において、センサチップ20は、センシング部21が設けられている一面とは反対側の他面にて圧力媒体からの圧力を受圧することで圧力検出が可能になっており、センサチップ20には中間部材40が接合されており、中間部材40とケース10とは接着剤50を介して接着固定されるとともに、当該接着方向が圧力媒体からの圧力が印加される方向に沿った方向である。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサ100の全体概略断面構成を示す図であり、本圧力センサ100が相手側配管200に組み付けられた組み付け構造の状態にて示されている。
本圧力センサ100は、大きくは、一面側にセンシング部21が設けられてなるセンサチップ20と、センサチップ20を収納するケース10とを備え、センサチップ20とケース10とが接着剤30を介して固定されてなる。
次に、上記圧力センサ100の製造方法について述べる。ターミナル12がインサート成形されたコネクタケース10を用意する。また、接合により一体化されたセンサチップ20、台座22および中間部材40を用意する。
ところで、本実施形態によれば、一面側にセンシング部21が設けられてなるセンサチップ20と、センサチップ20を収納するケース10とを備え、センサチップ20とケース10とが接着剤50を介して固定されてなる圧力センサにおいて、センサチップ20は、センシング部21が設けられている一面とは反対側の他面にて圧力媒体からの圧力を受圧することで圧力検出が可能になっており、センサチップ20には中間部材40が接合されており、中間部材40とケース10とは接着剤50を介して接着固定されるとともに、当該接着方向が圧力媒体からの圧力が印加される方向に沿った方向であることを特徴とする圧力センサ100が提供される。
このように、本実施形態によれば、一面側にセンシング部21が設けられてなるセンサチップ20とこれを収納するケース10とが、接着剤50を介して固定されてなる圧力センサ100において、簡素な構成にて耐腐食性を確保するとともに、高圧力が印加されてもセンサチップ20とケース10との固定を確保することができる。
上記実施形態では、ケース10と相手側配管200とがかしめ固定されており、従来必要であった圧力導入孔を持つハウジングが不要であったが、このようなハウジングを有する圧力センサとしてもよい。
図3は、本発明の第3実施形態に係る圧力センサ300の全体概略断面構成を示す図である。
なお、ケースとしては、上記したようにセンサチップを収納し、裏面受圧式を実現でき且つ中間部材による効果が得られるように接着が行えるものであれば、上記コネクタケース10に限定されるものではない。
20…センサチップ、21…センシング部、22…台座、23…圧力導入用の孔、
40…中間部材、41…中間部材の導入孔、
50…接着剤、100…圧力センサ、
200…相手側配管、201…相手側配管の開口部。
Claims (10)
- 一面側にセンシング部(21)が設けられてなるセンサチップ(20)と、
前記センサチップ(20)を収納するケース(10)とを備え、
前記センサチップ(20)と前記ケース(10)とが接着剤(50)を介して固定されてなる圧力センサにおいて、
前記センサチップ(20)は、前記センシング部(21)が設けられている前記一面とは反対側の他面にて圧力媒体からの圧力を受圧することで圧力検出が可能になっており、
前記センサチップ(20)には中間部材(40)が接合されており、
前記中間部材(40)と前記ケース(10)とは前記接着剤(50)を介して接着固定されるとともに、当該接着方向が前記圧力媒体からの圧力が印加される方向に沿った方向であることを特徴とする圧力センサ。 - 前記中間部材(40)は、前記センサチップ(20)の前記他面側に接合されており、
前記中間部材(40)には、前記圧力媒体からの圧力を前記センサチップ(20)の前記他面へ導入するための導入孔(41)が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記中間部材(40)は、ガラスからなるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記センサチップ(20)と前記中間部材(40)との接合は、陽極接合であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記ケース(10)には、前記センサチップ(20)が収納可能な開口部(11)が設けられており、
前記中間部材(40)は、前記ケース(10)の外側にて前記開口部(11)に面して配置されるとともに、前記中間部材(40)の一部が前記開口部(11)の縁部に前記接着剤(50)を介して固定されており、
前記センサチップ(20)は、前記開口部(11)に収納されるとともに前記中間部材(40)のうち前記開口部(11)に面する部位に接合されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記センサチップ(20)は、前記センサチップ(20)の前記他面側にて圧力導入用の孔(23)を有する台座(22)に接合されており、
前記台座(22)を介して前記中間部材(40)に接合されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記センサチップ(20)は、前記他面側にて前記圧力媒体からの圧力を受圧することで歪み、この歪みに基づく電気信号が前記センシング部(21)から出力されるものであることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記センサチップ(20)は、前記他面側にて前記圧力媒体からの圧力を受圧するとともに、前記一面側にて大気圧を受圧するものであり、
前記圧力媒体からの圧力と前記大気圧との差圧に基づいて圧力検出を行うようになっていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか1つに記載の圧力センサ(100)と、
前記圧力センサ(100)によって測定されるべき圧力媒体が流れる相手側配管(200)とを備え、
前記相手側配管(200)には、前記圧力センサ(100)が挿入可能な開口部(201)が設けられており、
前記圧力センサ(100)を前記相手側配管(200)の前記開口部(201)に挿入した状態で、前記ケース(10)と前記相手側配管(200)とが、互いに固定されており、
前記相手側配管(200)の前記開口部(201)から前記圧力媒体の圧力が前記圧力センサ(100)へ導入されるようになっていることを特徴とする圧力センサの組み付け構造。 - 前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)と前記相手側配管(200)とは、かしめにより互いに固定されていることを特徴とする請求項9に記載の圧力センサの組み付け構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004334062A JP4442399B2 (ja) | 2004-11-18 | 2004-11-18 | 圧力センサおよびその組み付け構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004334062A JP4442399B2 (ja) | 2004-11-18 | 2004-11-18 | 圧力センサおよびその組み付け構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006145316A true JP2006145316A (ja) | 2006-06-08 |
JP4442399B2 JP4442399B2 (ja) | 2010-03-31 |
Family
ID=36625187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004334062A Expired - Fee Related JP4442399B2 (ja) | 2004-11-18 | 2004-11-18 | 圧力センサおよびその組み付け構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4442399B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10578504B1 (en) | 2019-09-04 | 2020-03-03 | Custom Control Sensors, LLC. | Systems and methods for high voltage rating thin film sensors |
CN114397059A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-04-26 | 凯晟动力技术(嘉兴)有限公司 | 一种egr耐腐蚀压力传感器封装装置及其使用方法 |
-
2004
- 2004-11-18 JP JP2004334062A patent/JP4442399B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10578504B1 (en) | 2019-09-04 | 2020-03-03 | Custom Control Sensors, LLC. | Systems and methods for high voltage rating thin film sensors |
US10876915B1 (en) | 2019-09-04 | 2020-12-29 | Custom Control Sensors, LLC. | Systems and methods for high voltage rating thin film sensors |
US11579032B2 (en) | 2019-09-04 | 2023-02-14 | Custom Control Sensors, LLC | Systems and methods for high voltage rating thin film sensors |
CN114397059A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-04-26 | 凯晟动力技术(嘉兴)有限公司 | 一种egr耐腐蚀压力传感器封装装置及其使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4442399B2 (ja) | 2010-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4052263B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2004279371A (ja) | 温度センサ一体型圧力センサ装置及びその温度センサ固定方法 | |
JP3976015B2 (ja) | 圧力センサ | |
JPH07209115A (ja) | 半導体圧力検出器及びその製造方法 | |
JP5157797B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP5050392B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4699418B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3603772B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4442399B2 (ja) | 圧力センサおよびその組み付け構造 | |
JP2006208087A (ja) | 圧力センサ | |
JP2006194682A (ja) | 温度センサ一体型圧力センサ装置 | |
JP2006208088A (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
JP4155204B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2006023110A (ja) | 圧力センサ | |
JP3835317B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2005214780A (ja) | 圧力センサ | |
JP4085834B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP4223273B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4848909B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2005188958A (ja) | 圧力センサ | |
JP3976014B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4049129B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP4952271B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4412127B2 (ja) | 圧力センサの製造方法 | |
JP2009192362A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090623 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100104 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |