JP2006140214A - 交換結合膜及び磁気検出素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 IrMnからなる反強磁性層と強磁性層(固定磁性層)との界面に大きな交換結合磁界を生じさせ、強磁性層の磁化を強固に固定できる交換結合膜及び磁気検出素子を得る。
【解決手段】 積層形成された強磁性層と反強磁性層の界面に発生する交換結合磁界により該強磁性層の磁化が一方向に固定される交換結合膜において、反強磁性層はIrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%)により形成し、強磁性層は、反強磁性層に接する面心立方構造のCoyFe100-y層(yはat%で80at%≦y≦100at%)と該CoyFe100-y層に積層したFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)とによる2層構造で形成し、且つ、FexCo100-x層の厚さを該強磁性層全体の厚さの30%以上90%以下とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 積層形成された強磁性層と反強磁性層の界面に発生する交換結合磁界により該強磁性層の磁化が一方向に固定される交換結合膜において、反強磁性層はIrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%)により形成し、強磁性層は、反強磁性層に接する面心立方構造のCoyFe100-y層(yはat%で80at%≦y≦100at%)と該CoyFe100-y層に積層したFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)とによる2層構造で形成し、且つ、FexCo100-x層の厚さを該強磁性層全体の厚さの30%以上90%以下とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、反強磁性層と強磁性層の交換結合を利用する交換結合膜及び該交換結合膜を用いた磁気検出素子に関する。
図8は、従来構造の磁気検出素子(スピンバルブ型薄膜素子)を示す断面図である。磁気検出素子は、磁気抵抗効果を発揮する多層膜Mと、この多層膜Mの両側に位置させて積層形成されたハードバイアス層109及び電極層110を有している。多層膜Mは、下から順にシード層103、反強磁性層104、固定磁性層105、非磁性材料層106、フリー磁性層107及び保護層108を積層してなり、反強磁性層104と固定磁性層105との界面に生じた交換結合磁界によって固定磁性層105の磁化はハイト方向(図示Y方向)に固定されている。一般的に、反強磁性層104はPtMnやIrMnで形成され、固定磁性層105はCoFeで形成されている。ハードバイアス層109は、多層膜Mのトラック幅方向(図示X方向)の両側に接触してフリー磁性層107に縦バイアス磁界を与え、該フリー磁性層107の磁化をトラック幅方向に揃える。電極層110は多層膜Mにセンス電流を供給する導体である。この電極層110からのセンス電流は、主として固定磁性層105、非磁性材料層106及びフリー磁性層107の3層に流れる。このような従来構造を持つ磁気検出素子は、特許文献1ないし3に記載されている。
特開平9−237716号公報(第7頁、図10)
特開平9−148132号公報(第8頁、図10)
特開2002−208120号公報(第11頁)
特許文献1ないし3には、IrMnからなる反強磁性層とCoFeからなる固定磁性層(強磁性層)を積層した磁気検出素子が記載されているが、CoFeの組成比はCo90Fe10しか記載されていない。このCo90Fe10からなる固定磁性層は、PtMnからなる反強磁性層と積層されたときには該反強磁性層との界面に生じる交換結合磁界が十分強く、交換結合磁界によってその磁化方向を強固に固定することができる。しかしながら、IrMnからなる反強磁性層と積層されたときには該反強磁性層との界面に生じる交換結合磁界が弱く、磁気検出素子の製造工程の途中で固定磁性層の磁化方向が反転してしまう虞があった。特に、固定磁性層の上に反強磁性層を積層するトップスピンバルブ型の磁気検出素子では、固定磁性層の磁化反転が生じる確率が高く、問題になっている。
本発明は、IrMnからなる反強磁性層と強磁性層(固定磁性層)との界面に大きな交換結合磁界を生じさせ、強磁性層の磁化を強固に固定できる交換結合膜及び磁気検出素子を得ることを目的としている。
本発明は、強磁性層を面心立方構造のCoyFe100-yとFe−richなFexCo100-xとによる2層構造にすることで、IrMn反強磁性層との間に生じる交換結合磁界がFexCo100-xの中で最大になると従来知られていたFe30Co70の場合を上回る、大きな交換結合磁界が得られること、さらに、より大きな交換結合磁界を得るためにはCoyFe100-yとFexCo100-xの膜厚割合及びFexCo100-x中のFe濃度xに最適な範囲があることを見出したものである。
すなわち、本発明は、強磁性層と反強磁性層が積層形成され、この強磁性層と反強磁性層の界面に発生する交換結合磁界によって該強磁性層の磁化方向が一方向に固定される交換結合膜において、反強磁性層はIrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%)により形成され、強磁性層は、反強磁性層に接する面心立方構造のCoyFe100-y層(yはat%で80at%≦y≦100at%)と、該CoyFe100-y層に積層されたFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)とによる2層構造で形成され、且つ、このFexCo100-x層の厚さが該強磁性層全体の厚さの30%以上90%以下であることを特徴としている。
上記態様によれば、IrMn反強磁性層と接する界面に該IrMn反強磁性層と同一の結晶構造を有するCoyFe100-yが配され、このCoyFe100-yの上にFe−richなFexCo100-xが積層されるので、強磁性層全体での結晶性(結晶学的な整合性)を高められると共に、熱処理によりFexCo100-xのFe結晶粒が拡散されてIrMn反強磁性層と強磁性層の界面での化学組成はFe−richな状態となる。この結果として、IrMn反強磁性層と強磁性層の界面に生じる交換結合磁界が、Fe30Co70単層からなる強磁性層を備える場合よりも増大すると推測される。
より大きな交換結合磁界を得るには、FexCo100-x層のFe濃度xは60at%以上であり、且つ、該FexCo100-x層の厚さが強磁性層全体の厚さの40%以上60%以下であることが好ましい。
強磁性層全体の厚さは、1nm以上2nm以下とすることが好ましい。より具体的に言えば、FexCo100-x層は、1nm以下の厚さで形成され、面心立方構造を有していることが好ましい。Fe−richなFexCo100-xの元々の結晶構造は体心立方構造であるが、面心立方構造を有するCoyFe100-yの上に積層形成(結晶成長)することで、1nm以下の薄い膜厚であればFexCo100-xは面心立方構造を維持することができ、結晶は移行性を落とさずにIrMn反強磁性層との交換結合磁界を大きくすることができる。
反強磁性層の膜厚は、30Å以上80Å以下であることが好ましい。この範囲内であれば、IrMn合金によって形成された反強磁性層と強磁性層間の交換結合磁界の方が、PtMn合金によって形成された反強磁性層と強磁性層間の交換結合磁界よりも大きくなる。反強磁性層は、IrzMn100-z(zはat%で10at%≦z≦30at%)により形成されていると、その結晶構造が確実に面心立方構造になるので、より好ましい。
本発明は、いわゆるトップスピンバルブ型及びボトムスピンバルブ型の両方の磁気検出素子に適用可能である。すなわち、下から順にフリー磁性層、非磁性材料層、固定磁性層、及び反強磁性層が積層され、前記フリー磁性層の磁化が前記固定磁性層の磁化と交叉する方向に揃えられた磁気検出素子において、上記固定磁性層及び反強磁性層が本発明の交換結合膜により形成されていることを特徴としている。あるいは、下から順に反強磁性層、固定磁性層、非磁性材料層、及びフリー磁性層が積層され、このフリー磁性層の磁化が前記固定磁性層の磁化と交叉する方向に揃えられた磁気検出素子において、上記固定磁性層及び反強磁性層が本発明の交換結合膜により形成されていることを特徴としている。上記固定磁性層は、第1の磁性層と第2の磁性層の間に非磁性中間層が介在する積層フェリ構造とすることができる。積層フェリ構造の固定磁性層を備える場合は、反強磁性層と該反強磁性層に接する第1の磁性層が本発明の交換結合膜により形成されていることが好ましい。
また本発明は、いわゆるデュアルスピンバルブ型の磁気検出素子に適用可能である。すなわち、下から順に下部反強磁性層、下部固定磁性層、下部非磁性材料層、フリー磁性層、上部非磁性材料層、上部固定磁性層及び上部反強磁性層を備え、フリー磁性層の磁化が上部固定磁性層及び下部固定磁性層の磁化と交叉する方向に揃えられた磁気検出素子において、上記下部反強磁性層と下部固定磁性層、及び上記上部反強磁性層と上部固定磁性層の少なくとも一方が、本発明の交換結合膜を用いて形成されていることを特徴としている。上記下部固定磁性層及び上部固定磁性層の少なくとも一方は、第1の磁性層と第2の磁性層の間に非磁性中間層が介在する積層フェリ構造とすることができる。積層フェリ構造の固定磁性層を備える場合は、反強磁性層と該反強磁性層に接する第1の磁性層が本発明の交換結合膜により形成されていることが好ましい。
本発明によれば、IrMnからなる反強磁性層と強磁性層(固定磁性層)との界面に大きな交換結合磁界を生じさせ、強磁性層の磁化を強固に固定できる交換結合膜及び磁気検出素子を得ることができる。
以下、図面に基づいて本発明を説明する。各図において、X方向はトラック幅方向、Y方向は記録媒体からの漏れ磁界方向、Z方向は記録媒体の移動方向及び磁気検出素子を構成する各層の積層方向である。
図1は、本発明の第1実施形態による磁気検出素子1(シングルスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子)の構造を、記録媒体との対向面側から見て示す模式断面図である。磁気検出素子1は、例えばハードディスク装置の薄膜磁気ヘッドに搭載され、巨大磁気抵抗効果(GMR効果)を利用して記録媒体からの漏れ磁界を検出する素子である。
磁気検出素子1は、アルミナ(Al2O3)等の絶縁材料からなる下部ギャップ層2上に形成されていて、下部ギャップ層2側から順に、シード層3、反強磁性層4、固定磁性層5、非磁性材料層6、フリー磁性層7及び保護層8を有している。図示されていないが、下部ギャップ層2の下には、アルチック基板側から順にアルミナ等の絶縁層、Ta等からなる下地層、NiFe合金等からなるシードレイヤ層、及びNiFe系合金等からなる下部シールド層が形成されている。
シード層3は、反強磁性層4及び該反強磁性層4より上の層の結晶成長を整える下地層であり、NiFeCr合金、NiCr合金やCrなどで形成される。このシード層3と下部ギャップ層2の間にはTa,Hf,Nb,Zr,Ti,Mo,Wのうち1種または2種以上の元素を含む非磁性材料で形成された下地層が備えられてもよく、該下地層がシード層3の代わりに形成されていてもよい。
反強磁性層4は、熱処理されることで固定磁性層5との間に大きな交換結合磁界を発生させ、固定磁性層5の磁化方向を図示Y方向に固定する。この反強磁性層4は、その結晶構造が面心立方構造であるIrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%、より好ましくは10at%≦z≦30at%)合金からなり、30Å以上80Å以下の薄い膜厚で形成されている。この膜厚範囲では、IrMn合金からなる反強磁性層と強磁性層間の交換結合磁界の方が、PtMn合金からなる反強磁性層と強磁性層間の交換結合磁界よりも大きくなる。IrMn合金は、ブロッキング温度が比較的高くかつブロッキング温度の低温成分が少なく、さらに交換結合磁界(Hex)を大きくできるなど反強磁性材料として優れた特性を有している。
非磁性材料層6は、固定磁性層5とフリー磁性層7との磁気的な結合を防止する層であると共に、センス電流が主に流れる層である。この非磁性材料層6は、例えばCu、Cr、Au、Ag等の導電性を有する非磁性材料によって形成することができ、特にCuによって形成されることが好ましい。
フリー磁性層7は、CoFe膜71とNiFe合金膜72を積層して形成されている。フリー磁性層7が非磁性材料層6と接する側にCoFe膜71を有していると、抵抗変化率(ΔR/R)を大きくすることができる。CoFe膜71は、例えばCoを90(at%)、Feを10(at%)として10Å程度の膜厚で形成し、NiFe合金膜72は、例えばNiを80(at%)、Feを20(at%)として50Å程度の膜厚で形成する。CoFe膜71のFe濃度は、20at%を超えるとCoFe膜71の結晶構造が体心立方構造になって多層膜Mの結晶配向性を落としてしまうので、0at%以上20at%以下であることが好ましい。このフリー磁性層7は、CoFe膜71及びNiFe合金膜72の替わりにCo合金、CoFeNi合金等を用いて形成してもよい。あるいは、CoFeNi合金による単層構造であっても、磁性層の間に非磁性層を介在させた積層フェリ構造であってもよい。
保護層8はTa等により形成されている。上記シード層3から保護層8までからなる多層膜のトラック幅方向の両側には、ハードバイアス層9及び電極層10が備えられている。ハードバイアス層9は、例えばCo−Pt合金やCo−Cr−Pt合金などで形成され、フリー磁性層7に縦バイアス磁界を与えて該フリー磁性層7の磁化をトラック幅方向に揃える。電極層10は、α−Ta、Au、Ru、Cr、Cu、W等で形成されている。
以上の概略構成を有する磁気検出素子1において、反強磁性層4と固定磁性層5は、該反強磁性層4と固定磁性層5の界面に生じる交換結合を利用した交換結合膜Ec1である。本実施形態は固定磁性層5の構成(組成、膜厚)に特徴を有するものであり、以下では固定磁性層5について詳細に説明する。
固定磁性層5は、1nm以上2nm以下の膜厚で、反強磁性層4に接するCoyFe100-y層51(yはat%で80at%≦y≦100at%)と、このCoyFe100-y層51に積層したFe−richなFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)52との2層構造により形成されている。
CoyFe100-y層51は、IrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%、より好ましくは10at%≦z≦30at%)からなる反強磁性層4と同じ面心立方構造を有しており、反強磁性層4との界面での結晶整合性が良好である。このCoyFe100-y層51は、Fe濃度が20at%を超えると結晶構造が体心立方構造になってしまうので、Co濃度yが80at%≦y≦100at%に規定されている。
FexCo100-x層52は、1nm以下の膜厚で、CoyFe100-y層51の面心立方構造を保って形成されている。Fe−richなFexCo100-x層の元々の結晶構造は体心立方構造であるが、本実施形態のように面心立方構造を有するCoyFe100-y層51の上に1nm以下の薄い膜厚で形成されることにより、体心立方構造での結晶成長が起きず、面心立方構造を維持して結晶配向性を落とすことがない。
また固定磁性層5には、CoyFe100-y層51及びFexCo100-x層52の成膜後に、熱処理(反強磁性層4との間に交換結合磁界を生じさせるための熱処理)が施されている。図2は、熱処理前と熱処理後に固定磁性層5のFe濃度をそれぞれ測定した結果であり、その縦軸が固定磁性層5の厚さ方向、横軸が固定磁性層5のFe濃度(at%)となっている。熱処理前の固定磁性層5のFe濃度は、図2の鎖線で示されるように、Co濃度yを90at%に設定したCoyFe100-y層51とFexCo100-x層62の界面で非連続であり、CoyFe100-y層51のFe濃度は10at%、FexCo100-x層52のFe濃度はx(x≧30)at%でそれぞれ一定になっている。これに対し熱処理後は、FexCo100-x層52のFe結晶粒が熱拡散されたことによりCoyFe100-y層51とFexCo100-x層52のFe濃度差が緩和され(FexCo100-x層52のFe濃度が減少しCoyFe100-y層51のFe濃度が増大して)、図2の実線で示されるように固定磁性層5のFe濃度は反強磁性層4との界面側から厚さ方向に向かって徐々に増大している。さらに、固定磁性層5の反強磁性層4との界面でのFe濃度は30at%を超えており、同界面での化学組成はFe−richな状態になっている。
本発明者らは、IrMn反強磁性層とCoyFe100-yからなる固定磁性層との間に生じる交換結合磁界の大きさが最大になるのは、FexCo100-xのFe濃度が30at%のとき(固定磁性層がFe30Co70からなるとき)であることを見出し(図3参照)、特願2004−206889号の特許出願により、固定磁性層の少なくともIrMn反強磁性層と接している界面部分の組成をFezCo100-z(zはat%で30at%≦z≦90at%)とすることを提案している。ところが、上記CoyFe100-y層51とFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)52の2層構造からなる固定磁性層5によれば、Fe30Co70単層からなる固定磁性層を用いる場合を上回る、さらに大きな交換結合磁界を得られることが判明した。固定磁性層5において、FexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)52の膜厚の割合及びFexCo100-x層52のFe濃度xには、Fe30Co70単層からなる固定磁性層よりも大きな交換結合磁界が得られる最適な範囲がある。
図4は、固定磁性層5中でCoyFe100-y層51とFexCo100-x層52の膜厚の割合を変化させたサンプルS1〜S4について、反強磁性層4との間に生じる交換結合磁界Hexの大きさとFexCo100-x層52のFe濃度xとの関係を調べた結果を示すグラフである。グラフ中の●印はサンプルS1、▲印はサンプルS2、■印はサンプルS3、◆印はサンプルS4をそれぞれ示している。また×印は、Fe30Co70単層からなる固定磁性層(1.3nm)を用いた場合に反強磁性層4との間に生じる交換結合磁界Hexの大きさを示している。但し、サンプルS1〜S4のCoyFe100-y層51は、Co濃度yを一定(y=90at%)に設定したCo90Fe10層である。
サンプルS1〜S4におけるCo90Fe10層とFexCo100-x層52の膜厚割合を表1に示す。固定磁性層5の全体膜厚は一定(1.3nm)である。
(表1)
S1;Co90Fe10層(1.0nm)/FexCo100-x層(0.3nm)
S2;Co90Fe10層(0.8nm)/FexCo100-x層(0.5nm)
S3;Co90Fe10層(0.6nm)/FexCo100-x層(0.7nm)
S4;Co90Fe10層(0.3nm)/FexCo100-x層(1.0nm)
図5は、FexCo100-x層52のFe濃度xを変化させ、反強磁性層4との間に生じる交換結合磁界Hexの大きさとFexCo100-x層52の膜厚割合との関係を調べた結果を示すグラフである。グラフ中の●印はサンプルS5、▲印はサンプルS6、■印はサンプルS7、◆印はサンプルS8、*印はサンプル9をそれぞれ示している。また×印は、Fe30Co70単層からなる固定磁性層(1.3nm)を用いた場合に反強磁性層4との間に生じる交換結合磁界Hexの大きさを示している。但し、サンプルS5〜S9のCoyFe100-y層51は、Co濃度yを一定(y=90at%)に設定したCo90Fe10層である。
(表1)
S1;Co90Fe10層(1.0nm)/FexCo100-x層(0.3nm)
S2;Co90Fe10層(0.8nm)/FexCo100-x層(0.5nm)
S3;Co90Fe10層(0.6nm)/FexCo100-x層(0.7nm)
S4;Co90Fe10層(0.3nm)/FexCo100-x層(1.0nm)
図5は、FexCo100-x層52のFe濃度xを変化させ、反強磁性層4との間に生じる交換結合磁界Hexの大きさとFexCo100-x層52の膜厚割合との関係を調べた結果を示すグラフである。グラフ中の●印はサンプルS5、▲印はサンプルS6、■印はサンプルS7、◆印はサンプルS8、*印はサンプル9をそれぞれ示している。また×印は、Fe30Co70単層からなる固定磁性層(1.3nm)を用いた場合に反強磁性層4との間に生じる交換結合磁界Hexの大きさを示している。但し、サンプルS5〜S9のCoyFe100-y層51は、Co濃度yを一定(y=90at%)に設定したCo90Fe10層である。
サンプルS5〜S9におけるFexCo100-x層52のFe濃度xを表2に示す。固定磁性層5の全体膜厚は一定(1.3nm)である。
(表2)
S5;Co90Fe10層/Fe40Co60層
S6;Co90Fe10層/Fe50Co50層
S7;Co90Fe10層/Fe60Co40層
S8;Co90Fe10層/Fe70Co30層
S9;Co90Fe10層/Fe層
図4及び図5を見ると、CoyFe100-y層51が厚くFexCo100-x層52が薄い場合には、FexCo100-x層52のFe濃度xが高い側で、得られる交換結合磁界Hexの大きさが増大し、逆にCoyFe100-y層51が薄くFexCo100-x層52が厚い場合には、FexCo100-x層52のFe濃度xが低い側で、得られる交換結合磁界Hexの大きさが増大している。これを鑑みて、固定磁性層5は、FexCo100-x層52のFe濃度xが30at%以上であり、且つ、FexCo100-x層52の膜厚が固定磁性層5の全体膜厚の30%以上90%以下(図5ではFexCo100-x層52の膜厚が0.4〜1.2nm)であれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合と同等またはそれ以上の交換結合磁界Hexを反強磁性層4との間に生じさせることができる。
(表2)
S5;Co90Fe10層/Fe40Co60層
S6;Co90Fe10層/Fe50Co50層
S7;Co90Fe10層/Fe60Co40層
S8;Co90Fe10層/Fe70Co30層
S9;Co90Fe10層/Fe層
図4及び図5を見ると、CoyFe100-y層51が厚くFexCo100-x層52が薄い場合には、FexCo100-x層52のFe濃度xが高い側で、得られる交換結合磁界Hexの大きさが増大し、逆にCoyFe100-y層51が薄くFexCo100-x層52が厚い場合には、FexCo100-x層52のFe濃度xが低い側で、得られる交換結合磁界Hexの大きさが増大している。これを鑑みて、固定磁性層5は、FexCo100-x層52のFe濃度xが30at%以上であり、且つ、FexCo100-x層52の膜厚が固定磁性層5の全体膜厚の30%以上90%以下(図5ではFexCo100-x層52の膜厚が0.4〜1.2nm)であれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合と同等またはそれ以上の交換結合磁界Hexを反強磁性層4との間に生じさせることができる。
さらに、FexCo100-x層52のFe濃度xを60at%以上とし、且つ、該FexCo100-x層52の膜厚を固定磁性層5の全体膜厚の40%以上60%以下(図5ではFexCo100-x層52の膜厚が0.5〜0.8nm)に規定すれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合よりも大きな交換結合磁界を反強磁性層4との間に生じさせることができる。
例えば、図4のサンプルS3(Co90Fe10層(0.6nm)/FexCo100-x層(0.7nm))においてFe濃度xを70at%とした場合には、反強磁性層4と固定磁性層5の間に生じる交換結合磁界が170(kA/m)となり、反強磁性層4とFe30Co70単層からなる固定磁性層との間に生じる交換結合磁界(150kA/m)よりも大幅に大きくなる。
このように反強磁性層4と固定磁性層5の間に生じる交換結合磁界が大きくなるのは、反強磁性層4と接する界面に該反強磁性層4と同一の結晶構造を有するCoyFe100-yが配され、このCoyFe100-y層の上にFe−richなFexCo100-xが積層されるので、固定磁性層5全体での結晶性(結晶学的な整合性)を高められると共に、熱処理によりFexCo100-x層52のFe結晶粒が拡散されて反強磁性層4と固定磁性層5の界面での化学組成はFe−richな状態になっているためと推測される。反強磁性層4と固定磁性層5の間に大きな交換結合磁界が生じれば、該交換結合磁界によって固定磁性層5の磁化が強固に一方向に固定されるので、固定磁性層5の磁化反転を防止できる。
図6は、本発明の第2実施形態による磁気検出素子201(シングルスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子)の構造を、記録媒体との対向面側から見て示す模式断面図である。磁気検出素子201は、第1磁性層215と第2磁性層225の間に非磁性中間層235が介在する積層フェリ構造で形成された固定磁性層205を有しており、第1磁性層215と反強磁性層4とが交換結合膜Ec2となっている。積層フェリ構造の固定磁性層205を備えること以外の構成は第1実施形態と同一であり、図6では第1実施形態と同一の構成要素に図1と同一符号を付して示す。
第1磁性層215は、1nm以上2nm以下の膜厚で、反強磁性層4に接するCoyFe100-y層(yはat%で80at%≦y≦100at%)251と、このCoyFe100-y層251に積層したFe−richなFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)252との2層構造により形成されている。
CoyFe100-y層251は、IrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%)からなる反強磁性層4と同じ面心立方構造を有しており、反強磁性層4との界面での結晶整合性が良好である。このCoyFe100-y層251は、Fe濃度が20at%を超えると結晶構造が体心立方構造になってしまうので、Co濃度yが80at%≦y≦100at%に規定されている。
FexCo100-x層252は、1nm以下の膜厚で、CoyFe100-y層251の面心立方構造を保って形成されている。Fe−richなFexCo100-x層の元々の結晶構造は体心立方構造であるが、本実施形態のように面心立方構造を有するCoyFe100-y層251の上に1nm以下の薄い膜厚で形成されることにより、体心立方構造での結晶成長が起きず、面心立方構造を維持して結晶配向性を落とすことがない。
また、第1磁性層215には、CoyFe100-y層251及びFexCo100-x層252の成膜後に熱処理が施されており、該熱処理でFexCo100-x層252のFe元素が拡散されたことによって、第1磁性層215と反強磁性層4の界面での化学組成はFe−richな状態(Fe濃度は30at%以上)になっている。
上記第1磁性層215は、FexCo100-x層252のFe濃度xが30at%以上であり、且つ、FexCo100-x層252の膜厚が第1磁性層215の全体膜厚の30%以上90%以下であれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合と同等またはそれ以上の交換結合磁界Hexを反強磁性層4との間に生じさせることができる。さらに、FexCo100-x層252のFe濃度xを60at%以上とし、且つ、該FexCo100-x層252の膜厚を第1磁性層215の全体膜厚の40%以上60%以下に規定すれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合よりも大きな交換結合磁界を反強磁性層4との間に生じさせることができる。このように第1磁性層215と反強磁性層4との間に大きな交換結合磁界が生じていれば、該交換結合磁界によって第1磁性層215の磁化が強固に固定され、非磁性中間層235を介して第2磁性層225の磁化も強固に固定され、固定磁性層205の磁化反転を防止できる。
この第1磁性層215を有する積層フェリ構造の固定磁性層205では、非磁性中間層235を介し第1磁性層215と第2磁性層225の間で発生するRKKY相互作用によって、第1磁性層215と第2磁性層225の磁化が反平行状態となっている。第2磁性層225は、CoFe合金、CoあるいはNiFe合金などの磁性材料で形成することができ、本実施形態ではCoFe合金で形成されている。CoFe合金を用いれば、第1磁性層215との間で発生するRKKY相互作用における結合磁界を大きくでき、第2磁性層225の磁化を適切に固定することができる。第2磁性層225の単位面積当たりの磁気モーメント(飽和磁化×膜厚)は、第1磁性層215の単位面積当たりの磁気モーメントと異なる。非磁性中間層235は、Ru、Rh、Ir、Os、Cr、Re、Cuのうち1種または2種以上の合金で形成することができ、本実施形態ではRuで形成されている。Ruを用いれば、第1磁性層215と第2磁性層225の間に発生するRKKY相互作用における結合磁界を大きくでき、第1磁性層215と第2磁性層225の磁化を適切に反平行状態にすることができる。このような積層フェリ構造をとれば、非磁性中間層235を介して第1磁性層215と第2磁性層225との間に生じる反平行結合と、反強磁性層4と第1磁性層215の間で生じる交換結合との相乗効果により、固定磁性層205の磁化方向をより安定に固定することができる。
以上の第1及び第2実施形態による磁気検出素子1、201は、ボトムスピンバルブ型の磁気検出素子であるが、本発明はトップスピンバルブ型の磁気検出素子にも適用可能である。
図7は、本発明の第3実施形態による磁気検出素子(デュアルスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子)301の構造を、記録媒体との対向面側から見て示す模式断面図である。磁気検出素子301は、下部ギャップ層2側から順にシード層3、反強磁性層(下部反強磁性層)4、固定磁性層(下部固定磁性層)5、非磁性材料層(下部非磁性材料層)6、フリー磁性層7、上部非磁性材料層306、上部固定磁性層305、上部反強磁性層304及び保護層8を備えている。フリー磁性層7は、CoFe膜71とNiFe合金膜72とCoFe膜71を積層して形成されている。このフリー磁性層7の構成及び上部非磁性材料層306、上部固定磁性層305及び上部反強磁性層304を備えること以外の構成は第1実施形態と同一であり、図7では第1実施形態と同一の構成要素に図1と同一符号を付して示す。
磁気検出素子301では、下部反強磁性層4と下部固定磁性層5が交換結合膜Ec1、上部固定磁性層305と上部反強磁性層304が交換結合膜Ec3をそれぞれ形成している。下部反強磁性層4と下部固定磁性層5からなる交換結合膜Ec1は、第1実施形態で説明した交換結合膜Ec1と同一であるから、そちらを参照されたい。
上部反強磁性層304は、熱処理されることで上部固定磁性層305との間に大きな交換結合磁界を発生させ、上部固定磁性層305の磁化方向を図示Y方向に固定する。この上部反強磁性層304は、下部反強磁性層4と同様に、その結晶構造が面心立方構造であるIrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%、より好ましくは10at%≦z≦30at%)合金からなり、30Å以上80Å以下の薄い膜厚で形成されている。この膜厚範囲では、IrMn合金からなる反強磁性層と強磁性層間の交換結合磁界の方が、PtMn合金からなる反強磁性層と強磁性層間の交換結合磁界よりも大きくなる。IrMn合金は、ブロッキング温度が比較的高くかつブロッキング温度の低温成分が少なく、さらに交換結合磁界(Hex)を大きくできるなど反強磁性材料として優れた特性を有している。
上部非磁性材料層306は、例えばCu、Cr、Au、Ag等の導電性を有する非磁性材料によって形成することができ、特にCuによって形成されることが好ましい。
上部固定磁性層305は、1nm以上2nm以下の膜厚で、上部反強磁性層304に接するCoyFe100-y層(yはat%で80at%≦y≦100at%)351と、このCoyFe100-y層351に接したFe−richなFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)352との2層構造により形成されている。
CoyFe100-y層351は、IrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%、より好ましくは10at%≦z≦30at%)からなる上部反強磁性層304と同じ面心立方構造を有しており、上部反強磁性層304との界面での結晶整合性が良好である。このCoyFe100-y層351は、Fe濃度が20at%を超えると結晶構造が体心立方構造になってしまうので、Co濃度yが80at%≦y≦100at%に規定されている。
FexCo100-x層352は、1nm以下の膜厚で、上部非磁性材料層306以下の面心立方構造を保って形成されている。Fe−richなFexCo100-x層の元々の結晶構造は体心立方構造であるが、本実施形態のように面心立方構造を有する上部非磁性材料層306以下の層の上に1nm以下の薄い膜厚で形成されることにより、体心立方構造での結晶成長が起きず、面心立方構造を維持して結晶配向性を落とすことがない。
また上部固定磁性層305には、CoyFe100-y層351及びFexCo100-x層352の成膜後に熱処理が施されており、該熱処理でFexCo100-x層352のFe元素が拡散されたことによって、上部固定磁性層305と上部反強磁性層304の界面での化学組成はFe−richな状態(Fe濃度は30at%以上)になっている。
上記上部固定磁性層305は、FexCo100-x層352のFe濃度xが30at%以上であり、且つ、FexCo100-x層352の膜厚が上部固定磁性層305の全体膜厚の30%以上90%以下であれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合と同等またはそれ以上の交換結合磁界Hexを上部反強磁性層304との間に生じさせることができる。さらに、FexCo100-x層352のFe濃度xを60at%以上とし、且つ、該FexCo100-x層352の膜厚を上部固定磁性層305の全体膜厚の40%以上60%以下に規定すれば、固定磁性層をFe30Co70単層とした場合よりも大きな交換結合磁界を上部反強磁性層304との間に生じさせることができる。このように上部固定磁性層305と上部反強磁性層304との間に大きな交換結合磁界が生じていれば、該交換結合磁界によって上部固定磁性層305の磁化が強固に固定され、その磁化反転を防止できる。
以上の第3実施形態では、下部固定磁性層5と上部固定磁性層305において、FexCo100-x層52、352のFe濃度x及び膜厚割合を異ならせることにより、下部反強磁性層4と下部固定磁性層5の間に生じる交換結合磁界と上部反強磁性層304と上部固定磁性層305の間に生じる交換結合磁界をそれぞれ最も大きくなるように調整することができる。
第3実施形態では、デュアルスピンバルブ型の磁気検出素子301において、下部反強磁性層4と下部固定磁性層5、及び、上部固定磁性層305と上部反強磁性層304の両方に本発明の交換結合膜を用いているが、下部反強磁性層と下部固定磁性層、及び、上部固定磁性層と上部反強磁性層の少なくとも一方に本発明は適用可能である。また下部固定磁性層5及び上部固定磁性層305は、第1磁性層と第2磁性層との間に非磁性中間層を介在させた積層フェリ構造としてもよく、積層フェリ構造とする場合には、反強磁性層(下部反強磁性層4または上部反強磁性層304)と該反強磁性層に接する第1磁性層とに本発明を適用することができる。
本発明は、トンネル効果の原理を用いたトンネル型磁気抵抗効果素子(TMR素子)、センス電流が膜面垂直方向に流れるCPP型磁気検出素子にも適用可能である。
1、201、301 磁気検出素子
2 下部ギャップ層
3 シード層
4 反強磁性層(下部反強磁性層)
5 固定磁性層(下部固定磁性層)
6 非磁性材料層(下部非磁性材料層)
7 フリー磁性層
8 保護層
9 ハードバイアス層
10 電極層
51、251、351 CoyFe100-y層
52、252、352 FexCo100-x層
71 CoFe膜
72 NiFe合金膜
215 第1磁性層
225 第2磁性層
235 非磁性中間層
304 上部反強磁性層
305 上部固定磁性層
306 上部非磁性材料層
Ec1、Ec2、Ec3 交換結合膜
2 下部ギャップ層
3 シード層
4 反強磁性層(下部反強磁性層)
5 固定磁性層(下部固定磁性層)
6 非磁性材料層(下部非磁性材料層)
7 フリー磁性層
8 保護層
9 ハードバイアス層
10 電極層
51、251、351 CoyFe100-y層
52、252、352 FexCo100-x層
71 CoFe膜
72 NiFe合金膜
215 第1磁性層
225 第2磁性層
235 非磁性中間層
304 上部反強磁性層
305 上部固定磁性層
306 上部非磁性材料層
Ec1、Ec2、Ec3 交換結合膜
Claims (11)
- 強磁性層と反強磁性層が積層形成され、この強磁性層と反強磁性層の界面に発生する交換結合磁界によって該強磁性層の磁化方向が一方向に固定される交換結合膜において、
前記反強磁性層はIrzMn100-z(zはat%で2at%≦z≦80at%)により形成され、
前記強磁性層は、前記反強磁性層に接する面心立方構造のCoyFe100-y層(yはat%で80at%≦y≦100at%)と、このCoyFe100-y層に積層したFexCo100-x層(xはat%でx≧30at%)とによる2層構造で形成され、且つ、このFexCo100-x層の厚さが該強磁性層全体の厚さの30%以上90%以下であることを特徴とする交換結合膜。 - 請求項1記載の交換結合膜において、前記FexCo100-x層のFe濃度xは60at%以上であり、且つ、該FexCo100-x層の厚さが前記強磁性層全体の厚さの40%以上60%以下である交換結合膜。
- 請求項1記載の交換結合膜において、前記強磁性層全体の厚さが1nm以上2nm以下である交換結合膜。
- 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の交換結合膜において、前記FexCo100-x層は、1nm以下の厚さで形成され、面心立方構造を有している交換結合膜。
- 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の交換結合膜において、前記反強磁性層の厚さが30Å以上80Å以下である交換結合膜。
- 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の交換結合膜において、前記反強磁性層は、IrzMn100-z(zはat%で10at%≦z≦30at%)により形成されている交換結合膜。
- 下から順にフリー磁性層、非磁性材料層、固定磁性層、及び反強磁性層が積層され、前記フリー磁性層の磁化が前記固定磁性層の磁化と交叉する方向に揃えられた磁気検出素子において、
前記固定磁性層及び前記反強磁性層が請求項1ないし6のいずれか一項に記載された交換結合膜により形成されていることを特徴とする磁気検出素子。 - 下から順に反強磁性層、固定磁性層、非磁性材料層、及びフリー磁性層が積層され、このフリー磁性層の磁化が前記固定磁性層の磁化と交叉する方向に揃えられた磁気検出素子において、
前記固定磁性層及び前記反強磁性層が請求項1ないし6のいずれか一項に記載された交換結合膜により形成されていることを特徴とする磁気検出素子。 - 請求項7または8記載の磁気検出素子において、前記固定磁性層は、第1の磁性層と第2の磁性層の間に非磁性中間層が介在する積層フェリ構造であり、前記反強磁性層と該反強磁性層に接する前記第1の磁性層が前記交換結合膜により形成されている磁気検出素子。
- 下から順に下部反強磁性層、下部固定磁性層、下部非磁性材料層、フリー磁性層、上部非磁性材料層、上部固定磁性層及び上部反強磁性層を備え、前記フリー磁性層の磁化が前記上部固定磁性層及び前記下部固定磁性層の磁化と交叉する方向に揃えられた磁気検出素子において、
前記下部反強磁性層と下部固定磁性層、及び前記上部反強磁性層と上部固定磁性層の少なくとも一方が、請求項1ないし6のいずれか一項に記載された交換結合膜を用いて形成されていることを特徴とする磁気検出素子。 - 請求項10記載の磁気検出素子において、前記上部固定磁性層及び前記下部固定磁性層の少なくとも一方は、第1の磁性層と第2の磁性層の間に非磁性中間層が介在する積層フェリ構造であり、前記下部反強磁性層または前記上部反強磁性層と該反強磁性層に接する前記第1の磁性層とが前記交換結合膜により形成されている磁気検出素子。
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