JP2006138767A - 微分スペクトル測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定装置において、光Lを複数の光路に分岐させる光分岐手段12と、分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子13と、回折格子13で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段14と、少なくとも一つの光反射偏向手段14に設けられ、光反射偏向手段14の反射面を回転駆動させる駆動手段15と、反射された各光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、光の微分スペクトルを出力するアレイ光検出器18とを備えた。
【選択図】 図1
Description
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
少なくとも一つの光反射偏向手段に設けられ、光反射偏向手段の反射面を回転駆動させる駆動手段と、
反射された各光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、光の微分スペクトルを出力するアレイ光検出器と
を備える微分スペクトル測定装置である。
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
少なくとも一つの光反射偏向手段に設けられ、光反射偏向手段の反射面を回転駆動させる駆動手段と、
光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた検量線となるスペクトルと同じ重みの重み付けを行うべく、上記光反射偏向手段での分光された光の反射率の制御を波長バンドごとに行う演算手段と、
反射された各光を集光する集光手段と、
集光された各光の光量の総和を交互に検出する光検出器
とを備える微分スペクトル測定装置である。
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された複数の光の少なくとも一つの光路を調節する偏向手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
反射された各光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、光の微分スペクトルを出力するアレイ光検出器と
を備える微分スペクトル測定装置である。
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された複数の光の少なくとも一つの光路を調節する偏向手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた検量線となるスペクトルと同じ重みの重み付けを行うべく、上記光反射偏向手段での分光された光の反射率の制御を波長バンドごとに行う演算手段と、
反射された各光を集光する集光手段と、
集光された各光の光量の総和を交互に検出する光検出器と
を備える微分スペクトル測定装置である。
光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光を複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光を所定の波長バンドごとに分光し、
所定の波長バンドごとに分光された各光を、光反射手段でそれぞれ光反射させる際、ある光反射手段の光反射面と、残りの光反射手段の光反射面とに角度差を持たせた状態で光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光とを、同じ光検出素子で交互に検出し、複数の波長の光の光強度の差を出力する微分スペクトル測定方法である。
光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光を複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光を所定の波長バンドごとに分光し、
所定の波長バンド毎に分光された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光とを、同じ光検出素子で交互に検出し、複数の波長の光の光強度の差を出力する微分スペクトル測定方法である。
光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光を複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を所定の波長バンド毎に分光し、
その分光された各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光とを、同じ光検出素子で交互に検出し、複数の波長の光の光強度の差を出力する微分スペクトル測定方法である。
分岐された各光を所定の波長バンド毎に分光し、
所定の波長バンドごとに分光された各光を、光反射手段でそれぞれ光反射させる際、ある光反射手段の光反射面と、残りの光反射手段の光反射面とに角度差を持たせた状態で光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光強度と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光強度を、光検出素子で交互に検出する際、光検出素子の出力が0になるように、上記光反射手段を調整する請求項12または15記載の微分スペクトル測定方法である。
分岐された各光を所定の波長バンド毎に分光し、
所定の波長バンド毎に分光された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光強度と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光強度を、光検出素子で交互に検出する際、光検出素子の出力が0になるように、上記光反射手段を調整する請求項13または15に記載の微分スペクトル測定方法である。
分岐された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を所定の波長バンド毎に分光し、
その分光された各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光強度と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光強度を、光検出素子で交互に検出する際、光検出素子の出力が0になるように、上記光反射手段を調整する請求項14または15記載の微分スペクトル測定方法である。
I1(λ)=I0(λ)×T(λ)
ここで、T(λ)は透過率
の関係が成り立つ。この関係を利用して、波長バンドに依存して光Lの透過率が異なることから、出射光I1の波長バンド間の光強度差(変化率)から吸収濃度を求めることができる。
=δI(δλ1)b1+δI(δλ2)b2+…
…+δI(δλn)bn (1)
MEMS1,MEMS2における反射、偏向は、(1)式の演算結果に基づいてなされる。即ち、光反射偏向手段14であるMEMSで、(1)式の演算を光学的に行う。具体的には、MEMS1で反射した光の波長λと、それに対応したMEMS2で反射した光の波長λ2との光強度差δI(δλ)(一次微分値)が、濃度参照用のスペクトルbと同じ割合となるように、MEMS1及びMEMS2の各移動電極23a…23nを調節して光の反射率を制御し、分光された光L1,L2を、各波長バンドごとに反射率を変えて反射、偏向させる。言い換えると、MEMS1,MEMS2において、分光された光L1と光L2の反射率の制御を波長バンドごとに行って、光L1,L2の波長バンド間ごとの微分スペクトルに、予め作製しておいた濃度算出用スペクトルbと同じ重みの重み付けを行い、この状態で分光された光L1,L2を反射、偏向させる。
12 光分岐手段
13 回折格子
14 光反射偏向手段(光反射手段)
15 駆動手段
16 アパチャ
18 アレイ光検出器
53 偏向手段
Claims (18)
- 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定装置において、
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
少なくとも一つの光反射偏向手段に設けられ、光反射偏向手段の反射面を回転駆動させる駆動手段と、
反射された各光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、光の微分スペクトルを出力するアレイ光検出器と
を備えることを特徴とする微分スペクトル測定装置。 - 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定装置において、
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
少なくとも一つの光反射偏向手段に設けられ、光反射偏向手段の反射面を回転駆動させる駆動手段と、
光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた検量線となるスペクトルと同じ重みの重み付けを行うべく、上記光反射偏向手段での分光された光の反射率の制御を波長バンドごとに行う演算手段と、
反射された各光を集光する集光手段と、
集光された各光の光量の総和を交互に検出する光検出器
とを備えることを特徴とする微分スペクトル測定装置。 - 上記駆動手段が、所定の波長バンドごとに分光された光の光路面に対して水平方向に上記反射面を回転駆動する請求項1または2記載の微分スペクトル測定装置。
- 上記駆動手段が、所定の波長バンドごとに分光された光の光路面に対して垂直方向に上記反射面を回転駆動する請求項1または2記載の微分スペクトル測定装置。
- 上記駆動手段が、所定の波長バンドごとに分光された光の光路面に対して水平方向かつ垂直方向に上記反射面を回転駆動する請求項1または2記載の微分スペクトル測定装置。
- 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定装置において、
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された複数の光の少なくとも一つの光路を調節する偏向手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
反射された各光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、光の微分スペクトルを出力するアレイ光検出器と
を備えることを特徴とする微分スペクトル測定装置。 - 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定装置において、
上記光を複数の光路に分岐させる光分岐手段と、
分岐された複数の光の少なくとも一つの光路を調節する偏向手段と、
分岐された各光がそれぞれ照射され、各光を反射し、所定の波長バンドごとに分光する回折格子と、
回折格子で分光された各光を反射させる複数の光反射偏向手段と、
光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた検量線となるスペクトルと同じ重みの重み付けを行うべく、上記光反射偏向手段での分光された光の反射率の制御を波長バンドごとに行う演算手段と、
反射された各光を集光する集光手段と、
集光された各光の光量の総和を交互に検出する光検出器と
を備えることを特徴とする微分スペクトル測定装置。 - 上記偏向手段を、上記回折格子の後段に設けた請求項6または7記載の微分スペクトル測定装置。
- 上記偏向手段を、上記回折格子の前段に設けた請求項6または7記載の微分スペクトル測定装置。
- 上記偏向手段が、偏向手段を回転駆動させる駆動手段を有する請求項6から8いずれかに記載の微分スペクトル測定装置。
- 上記偏向手段がプリズムである請求項6から10いずれかに記載の微分スペクトル測定装置。
- 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定方法において、
光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光を複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光を所定の波長バンドごとに分光し、
所定の波長バンドごとに分光された各光を、光反射手段でそれぞれ光反射させる際、ある光反射手段の光反射面と、残りの光反射手段の光反射面とに角度差を持たせた状態で光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光とを、同じ光検出素子で交互に検出し、複数の波長の光の光強度の差を出力することを特徴とする微分スペクトル測定方法。 - 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定方法において、
光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光を複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光を所定の波長バンドごとに分光し、
所定の波長バンド毎に分光された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光とを、同じ光検出素子で交互に検出し、複数の波長の光の光強度の差を出力することを特徴とする微分スペクトル測定方法。 - 光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光のスペクトルの変化を測定する微分スペクトル測定方法において、
光源から出射され、測定対象により光吸収を受けた光を複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を所定の波長バンド毎に分光し、
その分光された各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光とを、同じ光検出素子で交互に検出し、複数の波長の光の光強度の差を出力することを特徴とする微分スペクトル測定方法。 - 各光反射手段で光反射させる際、各光を所定の波長バンド毎に掃引、変調する請求項12から14いずれかに記載の微分スペクトル測定方法。
- 光源から出射された光を直接導入し、複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光を所定の波長バンド毎に分光し、
所定の波長バンドごとに分光された各光を、光反射手段でそれぞれ光反射させる際、ある光反射手段の光反射面と、残りの光反射手段の光反射面とに角度差を持たせた状態で光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光強度と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光強度を、光検出素子で交互に検出する際、光検出素子の出力が0になるように、上記光反射手段を調整する請求項12または15記載の微分スペクトル測定方法。 - 光源から出射された光を直接導入し、複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光を所定の波長バンド毎に分光し、
所定の波長バンド毎に分光された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光強度と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光強度を、光検出素子で交互に検出する際、光検出素子の出力が0になるように、上記光反射手段を調整する請求項13または15記載の微分スペクトル測定方法。 - 光源から出射された光を直接導入し、複数の光路に分岐して伝搬させ、
分岐された各光の少なくとも一つを、偏向手段を介して通過させて光路を変え、
光路がそれぞれ異なる各光を所定の波長バンド毎に分光し、
その分光された各光を光反射手段でそれぞれ光反射させ、
ある光反射手段で反射された所定波長の光強度と、残りの光反射手段で反射された上記所定波長の光とは異なる波長の光強度を、光検出素子で交互に検出する際、光検出素子の出力が0になるように、上記光反射手段を調整する請求項14または15記載の微分スペクトル測定方法。
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