JP2006142248A - ダイヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第一及び第二ダイブロック17、18を複数のボルト22で締結する構造のダイヘッド13において、第一及び第二ダイブロック17、18の両端領域の外面側に剛性の大きい補強材を配置してボルト22で締結する構成とし、ボルト締結によって生じる恐れのあるダイブロック17、18先端の且つ両端領域でのたわみを小さく抑制し、両ダイブロック17、18間に形成されるスリットギャップのギャップ寸法がダイヘッド長手方向に均一となるようにする。
【選択図】 図2
Description
(1)第一及び第二ダイブロック17、18のサイズは、長さ700mm×高さ60mm×厚さ20mm、材質はステンレス(SUS420−J2、ヤング率:200MPa)。
(2)補強材25の厚さは10mm、長さは150mm,材質は超硬材(ヤング率:600MPa)。
(3)スリットギャップ19のギャップ寸法dは0.1mm、スリットギャップ19の長さは20mm、マニホールド20の直径は6mm。
(4)締結用のボルト22のサイズはM8、材質はSUS316、使用個数は14本。
17 第一ダイブロック
18 第二ダイブロック
17a、18a ギャップ壁面
17b、18b 合わせ面
19 スリットギャップ
20 マニホールド
22 ボルト
25 補強材
Claims (2)
- それぞれがスリットギャップを形成するためのギャップ壁面と互いに突き合わせて組み付けるための合わせ面を備え、その合わせ面を互いに合わせて組み付けた時に前記ギャップ壁面の間に塗工液を吐出するためのスリットギャップが形成される構成の第一ダイブロック及び第二ダイブロックと、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、前記合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔をあけた複数箇所で互いに締結する複数の締結手段を備えたダイヘッドにおいて、前記第一ダイブロックと第二ダイブロックの両端部外面側に、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックよりも剛性の大きい補強材を組み込み、該補強材を前記締結手段で締結する構成としたことを特徴とするダイヘッド。
- 前記補強材のヤング率を、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックのヤング率の2倍以上としたことを特徴とする請求項1記載のダイヘッド。
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JP2020044522A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-03-26 | 株式会社Screenホールディングス | スリットノズルおよび基板処理装置 |
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2004
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TWI742401B (zh) * | 2018-09-21 | 2021-10-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 狹縫噴嘴及基板處理裝置 |
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